波長選擇濾光器及光照射裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及層疊了多個膜的波長選擇濾光器及光照射裝置。
【背景技術】
[0002]以往，樹脂或粘接劑等的光固化使用了采用水銀燈或金屬鹵化物燈的光照射裝置。水銀燈或金屬鹵化物燈所發(fā)出的光除了用于使樹脂或粘接劑固化所需的波長的光之夕卜，還發(fā)出對照射對象物造成一些損害的不需要的波長的光，因此在光照射裝置中使用波長選擇濾光器。作為波長選擇濾光器，代表性的是使用了用金屬著色的有色玻璃的波長選擇濾光器，但由于來自燈的紫外線的影響而產生暴曬，透射率降低。對此，可考慮使用在透明基板上層疊了電介質多層膜的波長選擇濾光器，但由電介質多層膜構成的波長選擇濾光器在透射特性方面具有入射角度依賴性，光的入射角度越大，透射波長域越向短波長側偏移。
[0003]于是，已知如下技術，其通過使用由在透明基板上交替層疊了高折射率材料的層和折射率比它稍低的材料的層的電介質多層膜構成的波長選擇濾光器，從而在光向膜面傾斜入射時也能減小分光透射特性的波長偏移量(例如，參照專利文獻I)。
[0004]現有技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻I
[0007]日本特開2008 - 20563號公報

【發(fā)明內容】

[0008]發(fā)明要解決的問題
[0009]然而，在上述的現有的結構中，存在若想要減小波長偏移量則膜整體的層數大幅度增多的問題。
[0010]本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的，其目的在于提供一種波長選擇濾光器及光照射裝置，其能夠抑制膜數的大幅度的增加，并且在光向膜面傾斜入射時也能減小分光透射特性的波長偏移量。
[0011]用于解決問題的技術方案
[0012]為了達到上述目的，本發(fā)明的波長選擇濾光器的特征在于，在透明基板上具備由第一電介質多層膜及第二電介質多層膜構成的第一層疊體、和由第三電介質多層膜及第四電介質多層膜構成的第二層疊體，所述第一及第三電介質多層膜是交替層疊具有第一折射率的第一折射率材料、和具有小于所述第一折射率的第二折射率的第二折射率材料而構成，所述第二及第四電介質多層膜是交替層疊具有第三折射率的第三折射率材料、和具有小于所述第三折射率的第四折射率的第四折射率材料而構成，所述第一折射率與所述第三折射率不同，所述第二折射率與所述第四折射率不同。
[0013]在上述結構中，所述第一層疊體和所述第二層疊體也可以分別形成在所述透明基板的不同的面上。
[0014]在上述結構中，也可以將所述第一折射率與所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述第三折射率與所述第四折射率的平均值即第二平均折射率之差設為波長偏移量成為規(guī)定值以下的值。
[0015]在上述結構中，也可以是，所述第一層疊體構成窄帶通型濾光器，所述第二層疊體構成寬帶通型濾光器。
[0016]在上述結構中，也可以將所述第一折射率與所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述第三折射率與所述第四折射率的平均值即第二平均折射率之差設為0.1?
0.6ο
[0017]在上述結構中，也可以對于波長500nm的光，透明基板的折射率為1.45?1.53，第一折射率為2.26?2.40，第二折射率為1.38?1.50，第三折射率為2.42?2.70，第四折射率為1.58?2.00。
[0018]在上述結構中，也可以第一折射率材料和/或第三折射率材料與所述透明基板鄰接。
[0019]在上述結構中，也可以將所述第一層疊體和所述第二層疊體層疊在所述透明基板的一面或雙面上，在所述第一層疊體與所述第二層疊體的鄰接部，所述第一折射率材料與所述第四折射率材料相鄰，或者所述第二折射率材料與所述第三折射率材料相鄰。
[0020]在上述結構中，也可以將所述第四折射率設為大于所述第二折射率，將所述第三折射率設為大于所述第一折射率，所述第一層疊體通過自透明基板起依次層疊第二電介質多層膜、第一電介質多層膜而構成，所述第二層疊體通過自透明基板起依次層疊第三電介質多層膜、第四電介質多層膜而構成。
[0021]本發(fā)明的光照射裝置的特征在于，在框體內收納光源，在所述框體的光射出開口設有上述波長選擇濾光器。
[0022]發(fā)明效果
[0023]根據本發(fā)明，能夠抑制膜數的大幅度的增加，并且在光向膜面傾斜入射時也能減小分光透射特性的波長偏移量。
【附圖說明】
[0024]圖1是表示本發(fā)明的實施方式涉及的紫外線照射裝置的概略結構的立體圖。
[0025]圖2是表示紫外線照射裝置的概略結構的主視圖。
[0026]圖3是示意地表示波長選擇濾光器的圖。
[0027]圖4是表示波長選擇濾光器的NBP型的層疊體的結構的表格。
[0028]圖5是表示波長選擇濾光器的BBP型的層疊體的結構的表格。
[0029]圖6是表示波長選擇濾光器的分光透射率的曲線圖，(A)表示本實施方式的波長選擇濾光器的情況，(B)表示現有的波長選擇濾光器的情況。
[0030]圖7是表示波長選擇濾光器的分光透射率的曲線圖，(A)表示在透明基板的雙面上分別形成有NBP型及BBP型的層疊體的情況，(B)表示在透明基板的一個面上形成有NBP型的層疊體的情況，(C)表示在透明基板的一個面上形成有BBP型的層疊體的情況。
[0031]圖8是表示以與圖4的例子相反的順序形成有波長選擇濾光器的NBP型的層疊體的結構的表格。
[0032]圖9是表示以與圖4的例子相反的順序形成有波長選擇濾光器的BBP型的層疊體的結構的表格。
[0033]圖10是表示以與圖4的例子相反的順序形成有多層膜的波長選擇濾光器的分光透射率的曲線圖，(A)表示雙面膜形成的情況，(B)表示僅有NBP的單面膜形成的情況，(C)表示僅有BBP的單面膜形成的情況。
[0034]圖11是表示將高折射率材料設為一種的波長選擇濾光器的NBP型的層疊體的結構的表格。
[0035]圖12是表示將高折射率材料設為一種的波長選擇濾光器的BBP型的層疊體的結構的表格。
[0036]圖13是圖12的繼續(xù)部分。
[0037]圖14是表示將高折射率材料設為一種的波長選擇濾光器的分光透射率的曲線圖，(A)表示雙面膜形成的情況，(B)表示僅有NBP的單面膜形成的情況，(C)表示僅有BBP的單面膜形成的情況。
[0038]圖15是表示將低折射率材料設為一種的波長選擇濾光器的NBP型的層疊體的結構的表格。
[0039]圖16是表示將低折射率材料設為一種的波長選擇濾光器的BBP型的層疊體的結構的表格。
[0040]圖17是表示將低折射率材料設為一種的波長選擇濾光器的分光透射率的曲線圖，(A)表示雙面膜形成的情況，(B)表示僅有NBP的單面膜形成的情況，(C)表示僅有BBP的單面膜形成的情況。
[0041]圖18是表示將折射率差設為0.2555的波長選擇濾光器的NBP型的層疊體的結構的表格。
[0042]圖19是表示將折射率差設為0.2555的波長選擇濾光器的BBP型的層疊體的結構的表格。
[0043]圖20是表示將折射率差設為0.2555的波長選擇濾光器的分光透射率的曲線圖，(A)表示雙面膜形成的情況，(B)表示僅有NBP的單面膜形成的情況，(C)表示僅有BBP的單面膜形成的情況。
[0044]圖21是表示將折射率差設為0.3125的波長選擇濾光器的NBP型的層疊體的結構的表格。
[0045]圖22是表示將折射率差設為0.3125的波長選擇濾光器的BBP型的層疊體的結構的表格。
[0046]圖23是將折射率差設為0.3125的波長選擇濾光器的分光透射率的曲線圖，(A)表示雙面膜形成的情況，(B)表示僅有NBP的單面膜形成的情況，(C)表示僅有BBP的單面膜形成的情況。
[0047]圖24是表示將折射率差設為0.4125的波長選擇濾光器的NBP型的層疊體的結構的表格。
[0048]圖25是表示將折射率差設為0.4125的波長選擇濾光器的BBP型的層疊體的結構的表格。
[0049]圖26是表示將折射率差設為0.4125的波長選擇濾光器的分光透射率的曲線圖，(A)表示雙面膜形成的情況，(B)表示僅有NBP的單面膜形成的情況，(C)表示僅有BBP的單面膜形成的情況。
[0050]圖27是表示僅由1102與中間折射率材料的一對形成的波長選擇濾光器的NBP型的層疊體的結構的表格。
[0051]圖28是表示僅由1102與中間折射率材料的一對形成的波長選擇濾光器的BBP型的層疊體的結構的表格。
[0052]圖29是表示僅由1102與中間折射率材料的一對形成的波長選擇濾光器的分光透射率的曲線圖，㈧表示雙面膜形成的情況，⑶表示僅有NBP的單面膜形成的情況，(C)表示僅有BBP的單面膜形成的情況。
[0053]附圖標記說明
[0054]1:紫外線照射裝置(光照射裝置)，4:波長選擇濾光器，21:透明基板，22:第一高折射率材料(第一折射率材料)，23:第一低折射率材料(第二折射率材料)，24:第二高折射率材料(第三折射率材料)，25:第二低折射率材料(第四折射率材料)，G1:第一電介質多層膜，G2:第二電介質多層膜，G3:第一電介質多層膜，G4:第二電介質多層膜，L1:窄帶通型的第一層疊體，L2:寬帶通型的第二層疊體，nH1:第一折射率(第一高折射率)，n u:第二折射率(第一低折射率)，nH2:第三折射率(第二高折射率)，η Μ:第四折射率(第二低折射率
【具體實施方式】
[0055]以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。
[0056]圖1是表示本實施方式涉及的紫外線照射裝置I的概略結構的立體圖，圖2是表示紫外線照射裝置I的概略結構的主視圖。
[0057]如這些圖所示，紫外線照射裝置I具備:對正下方的工件2照射紫外線的至少一個(在本實施方式中為三個)照射器