專利名稱：1.06μm和10.6μm雙波長增透薄膜器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光學(xué)薄膜和激光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域中的一種紅外區(qū)雙波長十倍頻增透薄膜器件。它適應(yīng)于NaYAG和CO2兩種激光并用的激光治療機所使用聚焦透鏡鍍膜。
本發(fā)明以前與本發(fā)明最為接近的已有技術(shù)是0.53μm和1.06μm雙波長倍頻增透薄膜器件(出處“光儀技術(shù)”1985年第1期P50，作者王益聰?shù)?，可用于NaYAG激光及其倍頻激光應(yīng)用，但該器件透射波長間距小，而且在基底和膜層材料方面均屬可見和近紅外區(qū)，并不涉及中紅外波長區(qū)(第三透射窗口)的光譜透射問題。
公知的各種激光治療機均使用特定波長激光器，如Ar+激光治療機，工作波長為0.488μm和0.5145μm;NaYAG激光治療機，工作波長為1.06μm;CO2激光治療機，工作波長為10.6μm等等。各種治療機導(dǎo)光臂上所用聚焦透鏡均選擇在相應(yīng)工作波長透射的基底并在基上涂鍍該波長的增透膜。但是，這些鍍膜的聚焦透鏡都不能滿足近紅外和中紅外波長區(qū)的兩種激光同時使用。
為了克服上述缺點本發(fā)明的目的在于，并針對Na;YAG激光和CO2激光并用的光學(xué)系統(tǒng)，提出一種能滿足1.06μm和10.6μm波長增透的薄膜器件。
本發(fā)明的詳細內(nèi)容如

圖1所示。1為薄膜器件的硒化鋅晶體基底，2為涂鍍的增透膜，其增透膜為單層膜，也可為雙層膜，單層膜的涂鍍材料采用氟化物，也可采用氟化物混合物，雙層膜的涂鍍材料采用氟化物和硫化物。
本發(fā)明的原理構(gòu)思是選擇在1.06μm和10.6μm波長均有較高透射率的基底和膜層材料，然后設(shè)計出在兩個波長滿足減反射條件的膜系，再用真空鍍膜的方法制備出其薄膜器件。
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，其中1-a為單層增透膜器件，1-b為雙層增透膜器件。圖2為最佳實施例結(jié)構(gòu)示意圖。
本發(fā)明的積極效果是NaYAG和CO2兩種激光可共用一個窗口和聚焦透鏡，使NaYAG激光機和CO2激光并用的新型激光治療機研制并在臨床應(yīng)用成為可能。這樣即發(fā)揮CO2激光所具有的快速切割和汽化長處，又保持有NaYAG激光所持有的對機體深處穿透能力強和止血效果好的優(yōu)點，從而大大提高治療效果而優(yōu)于其它激光治療機。
本發(fā)明的最佳實施例如圖2所示。3為硒化鋅晶體基底，4為折射率和光學(xué)厚度滿足減反射條件的氟化物或摻雜的氟化物混合材料單層增透膜。
權(quán)利要求
1.1.06μm和10.6μm雙波長增透薄膜器件，是由基底和光學(xué)增透薄膜組成的，其特征在于基底采用硒化鋅晶體，光學(xué)增透薄膜為單層膜，也可為雙層膜，單層膜的涂鍍材料采用氟化物，也可采用氟化物混合物，雙層膜的涂鍍材料采用氟化物和硫化物。
全文摘要
本發(fā)明屬于一種使用波長在1.06μm和10.6μm雙波長增透薄膜器件。這種薄膜器件由硒化物(ZnSe)基底和用真空鍍膜方法涂鍍特定厚度的氟化物或摻雜的氟化物，也可為氟化物和硫化物所構(gòu)成。
文檔編號H01L49/02GK1080782SQ92105138
公開日1994年1月12日 申請日期1992年6月25日 優(yōu)先權(quán)日1992年6月25日
發(fā)明者齊鈺, 馮紀蒙, 鄭琪 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械研究所