專利名稱：干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
干燥裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種干燥裝置，特別是有關(guān)于一種能避免基板在干燥之后產(chǎn)生外觀不良缺陷的干燥裝置。
背景技術(shù)：
隨著光電技術(shù)和半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,液晶面板(Liquid Crystal Display, LCD)已廣范應(yīng)用于社會的各個(gè)領(lǐng)域。其中，在將液晶密封到兩玻璃基板之間的制作工藝中， 所述兩玻璃基板上的至少一液晶顯示單元區(qū)域(簡稱顯示區(qū)，其他區(qū)域簡稱非顯示區(qū)，下同)會分別配置一層配向膜(Alignment Film)。具體而言，所述配向膜的形成步驟主要包含⑴涂膜步驟，將經(jīng)一溶劑稀釋過的配向膜材料通過印刷等工藝形成于所述玻璃基板的表面；(2)干燥步驟，以80°C至120°C范圍內(nèi)的溫度使所述溶劑蒸發(fā)，只留下分布均一的配向膜；(3)焙燒步驟，以180°C以上的溫度使所述配向膜固化?，F(xiàn)有的干燥步驟主要是采用聚酰亞胺(polyimide, PI)溶液做為所述配向膜材料，并通過紅外線輻射加熱所述玻璃基板，使所述聚酰亞胺中的溶劑揮發(fā)，其缺點(diǎn)在于在所述基板干燥的過程中，其表面會產(chǎn)生受熱不均勻和所述溶劑揮發(fā)速度不一致的問題，使得所述基板的表面上留下不均勻的斑痕，進(jìn)而影響最終的產(chǎn)品質(zhì)量。舉例來說，在現(xiàn)有的干燥步驟中，常是將所述聚酰亞胺溶液涂布在所述基板的一第一表面上，并通過多個(gè)支撐銷(Pin)支撐所述基板的一第二表面，使所述基板平躺在所述支撐銷上。由于所述支撐銷并非完全絕熱，因而極容易導(dǎo)致所述支撐銷與所述基板接觸的區(qū)域以及沒有接觸的區(qū)域發(fā)生受熱程度不一致的狀況，進(jìn)而使得在干燥步驟之后，所述第一表面上形成不均勻的壓痕(Pin Mura)。為減少所述第一表面上的壓痕等斑痕，現(xiàn)有支撐銷常采用鄰近效應(yīng)(proximity) 的方式支撐所述基板，并選用絕熱性較好的材質(zhì)制作所述支撐銷。其中，圖IA及IB依序揭示現(xiàn)有的第一種支撐所述基板的作動示意圖，以及2A至2E依序揭示現(xiàn)有的第二種支撐所述基板的作動示意圖。請參照圖IA至IB所示，在一現(xiàn)有配向膜的干燥裝置中同時(shí)設(shè)置兩組所述支撐銷 30a及30b，并在干燥過程中以一定頻率驅(qū)使所述支撐銷30a及30b交替進(jìn)行上升下降動作。如圖IA所示，當(dāng)所述支撐銷30a向上支撐所述基板S時(shí)，所述支撐銷30b即向下移動； 再如圖IB所示，于一定時(shí)間后，當(dāng)所述支撐銷30b向上支撐所述基板S時(shí)，所述支撐銷30a 即向下移動，如此依所述頻率重復(fù)循環(huán)，直到完成干燥步驟。請參照圖2A至2E，在另一現(xiàn)有配向膜的干燥裝置中同樣設(shè)置兩組所述支撐銷30c 及30d。在干燥過程中，所述支撐銷30c保持不動，而所述支撐銷30d以一定頻率進(jìn)行矩形順時(shí)針路徑的移動。如圖2A所示，一開始由所述支撐銷30c支撐所述基板S，而所述支撐銷30d處于所述支撐銷30c的下方；其后，如圖2B所示，所述支撐銷30d向上移動到所述支撐銷30c的上方，同時(shí)抬起所述基板S ;之后，如圖2C所示，所述支撐銷30d帶動所述基板 S 一起向左移動；再如圖2D所示，所述支撐銷30d向下移動到所述支撐銷30c的下方，進(jìn)而帶動所述基板S再次置于所述支撐銷30c上；如圖2E所示，所述支撐銷30d向右移動復(fù)位， 并再次重復(fù)圖2A至2E的動作數(shù)次，直到完成干燥步驟。雖然現(xiàn)有工藝可借助交替改變所述支撐銷與所述基板的接觸點(diǎn)位置來稍微減少所述基板上的外觀不良問題。然而，仍無法將所述基板的外觀問題完全消除。故，確實(shí)有必要對配向膜的干燥步驟提供一可有效消所述基板上的斑痕的加工裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的產(chǎn)品外觀不良問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種干燥裝置，即對配向膜提供一種可避免產(chǎn)生斑痕的配向膜干燥裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的產(chǎn)品外觀不良問題。本實(shí)用新型公開一種干燥裝置，用于干燥預(yù)形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料。所述干燥裝置包含一加熱臺、一第一支撐網(wǎng)、數(shù)根支撐銷及一第一升降機(jī)構(gòu)。所述加熱臺用以對所述基板的一第二表面進(jìn)行加熱；所述第一支撐網(wǎng)包含數(shù)條第一網(wǎng)線，所述第一網(wǎng)線共同定義數(shù)個(gè)第一網(wǎng)孔；所述支撐銷位于至少一部分的所述第一網(wǎng)孔內(nèi)；所述第一升降機(jī)構(gòu)控制所述支撐銷進(jìn)行升降，使所述支撐銷高于或低于所述第一支撐網(wǎng)。因此， 所述第一升降機(jī)構(gòu)可決定在干燥步驟前后由所述支撐銷支撐所述基板的所述第二表面；或在干燥過程中所述第一支撐網(wǎng)支撐所述基板的所述第二表面，以便避免所述基板的所述第一表面在干燥步驟后留下斑痕。本實(shí)用新型的次要目的在于提供一種干燥裝置，包含一加熱臺、一第一支撐網(wǎng)、一第二支撐網(wǎng)、數(shù)根支撐銷、一第一升降機(jī)構(gòu)及一第二升降機(jī)構(gòu)。所述第二支撐網(wǎng)包含數(shù)條第二網(wǎng)線，所述第二網(wǎng)線共同定義數(shù)個(gè)第二網(wǎng)孔；所述第二升降機(jī)構(gòu)控制所述第一及第二支撐網(wǎng)交替進(jìn)行升降，使所述第一支撐網(wǎng)高于或低于所述第二撐網(wǎng)，以決定由所述第一或第二支撐網(wǎng)來支撐所述基板的所述第二表面，使一基板在干燥過程中不與所述支撐銷接觸， 進(jìn)而避免所述基板的一第一表面在干燥步驟后留下斑痕。本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種干燥裝置，其中所述第一支撐網(wǎng)及所述第二支撐網(wǎng)采用極細(xì)且承重力更佳的所述第一網(wǎng)線及所述第二網(wǎng)線來支撐所述基板，使所述基板在干燥過程中能平整且不彎曲地安置在所述第一支撐網(wǎng)或所述第二支撐網(wǎng)上，有助于確保所述基板在干燥步驟后不會彎曲變形。為達(dá)成本實(shí)用新型的前述目的，本實(shí)用新型提供一種干燥裝置，用于干燥預(yù)形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料，其中所述干燥裝置包含一加熱臺，用以對所述基板的一第二表面進(jìn)行加熱；一第一支撐網(wǎng)，包含數(shù)條第一網(wǎng)線，所述第一網(wǎng)線共同定義數(shù)個(gè)第一網(wǎng)孔；數(shù)根支撐銷，位于至少一部分的所述第一網(wǎng)孔內(nèi)；以及一第一升降機(jī)構(gòu)，控制所述支撐銷進(jìn)行升降，使所述支撐銷高于或低于所述第一支撐網(wǎng)，以決定由所述支撐銷或所述第一支撐網(wǎng)來支撐所述基板的所述第二表面。為達(dá)成本實(shí)用新型的前述目的，本實(shí)用新型又提供一種干燥裝置，用于干燥預(yù)形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料，其中所述干燥裝置包含一加熱臺，用以對所述基板的一第二表面進(jìn)行加熱；一第一支撐網(wǎng)，包含數(shù)條第一網(wǎng)線，所述第一網(wǎng)線共同定義數(shù)個(gè)第一網(wǎng)孔；一第二支撐網(wǎng)，包含數(shù)條第二網(wǎng)線，所述第二網(wǎng)線共同定義數(shù)個(gè)第二網(wǎng)孔； 數(shù)根支撐銷，位于至少一部分的所述第一網(wǎng)孔及所述第二網(wǎng)孔內(nèi)；以及一第二升降機(jī)構(gòu)，控制所述第一及第二支撐網(wǎng)交替進(jìn)行升降，使所述第一支撐網(wǎng)高于或低于所述第二撐網(wǎng)，以決定由所述第一或第二支撐網(wǎng)來支撐所述基板的所述第二表面。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述第一網(wǎng)線是碳纖維網(wǎng)線。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述第一網(wǎng)線是以縱向及橫向的交錯排列形成所述第一網(wǎng)孔。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述第一支撐網(wǎng)包含95條至2937條的所述第一網(wǎng)線，且兩條平行且相鄰的縱向(或橫向)的所述第一網(wǎng)線的軸心之間的間距是3. 8毫米至 48毫米。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述第一網(wǎng)線是互為平行排列形成所述第一網(wǎng)孔， 所述第二網(wǎng)線是互為平行排列形成所述第二網(wǎng)孔，其中所述第一網(wǎng)線位于所述第二網(wǎng)孔內(nèi)進(jìn)行升降，且所述第二網(wǎng)線位于所述第一網(wǎng)孔內(nèi)進(jìn)行升降。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述第一網(wǎng)線及所述第二網(wǎng)線是碳纖維網(wǎng)線。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述第一及第二網(wǎng)線的截面直徑介于O. 8毫米至3 毫米之間。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述第一及第二支撐網(wǎng)共包含95至2937條的所述第一及第二網(wǎng)線，且兩條平行且相鄰的所述第一及第二網(wǎng)線的軸心之間的間距是3. 8毫米至48毫米。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述第二升降機(jī)構(gòu)以一前周期及一后周期控制所述第一及第二支撐網(wǎng)交替升降，且所述前周期小于所述后周期。在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，所述支撐銷的截面直徑是2毫米。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實(shí)用新型的干燥裝置可避免支撐銷與基板接觸，故能確保基板的表面在干燥步驟后不留下斑痕，且可使配向膜材料更均勻地分布，更能避免基板產(chǎn)生變形，以達(dá)到提聞廣品良率的目標(biāo)。

圖IA及IB依序是現(xiàn)有的第一種支撐所述基板的作動示意圖。圖2A至2E依序是現(xiàn)有的第二種支撐所述基板的作動示意圖。圖3是本實(shí)用新型提供干燥裝置的第一實(shí)施例的示意圖。圖4是本實(shí)用新型干燥裝置的第一實(shí)施例的第一支撐網(wǎng)的俯視圖。圖5A及5B依序揭示本實(shí)用新型第一實(shí)施例的干燥裝置的第一升降機(jī)構(gòu)的作動示意圖。圖6是本實(shí)用新型提供干燥裝置的第二實(shí)施例的示意圖。圖7是本實(shí)用新型干燥裝置的第二實(shí)施例的第一支撐網(wǎng)及第二支撐網(wǎng)的俯視圖。圖8A至8C依序是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的干燥裝置的第一升降機(jī)構(gòu)及第二升降機(jī)構(gòu)的作動示意圖。
具體實(shí)施方式為讓本實(shí)用新型上述目的、特征及優(yōu)點(diǎn)更明顯易懂，下文特舉本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。再者，本實(shí)用新型所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「側(cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本實(shí)用新型，而非用以限制本實(shí)用新型。本實(shí)用新型所提出的干燥裝置主要應(yīng)用在一基板的加工領(lǐng)域，特別是半導(dǎo)體或光電的產(chǎn)品制造領(lǐng)域。主要是在所述基板涂布一配向膜溶液后的溶劑揮發(fā)干燥過程中，減少多個(gè)支撐銷與所述基板接觸的機(jī)會，避免所述基板的表面上形成斑痕。請參照圖3所示，圖3是本實(shí)用新型提供干燥裝置300的第一實(shí)施例的示意圖。所述干燥裝置300可以是一液晶顯示器的一基板干燥裝置，其主要包含一加熱臺10、一第一支撐網(wǎng)20、數(shù)根支撐銷30及一第一升降機(jī)構(gòu)40，用以干燥預(yù)涂布形成在一基板S的一第一表面SI上且經(jīng)溶劑稀釋過的一配向膜材料(未繪示)，所述配向膜材料通常是指聚酰亞胺 (polyimide，PI)，但不限于此。本實(shí)用新型將于下文詳細(xì)說明上述各組件。圖4是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的第一支撐網(wǎng)20的俯視圖。所述第一支撐網(wǎng)20包含數(shù)條第一網(wǎng)線21，且所述第一支撐網(wǎng)20的所述第一網(wǎng)線21是以縱向及橫向的交錯排列形成所述第一支撐網(wǎng)20的多個(gè)第一網(wǎng)孔22。其中，假設(shè)所述基板S的長、寬及高分別可以是2500毫米、2200毫米及O. 5毫米，其重量大約是10公斤，則所述第一網(wǎng)線21可以選用碳纖維網(wǎng)線，其截面直徑介于O. 8毫米至3毫米之間，所述第一支撐網(wǎng)20約包含95條至2937 條的所述第一網(wǎng)線21，且兩條平行且相鄰的縱向或橫向的所述第一網(wǎng)線21的軸心之間的間距大約是3. 8毫米至48毫米，但不以此為限。請同時(shí)參照圖3及圖4所示，所述加熱臺10用以對所述基板S的一第二表面S2 進(jìn)行加熱，使所述溶劑自所述第一表面Si揮發(fā)而留下分布均一的一配向膜(未繪示)；所述支撐銷30的數(shù)量可以少于或等于所述第一網(wǎng)孔22的數(shù)量，使得所述支撐銷30位于至少一部分的所述第一網(wǎng)孔22內(nèi)；以及所述第一升降機(jī)構(gòu)40控制所述支撐銷30進(jìn)行升降，使所述支撐銷30高于或低于所述第一支撐網(wǎng)20，以決定由所述支撐銷30或所述第一支撐網(wǎng) 20來支撐所述基板S的所述第二表面S2。其中，所述支撐銷30的截面直徑可以是2毫米， 但不以此為限。圖5A及5B依序揭示本實(shí)用新型第一實(shí)施例的所述干燥裝置300的所述第一升降機(jī)構(gòu)40的作動示意圖。其中圖5A顯示所述第一升降機(jī)構(gòu)40將所述支撐銷30抬升至高于所述第一支撐網(wǎng)20的位置，使所述支撐銷30支撐所述基板S的所述第二表面S2 ;圖5B顯示所述第一升降機(jī)構(gòu)40將所述支撐銷30降低至低于所述第一支撐網(wǎng)20的位置，使所述第一支撐網(wǎng)20支撐所述基板S的所述第二表面S2。請同時(shí)參照圖3、圖5A及圖5B，當(dāng)所述基板S未放置到所述干燥裝置300之前，所述第一升降機(jī)構(gòu)40先將所述支撐銷30抬升至高于所述第一支撐網(wǎng)20的位置，此時(shí)所述支撐銷30的頂端穿過部分所述第一網(wǎng)孔22 ;當(dāng)所述基板S被放置在所述支撐銷30上之后， 所述第一升降機(jī)構(gòu)40將所述支撐銷30降低，使所述基板S被所述第一支撐網(wǎng)20所支撐； 之后，啟動所述加熱臺10的加熱機(jī)制，使所述基板S在干燥過程中都安置在所述第一支撐網(wǎng)20上；在完成干燥步驟后，所述第一升降機(jī)構(gòu)40再將所述支撐銷30抬升至高于所述第一支撐網(wǎng)20的位置，進(jìn)而帶動所述基板S向上提升。請參照圖6所示，其是本實(shí)用新型提供干燥裝置的第二實(shí)施例的示意圖。本實(shí)用新型第二實(shí)施例相似于本實(shí)用新型第一實(shí)施例的干燥裝置300，并大致沿用相同組件名稱及圖號。在本實(shí)用新型第二實(shí)施例中，所述干燥裝置400另包含一第二支撐網(wǎng)50，以及一
6第二升降機(jī)構(gòu)60。而第二實(shí)施例的差異特征在于所述第二實(shí)施例的所述第二升降機(jī)構(gòu)60 是用以控制所述第一支撐網(wǎng)20及所述第二支撐網(wǎng)50交替進(jìn)行升降，使所述第一支撐網(wǎng)20 在干燥過程中高于或低于所述第二撐網(wǎng)50，以決定由所述第一支撐網(wǎng)20或第二支撐網(wǎng)50 來支撐所述基板S的所述第二表面S2。此外，圖7是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的所述第一支撐網(wǎng)20及所述第二支撐網(wǎng)50 的俯視圖。其中，所述第一網(wǎng)線21及所述第二網(wǎng)線51均是互為平行沿縱向交錯排列，其中各二相鄰所述第一網(wǎng)線21之間的空間可以視為是一第一網(wǎng)孔22，及各二相鄰所述第二網(wǎng)線51之間的空間也可以視為是一第二網(wǎng)孔52。所述第二升降機(jī)構(gòu)60可控制所述第一網(wǎng)線 21于所述第二網(wǎng)孔52內(nèi)相對所述第二網(wǎng)線51進(jìn)行升降，及/或控制所述第二網(wǎng)線51于所述第一網(wǎng)孔22內(nèi)相對所述第一網(wǎng)線21進(jìn)行升降。其中，所述第二網(wǎng)線51也可以是碳纖維網(wǎng)線，其截面直徑介于O. 8毫米至3毫米之間，而所述第一支撐網(wǎng)20及所述第二支撐網(wǎng) 50約共包含95條至2937條的所述第一網(wǎng)線21及所述第二網(wǎng)線51，且兩條平行且相鄰的所述第一網(wǎng)線21及所述第二網(wǎng)線51的軸心之間的間距大約是3. 8毫米至48毫米，但不以此為限。圖8A至8C依序是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的所述干燥裝置400的所述第一升降機(jī)構(gòu)40及所述第二升降機(jī)構(gòu)60的作動示意圖。請同時(shí)參照圖6及圖8A至8C,當(dāng)所述基板S 未放置到所述干燥裝置400之前，所述第一升降機(jī)構(gòu)40先將所述支撐銷30抬升至高于所述第一支撐網(wǎng)20的位置，此時(shí)所述第二支撐網(wǎng)50低于所述第一支撐網(wǎng)20，且所述支撐銷 30的頂端同時(shí)穿過部分所述第一網(wǎng)孔22及部分所述第二網(wǎng)孔52 ;當(dāng)所述基板S被放置在所述支撐銷30上之后，所述第一升降機(jī)構(gòu)40將所述支撐銷30降低至低于所述第二支撐網(wǎng) 50的位置，使所述基板S被所述第一支撐網(wǎng)20所支撐；之后，啟動所述加熱臺10的加熱機(jī)制，并通過所述第二升降機(jī)構(gòu)60控制所述第一支撐網(wǎng)20及所述第二支撐網(wǎng)50以一預(yù)定周期交替升降，使所述基板S在干燥過程中輪流安置在所述第一支撐網(wǎng)20或所述第二支撐網(wǎng) 50上，其中所述第二升降機(jī)構(gòu)60可僅控制所述第一及第二支撐網(wǎng)20、50其中一個(gè)進(jìn)行升降，或控制兩者皆可進(jìn)行升降；在完成干燥步驟后，所述所述第一升降機(jī)構(gòu)40再將所述支撐銷30抬升至高于所述第一支撐網(wǎng)20的位置，進(jìn)而帶動所述基板S向上提升。其中，所述預(yù)定周期包含一前周期及一后周期，并依所述溶劑揮發(fā)的狀況設(shè)定所述前周期小于所述后周期。具體而言，在所述前周期中，所述第二升降機(jī)構(gòu)60控制所述第一支撐網(wǎng)20及第二支撐網(wǎng)50于每5秒鐘至10秒鐘進(jìn)行交替；而在所述后周期中，所述第二升降機(jī)構(gòu)60控制所述第一支撐網(wǎng)20及第二支撐網(wǎng)50可于每20秒鐘進(jìn)行交替。如圖3、圖4、圖5A、圖5B、圖6、圖7及圖8A至8C所示，本實(shí)用新型第一及第二實(shí)施例上述特征的優(yōu)點(diǎn)在于所述干燥裝置300及400分別借助所述第一升降機(jī)構(gòu)40及所述第二升降機(jī)構(gòu)60控制所述支撐銷30、所述第一支撐網(wǎng)20及所述第二支撐網(wǎng)50的位置，使所述基板S在干燥過程中不與所述支撐銷30接觸，進(jìn)而避免了所述基板S的所述第一表面 SI在干燥步驟后留下斑痕，并可減少所述支撐銷30的使用數(shù)目及磨耗率。此外，所述第一支撐網(wǎng)20及所述第二支撐網(wǎng)50采用極細(xì)且承重力更加的所述第一網(wǎng)線21及所述第二網(wǎng)線51來支撐所述基板S，使所述基板S在干燥過程中能平整且不彎曲地安置在所述第一支撐網(wǎng)20或所述第二支撐網(wǎng)50上，有助于確保所述基板S在干燥步驟后不會彎曲變形。再者，通過所述第二升降機(jī)構(gòu)60輪流對所述第一支撐網(wǎng)20及所述第二支撐網(wǎng)50以所述預(yù)定周期進(jìn)行升降，可進(jìn)而使得所述第一表面SI上的所述溶劑能更均勻地?fù)]發(fā)，故有助于確保所述第一表面Si在干燥步驟后留下斑痕，以達(dá)到提高產(chǎn)品良率的目標(biāo)。本實(shí)用新型已由上述相關(guān)實(shí)施例加以描述，然而上施例并未限制本實(shí)用新型的范圍。相反的，包含于權(quán)利要求書的精神及范圍的修改及均等設(shè)置均包括于本實(shí)用新型的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種干燥裝置，用于干燥預(yù)形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料，其特征在于所述干燥裝置包含一加熱臺，用以對所述基板的一第二表面進(jìn)行加熱；一第一支撐網(wǎng)，包含數(shù)條第一網(wǎng)線，所述第一網(wǎng)線共同定義數(shù)個(gè)第一網(wǎng)孔；數(shù)根支撐銷，位于至少一部分的所述第一網(wǎng)孔內(nèi)；以及一第一升降機(jī)構(gòu)，控制所述支撐銷進(jìn)行升降，使所述支撐銷高于或低于所述第一支撐網(wǎng)，以決定由所述支撐銷或所述第一支撐網(wǎng)來支撐所述基板的所述第二表面。
2.如權(quán)利要求I所述的干燥裝置，其特征在于所述第一網(wǎng)線是碳纖維網(wǎng)線。
3.如權(quán)利要求I所述的干燥裝置，其特征在于所述第一網(wǎng)線是以縱向及橫向的交錯排列形成所述第一網(wǎng)孔。
4.如權(quán)利要求2所述的干燥裝置，其特征在于所述第一網(wǎng)線的截面直徑介于O.8毫米至3毫米之間，兩條平行且相鄰的所述第一網(wǎng)線的軸心之間的間距是3. 8毫米至48毫米。
5.一種干燥裝置，用于干燥預(yù)形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料，其特征在于所述干燥裝置包含一加熱臺，用以對所述基板的一第二表面進(jìn)行加熱；一第一支撐網(wǎng)，包含數(shù)條第一網(wǎng)線，所述第一網(wǎng)線共同定義數(shù)個(gè)第一網(wǎng)孔；一第二支撐網(wǎng)，包含數(shù)條第二網(wǎng)線，所述第二網(wǎng)線共同定義數(shù)個(gè)第二網(wǎng)孔；數(shù)根支撐銷，位于至少一部分的所述第一網(wǎng)孔及所述第二網(wǎng)孔內(nèi)；以及一第二升降機(jī)構(gòu)，控制所述第一及第二支撐網(wǎng)交替進(jìn)行升降，使所述第一支撐網(wǎng)高于或低于所述第二撐網(wǎng)，以決定由所述第一或第二支撐網(wǎng)來支撐所述基板的所述第二表面。
6.如權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于所述第一網(wǎng)線是互為平行排列形成所述第一網(wǎng)孔，所述第二網(wǎng)線是互為平行排列形成所述第二網(wǎng)孔，其中所述第一網(wǎng)線位于所述第二網(wǎng)孔內(nèi)進(jìn)行升降，且所述第二網(wǎng)線位于所述第一網(wǎng)孔內(nèi)進(jìn)行升降。
7.如權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于所述第一網(wǎng)線及所述第二網(wǎng)線是碳纖維網(wǎng)線。
8.如權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于所述第一及第二網(wǎng)線的截面直徑介于O.8毫米至3毫米之間，兩條平行且相鄰的所述第一及第二網(wǎng)線的軸心之間的間距是3. 8毫米至48毫米。
9.如權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于所述第二升降機(jī)構(gòu)以一前周期及一后周期控制所述第一及第二支撐網(wǎng)交替升降，且所述前周期小于所述后周期。
10.如權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于所述支撐銷的截面直徑是2毫米。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種干燥裝置，用于干燥預(yù)形成在一基板的一第一表面上的一配向膜材料。所述干燥裝置包含一加熱臺、一第一支撐網(wǎng)、數(shù)根支撐銷及一第一升降機(jī)構(gòu)。所述加熱臺用以對所述基板的一第二表面進(jìn)行加熱；所述第一支撐網(wǎng)包含數(shù)條第一網(wǎng)線，所述第一網(wǎng)線共同定義數(shù)個(gè)第一網(wǎng)孔；所述支撐銷位于至少一部分的所述第一網(wǎng)孔內(nèi)；所述第一升降機(jī)構(gòu)控制所述支撐銷進(jìn)行升降，使所述支撐銷高于或低于所述第一支撐網(wǎng)。因此，所述第一升降機(jī)構(gòu)可決定在干燥步驟前后由所述支撐銷支撐所述基板的所述第二表面；或在干燥過程中所述第一支撐網(wǎng)支撐所述基板的所述第二表面，以便避免所述基板的所述第一表面在干燥步驟后留下斑痕。
文檔編號G02F1/1337GK202351589SQ20112034776
公開日2012年7月25日 申請日期2011年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月16日
發(fā)明者朱美娜 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司