專利名稱：一種工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)設(shè)備特別是光刻機(jī)中，各種器件集成度比較高，其中包括水、電等管線布置，尤其是在光刻機(jī)微動(dòng)臺(tái)中。請(qǐng)參看圖1，圖I為現(xiàn)有技術(shù)的光刻機(jī)微動(dòng)臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，微動(dòng)臺(tái)底板10上分布有電 機(jī)安裝座11、冷卻水管12、冷卻水接頭13、電氣接頭14、電氣線纜15。由于光刻機(jī)效率的提高，微動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)加速度、速度增大，容易造成水管接頭松動(dòng)而發(fā)生漏水現(xiàn)象，另外，水管接頭及密封設(shè)施的老化也會(huì)導(dǎo)致漏水現(xiàn)象。在微動(dòng)臺(tái)中，水管接頭和電氣接頭集成度非常高，漏水勢(shì)必會(huì)導(dǎo)致電氣設(shè)備不能正常工作，導(dǎo)致光刻機(jī)癱瘓。目前解決防止微動(dòng)臺(tái)漏水的常用做法之一是在管道中增加壓力傳感器，但這種方法只能檢測(cè)大流量漏水，無(wú)法檢測(cè)少量滲水的現(xiàn)象，而少量滲水也會(huì)給光刻機(jī)帶來(lái)同樣的危害；常用做法之二是在接頭附近安裝濕度傳感器，這種方法只能檢測(cè)局部范圍的滲水，而光刻機(jī)微動(dòng)臺(tái)中分布有幾十個(gè)水管接頭，在每個(gè)水管接頭周圍都布置濕度傳感器顯然是很難做到的，并且給信號(hào)處理及控制帶來(lái)大量的工作，非常不合理。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)的工件臺(tái)無(wú)法在靈敏檢測(cè)出微動(dòng)臺(tái)漏水情況的同時(shí)有效地防止漏水對(duì)微動(dòng)臺(tái)造成損害的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，所述工件臺(tái)包括底板、安裝于所述底板上的冷卻水管、冷卻水接頭及電氣部件，所述漏水保護(hù)裝置包括漏水保護(hù)槽，所述漏水保護(hù)槽設(shè)置于所述底板中；所述漏水保護(hù)槽分布于所述底板上所述冷卻水管、冷卻水接頭及需進(jìn)行漏水保護(hù)的電氣部件的一側(cè)；所述漏水保護(hù)槽的底面及側(cè)面上均貼有隔水材料?？蛇x的，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互貫通，所述相互貫通的各條漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所有相互貫通的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所有相互貫通的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器。可選的，所述底板中還設(shè)置有不能同所述相互貫通的漏水保護(hù)槽相貫通的獨(dú)立的漏水保護(hù)槽，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器?？蛇x的，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互獨(dú)立，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入其中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器。
可選的，所述漏水保護(hù)槽內(nèi)所述隔水材料之上的空隙內(nèi)均填充有吸水材料。可選的，所述吸水材料的表面同所述底板齊平?？蛇x的，所述隔水材料為聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料?？蛇x的，所述吸水材料為高吸水性樹(shù)脂或高吸水性塑料或海綿。本發(fā)明提供的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置通過(guò)在微動(dòng)臺(tái)底板上設(shè)置漏水保護(hù)槽將底部上所有可能漏水或可能被漏水損壞的部件圍圈保護(hù)起來(lái)，通過(guò)漏水保護(hù)槽將微動(dòng)臺(tái)底板上出現(xiàn)的漏水收集，使漏水不會(huì)影響微動(dòng)臺(tái)底板上電氣部件的運(yùn)行。少量漏水被漏水保護(hù)槽內(nèi)的吸水材料吸附，不會(huì)影響其他電氣部件，大量漏水則可很快匯集到漏水保護(hù)槽的最低點(diǎn)位置，通過(guò)安裝于最低點(diǎn)位置的檢測(cè)傳感器發(fā)出漏水信號(hào)。本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置可以根據(jù)需要設(shè)計(jì)微動(dòng)臺(tái)底板中漏水保護(hù)槽的分布，實(shí)現(xiàn)對(duì)微動(dòng)臺(tái)底板全范圍內(nèi)保護(hù)，不影響微動(dòng)底板的正常功能及性能，可保證各部件正常安裝，并能保證其精度，同時(shí)滿足剛度及強(qiáng)度要求。漏水被集中于漏水保護(hù)槽中的一處位置進(jìn)行檢測(cè)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用的傳感器少，便于檢測(cè)和控制，節(jié)約成本。


圖I為現(xiàn)有技術(shù)的光刻機(jī)微動(dòng)臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽的分布結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。本發(fā)明所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置可利用多種替換方式實(shí)現(xiàn)，下面是通過(guò)較佳的實(shí)施例來(lái)加以說(shuō)明，當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無(wú)疑涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。請(qǐng)參看圖2，圖2為本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置中，所述工件臺(tái)包括底板10、所述底板10上安裝有電機(jī)安裝座
11、冷卻水管12、冷卻水接頭13、電氣接頭14及電氣線纜15。所述漏水保護(hù)裝置包括漏水保護(hù)槽16，所述漏水保護(hù)槽16設(shè)置于所述底板10中。請(qǐng)參看圖3，圖3為本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽16設(shè)置于所述微動(dòng)臺(tái)底板10中，所述漏水保護(hù)槽16的底面形狀為矩形、弧形或V型等，所述漏水保護(hù)槽16的V型底面及側(cè)面上均貼有隔水材料162，所述漏水保護(hù)槽16內(nèi)隔水材料162之上的空隙內(nèi)均填充吸水材料161，優(yōu)選的，填充的吸水材料161的表面同所述微動(dòng)臺(tái)底板10齊平。所述隔水材料162可以為聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。所述吸水材料161為高吸水性樹(shù)脂或高吸水性塑料或海綿。請(qǐng)參看圖4，圖4為本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽的分布結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置上的漏水保護(hù)槽16分布于所述微動(dòng)臺(tái)底板10上安裝有所述冷卻水管12及冷卻水接頭13及需進(jìn)行漏水保護(hù)的電氣部件的一側(cè)。所述微動(dòng)臺(tái)底板10上分布的漏水保護(hù)槽16為多條，且優(yōu)選其相互貫通，所述相互貫通的各條漏水保護(hù)槽16V型底面的最底部均具有一定的傾斜度，所有相互貫通的漏水保護(hù)槽16V型底面的最底部中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所有相互貫通的漏水保護(hù)槽16中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器163。對(duì)于無(wú)法實(shí)現(xiàn)相互貫通的各條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽16，則每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽16V型底面的最底部均具有一定的傾斜度，每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽16V型底面的最底部中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入獨(dú)立的漏水保護(hù)槽16中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器163。為了盡可能的精簡(jiǎn)檢測(cè)傳感器163的安裝數(shù)量，以便于對(duì)檢測(cè)傳感器的控制，同時(shí)也可精簡(jiǎn)裝置結(jié)構(gòu)并且節(jié)約成本。本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置底板上一旦出現(xiàn)漏水現(xiàn)象則漏水即會(huì)滲透到漏水 保護(hù)槽16中。當(dāng)有少量漏水時(shí)，水很快會(huì)被漏水保護(hù)槽16內(nèi)填充的吸水材料161吸收，由于漏水保護(hù)槽16的底面及側(cè)面均貼附有隔水材料162，漏水保護(hù)槽16內(nèi)滲入的漏水不會(huì)滲透到微動(dòng)臺(tái)底板10的其他區(qū)域內(nèi)，可以有效保護(hù)微動(dòng)臺(tái)底板10上的電氣設(shè)備；當(dāng)有大量漏水時(shí)，漏水流入漏水保護(hù)槽16并沿著漏水保護(hù)槽16底部的傾斜角流動(dòng)最終匯集到漏水保護(hù)槽16的最低點(diǎn)位置，經(jīng)由安裝在最低點(diǎn)位置處的檢測(cè)傳感器163檢測(cè)出漏水并發(fā)出漏水信號(hào)。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，所述工件臺(tái)包括底板、安裝于所述底板上的冷卻水管、冷卻水接頭及電氣部件，其特征在于，所述漏水保護(hù)裝置包括漏水保護(hù)槽，所述漏水保護(hù)槽設(shè)置于所述底板中；所述漏水保護(hù)槽分布于所述底板上所述冷卻水管、冷卻水接頭及需進(jìn)行漏水保護(hù)的電氣部件的一側(cè)；所述漏水保護(hù)槽的底面及側(cè)面上均貼有隔水材料。
2.如權(quán)利要求I所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互貫通，所述相互貫通的各條漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所有相互貫通的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入所有相互貫通的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器。
3.如權(quán)利要求2所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述底板中還設(shè)置有不能同所述相互貫通的漏水保護(hù)槽相貫通的獨(dú)立的漏水保護(hù)槽，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，每條所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低 點(diǎn)位置，使得流入所述獨(dú)立的漏水保護(hù)槽中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器。
4.如權(quán)利要求I所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保護(hù)槽為多條且相互獨(dú)立，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面均具有一定的傾斜度，所述每條獨(dú)立的漏水保護(hù)槽的底面中具有一處深度最深的最低點(diǎn)位置，使得流入其中的水流均能夠匯集到所述最低點(diǎn)位置，在所述最低點(diǎn)位置處安裝有檢測(cè)傳感器。
5.如權(quán)利要求I至4中任一權(quán)利要求所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述漏水保護(hù)槽內(nèi)所述隔水材料之上的空隙內(nèi)均填充有吸水材料。
6.如權(quán)利要求5所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述吸水材料的表面同所述底板齊平。
7.如權(quán)利要求5所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述吸水材料為高吸水性樹(shù)脂或高吸水性塑料或海綿。
8.如權(quán)利要求I所述的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，其特征在于，所述隔水材料為聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置，所述工件臺(tái)包括底板、安裝于所述底板上的冷卻水管、冷卻水接頭及電氣部件，所述漏水保護(hù)裝置包括漏水保護(hù)槽，所述漏水保護(hù)槽設(shè)置于所述底板中；所述漏水保護(hù)槽分布于所述底板上所述冷卻水管、冷卻水接頭及需進(jìn)行漏水保護(hù)的電氣部件的一側(cè)；所述漏水保護(hù)槽的底面及側(cè)面上均貼有隔水材料。本發(fā)明的工件臺(tái)漏水保護(hù)裝置可以根據(jù)需要設(shè)計(jì)微動(dòng)臺(tái)底板中漏水保護(hù)槽的分布，實(shí)現(xiàn)對(duì)微動(dòng)臺(tái)底板全范圍內(nèi)保護(hù)。漏水被集中于漏水保護(hù)槽中的一處位置進(jìn)行檢測(cè)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用的傳感器少，便于檢測(cè)和控制，節(jié)約成本。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102736433SQ20111008796
公開(kāi)日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2011年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月8日
發(fā)明者范哲光, 齊芊楓 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司, 上海微高精密機(jī)械工程有限公司