專利名稱：光半導(dǎo)體元件模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光通信用的光半導(dǎo)體元件模塊，特別涉及能夠充分密封光半導(dǎo)體元件并且能夠降低制造成本的光半導(dǎo)體元件模塊。
背景技術(shù)：
在光通信用的光半導(dǎo)體元件模塊中，在蓋部(cap)上安裝有用于對光半導(dǎo)體元件的出射光進行聚光的透鏡。以往，作為透鏡，使用玻璃透鏡。利用該玻璃透鏡，實現(xiàn)光半導(dǎo)體元件的密封和聚光這二者(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1 日本特開2005 - 352075號公報。但是，由于玻璃透鏡價格高，所以，以往的光半導(dǎo)體元件模塊的制造成本高。另一方面，作為低價的透鏡，存在塑料透鏡，但是，塑料透鏡由于與其他材料的關(guān)系而不能夠充分地密封光半導(dǎo)體元件。因此，在需要進行密封的光通信用的光半導(dǎo)體元件模塊中，不能夠使用低價的塑料透鏡。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述課題而提出的，其目的在于得到一種能夠充分地密封光半導(dǎo)體元件并且能夠降低制造成本的光半導(dǎo)體元件模塊。本發(fā)明的光半導(dǎo)體元件模塊具有芯柱；光半導(dǎo)體元件，安裝在所述芯柱上；蓋部，以覆蓋所述光半導(dǎo)體元件的方式固定在所述芯柱上；塑料透鏡，安裝在所述蓋部上，對所述光半導(dǎo)體元件的出射光進行聚光；玻璃板，安裝在所述蓋部上，密封所述光半導(dǎo)體元件。根據(jù)本發(fā)明，能夠充分地密封光半導(dǎo)體元件并且能夠降低制造成本。


圖1是表示實施方式1的光半導(dǎo)體元件模塊的剖面圖。圖2是表示實施方式1的光半導(dǎo)體元件模塊的變形例的剖面圖。圖3是表示實施方式2的光半導(dǎo)體元件模塊的剖面圖。圖4是表示實施方式2的光半導(dǎo)體元件模塊的變形例1的剖面圖。圖5是表示實施方式2的光半導(dǎo)體元件模塊的變形例2的剖面圖。圖6是表示實施方式3的光半導(dǎo)體元件模塊的剖面圖。圖7是表示實施方式3的光半導(dǎo)體元件模塊的變形例的剖面圖。圖8是表示實施方式4的光半導(dǎo)體元件模塊的剖面圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下
1芯柱
4半導(dǎo)體激光器(光半導(dǎo)體元件)
5蓋部5a蓋部(弟""蓋部) 5b蓋部(第二蓋部) 6塑料透鏡 7玻璃板 9涂敷膜。
具體實施例方式參照附圖對本發(fā)明的實施方式的光半導(dǎo)體元件模塊進行說明。對相同的結(jié)構(gòu)要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，有時省略重復(fù)說明。實施方式1
圖1是表示實施方式1的光半導(dǎo)體元件模塊的剖面圖。在芯柱1上經(jīng)由散熱裝置(heat sink) 2和副固定件3安裝有半導(dǎo)體激光器4 (光半導(dǎo)體元件)。以覆蓋半導(dǎo)體激光器4的方式在芯柱1上固定有蓋部5。在蓋部5上安裝有塑料透鏡6和玻璃板7。塑料透鏡6對半導(dǎo)體激光器4的出射光進行聚光。玻璃板7密封半導(dǎo)體激光器4。這樣，使用玻璃板7，由此，能夠充分地密封半導(dǎo)體激光器4。并且，使用塑料透鏡 6，由此，能夠降低制造成本。圖2是表示實施方式1的光半導(dǎo)體元件模塊的變形例的剖面圖。蓋部5在安裝塑料透鏡6的位置具有標(biāo)記8(引導(dǎo)件)。利用該標(biāo)記8，能夠位置精度良好地將塑料透鏡6安裝在蓋部5上。實施方式2
圖3是表示實施方式2的光半導(dǎo)體元件模塊的剖面圖。安裝有塑料透鏡6的蓋部5a (第一蓋部)和安裝有玻璃板7的蓋部恥(第二蓋部)為不同構(gòu)件。蓋部fe重疊在蓋部恥之上。由此，能夠以現(xiàn)有技術(shù)制造蓋部fe、5b。圖4是表示實施方式2的光半導(dǎo)體元件模塊的變形例1的剖面圖。在該變形例中， 在蓋部fe之上重疊有蓋部恥，塑料透鏡6比玻璃板7更靠近半導(dǎo)體激光器4。由此，由于塑料透鏡6靠近發(fā)光部位，所以，容易進行聚光。圖5是表示實施方式2的光半導(dǎo)體元件模塊的變形例2的剖面圖。在該變形例中， 上側(cè)的蓋部如嵌合到下側(cè)的蓋部恥上。由此，如果下側(cè)的蓋部恥的位置被決定，則對于上側(cè)的蓋部fe來說，位置自動地被決定，所以，不需要進行對位。實施方式3
圖6是表示實施方式3的光半導(dǎo)體元件模塊的剖面圖。安裝有塑料透鏡6的蓋部fe 和安裝有玻璃板7的蓋部恥為不同構(gòu)件。蓋部fe與蓋部恥分別被固定在芯柱1上。蓋部fe覆蓋蓋部恥。由此，能夠以現(xiàn)有技術(shù)制造蓋部fe、5b，并且能夠以現(xiàn)有技術(shù)將蓋部5a、 5b固定在芯柱1上。圖7是表示實施方式3的光半導(dǎo)體元件模塊的變形例的剖面圖。在該變形例中， 外側(cè)的蓋部fe的內(nèi)壁和內(nèi)側(cè)的蓋部恥的外壁接觸。由此，如果內(nèi)側(cè)的蓋部恥的位置被決定，則對于外側(cè)的蓋部fe來說，位置自動地被決定，所以，不需要進行對位。實施方式4
圖8是表示實施方式4的光半導(dǎo)體元件模塊的剖面圖。在本實施方式中，代替實施方式1 3的玻璃板7，設(shè)置有SiN或SiO的涂敷膜9。涂敷膜9從塑料透鏡6之上涂敷蓋部 5，密封半導(dǎo)體激光器4。由此，能夠得到與實施方式1相同的效果。此外，也可以將涂敷膜 9設(shè)置在蓋部5的內(nèi)側(cè)。
權(quán)利要求
1.一種光半導(dǎo)體元件模塊，其特征在于，具有 芯柱；光半導(dǎo)體元件，安裝在所述芯柱上；蓋部，以覆蓋所述光半導(dǎo)體元件的方式，固定在所述芯柱上；塑料透鏡，安裝在所述蓋部上，對所述光半導(dǎo)體元件的出射光進行聚光；以及玻璃板，安裝在所述蓋部上，密封所述光半導(dǎo)體元件。
2.如權(quán)利要求1所述的光半導(dǎo)體元件模塊，其特征在于， 所述蓋部在安裝所述塑料透鏡的位置具有標(biāo)記。
3.如權(quán)利要求1所述的光半導(dǎo)體元件模塊，其特征在于，所述蓋部具有安裝有所述塑料透鏡的第一蓋部和安裝有所述玻璃板的第二蓋部， 所述第一蓋部與所述第二蓋部中的一個重疊在另一個之上。
4.如權(quán)利要求3所述的光半導(dǎo)體元件模塊，其特征在于，所述第二蓋部重疊在所述第一蓋部上，所述塑料透鏡比所述玻璃板更靠近所述光半導(dǎo)體元件。
5.如權(quán)利要求3所述的光半導(dǎo)體元件模塊，其特征在于，所述第一蓋部和所述第二蓋部中的上側(cè)的蓋部嵌合在下側(cè)的蓋部上。
6.如權(quán)利要求1所述的光半導(dǎo)體元件模塊，其特征在于，所述蓋部具有安裝有所述塑料透鏡的第一蓋部和安裝有所述玻璃板的第二蓋部， 所述第一蓋部和所述第二蓋部分別固定在所述芯柱上，并且，所述第一蓋部和所述第二蓋部中的一方覆蓋另一方。
7.如權(quán)利要求6所述的光半導(dǎo)體元件模塊，其特征在于，所述第一蓋部和所述第二蓋部中的外側(cè)的蓋部的內(nèi)壁和內(nèi)側(cè)的蓋部的外壁接觸。
8.一種光半導(dǎo)體元件模塊，其特征在于，具有 光半導(dǎo)體元件；芯柱，搭載所述光半導(dǎo)體元件；蓋部，以覆蓋所述光半導(dǎo)體元件的方式固定在所述芯柱上；塑料透鏡，安裝在所述蓋部上，對所述光半導(dǎo)體元件的出射光進行聚光；以及涂敷膜，涂敷所述蓋部，密封所述光半導(dǎo)體元件。
全文摘要
本發(fā)明涉及能夠充分密封光半導(dǎo)體元件并且能夠降低制造成本的光半導(dǎo)體元件模塊。在芯柱(1)上安裝有半導(dǎo)體激光器(4)。以覆蓋半導(dǎo)體激光器(4)的方式在芯柱(1)上固定有蓋部(5)。在蓋部(5)上安裝有塑料透鏡(6)和玻璃板(7)。塑料透鏡(6)對半導(dǎo)體激光器(4)的出射光進行聚光。玻璃板(7)密封半導(dǎo)體激光器(4)。這樣，使用玻璃板(7)，從而能夠充分地密封半導(dǎo)體激光器(4)。并且，使用塑料透鏡(6)，從而能夠降低制造成本。
文檔編號G02B6/42GK102213803SQ20111008782
公開日2011年10月12日 申請日期2011年4月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月9日
發(fā)明者田代賀久 申請人:三菱電機株式會社