專利名稱：造型物的制造方法及制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有按1維或2維排列的且由樹脂材料構(gòu)成的多個透鏡部的造型 物的制造方法及制造裝置。
背景技術(shù)：
近幾年，在移動電話機(jī)或PDA (Personal Digital Assistant)等的電子設(shè)備的 便攜終端上搭載有小型且薄型的攝像單元。這種攝像單元通常具備CXD (Charge Coupled Device)圖像傳感器或 CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor)圖像傳感器等 的固體攝像元件和在固體攝像元件上使被攝體像成像的透鏡。隨著便攜終端的小型化或薄型化，而且隨著便攜終端的普及，對其所搭載的攝像 單元也要求進(jìn)一步的小型化或薄型化，而且要求生產(chǎn)效率。對于這種要求公知有以下方法 在具有按ι維或2維排列的多個固體攝像元件和保持這些固體攝像元件的基板部的傳感器 陣列上，將同樣具有按1維或2維排列的多個透鏡部和保持這些透鏡部的基板部的透鏡陣 列重疊1個或多個，且使它們一體地組合之后，按照分別包括透鏡部及固體攝像元件的方 式將透鏡陣列的基板部及傳感器陣列的基板部切斷來進(jìn)行攝像單元的批量生產(chǎn)。以下，將 基板部所保持的各透鏡部稱為晶圓級透鏡，將這些透鏡部的組稱為晶圓級透鏡陣列。作為以往的晶圓級透鏡或晶圓級透鏡陣列，公知有在由玻璃構(gòu)成的基板部上接合 了由樹脂材料構(gòu)成的透鏡部的晶圓級透鏡或晶圓級透鏡陣列(例如，參照專利文獻(xiàn)1、2)。 而且，也公知有多個透鏡部和將這些透鏡部相互連結(jié)的基板部被樹脂材料一體形成的晶圓 級透鏡或晶圓級透鏡陣列(例如，參照專列文獻(xiàn)3)。雖然均通過模(也稱模具)的使用來 形成由樹脂材料構(gòu)成的透鏡部，但是樹脂材料在硬化的過程中收縮。若樹脂材料收縮，則模 的轉(zhuǎn)印面的形狀不能正確地轉(zhuǎn)印到樹脂材料，所以例如由樹脂材料構(gòu)成的透鏡部的光學(xué)特 性的下降之虞存在。專利文獻(xiàn)1 日本專利第3926380號公報專利文獻(xiàn)2 國際公開第08/102648號說明書專利文獻(xiàn)3 國際公開第08/093516號說明書
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述情況而作成的，其目的在于，將在具有按1維或2維排列的且由樹 脂材料構(gòu)成的多個透鏡部的造型物中的各透鏡部精度良好地進(jìn)行形成。(1) 一種造型物(也稱成型物)的制造方法，其中，該造型物具有按1維或2維排 列的多個透鏡部和將該透鏡部相互連結(jié)的基板部，并且該透鏡部及該基板部由樹脂材料一 體形成；再有，該造型物的制造方法中，在與上述造型物的一方的表面整合的第1模的轉(zhuǎn)印 面和與該造型物的相反側(cè)的表面整合的第2模的轉(zhuǎn)印面之間使上述樹脂材料硬化，根據(jù)伴 隨上述樹脂材料的硬化的收縮，而使上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔縮 小，并且該第1模的轉(zhuǎn)印面及該第2模的轉(zhuǎn)印面和上述樹脂材料的密接得以維持。
4
(2) 一種造型物的制造方法中，該造型物具有基板部和在該基板部的表面按1維 或2維排列的多個透鏡部，且該透鏡部由樹脂材料形成；再有，在該造型物的制造方法中， 在與上述透鏡部的表面整合的模的轉(zhuǎn)印面與上述基板部的表面之間使上述樹脂材料硬化， 根據(jù)伴隨上述樹脂材料的硬化的收縮，將上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面的間隔縮 小，且該模的轉(zhuǎn)印面和上述樹脂材料的密接得以維持。 (3) 一種造型物的制造裝置，該造型物具有按1維或2維狀排列的多個透鏡部和將 該透鏡部相互連結(jié)的基板部，并且該透鏡部及該基板部由樹脂材料一體形成；該造型物的 制造裝置具備第1模及第2模，該第1模具有與上述造型物的一方的表面整合的轉(zhuǎn)印面， 該第2模具有與該造型物的相反側(cè)的表面整合的轉(zhuǎn)印面；機(jī)構(gòu)部，按照使上述第1模的轉(zhuǎn)印 面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔縮小的方式，使該第1模及該第2模相對移動；控制部，根 據(jù)在上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面之間被硬化的上述樹脂材料的硬化所伴隨 的收縮，驅(qū)動上述機(jī)構(gòu)部。(4) 一種造型物的制造裝置中，該造型物具有基板部和在該基板部的表面按1維 或2維排列的多個透鏡部，且該透鏡部由樹脂材料形成，再有，該造型物的制造裝置具備 模，具有與上述透鏡部的表面整合的轉(zhuǎn)印面，且按使該轉(zhuǎn)印面與上述基板部的表面對置的 方式配置；機(jī)構(gòu)部，按照上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面的間隔縮小的方式，使該模移 動；控制部，根據(jù)在上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面之間被硬化的上述樹脂材料的硬 化所伴隨的收縮，驅(qū)動上述機(jī)構(gòu)部。根據(jù)本發(fā)明，即使由于伴隨樹脂材料的硬化的收縮，也可維持模的轉(zhuǎn)印面和樹脂 材料的密接，并將模的轉(zhuǎn)印面的形狀正確地轉(zhuǎn)印。由此，可以精度良好地形成由樹脂材料構(gòu) 成的透鏡部。
圖1是表示用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式的造型物的一例的圖，圖1㈧是造型物的 平視圖，圖I(B)是該圖I(A)中的B-B線剖面圖。圖2是表示圖1的造型物的變形例的剖面圖。圖3是表示圖1的造型物的制造裝置的簡要結(jié)構(gòu)的正視圖。圖4是表示利用圖3的制造裝置的造型物的制造工序的示意圖。圖5是表示時間和樹脂材料的粘度(硬度)的一般關(guān)系的圖表。圖6是表示圖1的造型物的變形例的圖，圖6(A)是造型物的平視圖，圖6(B)是該 圖6(A)的B-B線剖面圖。圖7是表示圖6的造型物的制造裝置的簡要結(jié)構(gòu)的正視圖。圖8是表示利用圖6的制造裝置的造型物的制造工序的示意圖。圖9是表示用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式的造型物的其他的例子的圖，圖9(A)是造 型物的平視圖，圖9(B)是該圖9㈧的B-B線剖面圖。圖10是表示圖9的造型物的制造裝置的簡要結(jié)構(gòu)的正視圖。圖11是表示利用圖9的制造裝置的造型物的制造工序的示意圖。圖中100-晶圓級透鏡陣列(造型物)，101-透鏡部，102-基板部，103a-透鏡面， 103b-透鏡面，110-制造裝置，111-上模(第1模)，112_上模的轉(zhuǎn)印面，113-下模(第2模)，114-下模的轉(zhuǎn)印面，115-機(jī)構(gòu)部，118-控制部，119-壓力傳感器，200-晶圓級透鏡陣 列(造型物)，201-透鏡部，202-基板部，203-透鏡面，210-制造裝置，211-模，212-模的轉(zhuǎn) 印面，215-機(jī)構(gòu)部，218-控制部，300-母版(造型物)，301-透鏡部，302-基板部，303-透鏡 面，310-制造裝置，311-模，312-模的轉(zhuǎn)印面，315-機(jī)構(gòu)部，318-控制部，M-樹脂材料
具體實(shí)施例方式在圖1表示作為具有由按1維或2維排列的且由樹脂材料構(gòu)成的多個透鏡部的造 型物的一例的晶圓級透鏡陣列。圖1所示的晶圓級透鏡陣列100具有以預(yù)定間距按2維排 列的多個透鏡部101和將這些透鏡部101相互連結(jié)的大致圓形的基板部102。透鏡部101和基板部102由光透射性的樹脂材料一體形成。作為形成透鏡部101 及基板部102的樹脂材料，例如使用熱硬化性的環(huán)氧樹脂或丙烯酸樹脂、或者光硬化性的 環(huán)氧樹脂或丙烯酸樹脂等。而且，可以使用在上述樹脂分散有無機(jī)微粒子的有機(jī)無機(jī)復(fù)合材料。作為無機(jī)微 粒子，例如可以舉氧化物微粒子、硫化物微粒子、硒化物微粒子、碲化物微粒子。更加具體 地，例如可以舉氧化鋯、氧化鈦、氧化鋅、氧化錫、硫化鋅等的微粒子。無機(jī)微粒子既可以單獨(dú)使用也可以并用2種以上。而且，也可以是由多個成分形 成的復(fù)合物。而且，對無機(jī)微粒子而言，基于光催化活性減少、吸水率減少等的各種目的，或 者摻雜異種金屬，或者由二氧化硅、氧化鋁等的異種金屬氧化物覆蓋表面層，或者由硅烷偶 聯(lián)劑、鈦酸酯偶聯(lián)劑、具有有機(jī)酸(羧酸類、磺酸鹽類、磷酸類、膦酸類等)或有機(jī)酸基的分 散劑等進(jìn)行表面裝飾也可。若無機(jī)微粒子的數(shù)平均粒子尺寸過小，則有時物質(zhì)的特性變化。而且，樹脂基體和 無機(jī)微粒子的折射率差大時，若無機(jī)微粒子的數(shù)平均粒子尺寸過大，則瑞利散射的影響變 得顯著。因此，優(yōu)選為Inm 15nm，更加優(yōu)選為2nm 10nm，尤其優(yōu)選為3nm 7nm。而且， 無機(jī)微粒子的粒子尺寸分布越窄越優(yōu)選。這種單分散粒子的定義的方式為多種多樣，但是 如專利公開2006-160992號所記載的數(shù)值規(guī)定范圍適合于優(yōu)選的粒徑分布范圍。在此，上 述的數(shù)平均1次粒子尺寸例如可以由X射線衍射(XRD)裝置或者透射式電子顯微鏡(TEM) 等進(jìn)行測量。作為無機(jī)微粒子的折射率，在22°C、589nm的波長下，優(yōu)選為1. 90 3. 00，更加優(yōu) 選為1. 90 2. 70，尤其優(yōu)選為2. 00 2. 70。而且，無機(jī)微粒子對樹脂基體的含量從透明 性和高折射率化的觀點(diǎn)來看優(yōu)選為5質(zhì)量％以上，更加優(yōu)選為10 70質(zhì)量％，尤其優(yōu)選為 30 60質(zhì)量％。透鏡部101在其表背面形成有預(yù)定的透鏡面103a、103b，在圖示的例子中，均設(shè)為 凸的球面。另外，透鏡面103a、103b不限于凸的球面，也可以為凹的球面或非球面，可以使 凸或凹的球面、或者非球面各種各樣地組合。在圖2表示透鏡部101的其他的例子。圖2㈧所示的變形例的透鏡部101中，其一方的透鏡面103a成為凹面、而其相反 側(cè)的透鏡面103b成為凸面。圖2(B)所示的變形例的透鏡部101的透鏡面103a、103b均成 為凹面。而且，圖2(C)所示的變形例的透鏡部101中，其一方的透鏡面103a成為具有凸部 及凹部的面而其相反側(cè)的透鏡面103b成為凸面。圖2(D)所示的變形例的透鏡部101的透鏡面103a、103b均成為具有凸部及凹部的面。而且，圖2(E)所示的變形例的透鏡部101的一方的透鏡面103a成為具有凸部及 凹部的面、其凹部的底位于基板部102的厚度內(nèi)；其相反側(cè)的透鏡面103b成為凸面。而且，圖2(F)所示的變形例的透鏡部101中，其一方的透鏡面103a成為凹面，其 整體位于基板部102的厚度內(nèi)；其相反側(cè)的透鏡面103b成為凸面。通過將透鏡部101和基板部102由樹脂材料一體形成，也能采用如圖2 (E)所示 的、透鏡部101的一方的透鏡面103a的一部分鉆進(jìn)基板部102的厚度內(nèi)的透鏡形狀；或者 如圖2(F)所示的、透鏡部101的一方的透鏡面103a的整體鉆進(jìn)基板部102的厚度內(nèi)的透 鏡形狀，而使透鏡的設(shè)計自由度提高。在圖3表示制造晶圓級透鏡陣列100的制造裝置的一例。另外，以作為形成透鏡 部101、基板部102的樹脂材料而使用熱硬化性樹脂為例進(jìn)行說明。圖3所示的制造裝置 110具備上模111及下模113、機(jī)構(gòu)部115、樹脂供給部116、加熱部117、控制部118。上模111具有與晶圓級透鏡陣列100的上側(cè)的表面整合(也稱匹配)的轉(zhuǎn)印面 112。圖1所示的晶圓級透鏡陣列100的透鏡部101以預(yù)定間距按2維排列，在晶圓級透鏡 陣列100的上側(cè)的表面包括透鏡部101的透鏡面103a，透鏡面103a是凸的球面。由此，在 上模111的轉(zhuǎn)印面112上與透鏡面103a相反形狀的凹的球面112a以與透鏡部101相同間 距按2維排列。同樣，在下模113也設(shè)置有與晶圓級透鏡陣列100的下側(cè)的表面整合的轉(zhuǎn) 印面114。在上模111設(shè)置有對通過與樹脂材料的接觸而作用于轉(zhuǎn)印面的壓力進(jìn)行檢測的 壓力傳感器119。在圖示的例子中，壓力傳感器119被設(shè)置于在轉(zhuǎn)印面112上晶圓級透鏡陣 列100的基板部102的表面的成型部位、即除了按2維排列的凹的球面112a以外的平坦面 112b。另外，通過與硬化之前的有流動性的樹脂材料的接觸而作用于轉(zhuǎn)印面112的壓力可 以看作為均勻，所以即使是1個壓力傳感器119也足夠，但是優(yōu)選在轉(zhuǎn)印面112分散而設(shè)置 多個壓力傳感器。而且，在圖示的例子中，壓力傳感器119被設(shè)置于上模111，但是也可以被 設(shè)置于下模113，而且，也可以被設(shè)置于上模111及下模113的雙方。上模111及下模113按照各自的轉(zhuǎn)印面112、114對置的方式配置，下模114安裝 于底座120而使其位置固定，上模111由機(jī)構(gòu)部115支承。機(jī)構(gòu)部115使上模111升降，以 使上模111的轉(zhuǎn)印面112和下模113的轉(zhuǎn)印面114的間隔縮小或擴(kuò)大。作為使上模111升 降的機(jī)構(gòu)，例如可以利用滾珠絲杠、油缸活塞等的適當(dāng)?shù)臋C(jī)構(gòu)。樹脂供給部116將樹脂材料供給到下模113的轉(zhuǎn)印面114上。另外，考慮伴隨樹 脂材料的硬化的收縮，所供給的樹脂材料的量被設(shè)定成比晶圓級透鏡陣列100的體積多若干。加熱部117分別加熱上模111及下模113，并對與上模111的轉(zhuǎn)印面112及下模 113的轉(zhuǎn)印面114接觸的樹脂材料供給其硬化所需的熱。因而，上模111及下模113由導(dǎo)熱 率優(yōu)異的例如鎳等的金屬材料而形成?？刂撇?18根據(jù)由壓力傳感器119檢測的壓力將機(jī)構(gòu)部115驅(qū)動，而使上模111 升降，調(diào)整上模111的轉(zhuǎn)印面112和下模113的轉(zhuǎn)印面114的間隔；而且，對樹脂供給部116 及加熱部117的工作進(jìn)行控制，也對樹脂材料的供給量或上模111及下模113的溫度等進(jìn) 行調(diào)節(jié)。
以下對利用具備以上的結(jié)構(gòu)的制造裝置110的晶圓級透鏡陣列100的制造工序進(jìn) 行說明。如圖4㈧所示，首先從樹脂供給部116將樹脂材料M供給到下模113的轉(zhuǎn)印面 114上，樹脂材料M在下模113的轉(zhuǎn)印面114上遍布。樹脂材料M的流動性比較低時，例如 在樹脂供給部116預(yù)熱樹脂材料M,并以流動性提高后的狀態(tài)將樹脂材料M供給到下模113 的轉(zhuǎn)印面114上。另外，由加熱部117加熱下模113并在下模113的轉(zhuǎn)印面114上預(yù)熱樹 脂材料M,并在下模113的轉(zhuǎn)印面114上使樹脂材料M的流動性提高也可。如圖4(B)所示，樹脂材料M在下模113的轉(zhuǎn)印面114上遍布之后，樹脂供給部116 從下模113上退避，然后，上模111下降，在上模111的轉(zhuǎn)印面112與下模113的轉(zhuǎn)印面114 之間夾有樹脂材料M。樹脂材料M與上模111的轉(zhuǎn)印面112及下模113的轉(zhuǎn)印面114密接， 將兩轉(zhuǎn)印面112、114的形狀轉(zhuǎn)印到樹脂材料M。其次，由加熱部117分別加熱上模111及下模113，將熱供給到與上模111的轉(zhuǎn)印 面112及下模113的轉(zhuǎn)印面114接觸的樹脂材料M。由此，在轉(zhuǎn)印有兩轉(zhuǎn)印面112、114的形 狀的狀態(tài)下使樹脂材料M硬化。在兩轉(zhuǎn)印面112、114的凹的球面112a、114a之間所夾持的 樹脂材料M，形成在表背面具有凸的球面的透鏡面103a、103b的透鏡部101 ；而且，在兩轉(zhuǎn)印 面112、114的除了凹的球面以外的平坦面112b、114b之間所夾持的樹脂材料M，形成用于相 互連結(jié)透鏡部101的基板部102。在此，如圖4(C)所示，在樹脂材料M硬化的過程中，在樹脂材料M會產(chǎn)生收縮，樹 脂材料M的收縮力在上模111的轉(zhuǎn)印面112及下模113的轉(zhuǎn)印面114與樹脂材料M要分離 的方向上發(fā)揮作用(在圖4(C)中，為了說明樹脂材料M的收縮力的作用方向，方便起見表 示了兩轉(zhuǎn)印面112、114和樹脂材料M隔開的狀態(tài)，但是優(yōu)選不隔開而維持兩轉(zhuǎn)印面112、114 和樹脂材料M的密接)。由此，通過與樹脂材料M的接觸，作用于上模111的轉(zhuǎn)印面112及 下模113的轉(zhuǎn)印面114的壓力下降。該變動的壓力由上模111的轉(zhuǎn)印面112所設(shè)置的壓力 傳感器119檢測，被檢測的壓力所對應(yīng)的信號從壓力傳感器119傳送到控制部118?？刂撇?18對于在樹脂材料M的硬化過程中在上模111的轉(zhuǎn)印面112所作用的壓 力，存儲有預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力。控制部118根據(jù)從壓力傳感器119傳送的信號，按照所儲 存的設(shè)定壓力由壓力傳感器119檢測出的方式，驅(qū)動機(jī)構(gòu)部115而使上模111下降。伴隨 于此，如圖4(D)所示，按以下方式發(fā)揮作用，即，上模111的轉(zhuǎn)印面112和下模113的轉(zhuǎn)印 面114的間隔被縮小，在仿真兩轉(zhuǎn)印面112、114而使樹脂材料M變形的同時，維持兩轉(zhuǎn)印面 112、114和樹脂材料M的密接。這樣，即使由于與樹脂材料M的硬化相伴的收縮，也可將兩 轉(zhuǎn)印面112、114和樹脂材料M的密接加以維持，并將兩轉(zhuǎn)印面112、114的形狀正確地轉(zhuǎn)印。 由此，由樹脂材料M可精度良好地形成透鏡部101?？刂撇?18所存儲的設(shè)定壓力例如也可以設(shè)定成在樹脂材料M的硬化過程中為恒 定的壓力。此時的壓力也可以是通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)部115而使之發(fā)生的，也可以由上模111的 自重而使壓力發(fā)生。作為優(yōu)選，控制部118所存儲的設(shè)定壓力，如圖12所示，樹脂材料M越 硬就越高。圖5表示時間T和樹脂材料的粘度(硬度)μ的一般關(guān)系。另外，時間T對應(yīng) 于樹脂材料所接受的累計(積算)的能量(熱量)。而且，在圖5表示設(shè)定壓力P的推移， 即施加于樹脂材料的壓力的推移。如圖5所示，樹脂材料M通過預(yù)熱會暫時粘度下降，其后，隨著硬化反應(yīng)的進(jìn)行，粘
8度逐漸變高。設(shè)定壓力按照與預(yù)熱后的樹脂材料的粘度的上升對應(yīng)的方式逐漸變高。這樣， 在樹脂材料M變得越硬而設(shè)定壓力P設(shè)得越高的情況下，對于逐漸硬化的樹脂材料M就可 以更正確地轉(zhuǎn)印上模111的轉(zhuǎn)印面112及下模113的轉(zhuǎn)印面114的形狀。另外，在圖示的 例中，至由預(yù)熱而下降的粘度返回到常溫中的粘度μ ^為止，設(shè)定壓力不依賴于樹脂材料M 的粘度的上升而設(shè)為恒定。這是為了防止通過對粘度極低的樹脂材料M施加比較高的壓力 而樹脂材料M從上模111和下模113的間隙漏出。在上述的例子中，以形成晶圓級透鏡陣列100的透鏡部101、基板部102以及肋條 104的樹脂材料M是熱硬化性樹脂為例進(jìn)行了說明，但是也可以設(shè)為光硬化性樹脂。此時， 在制造裝置110中設(shè)置有將用于進(jìn)行樹脂材料的硬化反應(yīng)的光照射到樹脂材料的光源，而 且，上模111及下模113的至少一方由可使從光源射出的光透射的玻璃等材料而形成。在圖6表示上述的晶圓級透鏡陣列100的變形例。圖6所示的晶圓級透鏡陣列 200具有基板部202、在基板部202的表面以預(yù)定間距按2維排列的多個透鏡部201?；宀?02由如透明氧化鋁的光透射性的陶瓷或玻璃等形成，而透鏡部201由光 透射性的樹脂材料而形成并接合于基板部202的表面。作為形成透鏡部201的樹脂材料， 例如使用熱硬化性的環(huán)氧樹脂或丙烯酸樹脂、或者光硬化性的環(huán)氧樹脂或丙烯酸樹脂等。透鏡部201在其表面形成有預(yù)定的透鏡面203，在圖示的例子中設(shè)為凸的球面。另 外，透鏡面203不限于凸的球面，也可以為凹的球面，而且也可以為非球面。在圖7表示制造晶圓級透鏡陣列200的制造裝置的一例。另外，以形成透鏡部201 的樹脂材料使用熱硬化性樹脂的樹脂材料為例進(jìn)行了說明。圖7所示的制造裝置210具備 模211、機(jī)構(gòu)部215、樹脂供給部216、加熱部217、控制部218。模211具有與包括透鏡部201的透鏡面203的晶圓級透鏡陣列200的表面整合的 轉(zhuǎn)印面212。圖6所示的晶圓級透鏡陣列200的透鏡部201以預(yù)定間距按2維排列，透鏡 部201的透鏡面203為凸的球面，所以在模的轉(zhuǎn)印面212將與透鏡面203相反形狀的凹的 球面212a以與透鏡部201相同的節(jié)距按2維排列。模211按照轉(zhuǎn)印面212與在底座220所固定的基板部202的表面對置的方式配置， 并由機(jī)構(gòu)部215支承。機(jī)構(gòu)部215使模211升降，以使模211的轉(zhuǎn)印面212和基板部202的 間隔縮小或擴(kuò)大。樹脂供給部216將樹脂材料供給到基板部202上。加熱部217對模211 進(jìn)行加熱，并對模211的轉(zhuǎn)印面212所接觸的樹脂材料供給其硬化所需的熱。控制部218按照從供給到基板部202上的樹脂材料硬化開始起的時間而將機(jī)構(gòu)部 215驅(qū)動以使模211升降，來對模211的轉(zhuǎn)印面212和基板部202的表面的間隔進(jìn)行調(diào)整； 而且，對樹脂供給部216及加熱部217的工作進(jìn)行控制，也對樹脂材料的供給量或模211的 溫度等進(jìn)行調(diào)節(jié)。以下，說明利用如以上構(gòu)成的制造裝置210的晶圓級透鏡陣列200的制造工序。如圖8 (A)所示，首先，由樹脂供給部216將樹脂材料M供給到在基板部202上配 置透鏡部201的各部位。而且，如圖8(B)所示，模211下降，在模211的轉(zhuǎn)印面212與基板 部202的表面之間夾持有樹脂材料M。樹脂材料M密接于轉(zhuǎn)印面212的凹的球面212a，且 凹的球面212a的形狀被轉(zhuǎn)印到樹脂材料Μ。此時，在轉(zhuǎn)印面212和基板部202的表面之間 殘留若干的間隙G。其次，由加熱部217對模211進(jìn)行加熱，對該轉(zhuǎn)印面212的凹的球面212a所接觸的樹脂材料M供給熱。由此，在凹的球面212a的形狀已被轉(zhuǎn)印的狀態(tài)下使樹脂材料M硬化。 在凹的球面212a與基板部202的表面之間的所夾持的樹脂材料M會形成在表面具有凸的 球面的透鏡面203的透鏡部201。在此，如圖8(C)所示，在樹脂材料M硬化的過程中，在樹脂材料M會產(chǎn)生收縮，樹 脂材料M的收縮力在模211的轉(zhuǎn)印面212的凹的球面212a和樹脂材料M要分離的方向上 發(fā)揮作用(在圖8(C)中，為了說明樹脂材料M的收縮力的作用方向，方便起見表示了轉(zhuǎn)印 面212的凹的球面212a和樹脂材料M隔開的狀態(tài)，但是優(yōu)選不隔開而維持轉(zhuǎn)印面212的凹 的球面212a和樹脂材料M的密接)?？刂撇?18存儲有所預(yù)先測量的樹脂材料M的厚度 的經(jīng)時變化量(也稱隨時間變化量)，根據(jù)所存儲的經(jīng)時變化量，按照從樹脂材料M硬化開 始起的時間、即從基于加熱部217的模211加熱開始起的時間，驅(qū)動機(jī)構(gòu)部215并使模211 下降。伴隨于此，如圖8(D)所示，發(fā)揮以下作用，即，轉(zhuǎn)印面212和基板部202的表面的間 隔被縮小，在模仿真轉(zhuǎn)印面212的凹的球面212a而使樹脂材料M變形的同時，維持凹的球 面212a和樹脂材料M的密接。這樣，即使由于與樹脂材料M的硬化相伴的收縮，也可將凹 的球面212a和樹脂材料M的密接加以維持，并將凹的球面212a的形狀正確地轉(zhuǎn)印。由此， 由樹脂材料M可精度良好地形成透鏡部201。在上述的例子中，以形成晶圓級透鏡陣列200的透鏡部201的樹脂材料M為熱硬 化性樹脂為例進(jìn)行了說明，但是也可以設(shè)為光硬化性樹脂。而且，在維持模211的轉(zhuǎn)印面 212和樹脂材料M的密接時，根據(jù)所預(yù)先測量的樹脂材料M的厚度的經(jīng)時變化量，對應(yīng)從樹 脂材料M硬化開始起的時間將模211的轉(zhuǎn)印面212和基板部202的表面的間隔縮小，但是 代替此，也可以與圖3所示的晶圓級透鏡陣列100的制造裝置110同樣，設(shè)置對通過與樹脂 材料的接觸而作用于模211的轉(zhuǎn)印面212的壓力進(jìn)行檢測的壓力傳感器，在樹脂材料M硬 化的過程中按照所預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力由壓力傳感器檢測的方式將模211的轉(zhuǎn)印面212和 基板部202的表面的間隔縮小。而且，在圖3所示的晶圓級透鏡陣列100的制造裝置110中，在維持第1模111的 轉(zhuǎn)印面112及第2模113的轉(zhuǎn)印面114與樹脂材料M的密接時，也可以與圖7所示的晶圓級 透鏡陣列200的制造裝置210同樣地根據(jù)所預(yù)先測量的樹脂材料M的厚度的經(jīng)時變化量， 按照從樹脂材料M硬化開始起的時間而將兩轉(zhuǎn)印面112、114的間隔縮小。在圖3所示的晶圓級透鏡陣列100的制造裝置110及圖7所示的晶圓級透鏡陣列 200的制造裝置210中所使用的模111、113、211，通過使用具有與晶圓級透鏡陣列相同的表 面形狀的母版而被形成，例如將母版浸漬于鍍鎳液，在其中使鎳析出或堆積于母版的表面， 根據(jù)所謂的電鑄而形成。以下，對母版進(jìn)行說明。在圖9表示作為具有按1維或2維排列的且由樹脂材料構(gòu)成的多個透鏡部的造型 物的一例的晶圓級透鏡陣列的母版。圖9所示的母版300是圖6所示的晶圓級透鏡陣列 200的母版、且具有基板部302和在基板部302的表面以預(yù)定間距按2維排列的多個曲面部 301。包括相當(dāng)于曲面部301的表面的曲面303的母版300的表面的形狀被設(shè)為與圖6的 晶圓級透鏡陣列200的上側(cè)的表面形狀相同。S卩，母版300的曲面部301的曲面303被設(shè) 為與晶圓級透鏡陣列200的透鏡部201的透鏡面203相同的凸的球面。母版300的曲面部 301的曲面303是相當(dāng)于晶圓級透鏡陣列200的透鏡部201的透鏡面203的曲面，以后，將 母版300的曲面部301及其曲面303分別稱為母版300的透鏡部及其透鏡面。
基板部302由氧化鋁等的陶瓷或玻璃等形成。而且，透鏡部303由樹脂材料形成 且與基板部302的表面接合。作為形成透鏡部303的樹脂材料，例如使用熱硬化性的環(huán)氧 樹脂或丙烯酸樹脂、或者光硬化性的環(huán)氧樹脂或丙烯酸樹脂等。另外，母版坯料300的透鏡 部301及基板部302并非是作為光學(xué)要素發(fā)揮功能的，所以形成母版300的透鏡部301或 基板部302的樹脂材料不是光透射性的樹脂材料也可。圖10表示制造母版300的制造裝置的一例。另外，以作為形成透鏡部301的樹脂 材料而使用熱硬化性樹脂為例進(jìn)行說明。圖10所示的制造裝置310具備有模311、機(jī)構(gòu) 部315、樹脂供給部316、加熱部317、控制部318。模311具有與母版300的多個透鏡部301中的一部分的透鏡部301的透鏡面303 所匹配的轉(zhuǎn)印面，在圖示的例子中，具有與1個透鏡部301的透鏡面303所匹配的轉(zhuǎn)印面 312。透鏡部301的透鏡面303為凸的球面，所以在轉(zhuǎn)印面312設(shè)置有1個與透鏡面303相 反形狀的凹的球面312a。該轉(zhuǎn)印面312例如通過對模施以切削加工、磨削加工等適當(dāng)?shù)募?工而被形成。模311按照轉(zhuǎn)印面312與固定在底座320的基板部302的表面對置的方式配置， 并由機(jī)構(gòu)部315支承。機(jī)構(gòu)部315使模311升降，以使模311的轉(zhuǎn)印面312和基板部302 的表面的間隔縮小或擴(kuò)大，并且使模311沿基板部302的表面以預(yù)定間距縱橫移動。樹脂 供給部316跟隨由機(jī)構(gòu)部315移動的模311，將樹脂材料供給到在基板部302上由模311的 轉(zhuǎn)印面312覆蓋的部位。加熱部317對模311進(jìn)行加熱，對與模311的轉(zhuǎn)印面312接觸的 樹脂材料供給其硬化所需的熱?？刂撇?18按照從樹脂材料硬化開始起的時間將機(jī)構(gòu)部315驅(qū)動而使模311升 降，對模311的轉(zhuǎn)印面312和基板部302的表面的間隔進(jìn)行調(diào)整；而且，對樹脂供給部316 及加熱部317的工作進(jìn)行控制，也對樹脂材料的供給量或模的溫度等進(jìn)行調(diào)節(jié)。以下，說明利用如以上構(gòu)成的制造裝置310的母版300的制造工序。如圖Il(A)所示，首先，從樹脂供給部316將樹脂材料M供給到基板部302上。其 后，如圖Il(B)所示，使模311下降，在模311的轉(zhuǎn)印面312與基板部302的表面之間夾持 有樹脂材料M。樹脂材料M與轉(zhuǎn)印面312的凹的球面312a密接，凹的球面312a的形狀就被 轉(zhuǎn)印到樹脂材料M。此時，在轉(zhuǎn)印面312與基板部302的表面之間殘留若干的間隙G。其次，由加熱部317對模311進(jìn)行加熱，對與該轉(zhuǎn)印面312的凹的球面312a接觸的 樹脂材料M供給熱。由此，在凹的球面312a的形狀已被轉(zhuǎn)印的狀態(tài)下使樹脂材料M硬化。 在凹的球面312a與基板部302的表面之間所夾持的樹脂材料M就形成在表面具有凸的球 面的透鏡面303的透鏡部301。在此，如圖Il(C)所示，在樹脂材料M硬化的過程中，在樹脂材料M會產(chǎn)生收縮，樹 脂材料M的收縮力在模311的轉(zhuǎn)印面312的凹的球面312a和樹脂材料M要分離的方向上 發(fā)揮作用(在圖Il(C)中，為了說明樹脂材料M的收縮力的作用方向，方便起見表示了轉(zhuǎn)印 面312的凹的球面312a和樹脂材料M隔開的狀態(tài)，但是優(yōu)選不隔開而維持轉(zhuǎn)印面312的凹 的球面312a和樹脂材料M的密接)?？刂撇?18存儲所預(yù)先測量的樹脂材料M的厚度的經(jīng) 時變化量，根據(jù)所存儲的經(jīng)時變化量，按照從樹脂材料M硬化開始起的時間將機(jī)構(gòu)部315驅(qū) 動而使模311下降。伴隨于此，如圖Il(D)所示，按以下方式發(fā)揮作用S卩，轉(zhuǎn)印面312和基 板部302的表面的間隔被縮小，在仿真轉(zhuǎn)印面312的凹的球面312a而使樹脂材料M變形的同時，維持凹的球面312a和樹脂材料M的密接。這樣，即使由于與樹脂材料M的硬化相伴 的收縮，也可將凹的球面312a和樹脂材料M的密接加以維持，并將凹的球面312a的形狀正 確地轉(zhuǎn)印。由此，由樹脂材料M精度良好地形成透鏡部301。樹脂材料M的硬化所需的時間經(jīng)過之后，控制部318通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)部315而使模 311上升、且沿基板部302的表面以預(yù)定間距使模311縱橫移動。以后，將上述的樹脂材料 M的供給、模311的下降以及樹脂材料M的硬化的工序反復(fù)進(jìn)行，在基板部302的表面形成 多個透鏡部301而制造母版300。在上述的例子中，以形成母版300的透鏡部301的樹脂材料是熱硬化性樹脂為例 進(jìn)行了說明，但是也可以設(shè)為光硬化性樹脂。而且，在維持模311的轉(zhuǎn)印面312和樹脂材料 M的密接時，根據(jù)所預(yù)先測量的樹脂材料M的厚度的經(jīng)時變化量，按照從樹脂材料M硬化開 始起的時間將模311的轉(zhuǎn)印面312和基板部302的表面的間隔縮小，但代替此，也可以與圖 3所示的晶圓級透鏡陣列100的制造裝置110同樣，設(shè)置對與樹脂材料的接觸而作用于模 311的轉(zhuǎn)印面312的壓力進(jìn)行檢測的壓力傳感器，并在樹脂材料M硬化的過程中將模311的 轉(zhuǎn)印面312和基板部302的表面的間隔縮小，以使所預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力由壓力傳感器檢 測出。如上說明，本說明書所公開的造型物的制造方法中，該造型物具有按1維或2維排 列的多個透鏡部和將該透鏡部相互連結(jié)的基板部，并且該透鏡部及該基板部由樹脂材料一 體形成；且該造型物的制造方法中，在與上述造型物的一方的表面整合的第1模的轉(zhuǎn)印面 和與該造型物的相反側(cè)的表面整合的第2模的轉(zhuǎn)印面之間使上述樹脂材料硬化，根據(jù)伴隨 上述樹脂材料的硬化的收縮，而使上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔縮小， 并且該第1模的轉(zhuǎn)印面及該第2模的轉(zhuǎn)印面和上述樹脂材料的密接得以維持。根據(jù)該制造 方法，即使由于伴隨樹脂材料的硬化的收縮，也可維持模的轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接，并將 模的轉(zhuǎn)印面的形狀正確地轉(zhuǎn)印。由此，可以精度良好地形成由樹脂材料構(gòu)成的透鏡部。而且，本說明書所公開的造型物的制造方法中，設(shè)置對在上述第1模的轉(zhuǎn)印面或 上述第2模的轉(zhuǎn)印面所作用的壓力進(jìn)行檢測的壓力傳感器，并在上述樹脂材料硬化的過程 中，按照所預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力由上述壓力傳感器檢測出的方式，將上述第1模的轉(zhuǎn)印面 和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔縮小。根據(jù)該制造方法，可以根據(jù)伴隨樹脂材料的硬化的收 縮，適當(dāng)?shù)乜s小第1模的轉(zhuǎn)印面和第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔，并維持兩轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密 接。而且，本說明書所公開的造型物的制造方法中，上述樹脂材料變得越硬上述設(shè)定 壓力就越高。根據(jù)該制造方法，可以對逐漸硬化的樹脂材料更正確地轉(zhuǎn)印模的轉(zhuǎn)印面的形 狀。而且，本說明書所公開的造型物的制造方法中，根據(jù)所預(yù)先測量的上述樹脂材料 的厚度的經(jīng)時變化量，按照從該樹脂材料硬化開始起的時間而縮小上述第1模的轉(zhuǎn)印面和 上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔。根據(jù)該制造方法，可以根據(jù)伴隨樹脂材料的硬化的收縮而適 當(dāng)?shù)乜s小第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔，并維持兩轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接。而且，本說明書所公開的造型物的制造方法中，該造型物具有基板部和在該基板 部的表面按1維或2維排列的多個透鏡部，該透鏡部由樹脂材料形成；在該造型物的制造方法中，在上述透鏡部的表面的模的轉(zhuǎn)印面與上述基板部的表面之間使上述樹脂材料硬化， 根據(jù)伴隨上述樹脂材料的硬化的收縮，而使上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面的間隔縮 小，并維持該模的轉(zhuǎn)印面和上述樹脂材料的密接。根據(jù)該制造方法，即使由于伴隨樹脂材料 的硬化的收縮，也可維持模的轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接，并將模的轉(zhuǎn)印面的形狀正確地轉(zhuǎn) 印。由此，可以精度良好地形成由樹脂材料構(gòu)成的透鏡部。而且，本說明書所公開的造型物的制造方法中，設(shè)置對在上述模的轉(zhuǎn)印面所作用 的壓力進(jìn)行檢測的壓力傳感器，并在上述樹脂材料硬化的過程中按照所預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓 力由上述壓力傳感器檢測出的方式將上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的間隔縮小。根據(jù)該制 造方法，可以根據(jù)伴隨樹脂材料的硬化的收縮，適當(dāng)?shù)貙⒛５霓D(zhuǎn)印面和基板部的表面的間 隔縮小，并維持模的轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接。而且，本說明書所公開的造型物的制造方法中，上述樹脂材料變得越硬上述設(shè)定 壓力就越高。根據(jù)該制造方法，可以對逐漸硬化的樹脂材料更正確地轉(zhuǎn)印模的轉(zhuǎn)印面的形 狀。而且，本說明書所公開的造型物的制造方法中，根據(jù)所預(yù)先測量的上述樹脂材料 的厚度的經(jīng)時變化量，按照從該樹脂材料硬化開始起的時間而將上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基 板部的表面的間隔縮小。根據(jù)該制造方法，可以根據(jù)伴隨樹脂材料的硬化的收縮，適當(dāng)?shù)乜s 小模的轉(zhuǎn)印面和基板部的表面的間隔，并維持模的轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接。而且，本說明書所公開的造型物的制造裝置中，該造型物具有按1維或2維狀排列 的多個透鏡部和將該透鏡部相互連結(jié)的基板部，并且該透鏡部及該基板部由樹脂材料一體 形成，該造型物的制造裝置具備第1模及第2模，該第1模具有與上述造型物的一方的表 面整合的轉(zhuǎn)印面，該第2模具有與該造型物的相反側(cè)的表面整合的轉(zhuǎn)印面；機(jī)構(gòu)部，按照使 上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔縮小的方式，使該第1模及該第2模相 對移動；控制部，根據(jù)在上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面之間被硬化的上述樹脂 材料的硬化所伴隨的收縮，驅(qū)動上述機(jī)構(gòu)部。根據(jù)該制造裝置，即使由于伴隨樹脂材料的硬 化的收縮，也可維持模的轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接，并將模的轉(zhuǎn)印面的形狀正確地轉(zhuǎn)印。由 此，可以精度良好地形成由樹脂材料構(gòu)成的透鏡部。而且，本說明書所公開的造型物的制造裝置還具備用于對在上述第1模的轉(zhuǎn)印面 或上述第2模的轉(zhuǎn)印面所作用的壓力進(jìn)行檢測的壓力傳感器，上述控制部按照在上述樹脂 材料硬化的過程中由上述壓力傳感器檢測出的壓力成為預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力的方式，驅(qū)動 上述機(jī)構(gòu)部。根據(jù)該制造裝置，可以根據(jù)伴隨樹脂材料的硬化的收縮，適當(dāng)?shù)乜s小第1模的 轉(zhuǎn)印面和第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔，并維持兩轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接。而且，本說明書所公開的造型物的制造裝置中，上述樹脂材料變得越硬上述設(shè)定 壓力被設(shè)定得越高。根據(jù)該制造裝置，可對逐漸硬化的樹脂材料更正確地轉(zhuǎn)印模的轉(zhuǎn)印面 的形狀。而且，本說明書所公開的造型物的制造裝置中，根據(jù)預(yù)先測量的上述樹脂材料的 厚度的經(jīng)時變化量，按照從該樹脂材料硬化開始起的時間而將上述機(jī)構(gòu)部驅(qū)動。根據(jù)該制 造裝置，可以根據(jù)伴隨樹脂材料的硬化的收縮，適當(dāng)?shù)乜s小第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的 轉(zhuǎn)印面的間隔，并維持兩轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接。而且，本說明書所公開的造型物的制造裝置中，該造型物具有基板部和在該基板
13部的表面按1維或2維排列狀的多個透鏡部，該透鏡部由樹脂材料形成，其中，該造型物的 制造裝置具備模，具有與上述透鏡部的表面整合的轉(zhuǎn)印面，且按使該轉(zhuǎn)印面與上述基板部 的表面對置的方式配置；機(jī)構(gòu)部，按照上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面的間隔縮小的 方式，使該模移動；控制部，根據(jù)在上述模的轉(zhuǎn)印面與上述基板部的表面之間被硬化的上述 樹脂材料的硬化所伴隨的收縮，驅(qū)動上述機(jī)構(gòu)部。根據(jù)該制造裝置，即使由于伴隨樹脂材料 的硬化的收縮，也可維持模的轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接，并將模的轉(zhuǎn)印面的形狀正確地轉(zhuǎn) 印。由此，可以精度良好地形成由樹脂材料構(gòu)成的透鏡部。而且，本說明書所公開的造型物的制造裝置還具備用于對在上述模的轉(zhuǎn)印面所作 用的壓力進(jìn)行檢測的壓力傳感器，上述控制部按照在上述樹脂材料硬化的過程中由上述壓 力傳感器檢測出的壓力成為預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力的方式，驅(qū)動上述機(jī)構(gòu)部。根據(jù)該制造裝 置，可以根據(jù)伴隨樹脂材料的硬化的收縮，適當(dāng)?shù)乜s小模的轉(zhuǎn)印面和基板部的表面的間隔， 并維持模的轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接。而且，本說明書所公開的造型物的制造裝置中，上述樹脂材料變得越硬上述設(shè)定 壓力被設(shè)定得越高。根據(jù)該制造裝置，可對逐漸硬化的樹脂材料更正確地轉(zhuǎn)印模的轉(zhuǎn)印面 的形狀。而且，本說明書所公開的造型物的制造裝置中，上述控制部根據(jù)預(yù)先測量的上述 樹脂材料的厚度的經(jīng)時變化量，按照從該樹脂材料硬化開始起的時間而將上述機(jī)構(gòu)部驅(qū) 動。根據(jù)該制造裝置，可以根據(jù)伴隨樹脂材料的硬化的收縮，適當(dāng)?shù)乜s小模的轉(zhuǎn)印面和基板 部的表面的間隔，并維持模的轉(zhuǎn)印面和樹脂材料的密接。
權(quán)利要求
一種造型物的制造方法，其中，該造型物具有多個透鏡部，按1維或2維排列；基板部，將該透鏡部相互連結(jié)；并且上述透鏡部及上述基板部由樹脂材料一體形成，該造型物的制造方法中，在與上述造型物的一方的表面整合的第1模的轉(zhuǎn)印面和與上述造型物的相反側(cè)的表面整合的第2模的轉(zhuǎn)印面之間，使上述樹脂材料硬化，根據(jù)伴隨上述樹脂材料的硬化的收縮，而使上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔縮小，并且上述第1模的轉(zhuǎn)印面及上述第2模的轉(zhuǎn)印面與上述樹脂材料的密接得以維持。
2.如權(quán)利要求1所述的造型物的制造方法，其特征在于，設(shè)置壓力傳感器，該壓力傳感器對在上述第1模的轉(zhuǎn)印面或上述第2模的轉(zhuǎn)印面所作 用的壓力進(jìn)行檢測，在上述樹脂材料硬化的過程中，按照預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力由上述壓力傳感器檢測出的 方式，將上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔縮小。
3.如權(quán)利要求2所述的造型物的制造方法，其特征在于， 上述樹脂材料變得越硬上述設(shè)定壓力就越高。
4.如權(quán)利要求1所述的造型物的制造方法，其特征在于根據(jù)預(yù)先測量的上述樹脂材料的厚度的經(jīng)時變化量，按照從上述樹脂材料硬化開始起 的時間而將上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔縮小。
5.一種造型物的制造方法，其中，該造型物具有基板部及多個透鏡部，該多個透鏡部在上述基板部的表面按1維或2維 排列，上述透鏡部由樹脂材料形成， 該造型物的制造方法中，在上述基板部和與上述透鏡部的表面整合的模的轉(zhuǎn)印面之間使上述樹脂材料硬化， 根據(jù)伴隨上述樹脂材料的硬化的收縮，而使上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面的間 隔縮小，并且上述模的轉(zhuǎn)印面和上述樹脂材料的密接得以維持。
6.如權(quán)利要求5所述的造型物的制造方法，其特征在于，設(shè)置壓力傳感器，該壓力傳感器對在上述模的轉(zhuǎn)印面所作用的壓力進(jìn)行檢測， 在上述樹脂材料硬化的過程中，按照預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力由上述壓力傳感器檢測出的 方式，將上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面的間隔縮小。
7.如權(quán)利要求6所述的造型物的制造方法，其特征在于， 上述樹脂材料變得越硬上述設(shè)定壓力就越高。
8.如權(quán)利要求7所述的造型物的制造方法，其特征在于，根據(jù)預(yù)先測量的上述樹脂材料的厚度的經(jīng)時變化量，按照從上述樹脂材料硬化開始起 的時間而將上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面的間隔縮小。
9.一種造型物的制造裝置，該造型物具有多個透鏡部，按1維或2維狀排列；基板部， 將上述透鏡部相互連結(jié)，并且上述透鏡部及上述基板部由樹脂材料一體形成，其中，該造型物的制造裝置具備第1模及第2模，該第1模具有與上述造型物的一方的表面整合的轉(zhuǎn)印面，該第2模具有與上述造型物的相反側(cè)的表面整合的轉(zhuǎn)印面；機(jī)構(gòu)部，按照使上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面的間隔縮小的方式，使上述 第1模及上述第2模相對移動；控制部，根據(jù)與在上述第1模的轉(zhuǎn)印面和上述第2模的轉(zhuǎn)印面之間被硬化的上述樹脂 材料的硬化所伴隨的收縮，驅(qū)動上述機(jī)構(gòu)部。
10.如權(quán)利要求9所述的造型物的制造裝置，其特征在于， 還具備壓力傳感器，對在上述第1模的轉(zhuǎn)印面或上述第2模的轉(zhuǎn)印面所作用的壓力進(jìn)行檢測， 上述控制部按照在上述樹脂材料硬化的過程中由上述壓力傳感器檢測出的壓力成為 預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力的方式，驅(qū)動上述機(jī)構(gòu)部。
11.如權(quán)利要求10所述的造型物的制造裝置，其特征在于， 上述樹脂材料變得越硬上述設(shè)定壓力被設(shè)定得就越高。
12.如權(quán)利要求9所述的造型物的制造裝置，其特征在于，上述控制部根據(jù)預(yù)先測量的上述樹脂材料的厚度的經(jīng)時變化量，按照從上述樹脂材料 硬化開始起的時間而將上述機(jī)構(gòu)部進(jìn)行驅(qū)動。
13.一種造型物的制造裝置，該造型物具有基板部及多個透鏡部，該多個透鏡部在上述 基板部的表面按1維或2維排列，上述透鏡部由樹脂材料形成，其中，該造型物的制造裝置具備模，具有與上述透鏡部的表面整合的轉(zhuǎn)印面，且按使該轉(zhuǎn)印面與上述基板部的表面對 置的方式配置；機(jī)構(gòu)部，按照上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面的間隔縮小的方式，使上述模移動；控制部，根據(jù)在上述模的轉(zhuǎn)印面和上述基板部的表面之間被硬化的上述樹脂材料的硬 化所伴隨的收縮，驅(qū)動上述機(jī)構(gòu)部。
14.如權(quán)利要求13所述的造型物的制造裝置，其特征在于， 還具備壓力傳感器，對在上述模的轉(zhuǎn)印面所作用的壓力進(jìn)行檢測，上述控制部按照在上述樹脂材料硬化的過程中由上述壓力傳感器檢測出的壓力成為 預(yù)先設(shè)定的設(shè)定壓力的方式，驅(qū)動上述機(jī)構(gòu)部。
15.如權(quán)利要求14所述的造型物的制造裝置，其特征在于， 上述樹脂材料變得越硬上述設(shè)定壓力被設(shè)定得就越高。
16.如權(quán)利要求13所述的造型物的制造裝置，其特征在于，上述控制部根據(jù)預(yù)先測量的上述樹脂材料的厚度的經(jīng)時變化量，按照從上述樹脂材料 硬化開始起的時間而將上述機(jī)構(gòu)部進(jìn)行驅(qū)動。
全文摘要
本發(fā)明提供一種造型物的制造方法及制造裝置，精度良好地形成具有按1維或2維排列的且由樹脂材料構(gòu)成的多個透鏡部的造型物之各透鏡部。具有按1維或2維排列的多個透鏡部(101)、將該透鏡部(101)相互連結(jié)的基板部(102)，并且該透鏡部及該基板部由樹脂材料一體形成的晶圓級透鏡陣列(100)按照以下方式被制造，即，在該晶圓級透鏡陣列(100)的一方的表面所整合的第1模(111)的轉(zhuǎn)印面(112)與相反側(cè)的表面所整合的第2模(113)的轉(zhuǎn)印面(114)之間使軟化的樹脂材料(M)硬化，根據(jù)樹脂材料的硬化所伴隨的收縮，而使第1模(111)的轉(zhuǎn)印面(112)及第2模(113)的轉(zhuǎn)印面(114)的間隔縮小，并且第1模(111)的轉(zhuǎn)印面(112)及第2模(113)的轉(zhuǎn)印面(114)與樹脂材料(M)的密接得以維持。
文檔編號G02B3/00GK101887135SQ20101016564
公開日2010年11月17日 申請日期2010年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月14日
發(fā)明者中尾和廣, 山田大輔 申請人:富士能株式會社;富士膠片株式會社