專利名稱：：顯影設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明關(guān)于一種顯影設(shè)備，尤指一種可有效提高顯影液回收率的顯影設(shè)備。
背景技術(shù)：
：隨著科技不斷地進(jìn)步，各式各樣的電子裝置，如行動電話、數(shù)字相機、個人數(shù)字助理、筆記型計算機等，無不朝向更便利、多功能且美觀的方向發(fā)展。在使用這些電子裝置時，顯示屏幕是不可或缺的人機溝通接口，透過上述電子裝置的顯示屏幕將可為使用者的操作帶來更多的便利。其中，液晶顯示器已逐漸成為顯示屏幕的主流。—般而言，液晶顯示器是利用基板上的晶體管，來控制液晶的光線明暗，讓不同色彩顯示在屏幕上。要在基板上形成可用的晶體管，便需要對基板重復(fù)進(jìn)行清洗、鍍膜、上光刻膠、曝光、顯影、蝕刻、去光刻膠等過程。其中，顯影制造工藝是將曝光好的基板放入顯影液中，使曝到光的光刻膠被顯影液給溶解掉?！愣?，在基板顯影完畢后，會將多余的顯影液回收并重復(fù)利用，以節(jié)省生產(chǎn)成本。然而，在顯影的過程中，顯影液會在基板上形成表面張力，而使得顯影液的回收率不佳，造成生產(chǎn)成本提高。
發(fā)明內(nèi)容因此，本發(fā)明的目的之一在于提供一種顯影設(shè)備，其在定位柱上設(shè)有突出結(jié)構(gòu)，以在基板的輸送過程中，破壞顯影液在基板上形成的表面張力。根據(jù)一實施例，本發(fā)明的顯影設(shè)備包含一輸送機構(gòu)以及一定位柱。輸送機構(gòu)用以輸送一基板，基板以一顯影液進(jìn)行顯影。定位柱設(shè)置在輸送機構(gòu)的一側(cè)，定位柱具有一突出結(jié)構(gòu)，突出結(jié)構(gòu)延伸至基板上方。在輸送機構(gòu)輸送基板的過程中，突出結(jié)構(gòu)會破壞顯影液在基板上形成的表面張力，進(jìn)而有效提高顯影液的回收率。關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)點與精神可以通過以下的發(fā)明詳述及所附圖式得到進(jìn)一步的了解。圖1為根據(jù)本發(fā)明一實施例的顯影設(shè)備的上視圖。圖2為圖1中的顯影設(shè)備的側(cè)視圖。圖3A和圖3B為根據(jù)本發(fā)明另一實施例的定位柱的示意圖，其中圖3A為上視圖，圖3B為側(cè)視圖。附圖標(biāo)號5952、52'522、522'顯影設(shè)備定位柱突出結(jié)構(gòu)750520g輸送機構(gòu)轉(zhuǎn)動件間隙3t厚度具體實施例方式請參閱圖1以及圖2，圖l為根據(jù)本發(fā)明一實施例的顯影設(shè)備5的上視圖，圖2為圖1中的顯影設(shè)備5的側(cè)視圖。顯影設(shè)備5用以對基板7進(jìn)行顯影制造工藝，顯影制造工藝即是將曝光好的基板7放入顯影液9中，使曝到光的光刻膠被顯影液9給溶解掉。如圖1與圖2所示，顯影設(shè)備5包含輸送機構(gòu)50以及定位柱52。輸送機構(gòu)50用以輸送基板7，且基板7在顯影設(shè)備5中以顯影液9進(jìn)行顯影。顯影液9可為氫氧化四甲銨(Tetramethyla,ni咖Hydroxide，T應(yīng))，但不以此為限。于此實施例中，輸送機構(gòu)50是由多根平行排列的轉(zhuǎn)軸所組成，通過驅(qū)動裝置(未繪示于圖中)驅(qū)動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，以將基板7往前輸送。此外，八個定位柱52分別位于輸送機構(gòu)50的兩側(cè)。需說明的是，定位柱52的數(shù)量及設(shè)置位置可根據(jù)實際應(yīng)用而調(diào)整，不以圖中所繪示的為限。定位柱52包含一轉(zhuǎn)動件520以及一突出結(jié)構(gòu)522，其中突出結(jié)構(gòu)522自轉(zhuǎn)動件520向外延伸。在基板7的輸送過程中，轉(zhuǎn)動件520會隨著顯影液9的流動而轉(zhuǎn)動。于此實施例中，突出結(jié)構(gòu)522可設(shè)計為放射狀毛刷結(jié)構(gòu)或放射狀實心結(jié)構(gòu)，如圖l所示。請參閱圖3A和圖3B，圖3A和圖3B為根據(jù)本發(fā)明另一實施例的定位柱52'的示意圖，其中圖3A為上視圖，且圖3B為側(cè)視圖。于另一實施例中，定位柱52'的突出結(jié)構(gòu)522'亦可設(shè)計為環(huán)狀毛刷結(jié)構(gòu)或環(huán)狀實心結(jié)構(gòu)，如圖3A和圖3B所示。需說明的是，本發(fā)明的定位柱的突出結(jié)構(gòu)并不以上述的放射狀或環(huán)狀為限，可根據(jù)實際應(yīng)用而設(shè)計。此外，突出結(jié)構(gòu)522及突出結(jié)構(gòu)522'由抗腐蝕性材料制成，以防止被顯影液9腐蝕。如圖1所示，當(dāng)基板7被放置在顯影設(shè)備5中以進(jìn)行顯影時，突出結(jié)構(gòu)522延伸至基板7的邊緣上方。于此實施例中，突出結(jié)構(gòu)522在基板7上的投影不超出基板7的一無效(dummy)區(qū)域。無效區(qū)域即是指基板7的非使用區(qū)域。此外，一間隙g介于突出結(jié)構(gòu)522與基板7之間，亦即突出結(jié)構(gòu)522不與基板7接觸。較佳地，間隙g可設(shè)計為大于或等于3毫米，但不以此為限。如前所述，在顯影的過程中，顯影液9會在基板7上形成表面張力，而使得顯影液9的回收率不佳。由于本發(fā)明的定位柱52具有突出結(jié)構(gòu)522，在基板7的輸送過程中，在基板7上形成表面張力的顯影液9通過突出結(jié)構(gòu)522時，表面張力即會遭到突出結(jié)構(gòu)522破壞，使顯影液9可以盡量留在顯影設(shè)備5中，不被基板7帶走，進(jìn)而有效提高顯影液9的回收率。較佳地，突出結(jié)構(gòu)522的厚度t可設(shè)計為大于或等于5毫米，但不以此為限。請參閱表l，表1為安裝本發(fā)明具有突出結(jié)構(gòu)522的定位柱52前后的測試數(shù)據(jù)。由表1可以得知，安裝本發(fā)明具有突出結(jié)構(gòu)522的定位柱52后，可以有效提高顯影液的回收率。此外，安裝愈多具有突出結(jié)構(gòu)522的定位柱52，顯影液的回收效果就愈好。<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>表1以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。權(quán)利要求一種顯影設(shè)備，其特征在于，所述的顯影設(shè)備包含一輸送機構(gòu)，用以輸送一基板，所述的基板以一顯影液進(jìn)行顯影；以及一定位柱，設(shè)置在所述的輸送機構(gòu)的一側(cè)，所述的定位柱具有一突出結(jié)構(gòu)，所述的突出結(jié)構(gòu)延伸至所述的基板上方，以在所述的基板的輸送過程中，破壞所述的顯影液在所述的基板上形成的表面張力。2.如權(quán)利要求l所述的顯影設(shè)備，其特征在于，其中所述的突出結(jié)構(gòu)選自下列群組的其中之一放射狀毛刷結(jié)構(gòu)、環(huán)狀毛刷結(jié)構(gòu)、放射狀實心結(jié)構(gòu)以及環(huán)狀實心結(jié)構(gòu)。3.如權(quán)利要求1所述的顯影設(shè)備，其特征在于，其中所述的突出結(jié)構(gòu)的厚度大于或等于5毫米。4.如權(quán)利要求1所述的顯影設(shè)備，其特征在于，其中一間隙介于所述的突出結(jié)構(gòu)與所述的基板之間，且所述的間隙大于或等于3毫米。5.如權(quán)利要求1所述的顯影設(shè)備，其特征在于，其中所述的突出結(jié)構(gòu)在所述的基板上的投影不超出所述的基板的一無效區(qū)域。6.如權(quán)利要求1所述的顯影設(shè)備，其特征在于，其中所述的突出結(jié)構(gòu)由抗腐蝕性材料制成。7.如權(quán)利要求1所述的顯影設(shè)備，其特征在于，其中所述的定位柱包含一轉(zhuǎn)動件，所述的突出結(jié)構(gòu)自所述的轉(zhuǎn)動件向外延伸，在所述的基板的輸送過程中，所述的轉(zhuǎn)動件會隨著所述的顯影液的流動而轉(zhuǎn)動。全文摘要本發(fā)明是關(guān)于一種顯影設(shè)備，所述的顯影設(shè)備包含一輸送機構(gòu)以及一定位柱。輸送機構(gòu)用以輸送一基板，基板以一顯影液進(jìn)行顯影。定位柱設(shè)置在輸送機構(gòu)的一側(cè)，定位柱具有一突出結(jié)構(gòu)，突出結(jié)構(gòu)延伸至基板上方。在輸送基板的過程中，突出結(jié)構(gòu)會破壞顯影液在基板上形成的表面張力，進(jìn)而有效提高顯影液的回收率。文檔編號G03G15/10GK101718963SQ20101000183公開日2010年6月2日申請日期2010年1月14日優(yōu)先權(quán)日2010年1月14日發(fā)明者李豐仲,李瑞光,林緯權(quán),鄧兆強申請人:友達(dá)光電股份有限公司