膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中的設(shè)備，具體地說(shuō)是一種膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中的勻膠顯影設(shè)備內(nèi)部，涂膠膠頭的固定和膠管的固定是分離的，通常是膠頭放在移動(dòng)的平臺(tái)上，膠管根部固定在固定的平臺(tái)上。在更換膠頭的過(guò)程中，膠頭移動(dòng)，膠管的固定部分不移動(dòng)，這種情況下，會(huì)造成膠管發(fā)生扭轉(zhuǎn)，膠管和膠管之間發(fā)生干涉，進(jìn)而產(chǎn)生摩擦，造成膠管破損，既不利于設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行，也會(huì)因?yàn)槟z管的摩擦產(chǎn)生粉塵顆粒，這些顆粒會(huì)導(dǎo)致半導(dǎo)體生產(chǎn)的良率下降。
[0003]為解決上訴問(wèn)題，需要一種新型的膠頭和膠管的分布結(jié)構(gòu)和一種新型的運(yùn)動(dòng)方式，避免由于膠管之間的干涉和摩擦產(chǎn)生的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)位于半導(dǎo)體生產(chǎn)中涂膠單元內(nèi)部，通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu)避免膠管的互相干涉和摩擦。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0006]一種膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)設(shè)置于涂膠單元內(nèi)部，包括執(zhí)行機(jī)構(gòu)、膠管、膠頭及托架結(jié)構(gòu)，其中執(zhí)行機(jī)構(gòu)設(shè)置于膠杯的一側(cè)，所述托架結(jié)構(gòu)連接于執(zhí)行機(jī)構(gòu)上、并通過(guò)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)作直線運(yùn)動(dòng)，所述托架結(jié)構(gòu)上沿運(yùn)動(dòng)方向依次布設(shè)有多個(gè)膠管，所述托架結(jié)構(gòu)上還設(shè)有多個(gè)與各膠管相對(duì)應(yīng)的膠頭，各膠管的一端與托架結(jié)構(gòu)連接，另一端與其相對(duì)應(yīng)的膠頭連接，所述托架結(jié)構(gòu)通過(guò)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)，帶動(dòng)膠管和膠頭一起沿平行于膠管排列方向移動(dòng)。
[0007]所述托架結(jié)構(gòu)包括膠管托架、總體托架及膠頭托架，其中總體托架連接于執(zhí)行機(jī)構(gòu)上，所述膠管托架和膠頭托架設(shè)置于總體托架上，所述膠管的一端與膠管托架連接，所述膠頭設(shè)置于膠頭托架上。
[0008]所述各膠管均為倒置U形結(jié)構(gòu)。所述膠頭的排列方向與托架結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)方向平行。所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括架體、電機(jī)、滾珠絲杠及螺母，其中電機(jī)和滾珠絲杠設(shè)置于架體上、并電機(jī)的輸出端與滾珠絲杠連接，所述螺母與滾珠絲杠連接，所述托架結(jié)構(gòu)與螺母連接。
[0009]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是:
[0010]本結(jié)構(gòu)是在勻膠顯影設(shè)備中涂膠單元內(nèi)部，是多個(gè)光刻膠膠頭更換的一種結(jié)構(gòu)，應(yīng)用這種一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)膠頭更換，防止膠管互相干涉，提高設(shè)備穩(wěn)定性。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本發(fā)明一端極限位置的俯視示意圖；
[0013]圖3為本發(fā)明另一端極限位置的俯視不意圖。
[0014]其中:1為膠管托架,2為總體托架,3為執(zhí)行機(jī)構(gòu),4為膠管,5為膠頭,6為膠頭托架，7為膠杯，8為膠杯中心點(diǎn)。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
[0016]如圖1所示，本發(fā)明設(shè)置于涂膠單元內(nèi)部，包括執(zhí)行機(jī)構(gòu)3、膠管4、膠頭5及托架結(jié)構(gòu)，其中執(zhí)行機(jī)構(gòu)3設(shè)置于膠杯7的一側(cè)，所述托架結(jié)構(gòu)連接于執(zhí)行機(jī)構(gòu)3上，所述托架結(jié)構(gòu)上沿運(yùn)動(dòng)方向依次布設(shè)有多個(gè)膠管4。所述托架結(jié)構(gòu)上還設(shè)有多個(gè)與各膠管4相對(duì)應(yīng)的膠頭5，各膠管4的一端與托架結(jié)構(gòu)連接，另一端與其相對(duì)應(yīng)的膠頭5連接。所述托架結(jié)構(gòu)帶動(dòng)膠管4和膠頭5 —起沿平行于膠管4排列方向移動(dòng)。
[0017]所述托架結(jié)構(gòu)包括膠管托架1、總體托架2及膠頭托架6，其中總體托架2滑動(dòng)連接于執(zhí)行機(jī)構(gòu)3上，所述膠管托架1和膠頭托架6設(shè)置于總體托架2上。各膠管4均為倒置U形結(jié)構(gòu)，各膠管4的一端與膠管托架1連接，膠管4通過(guò)膠管托架1從膠管出口連接到外部。各膠管4的另一端與膠頭5連接，所述膠頭5設(shè)置于膠頭托架6上。所述膠頭5的排列方向與托架結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)方向平行。總體托架2在執(zhí)行機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下帶動(dòng)膠頭托架6和其上的膠頭5與膠管托架1和其上的膠管4 一起移動(dòng)，移動(dòng)的方向平行于膠管4的排列方向。執(zhí)行機(jī)構(gòu)包括架體、滾珠絲杠、螺母和電機(jī)，電機(jī)與滾珠絲杠連接、并均安裝在架體上，所述總體托架2通過(guò)螺母與滾珠絲杠連接，所述托架結(jié)構(gòu)在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過(guò)滾珠絲杠與螺母做直線運(yùn)動(dòng)。
[0018]本發(fā)明的工作過(guò)程是:
[0019]半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，在需要不同的光刻膠進(jìn)行勻膠工作時(shí)，所需要的膠頭5和膠管4在執(zhí)行機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下運(yùn)動(dòng)到二者連線通過(guò)膠杯7圓心的位置。這時(shí)候，膠頭5可以在膠杯7內(nèi)部的膠杯中心點(diǎn)8進(jìn)行涂膠工作，此時(shí)因?yàn)槟z頭5和膠管4成一條直線排列，這條直線通過(guò)膠杯中心點(diǎn)8，所以不會(huì)與其他膠管發(fā)生干涉。位于兩端的膠頭5的運(yùn)動(dòng)極限位置，如圖2、圖3所示。
[0020]本發(fā)明中膠頭5和膠管4在進(jìn)行涂膠的過(guò)程中，可以避免不同膠頭和與之相連的不同膠管之間互相干涉。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述結(jié)構(gòu)設(shè)置于涂膠單元內(nèi)部，包括執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)、膠管(4)、膠頭(5)及托架結(jié)構(gòu)，其中執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)設(shè)置于膠杯(7)的一側(cè)，所述托架結(jié)構(gòu)連接于執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)上、并通過(guò)執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)的驅(qū)動(dòng)作直線運(yùn)動(dòng)，所述托架結(jié)構(gòu)上沿運(yùn)動(dòng)方向依次布設(shè)有多個(gè)膠管(4)，所述托架結(jié)構(gòu)上還設(shè)有多個(gè)與各膠管(4)相對(duì)應(yīng)的膠頭(5)，各膠管(4)的一端與托架結(jié)構(gòu)連接，另一端與其相對(duì)應(yīng)的膠頭(5)連接，所述托架結(jié)構(gòu)通過(guò)執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)的驅(qū)動(dòng)，帶動(dòng)膠管(4)和膠頭(5) —起沿平行于膠管(4)排列方向移動(dòng)。2.按權(quán)利要求1所述的膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述托架結(jié)構(gòu)包括膠管托架(1)、總體托架(2)及膠頭托架￠)，其中總體托架(2)連接于執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)上，所述膠管托架(1)和膠頭托架(6)設(shè)置于總體托架(2)上，所述膠管(4)的一端與膠管托架(1)連接，所述膠頭(5)設(shè)置于膠頭托架(6)上。3.按權(quán)利要求1或2所述的膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述各膠管(4)均為倒置U形結(jié)構(gòu)。4.按權(quán)利要求1或2所述的膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述膠頭(5)的排列方向與托架結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)方向平行。5.按權(quán)利要求1或2所述的膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)(3)包括架體、電機(jī)、滾珠絲杠及螺母，其中電機(jī)和滾珠絲杠設(shè)置于架體上、并電機(jī)的輸出端與滾珠絲杠連接，所述螺母與滾珠絲杠連接，所述托架結(jié)構(gòu)與螺母連接。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中的設(shè)備，具體地說(shuō)是一種膠頭和膠管一體化運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。所述結(jié)構(gòu)設(shè)置于涂膠單元內(nèi)部，包括執(zhí)行機(jī)構(gòu)、膠管、膠頭及托架結(jié)構(gòu)，其中執(zhí)行機(jī)構(gòu)設(shè)置于膠杯的一側(cè)，所述托架結(jié)構(gòu)滑動(dòng)連接于執(zhí)行機(jī)構(gòu)上，所述托架結(jié)構(gòu)上沿運(yùn)動(dòng)方向依次布設(shè)有多個(gè)膠管，所述托架結(jié)構(gòu)上還設(shè)有多個(gè)與各膠管相對(duì)應(yīng)的膠頭，各膠管的一端與托架結(jié)構(gòu)連接，另一端與其相對(duì)應(yīng)的膠頭連接，所述膠管托架帶動(dòng)膠管和膠頭一起沿平行于膠管排列方向移動(dòng)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)多個(gè)膠頭更換，防止膠管互相干涉，提高設(shè)備穩(wěn)定性。
【IPC分類(lèi)】G03F7/16
【公開(kāi)號(hào)】CN105319855
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410294868
【發(fā)明人】王陽(yáng), 胡延兵
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司
【公開(kāi)日】2016年2月10日
【申請(qǐng)日】2014年6月25日