專利名稱：掩膜工藝用噴涂裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種彩色濾光片制作中使用的設(shè)備，尤其涉及一種掩膜 工藝用噴涂裝置。
背景技術(shù)：
目前，制作彩色濾光片的掩膜工藝均采用長條形噴嘴在基板上涂敷掩膜物質(zhì)。圖3為現(xiàn)有技術(shù)噴涂裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，噴涂裝置包括支架IO和噴嘴 30，支架10通過安裝架20與噴嘴30連接，使長條形噴嘴30平直地位于基 板50的上方。工作時(shí)，首先調(diào)整安裝架20,使與基板50寬度相同的長條形 噴嘴30與基板50間的距離具有較好的平一性，然后開始掩膜操作，噴嘴30 一邊向基板噴出掩膜物質(zhì)， 一邊從基板的一端移動(dòng)到另一端，完成整個(gè)基板 的涂敷。噴嘴與基板之間的平一性直接影響掩膜物質(zhì)涂敷的厚度和均勻度， 而厚度和均勻度對后續(xù)工藝的曝光效果具有較大影響，因此現(xiàn)有掩膜制程中 對噴嘴的平直度要求很高，控制噴嘴的平直度已成為彩色濾光片制作中的重 要因素。實(shí)際使用表明，現(xiàn)有技術(shù)噴涂裝置在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和使用中存在如下不足(1) 隨著基板尺寸越來越大，噴嘴長度越來越長，現(xiàn)有技術(shù)結(jié)構(gòu)的噴嘴 在長時(shí)間使用中會因重力等外界因素影響不可避免的發(fā)生形變，使維修周期 縮短，維修時(shí)間增加，減低了生產(chǎn)效率；(2) 由于采用端部調(diào)節(jié)，無法對噴嘴自身的形變進(jìn)行調(diào)節(jié)，因此當(dāng)噴嘴 形變超過一定范圍時(shí)，需要對噴嘴進(jìn)行維修整形，噴嘴的使用壽命短，增加 了生產(chǎn)成本。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種掩膜工藝用噴涂裝置，有效解決現(xiàn)有技術(shù) 噴嘴易發(fā)生形變、無法對形變進(jìn)行調(diào)節(jié)導(dǎo)致的噴嘴維修周期短、使用壽命短 等技術(shù)缺陷。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種掩膜工藝用噴涂裝置，包括支 架和通過安裝架連接在所述支架上的噴嘴，所述噴嘴和支架之間連接有至少 一個(gè)通過對噴嘴產(chǎn)生相應(yīng)拉力或推力以補(bǔ)償噴嘴自身形變使噴嘴保持平直度的調(diào)節(jié)架。所述連接角板包括豎板和橫板，所述豎板與所述支架連接，所述橫板通 過一安裝孔與所述調(diào)節(jié)桿連接。所述安裝孔設(shè)置有內(nèi)螺紋，設(shè)置有外螺紋的調(diào)節(jié)桿螺接在所述安裝孔內(nèi)。 所述調(diào)節(jié)桿的端部還設(shè)置有旋鈕。所述噴嘴上開設(shè)有設(shè)置內(nèi)螺紋的連接孔，設(shè)置有外螺紋的調(diào)節(jié)桿螺接在 所述連"l妻孔內(nèi)。在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，所述調(diào)節(jié)架可以是一個(gè)，設(shè)置在所述噴嘴的中部；所述調(diào)節(jié)架也可以是二個(gè)，對稱設(shè)置在所述噴嘴的中部附近；所述調(diào)節(jié) 架還可以是三個(gè)，其中一個(gè)設(shè)置在所述噴嘴的中部，另外二個(gè)對稱設(shè)置在所 述噴嘴的中部附近。本實(shí)用新型提出了一種新型結(jié)構(gòu)的掩膜工藝用噴涂裝置，通過在支架與 噴嘴間設(shè)置調(diào)節(jié)架，減小噴嘴形變并對已產(chǎn)生的形變施加外力進(jìn)行補(bǔ)償，從 而可使噴嘴本身平直性持續(xù)控制在所需技術(shù)范圍內(nèi)，有效解決了噴嘴長時(shí)間 使用后的形變問題。與現(xiàn)有技術(shù)相比，隨著基板尺寸越來越大，噴嘴長度越 來越長，本實(shí)用新型可以延緩噴嘴的變形，延長維修周期，減少維修時(shí)間， 提高生產(chǎn)效率。即使噴嘴形變超過一定范圍，本實(shí)用新型通過包括兩端調(diào)節(jié) 在內(nèi)的中部調(diào)節(jié)，可以對噴嘴進(jìn)行維修整形，大大延長了噴嘴的使用壽命， 降低了生產(chǎn)成本。本實(shí)用新型可簡捷、有效地補(bǔ)償噴嘴自身長時(shí)間使用后產(chǎn)生的形變，使得噴嘴的平直性具有長期穩(wěn)定性，提高了噴嘴調(diào)節(jié)精度，提高 生產(chǎn)品質(zhì)。下面通過附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。


圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為圖1中A-A向示意圖； 圖3為現(xiàn)有技術(shù)噴涂裝置的結(jié)構(gòu)示意圖 附圖標(biāo)記說明IO—支架； 2G—安裝架； 40—調(diào)節(jié)架； 50—基板；42—調(diào)節(jié)桿； 43—旋鈕；41b—橫板； 41c一安裝孔；30—噴嘴； 41一連接角板; 41a —豎板； 41d—連接孔。
具體實(shí)施方式
圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖，掩膜工藝用噴涂裝置的主體結(jié)構(gòu)包括支 架10和噴嘴30，噴嘴30通過安裝架20連接在支架IO上，噴嘴30的中部 通過至少一個(gè)調(diào)節(jié)架40與支架10連接，設(shè)置在中部附近的調(diào)節(jié)架40可對噴 嘴30產(chǎn)生相應(yīng)的拉力或推力， 一方面減少噴嘴30長期使用中的變形，使噴 嘴長時(shí)間使用中保證平直性，另一方面在噴嘴30產(chǎn)生變形后通過補(bǔ)償該形變 使其保持所需的平直度，使長條形噴嘴30平直地位于基板50上方，保證噴 嘴涂敷掩膜物質(zhì)的厚度和均勻度。具體地，本實(shí)用新型調(diào)節(jié)架40可以是一個(gè)，設(shè)置在噴嘴30的中部，可 有效地避免噴嘴因重力導(dǎo)致的變形，即使在噴嘴產(chǎn)生變形后，通過對噴嘴中 部施加外力直接改變噴嘴的變形，輔之兩端安裝架的調(diào)整，使噴嘴平直度的 調(diào)整十分快捷和準(zhǔn)確。調(diào)節(jié)架40也可以是二個(gè)，對稱設(shè)置在噴嘴30的中部附近，不僅能有效避免噴嘴因重力導(dǎo)致的變形，還可以消除其他因素引起的噴嘴變形，并使噴嘴工作時(shí)的受力狀態(tài)更加合理。進(jìn)一步地，調(diào)節(jié)架40也可 以是三個(gè)，其中一個(gè)設(shè)置在噴嘴30的中部，另外二個(gè)對稱設(shè)置在噴嘴30的 中部附近，不僅使噴嘴受力合理，而且可以在各種情況下均能實(shí)現(xiàn)噴嘴平直 度快捷和準(zhǔn)確的調(diào)整，最大限度地提高噴嘴使用壽命，延長維修周期。本實(shí)用新型提出了一種新型結(jié)構(gòu)的掩膜工藝用噴涂裝置，通過在支架與 噴嘴間設(shè)置調(diào)節(jié)架，減小噴嘴形變并對已產(chǎn)生的形變施加外力進(jìn)行補(bǔ)償，從 而可使噴嘴本身平直性持續(xù)控制在所需技術(shù)范圍內(nèi)，有效解決了噴嘴長時(shí)間 使用后的形變問題。隨著基板尺寸越來越大，噴嘴長度越來越長，本實(shí)用新 型上述技術(shù)方案可以延緩噴嘴的變形，延長維修周期，減少維修時(shí)間，提高 生產(chǎn)效率。即使噴嘴形變超過一定范圍，本實(shí)用新型上述技術(shù)方案通過包括 兩端調(diào)節(jié)在內(nèi)的中部調(diào)節(jié)，可以對噴嘴進(jìn)行維修整形，大大延長了噴嘴的使 用壽命，降低了生產(chǎn)成本。圖2為圖1中A-A向示意圖。在上述技術(shù)方案基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型調(diào)節(jié) 架可以有多種實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)，圖2所示為一種優(yōu)選的實(shí)施結(jié)構(gòu)。如圖2所示，調(diào) 節(jié)架40包括連接角板41和調(diào)節(jié)桿42，連接角板41固定在支架IO上，調(diào)節(jié) 桿42的一端與連接角板41連接，另一端與噴嘴30連接，通過對噴嘴30產(chǎn) 生相應(yīng)的拉力或推力減小噴嘴變形并對已產(chǎn)生的變形施加外力進(jìn)行補(bǔ)償。具 體地，連接角板41包括豎板41a和橫板41b，豎板41a和橫板41b通過一端 連接成角板狀，豎板41a通過螺釘固定在支架IO上，橫板41b上設(shè)置有安裝 孔41c,安裝孔41c設(shè)置有內(nèi)螺紋，調(diào)節(jié)桿42上設(shè)置有與安裝孔41c的內(nèi)螺 紋相適配的外螺紋，調(diào)節(jié)桿42通過與安裝孔41c螺接使調(diào)節(jié)桿42連接在橫 板41b上。本實(shí)施例中，調(diào)節(jié)桿42的上端部還設(shè)置有旋鈕43,用于使調(diào)節(jié) 桿42轉(zhuǎn)動(dòng)，噴嘴30上開設(shè)有設(shè)置內(nèi)螺紋的連接孔41d,調(diào)節(jié)桿42螺接在連 接孔41d內(nèi)，實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)桿42與噴嘴30的連接。工作時(shí)，通過旋轉(zhuǎn)旋鈕43使 調(diào)節(jié)桿42相對橫板41b上下移動(dòng)，對噴嘴30產(chǎn)生相應(yīng)的拉力或推力，減小噴嘴變形并對已產(chǎn)生的變形施加外力進(jìn)行補(bǔ)償，使噴嘴30與基板50之間距 離保持一致。本實(shí)用新型上述技術(shù)方案中，安裝架20可以采用調(diào)節(jié)架40相同的結(jié)構(gòu)， 安裝架20可以是二個(gè)，設(shè)置在噴嘴30的兩端。當(dāng)設(shè)置多個(gè)調(diào)節(jié)架時(shí)，每個(gè) 調(diào)節(jié)架中的連接角板可以單獨(dú)設(shè)置，也可以采用一體的連接角板結(jié)構(gòu)，即多 個(gè)調(diào)節(jié)桿依次連接在一個(gè)連接角板的不同位置上。此外，調(diào)節(jié)桿上還可以設(shè) 置相應(yīng)螺母，提高連接和調(diào)節(jié)效果。本實(shí)用新型掩膜工藝用噴涂裝置使用中，噴嘴平直度的調(diào)整過程為首 先測量噴嘴與基板之間各處的距離，根據(jù)測得的最大值與最小值，可得到二 者的平均值；判斷平均值是否小于預(yù)設(shè)域值范圍，如是，調(diào)整結(jié)束，如否， 則通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)架上的旋4丑對噴嘴中部施加外力補(bǔ)償噴嘴變形；之后重復(fù)上 述步驟，直至噴嘴各處與基板間的間隙全部在規(guī)格控制范圍內(nèi)，滿足生產(chǎn)所 需要的平直度。因此本實(shí)用新型上述技術(shù)方案可簡捷、有效地補(bǔ)償噴嘴自身 長時(shí)間使用后產(chǎn)生的形變，使得噴嘴的平直性具有長期穩(wěn)定性，提高了噴嘴 調(diào)節(jié)精度，提高生產(chǎn)品質(zhì)。最后所應(yīng)說明的是，以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非 限制，盡管參照較佳實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而 不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1. 一種掩膜工藝用噴涂裝置，包括支架和通過安裝架連接在所述支架上的噴嘴，其特征在于，所述噴嘴和支架之間連接有至少一個(gè)通過對噴嘴產(chǎn)生相應(yīng)拉力或推力以補(bǔ)償噴嘴自身形變使噴嘴保持平直度的調(diào)節(jié)架。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的掩膜工藝用噴涂裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié) 架包括固定在支架上的連接角板和對噴嘴產(chǎn)生相應(yīng)拉力或推力的調(diào)節(jié)桿，所 述調(diào)節(jié)桿的一端與所述連接角板連接，另 一端與所述噴嘴連接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜工藝用噴涂裝置，其特征在于，所述連接 角板包括豎板和橫板，所述豎板與所述支架連接，所述橫板通過一安裝孔與 所述調(diào)節(jié)桿連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜工藝用噴涂裝置，其特征在于，所述安裝 孔設(shè)置有內(nèi)螺紋，設(shè)置有外螺紋的調(diào)節(jié)桿螺接在所述安裝孔內(nèi)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜工藝用噴涂裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié) 桿的端部還設(shè)置有旋鈕。
6、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜工藝用噴涂裝置，其特征在于，所述噴嘴 上開設(shè)有設(shè)置內(nèi)螺紋的連接孔，設(shè)置有外螺紋的調(diào)節(jié)桿螺接在所述連接孔內(nèi)。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一所述的掩膜工藝用噴涂裝置，其特征在于， 所述調(diào)節(jié)架為一個(gè)，設(shè)置在所述噴嘴的中部。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一所述的掩膜工藝用噴涂裝置，其特征在于， 所述調(diào)節(jié)架為二個(gè)，對稱設(shè)置在所述噴嘴的中部附近。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一所述的掩膜工藝用噴涂裝置，其特征在于， 所述調(diào)節(jié)架為三個(gè)，其中一個(gè)設(shè)置在所述噴嘴的中部，另外二個(gè)對稱設(shè)置在 所述噴嘴的中部附近。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種掩膜工藝用噴涂裝置，包括支架和通過安裝架連接在所述支架上的噴嘴，所述噴嘴和支架之間連接有至少一個(gè)通過對噴嘴產(chǎn)生相應(yīng)拉力或推力以補(bǔ)償噴嘴自身形變使噴嘴保持平直度的調(diào)節(jié)架。所述調(diào)節(jié)架包括固定在所述支架上的連接角板和對噴嘴產(chǎn)生相應(yīng)拉力或推力的調(diào)節(jié)桿，所述調(diào)節(jié)桿的一端與所述連接角板連接，另一端與所述噴嘴連接。本實(shí)用新型通過在支架與噴嘴間設(shè)置調(diào)節(jié)架，減小噴嘴形變并對已產(chǎn)生的形變施加外力進(jìn)行補(bǔ)償，從而可使噴嘴本身平直性持續(xù)控制在所需技術(shù)范圍內(nèi)，延長了噴嘴的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)品質(zhì)。
文檔編號G03F7/16GK201083958SQ200720149450
公開日2008年7月9日 申請日期2007年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月5日
發(fā)明者張學(xué)智 申請人:北京京東方光電科技有限公司