專利名稱：一種真空對(duì)盒設(shè)備中的靜電吸附板及真空對(duì)盒設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示器面板制造過(guò)程中的設(shè)備，尤其涉及真空對(duì)盒
(Vacuum Aligner)設(shè)備中的靜電吸附板(ESC)和真空對(duì)盒設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，隨著數(shù)字化電視的普及，傳統(tǒng)的CRT顯示由于其數(shù)字化困難， 以及體積大，重量大，有輻射等缺點(diǎn)，已經(jīng)出現(xiàn)了被新一代顯示技術(shù)替代的 趨勢(shì)，代表性的新顯示技術(shù)有PDP, 0LED， LCD等。其中，液晶顯示器(LCD) 由于具有重量輕，厚度薄，無(wú)輻射，耗電量小，顯示分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，已開 始大量普及，開始成為主流產(chǎn)品。
在LCD面板制造中，尤其是在滴注式(0DF)工藝過(guò)程中，由于其工藝過(guò) 程要求在真空環(huán)境下將兩塊玻璃基板貼合，不能采用傳統(tǒng)的真空吸附方式， 因此采用庫(kù)侖力將上下兩塊玻璃基本進(jìn)行吸附。真空對(duì)盒設(shè)備就是這樣的設(shè) 備。真空對(duì)盒設(shè)備主要結(jié)構(gòu)是分為上下兩個(gè)基臺(tái)(Stage)，將16個(gè)形狀 大小完全一樣的靜電吸附板安裝在上下基臺(tái)上。圖l所示為現(xiàn)有技術(shù)中的靜 電吸附板截面示意圖，如圖1所示，該靜電吸附板6包括金屬基臺(tái)5 ( Al基 臺(tái))、以及依次形成在金屬基臺(tái)5上的基材層3、電極層2和保護(hù)層1等構(gòu) 成。
由于在長(zhǎng)期使用過(guò)成中靜電吸附板的電極層會(huì)受到破壞，導(dǎo)致靜電吸附 板不能使用需要進(jìn)行更換。但是其更換作業(yè)麻煩。尤其在更換上基臺(tái)的靜電 吸附板時(shí)，需要2 3人共同作業(yè)，兩個(gè)人托住靜電吸附板，另一個(gè)人用螺絲 進(jìn)行固定。由于作業(yè)空間有限，兩個(gè)人只能用一只手分別托住靜電吸附板兩 側(cè)，將其對(duì)準(zhǔn)對(duì)位銷后固定在基臺(tái)上保持不動(dòng)，另一個(gè)人仰臥在下基臺(tái)上，用螺絲再將其固定。固定一個(gè)靜電吸附板需要17個(gè)螺絲。固定一個(gè)靜電吸附 板需要l個(gè)小時(shí)左右，整個(gè)作業(yè)過(guò)程很不利于作業(yè)者操作，工作效率很低。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種真空對(duì)盒設(shè)備中的 靜電吸附板及真空對(duì)盒設(shè)備，通過(guò)改變靜電吸附板中的金屬基臺(tái)座的手段， 達(dá)到對(duì)更換靜電吸附板簡(jiǎn)易的效果，從而解決更換麻煩的問(wèn)題，提高工作效 率。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種真空對(duì)盒設(shè)備中的靜電吸附板， 包括金屬基臺(tái)，依次形成在金屬基臺(tái)一面上的基材層、電極層和保護(hù)層， 其中所述金屬基臺(tái)的另 一 面上形成有;茲力層。
上述方案中，所述金屬基臺(tái)的材料為Al等金屬材料。所述磁力層的材料 為FeA等磁性材料。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型同時(shí)提供一種真空對(duì)盒設(shè)備，包括上 基臺(tái)和相對(duì)設(shè)置的下基臺(tái)，設(shè)置在上基臺(tái)和下基臺(tái)相對(duì)面上的多個(gè)靜電吸附 板，所述上基臺(tái)和/或下基臺(tái)上的靜電吸附板包括金屬基臺(tái)，依次形成在金 屬基臺(tái)一面上的基材層、電極層和保護(hù)層及在金屬基臺(tái)的另一面上形成有磁 力層。
上述方案中，所述金屬基臺(tái)的材料為Al等金屬材料。所述磁力層的材料 為Fe^等磁性材料。
相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中金屬基臺(tái)是由鋁(A1)制作而成，再在金屬基臺(tái)上附著 基材層，電極層和保護(hù)層，安裝時(shí)，對(duì)準(zhǔn)基臺(tái)上的對(duì)位銷后，分別由兩個(gè)人 托住靜電吸附板，再由一個(gè)人仰臥在下基臺(tái)上用螺絲將其固定住的繁瑣過(guò)程； 本實(shí)用新型中金屬基臺(tái)座是由鋁(Al)+磁鐵(FeA)合成，減小鋁層的厚度，在 鋁層的下面附著磁力層，磁力層加鋁層的厚度等同于原有金屬基層的厚度， 然后再鋁層上附著基材層，電極層和保護(hù)層。安裝時(shí)，由于上基臺(tái)是鋼鐵結(jié)構(gòu)，這樣對(duì)準(zhǔn)好基臺(tái)上的對(duì)位銷后，靜電吸附板便在》茲鐵的作用下吸附在上 基臺(tái)上，而不再需要人來(lái)托著。這樣只需要一個(gè)人仰臥在下基臺(tái)上用螺絲將 其固定住即可，即更換靜電吸附板時(shí)只需要一個(gè)人即可完成整個(gè)作業(yè)，而且 作業(yè)時(shí)間也將縮短，降低了作業(yè)難度，提高了工作效率。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步更為詳細(xì)地說(shuō)明。


圖l是現(xiàn)有技術(shù)靜電吸附板的斷面示意圖； 圖2是本實(shí)用新型靜電吸附板的斷面示意圖； 圖3是本實(shí)用新型靜電吸附板安裝在基臺(tái)上示意圖一； 圖4是本實(shí)用新型靜電吸附板安裝在基臺(tái)上示意圖二。 圖中標(biāo)記1、保護(hù)層；2、電極層；3、基材層；4、磁力層；5、金屬基 臺(tái)；6、靜電吸附板；7、上基臺(tái)；8、下基臺(tái)；9、操作人員；10、定位裝置。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步更為詳細(xì)地說(shuō)明。 圖2所示是本實(shí)用新型靜電吸附板的斷面示意圖。如圖2所示，本實(shí)用 新型的靜電吸附板6包括金屬基臺(tái)5,依次形成在金屬基臺(tái)5 —面上的基材 層3、電極層2和保護(hù)層1，上述這些組成部分同現(xiàn)有技術(shù)中的相同，本實(shí)用 新型區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的特征在于在靜電吸附板6的金屬基臺(tái)5的另一面上形 成一層磁力層4，其中金屬基臺(tái)5的材料為鋁，磁力層4的材料為Fe304;金 屬基臺(tái)5的厚度同現(xiàn)有技術(shù)中的金屬基臺(tái)厚度約為相比，厚度減少，金屬基 臺(tái)5的厚度與石茲力層4的厚度之和同現(xiàn)有技術(shù)中的金屬基層的厚度相當(dāng)。
圖3、圖4所示為本實(shí)用新型靜電吸附板安裝在基臺(tái)上示意圖。如圖3 所示，安裝時(shí)，由于上基臺(tái)7是鋼鐵結(jié)構(gòu)，操作人員9將靜電吸附板6舉起 對(duì)準(zhǔn)好上基臺(tái)7上的對(duì)位裝置10后，靜電吸附板6便在磁力層的磁性力的作
用下吸附在上基臺(tái)7上。如圖4所示，當(dāng)靜電吸附板6吸附在上基臺(tái)7后， 操作人員9仰臥在下基臺(tái)8上用螺絲將靜電吸附板6緊在固定上基臺(tái)7即完 成靜電吸附板的安裝。本實(shí)用新型要求磁力層磁性力要求只要靜電吸附板6 自然狀態(tài)下不至于掉下即可。
上述更換靜電吸附板時(shí)只需要一個(gè)人即可完成整個(gè)作業(yè)，而且作業(yè)時(shí)間 大大縮短，不僅降低了作業(yè)難度，而且大大提高了工作效率。
本實(shí)用新型在靜電吸附板6中添加磁力層4后，并未改變?cè)性O(shè)備的工 作機(jī)理。本實(shí)用新型增加的磁力層4的磁場(chǎng)方向如圖2中箭頭b所示方向， 與原有電極層2所形成的庫(kù)侖力的磁場(chǎng)方向如圖2中箭頭a所示方向平行， 這樣兩個(gè)磁場(chǎng)并不存在交叉，也就不會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)相互切割現(xiàn)象，因此，增加 磁力層不會(huì)改變?cè)O(shè)備原有的工作機(jī)理。
上述給出的僅為本實(shí)用新型的一具體實(shí)施例，其可進(jìn)行各種形式的變通， 如將吸附板下方的磁力層的形狀和厚度進(jìn)行變通；或者將磁鐵成變成其他磁 力裝置，如電磁力裝置等等。
最后應(yīng)說(shuō)明的是，以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限 制，盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員應(yīng)當(dāng)理解，按照需要可使用不同材料和設(shè)備實(shí)現(xiàn)之，即可以對(duì)本實(shí)用新 型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神 和范圍。
權(quán)利要求1、一種真空對(duì)盒設(shè)備中的靜電吸附板，包括金屬基臺(tái)，依次形成在金屬基臺(tái)一面上的基材層、電極層和保護(hù)層，其特征在于所述金屬基臺(tái)的另一面上形成有磁力層。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空對(duì)盒設(shè)備中的靜電吸附板，其特征在于 所述金屬基臺(tái)的材料為Al。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空對(duì)盒設(shè)備中的靜電吸附板，其特征在于 所述^f茲力層的材料為Fe304。
4、 一種真空對(duì)盒設(shè)備，其特征在于，包括上基臺(tái)和相對(duì)設(shè)置的下基臺(tái)， 設(shè)置在上基臺(tái)和下基臺(tái)相對(duì)面上的多個(gè)靜電吸附板，所述上基臺(tái)上的靜電吸 附板包括金屬基臺(tái)，依次形成在金屬基臺(tái)一面上的基材層、電極層和保護(hù) 層及在金屬基臺(tái)的另 一 面上形成有磁力層。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空對(duì)盒設(shè)備，其特征在于所述金屬基臺(tái)的 材料為Al。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空對(duì)盒設(shè)備，其特征在于所述;茲力層的材 料為Fe304。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種真空對(duì)盒設(shè)備中的靜電吸附板，包括金屬基臺(tái)，依次形成在金屬基臺(tái)一面上的基材層、電極層和保護(hù)層，及在金屬基臺(tái)的另一面上形成有磁力層，其中磁力層的材料為Fe₃O₄。本實(shí)用新型同時(shí)公開了一種真空對(duì)盒設(shè)備，包括上基臺(tái)和相對(duì)設(shè)置的下基臺(tái)，設(shè)置在上基臺(tái)和下基臺(tái)相對(duì)面上的多個(gè)靜電吸附板。本實(shí)用新型通過(guò)改變靜電吸附板的金屬基臺(tái)座的手段，達(dá)到對(duì)更換靜電吸附板簡(jiǎn)易的效果，從而解決真空對(duì)盒設(shè)備中更換靜電吸附板麻煩的問(wèn)題，提高工作效率。
文檔編號(hào)G02F1/13GK201072478SQ200720149139
公開日2008年6月11日 申請(qǐng)日期2007年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月15日
發(fā)明者朱海波 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司