專利名稱：一種真空吸筆的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能電池片生產(chǎn)的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及取放硅片的輔助工具。
背景技術(shù)：
隨著經(jīng)濟建設(shè)的快速發(fā)展，微電子技術(shù)得到了迅猛地發(fā)展，在硅片制造業(yè)中，最重要的就是產(chǎn)品合格率。由于硅片很薄、很脆弱、很精密，在生產(chǎn)、搬運、包裝的過程中，如果用手直接拿硅片，易破片，并且硅片表面留下手指印或灰塵造成污染，表面的絨面結(jié)構(gòu)容易被破壞，影響硅片的性能。為了避免這種情況，采用真空吸筆，但現(xiàn)有的真空吸筆采用硬連接，當吸筆吸住硅片在石墨舟和石英舟取放時，碰到舟的作用力過大就容易造成硅片破碎，導(dǎo)致產(chǎn)品報廢率較高。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種可降低碎片的真空吸 筆。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的一種真空吸筆，包括吸管和吸盤，吸管的一端管壁上設(shè)置氣孔，所述吸管與吸盤之間通過軟管連接，所述氣孔設(shè)置在吸管連接軟管的一端。本實用新型的吸盤與吸管之間通過軟管進行軟連接，當吸筆吸住硅片與石墨舟或石英舟接觸時，軟管部分會卸掉相當大一部分作用力，而硅片本身承受的作用力就會很小，能夠降低碎片，提高產(chǎn)品合格率。

圖I為本實用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖I所示，為真空吸筆，包括吸管I和吸盤4，吸管I與吸盤4之間通過軟管3連接，吸管I連接軟管3的一端管壁上設(shè)置氣孔2。
權(quán)利要求1. 一種真空吸筆，包括吸管和吸盤，吸管的一端管壁上設(shè)置氣孔，其特征在于所述吸管與吸盤之間通過軟管連接，所述氣孔設(shè)置在吸管連接軟管的一端。
專利摘要一種真空吸筆，涉及太陽能電池片生產(chǎn)的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及取放硅片的輔助工具，包括吸管和吸盤，吸管的一端管壁上設(shè)置氣孔，所述吸管與吸盤之間通過軟管連接，所述氣孔設(shè)置在吸管連接軟管的一端。本實用新型的吸盤與吸管之間通過軟管進行軟連接，當吸筆吸住硅片與石墨舟或石英舟接觸時，軟管部分會卸掉相當大一部分作用力，而硅片本身承受的作用力就會很小，能夠降低碎片，提高產(chǎn)品合格率。
文檔編號H01L21/683GK202695414SQ20122030290
公開日2013年1月23日 申請日期2012年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月27日
發(fā)明者魯福建 申請人:揚州鑫晶光伏科技有限公司