專(zhuān)利名稱(chēng)：防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于一種應(yīng)用于玻璃基板制造過(guò)程的裝置，尤指一種防止靜電 聚集的光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)，該涂布機(jī)承載盤(pán)可避免玻璃基板與涂布機(jī)承 載盤(pán)脫離時(shí)，受脫離瞬間時(shí)所產(chǎn)生的靜電傷害，以確保玻璃基板的良率。
背景技術(shù)：
液晶屏幕具有輕薄而不占空間的優(yōu)點(diǎn)，目前已大幅取代傳統(tǒng)的陰極射 線管屏幕而普遍應(yīng)用于各種場(chǎng)合之中。
液晶屏幕的核心元件為玻璃基板，在液晶面板的制造過(guò)程中，必須在 玻璃基板上執(zhí)行半導(dǎo)體制程以制作薄膜晶體管及線路，其中的黃光制造過(guò) 程即是在玻璃基板上涂布一層均勻的光刻膠，接著在后續(xù)步驟中配合光掩 膜來(lái)在光刻膠層上形成電路圖案，以便能進(jìn)行曝光顯影等后續(xù)步驟。
請(qǐng)參照?qǐng)D5,目前在玻璃基板上涂布光刻膠的方式是通過(guò)一光刻膠涂布 機(jī)來(lái)進(jìn)行光刻膠的涂布，該涂布機(jī)包含有一馬達(dá)(圖中未示)、 一真空泵 (圖中未示)、 一轉(zhuǎn)軸90以及一真空吸盤(pán)91;該轉(zhuǎn)軸90是由馬達(dá)傳動(dòng)而 旋轉(zhuǎn)；該真空吸盤(pán)91固設(shè)于轉(zhuǎn)軸上，且與真空泵連接以便能產(chǎn)生真空吸力。
涂布光刻膠時(shí)，先置放一玻璃基板92于真空吸盤(pán)頂面，并在玻璃基板 92中心處滴上光刻膠液，接著啟動(dòng)真空泵，令真空吸盤(pán)對(duì)玻璃基板產(chǎn)生真 空吸力，接著啟動(dòng)馬達(dá)，使真空吸盤(pán)91連同玻璃基板92旋轉(zhuǎn)，中心處的 光刻膠液則受到離心力作用而徑向向外擴(kuò)散至整個(gè)玻璃基板92表面。
然而，當(dāng)涂布光刻膠的步驟完成而將玻璃基板92脫離真空吸盤(pán)91的 瞬間，真空吸盤(pán)91表面將產(chǎn)生達(dá)15-16千伏特(Kilovolt， KV)的高壓靜
電，而損壞玻璃基板92上的電路，輕則局部受損，嚴(yán)重時(shí)則將造成玻璃基 板92的報(bào)廢，因而降低玻璃基板92的良率。
本發(fā)明人根據(jù)現(xiàn)有玻璃基板光刻膠涂布機(jī)的真空吸盤(pán)聚集靜電而損壞 玻璃基板上原有電路的缺點(diǎn)，改良其不足與缺失，進(jìn)而發(fā)明出一種防止靜 電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承栽盤(pán)，該 光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)可順暢接地而避免聚集靜電，使得玻璃基板脫離光刻 膠涂布機(jī)時(shí)不受到靜電傷害而報(bào)廢，以提高玻璃基板的良率。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的， 一種防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載 盤(pán)，包含有一托盤(pán)與一托盤(pán)固接的固定座，其中
該托盤(pán)與固定座均為導(dǎo)體，且托盤(pán)與固定座之間可構(gòu)成電傳導(dǎo)，又固 定座是通過(guò)一也為導(dǎo)體的轉(zhuǎn)軸與涂布機(jī)上的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連結(jié)，并受其傳動(dòng)， 該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)并具有接地設(shè)施；由此，前述托盤(pán)、固定座、轉(zhuǎn)軸與傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 的接地設(shè)施之間將構(gòu)成一靜電排放路徑，當(dāng)托盤(pán)上真空吸附的玻璃基板完 成光刻膠涂布，該玻璃基板與托盤(pán)表面瞬間脫離時(shí)所產(chǎn)生的大量靜電將通 過(guò)前述靜電排放路徑迅速泄放導(dǎo)引至大地，從而可避免靜電聚集對(duì)玻璃基 板造成傷害。
前述托盤(pán)具有含碳材料而具備導(dǎo)電特性。
前述托盤(pán)含有石墨而具備導(dǎo)電特性。
前述托盤(pán)含有金屬而具有導(dǎo)電性。
前述托盤(pán)的電阻為103-105歐姆(Q ) /平方(ohms/sq)。
前述該轉(zhuǎn)軸靠近頂端的側(cè)壁上形成有至少一個(gè)定位槽，該固定座以可 拆卸方式固定在轉(zhuǎn)軸上，在固定座的底部向下垂直突伸有一套接部，在套 接部底端形成有一供轉(zhuǎn)軸頂端伸入的安裝孔，在套接部側(cè)壁貫穿形成有至
少一通孔， 一可拆式插銷(xiāo)穿過(guò)通孔并伸入定位槽。
前述托盤(pán)中心貫穿形成有一穿孔，且頂面形成有多個(gè)與穿孔連通的流 道，該固定座中心貫穿形成有一與該穿孔連通的貫孔，由此，可令固定座 貫孔通過(guò)管線外接一真空泵，并使托盤(pán)的流道產(chǎn)生真空吸力。
前述多個(gè)流道包含有多個(gè)徑向流道及多個(gè)環(huán)形流道。
由上述技術(shù)手段，托盤(pán)、固定座及轉(zhuǎn)軸所構(gòu)成的靜電排放路徑可順利 將靜電傳導(dǎo)至光刻膠涂布機(jī)所在的地面，由此，可避免玻璃基板脫離托盤(pán) 時(shí)，遭受靜電損傷玻璃基板上的原有電路，造成玻璃基板報(bào)廢，故玻璃基 板的良率可大大提高。


圖1:本發(fā)明立體外觀圖。圖2:本發(fā)明放大立體外觀圖。圖3:本發(fā)明側(cè)視部份剖面圖。圖4:本發(fā)明導(dǎo)電示意圖，箭頭代表導(dǎo)電路徑。圖5:已知光刻膠涂布機(jī)的示意圖。附圖標(biāo)號(hào)
10轉(zhuǎn)軸11定位槽
20固定座21貫孔
221安裝孔223通孔
225插銷(xiāo)30托盤(pán)
31穿孔32徑向流道
33環(huán)形流道80平臺(tái)
90轉(zhuǎn)軸91真空吸盤(pán)
92玻璃基板具體實(shí)施例方式
請(qǐng)參照?qǐng)Dl及圖2，本發(fā)明防止靜電聚集的光刻膠涂布^L承栽盤(pán)與一傳 動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，并且外接一真空泵，而整體固定在一平臺(tái)80上，由此形成一 光刻膠涂布機(jī)。
請(qǐng)參照?qǐng)D2及圖3，該光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)包含有一托盤(pán)30與一托盤(pán) 30固接的固定座20，其中
該托盤(pán)30與固定座20均為導(dǎo)體，且托盤(pán)30與固定座之間可構(gòu)成電傳 導(dǎo)，托盤(pán)30可具有含碳材料、石墨或是金屬等成分因而具備導(dǎo)電特性，較 佳者，托盤(pán)30的電阻可為103-105歐姆(Q ) /平方(ohms/sq)。
請(qǐng)參照?qǐng)D2與圖4,該固定座20是通過(guò)一也為導(dǎo)體的轉(zhuǎn)軸10與涂布機(jī) 上的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連結(jié)，并受其傳動(dòng)，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)并具有接地設(shè)施；由此，前 述托盤(pán)30、固定座20、轉(zhuǎn)軸10與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的接地設(shè)施之間將構(gòu)成一靜電 排放路徑，當(dāng)托盤(pán)30上真空吸附的玻璃基板完成光刻膠涂布，該玻璃基板 與托盤(pán)30表面瞬間脫離時(shí)所產(chǎn)生的大量靜電將通過(guò)前述靜電排放路徑迅速 泄放導(dǎo)引至大地，從而可避免靜電聚集對(duì)玻璃基板造成傷害。
此外，該托盤(pán)30中心貫穿形成有一穿孔31,且頂面形成有多個(gè)與穿孔 31連通的徑向流道32與環(huán)形流道33，該固定座20中心貫穿形成有一與該 穿孔31連通的貫孔21，由此，可令固定座20貫孔21通過(guò)管線外接該真空 泵，并使托盤(pán)30的流道32、 33產(chǎn)生真空吸力。
較佳者，該轉(zhuǎn)軸10靠近頂端的側(cè)壁上形成有至少一個(gè)定位槽11，該固 定座20是以可拆卸方式固定在轉(zhuǎn)軸10上，在固定座20的底部向下垂直突 伸有一套接部22，在套接部22底端形成有一供轉(zhuǎn)軸10頂端伸入的安裝孔 221,在套接部22側(cè)壁貫穿形成有至少一通孔223, —可拆式插銷(xiāo)225穿過(guò) 通孔并伸入定位槽11以固接轉(zhuǎn)軸IO及固定座20。
由上述技術(shù)手段，托盤(pán)30、固定座20及轉(zhuǎn)軸10所構(gòu)成的靜電排放路
徑可順利將靜電傳導(dǎo)并排放至大地，由此，可避免玻璃基板脫離托盤(pán)30時(shí)， 遭受靜電損傷玻璃基板上的原有電路，造成玻璃基板報(bào)廢，故可提高玻璃 基板良率，降低玻璃基板的成本。
權(quán)利要求
1.一種防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)，包含有一托盤(pán)與一托盤(pán)固接的固定座，其特征在于該托盤(pán)與固定座均為導(dǎo)體，其中托盤(pán)與固定座之間構(gòu)成電傳導(dǎo)，該固定座可受一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)，并與其接地結(jié)構(gòu)連結(jié)，以形成一靜電排除路徑。
2. 如權(quán)利要求1所述的防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)，其特征 在于該托盤(pán)由含碳材料所構(gòu)成而具備導(dǎo)電性。
3. 如權(quán)利要求1所述的防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)，其特征 在于該托盤(pán)含有石墨而具備導(dǎo)電性。
4. 如權(quán)利要求1所述的防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)，其特征 在于該托盤(pán)含有金屬而具備導(dǎo)電性。
5. 如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載 盤(pán)，其特征在于該托盤(pán)的電阻為103-105歐姆/平方。
6. 如權(quán)利要求5所述的防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承栽盤(pán)，其特征 在于該固定座通過(guò)一轉(zhuǎn)軸與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連結(jié)，該轉(zhuǎn)軸也為導(dǎo)體，該轉(zhuǎn)軸靠 近頂端的側(cè)壁上形成有至少 一個(gè)定位槽，該固定座是以可拆卸方式固定在 轉(zhuǎn)軸上，在固定座的底部向下垂直突伸有一套接部，在套接部底端形成有 一供轉(zhuǎn)軸頂端伸入的安裝孔，在套接部側(cè)壁貫穿形成有至少一通孔， 一可 拆式插銷(xiāo)穿過(guò)通孔并伸入定位槽。
7. 如權(quán)利要求6所述的防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)，其特征 在于該托盤(pán)中心貫穿形成有一穿孔，且頂面形成有多個(gè)與穿孔連通的流 道，該固定座中心貫穿形成有一與該穿孔連通的貫孔，由此，可令固定座 貫孔通過(guò)管線外接一真空泵，并使托盤(pán)的流道產(chǎn)生真空吸力。
8. 如權(quán)利要求7所述的防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承栽盤(pán)，其特征 在于該多個(gè)流道包含有多個(gè)徑向流道及多個(gè)環(huán)形流道。
全文摘要
本發(fā)明為一種可防止靜電聚集的光刻膠涂布機(jī)承載盤(pán)，包括有一托盤(pán)及一與托盤(pán)固接的固定座；其中該托盤(pán)與固定座均為導(dǎo)體，且托盤(pán)與固定座之間可構(gòu)成電傳導(dǎo)，又固定座是通過(guò)一也為導(dǎo)體的轉(zhuǎn)軸與涂布機(jī)上的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連結(jié)，并受其傳動(dòng)，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)并具有接地設(shè)施；由此，前述托盤(pán)、固定座、轉(zhuǎn)軸與傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的接地設(shè)施之間將構(gòu)成一靜電排放路徑，當(dāng)托盤(pán)上真空吸附的玻璃基板完成光刻膠涂布，該玻璃基板與托盤(pán)表面瞬間脫離時(shí)所產(chǎn)生的大量靜電將通過(guò)前述靜電排放路徑迅速泄放導(dǎo)引至大地，從而可避免靜電聚集對(duì)玻璃基板造成傷害。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101101446SQ20061010056
公開(kāi)日2008年1月9日 申請(qǐng)日期2006年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月3日
發(fā)明者張謙圣, 鄭瑞忠 申請(qǐng)人:元太科技工業(yè)股份有限公司