技術編號：2690896
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于一種應用于玻璃基板制造過程的裝置，尤指一種防止靜電 聚集的光刻膠涂布機承載盤，該涂布機承載盤可避免玻璃基板與涂布機承 載盤脫離時，受脫離瞬間時所產(chǎn)生的靜電傷害，以確保玻璃基板的良率。背景技術液晶屏幕具有輕薄而不占空間的優(yōu)點，目前已大幅取代傳統(tǒng)的陰極射 線管屏幕而普遍應用于各種場合之中。液晶屏幕的核心元件為玻璃基板，在液晶面板的制造過程中，必須在 玻璃基板上執(zhí)行半導體制程以制作薄膜晶體管及線路，其中的黃光制造過 程即是在玻璃基板上涂布一層均勻的光刻...
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