硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,包括用于固定硅片的真空吸盤,真空吸盤1的上表面上設(shè)有若干氣孔,所述氣孔與印刷機抽真空裝置、印刷機送風(fēng)系統(tǒng)連通。本實用新型在定位時連通抽真空裝置,能夠吸附硅片使其定位便于加工,在加工完成后關(guān)閉切斷抽真空裝置,頂桿向上頂起的同時吸盤連通送氣裝置,用氣流向上頂硅片,在氣流和頂桿的同時作用下,能夠保證硅片快速完整的取出,大大降低工件在卸料時的損壞率。
【專利說明】硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體材料加工生產(chǎn)領(lǐng)域,具體涉及一種硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)數(shù)十年來的技術(shù)積累,光伏設(shè)備企業(yè)已基本具備太陽能電池制造設(shè)備的整線裝備能力。光伏太陽能硅片印刷機已廣泛應(yīng)用于光伏太陽能硅片的印刷生產(chǎn),印刷光伏太陽能硅片的最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路,這種金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成,即將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極。由此可見,光伏太陽能硅片的質(zhì)量好壞很大程度取決于光伏太陽能硅片印刷機的設(shè)備質(zhì)量。
[0003]現(xiàn)有的印刷機正面電極印刷工位的工件臺上表面設(shè)有與抽真空管連接的氣孔,運行時硅片與工件臺上表面貼合,硅片在氣孔的作用下真空吸附定位,印刷完成后,停止抽真空,工件臺底部的升降桿將硅片頂出工件臺。但是由于硅片的底面平滑,盡管加工完成后工件臺已不再抽真空,硅片的底面依然會與工件臺貼合緊密,升降桿頂出硅片時若兩者貼合太緊各易損壞娃片,造成廢品。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,裝卸工件快速簡單,且不對工件造成損壞,大大降低工件卸料時損壞率。
[0005]本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
[0006]硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,包括用于固定硅片的真空吸盤,真空吸盤I的上表面上設(shè)有若干氣孔,所述氣孔與印刷機抽真空裝置、印刷機送風(fēng)系統(tǒng)連通。
[0007]本實用新型進一步的改進方案是,所述真空吸盤上設(shè)有與氣孔連通的進氣口、出氣口,所述進氣口通過連接管與所述印刷機送風(fēng)系統(tǒng)連接,所述出氣口通過另一根連接管與所述印刷機抽真空裝置連接,所述的連接管上都設(shè)有與所述印刷機控制系統(tǒng)電連接的控制閥;或者所述真空吸盤上設(shè)有一個與所述氣孔連通的輸氣口,所述輸氣口通過連接管與換向閥的出口連接,所述換向閥的兩進口分別通過連接管與所述印刷機抽真空裝置、印刷機送風(fēng)系統(tǒng)連接。
[0008]本實用新型進一步改進方案是,所述換向閥連接有時間繼電器,所述時間繼電器與印刷機的控制系統(tǒng)電連接。
[0009]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點:
[0010]本實用新型在定位時連通抽真空裝置,能夠吸附硅片使其定位便于加工,在加工完成后關(guān)閉切斷抽真空裝置,頂桿向上頂起的同時吸盤連通送氣裝置,用氣流向上頂硅片,在氣流和頂桿的同時作用下,能夠保證硅片快速完整的取出,大大降低工件在卸料時的損壞率。【專利附圖】
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型雙接口俯視示意圖。
[0012]圖2為本實用新型單接口俯視示意圖。
【具體實施方式】
[0013]如圖1所述的硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,包括用于固定硅片的真空吸盤1,真空吸盤I的上表面上設(shè)有若干氣孔8,氣孔8與印刷機抽真空裝置2、印刷機送風(fēng)系統(tǒng)3連通。本實用新型在定位時連通抽真空裝置,能夠吸附硅片使其定位便于加工,在加工完成后關(guān)閉切斷抽真空裝置,頂桿向上頂起的同時吸盤連通送氣裝置,用氣流向上頂硅片,在氣流和頂桿的同時作用下,能夠保證硅片快速完整的取出。
[0014]具體的是,真空吸盤I上設(shè)有與所述氣孔8連通的進氣口 4、出氣口 5,進氣口 4通過連接管與印刷機送風(fēng)系統(tǒng)3連接,出氣口 5通過另一根連接管與印刷機抽真空裝置2連接,所述的連接管上都設(shè)有與印刷機控制系統(tǒng)電連接的控制閥6。
[0015]或者真空吸盤I設(shè)有一個與氣孔8連通的輸氣口 41,輸氣口 41通過連接管與換向閥7的出口連接,換向閥7的兩進口分別通過連接管與所述印刷機抽真空裝置2、印刷機送風(fēng)系統(tǒng)3連接,換向閥7連接有時間繼電器,時間繼電器與印刷機的控制系統(tǒng)電連接。
【權(quán)利要求】
1.硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,包括用于固定硅片的真空吸盤(1),真空吸盤I的上表面上設(shè)有若干氣孔(8),其特征在于:所述氣孔(8)與印刷機抽真空裝置(2)、印刷機送風(fēng)系統(tǒng)(3)連通。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,其特征在于:所述真空吸盤(I)上設(shè)有與所述氣孔(8)連通的進氣口(4)、出氣口(5),所述進氣口(4)通過連接管與所述印刷機送風(fēng)系統(tǒng)(3)連接,所述出氣口(5)通過另一根連接管與所述印刷機抽真空裝置(2)連接,所述的連接管上都設(shè)有與所述印刷機控制系統(tǒng)電連接的控制閥(6);或者所述真空吸盤(I)上設(shè)有一個與所述氣孔(8)連通的輸氣口(41),所述輸氣口(41)通過連接管與換向閥(7)的出口連接,所述換向閥(7)的兩進口分別通過連接管與所述印刷機抽真空裝置(2 )、印刷機送風(fēng)系統(tǒng)(3)連接。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,其特征在于:所述換向閥(7)連接有時間繼電器,所述時間繼電器與印刷機的控制系統(tǒng)電連接。
【文檔編號】B41F15/20GK203528055SQ201320596559
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月26日
【發(fā)明者】高超, 徐昌華, 史才成, 孟憲亮, 郝子龍, 鄭銀先, 華貴俊, 陳前兆 申請人:江蘇晶鼎電子材料有限公司