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機(jī)械手系統(tǒng)中的傳送裝置和方法

文檔序號(hào):2324769閱讀:200來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):機(jī)械手系統(tǒng)中的傳送裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及機(jī)械手系統(tǒng)中的傳送裝置和傳送方法,特別是涉及一種用于將堆疊于一料盒上的托盤(pán)拾起并將這些托盤(pán)沿水平及垂直方向傳送的傳送裝置。
在電子工業(yè)中,總是不斷地要求生產(chǎn)諸如集成電路或半導(dǎo)體晶片之類(lèi)的成本低且尺寸小的電子裝置。增加這種電子裝置的產(chǎn)量,即減少其單位成本的方法之一是借助于同時(shí)測(cè)試許多這種裝置而增加這些電子裝置的測(cè)試速度。
為了測(cè)試這樣的半導(dǎo)體裝置,使用了一種機(jī)械手系統(tǒng)。當(dāng)這些半導(dǎo)體裝置在一用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的機(jī)械手系統(tǒng)中進(jìn)行測(cè)試時(shí),一個(gè)裝納許多半導(dǎo)體裝置的托盤(pán)被作為一個(gè)單元進(jìn)行傳送。此處,用戶(hù)用于輸入和輸出該半導(dǎo)體裝置的托盤(pán)稱(chēng)之為用戶(hù)托盤(pán),而用于機(jī)械手系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)托盤(pán)稱(chēng)之為測(cè)試托盤(pán)。為了便于供給和輸出這些被測(cè)試的半導(dǎo)體裝置,該半導(dǎo)體裝置需要從用戶(hù)托盤(pán)傳送到測(cè)試托盤(pán)或從測(cè)試托盤(pán)傳送到用戶(hù)托盤(pán)。


圖1和2表示一種公開(kāi)于美國(guó)專(zhuān)利NO.530711中的機(jī)械手系統(tǒng)。該文公開(kāi)的機(jī)械手系統(tǒng)21包括一下箱22(圖1中示出其局部),一中部23及一上部24。該下箱22裝納有動(dòng)力供給件,電連接裝置及各電纜,它們控制主要是在該機(jī)械手系統(tǒng)21的中部23和上部24中發(fā)生的測(cè)試操作的功能及步驟。
一料盒輸入?yún)^(qū)25位于該機(jī)械手系統(tǒng)21的中部23的左側(cè),而一料盒輸出區(qū)26位于該機(jī)械手系統(tǒng)21的中部23的中前側(cè)。每個(gè)料盒輸入?yún)^(qū)25和輸出區(qū)26都包括若干工作臺(tái)27。每個(gè)工作臺(tái)27裝載料盒1,在該料盒1上堆疊許多用戶(hù)托盤(pán)。欲被測(cè)試的半導(dǎo)體裝置就設(shè)置于這些用戶(hù)托盤(pán)上。
每個(gè)工作臺(tái)27設(shè)有一個(gè)用于升/降該料盒1的升降機(jī)38,并用一電動(dòng)機(jī)49驅(qū)動(dòng)該升降機(jī)38。在該工作臺(tái)27上方配裝有許多用于將堆疊在料盒1上的托盤(pán)傳送到一設(shè)定位置或者用于將含有已被測(cè)試并已根據(jù)測(cè)試結(jié)果分類(lèi)過(guò)的半導(dǎo)體裝置的托盤(pán)傳送到一預(yù)定位置的傳送頭(未示出),及用于驅(qū)動(dòng)這些傳送頭的各傳送臂40。
這些傳送臂40在水平方向和垂直方向運(yùn)動(dòng)。這些傳送臂40降到該工作臺(tái)27處的料盒1的上側(cè)面上,所以該傳送頭可以從堆疊于該料盒1上的各托盤(pán)中拾起最上面的托盤(pán)。然后該傳送臂40上升,并沿水平方向移動(dòng)將該拾起的托盤(pán)傳送到一預(yù)定的地方。然后電動(dòng)機(jī)49驅(qū)動(dòng)該升降機(jī)38使該料盒1抬升,因此下一個(gè)堆疊于該料盒上的托盤(pán)上升到能被該傳送頭拾起的高度處。然后該傳送頭返回并下降,從而拾起已上升到拾起位置的下一個(gè)托盤(pán)。
然而,這種常規(guī)的機(jī)械手系統(tǒng)存在問(wèn)題是由于傳送頭的上下位置是固定的,因此每個(gè)托盤(pán)已被拾起后,料盒1必須抬升以致該傳送頭可拾起隨后的托盤(pán)。因此,常規(guī)的機(jī)械手系統(tǒng)必須具有一個(gè)用于抬升該料盒1的升降機(jī)38及用于驅(qū)動(dòng)該升降機(jī)38的電動(dòng)機(jī),所以該機(jī)械手系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜并且其制造成本增加。
為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述問(wèn)題提出了本發(fā)明,因此本發(fā)明的目的是提供一種用在一機(jī)械手系統(tǒng)中的傳送裝置,該裝置可改變用于拾起一個(gè)堆疊于一料盒上的托盤(pán)的傳送頭的上下位置,因而可簡(jiǎn)化該機(jī)械手系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種用于傳送堆疊于一機(jī)械手系統(tǒng)的料盒上的托盤(pán)的傳送裝置。該傳送裝置包括一個(gè)用于拾起一托盤(pán)的傳送頭;一個(gè)用于沿水平方向傳送該傳送頭的第一裝置;和一個(gè)用于沿垂直方向傳送該傳送頭的第二裝置,所述第二傳送裝置可改變?cè)搨魉皖^的垂直行程。
本發(fā)明也涉及一種托盤(pán)的傳送方法。
從以下結(jié)合附圖的說(shuō)明中可更好地理解本發(fā)明,并且本發(fā)明的其它各種目的及優(yōu)點(diǎn)也可更全面地得到理解。其中圖1是一種用于測(cè)試半導(dǎo)體裝置的常規(guī)機(jī)械手系統(tǒng)的透視圖;圖2是圖1的前視圖;圖3是本發(fā)明的傳送裝置的透視圖;圖4是圖3的側(cè)視圖。
下面將參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。
圖3是本發(fā)明的傳送裝置的透視圖,而圖4是圖3的側(cè)視圖。該傳送裝置包括一對(duì)傳送頭12,每個(gè)傳送頭用于拾起一個(gè)堆疊于一料盒1a上的托盤(pán)20;一個(gè)用于使該傳送頭12沿水平方向運(yùn)動(dòng)的第一傳送件;和一個(gè)用于使該傳送12沿垂直方向運(yùn)動(dòng)的第二傳送件。
該第一傳送件包括一傳送支架3,導(dǎo)軌5,一第一傳送軸4及一第一電機(jī)8。該傳送頭12裝在該傳送支架3上。該導(dǎo)軌5水平地設(shè)置于一箱體2上,并且給該傳送支架3的運(yùn)動(dòng)水平導(dǎo)向。該第一傳送軸4與該導(dǎo)軌5平行設(shè)置,并由一螺絲與該傳送支架3相連。該第一電機(jī)8由一托架7固定于該箱體2上。該第一電機(jī)8是一個(gè)可控電機(jī),例如直流伺服電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)。該第一電機(jī)8安裝有一電機(jī)皮帶輪10,而該第一傳送軸4安裝有一第一皮帶輪6。該電機(jī)皮帶輪10和該第一皮帶輪6由一正時(shí)皮帶11相互連接。
當(dāng)該第一電機(jī)8工作時(shí),該第一傳送軸4由該電機(jī)皮帶輪10,皮帶11及第一皮帶輪6驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn),然后由螺紋與該第一傳送軸4相連的傳送支承架3被帶動(dòng)作水平運(yùn)動(dòng)。
該第二傳送件包括一對(duì)第二電機(jī)14和一對(duì)第二傳送軸13。該第二電機(jī)14安裝在該傳送支架3的下部的相對(duì)兩側(cè)處。該第二電機(jī)14是諸如伺服電機(jī)之類(lèi)的可控電機(jī)。每個(gè)第二傳送軸13由一螺紋與該傳送頭12的相應(yīng)一個(gè)相連。每個(gè)第二電機(jī)14設(shè)有一電機(jī)皮帶輪17,并且每個(gè)第二傳送軸13設(shè)有一第二皮帶輪15。該電機(jī)皮帶輪17和第二皮帶輪15由一正時(shí)皮帶18相互連接起來(lái)。
當(dāng)該第二電機(jī)14工作時(shí),該第二傳送軸13由該電機(jī)皮帶輪17,皮帶18及第二皮帶輪15帶動(dòng)旋轉(zhuǎn),然后由一螺紋與該第二傳送軸13相連的傳送頭12被帶動(dòng)作垂直運(yùn)動(dòng)。
該傳送頭12由該第一和第二傳送件帶動(dòng)所產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)可由一圖中未表示出的控制部件控制。該控制部件控制該第一和第二電機(jī)8和14的驅(qū)動(dòng)來(lái)控制該傳送頭12的水平位置和垂直位置。
下面將描述本發(fā)明的機(jī)械手系統(tǒng)的傳送裝置的工作情況。
為了傳送堆疊于料盒1a上的托盤(pán)20,該第一電機(jī)8首先工作使該料盒1a上側(cè)附近的傳送架3運(yùn)動(dòng)。因此,該傳送頭12定位在該托盤(pán)20上方,并且第二電機(jī)8使該傳送頭12降低。
每個(gè)傳送頭12拾起堆疊于料盒1a上的兩堆托盤(pán)20之一中的一個(gè)最上的托盤(pán),然后該第二電機(jī)2使該傳送頭12升起。當(dāng)兩傳送頭12都被升起時(shí),該第一電機(jī)8工作,從而使該傳送支架3沿水平方向傳送到一預(yù)定位置。
在傳送后的位置處,每個(gè)傳送頭12由各自的第二電機(jī)14降低,并且該傳送頭12放開(kāi)該托盤(pán)20。按這一過(guò)程,每個(gè)托盤(pán)20可達(dá)到一設(shè)定位置,或者含有已被測(cè)試過(guò)的半導(dǎo)體裝置的托盤(pán)根據(jù)分類(lèi)結(jié)果進(jìn)行傳送。
為了傳送每個(gè)料盒1a上的隨后的下一托盤(pán)20,該傳送頭12需返回到該料盒上方如托盤(pán)20的上側(cè)附近的位置處。然后,該傳送頭12由第二電機(jī)14降低。由于最高處的托盤(pán)事先已被拾起,因此該傳送頭12降低的程度比先前的步驟中降低的程度更大,也即該降低一托盤(pán)位置。
然后該傳送頭12拾起該料盒1a上的下一個(gè)托盤(pán)20。接著該傳送頭由該第二電機(jī)14升起并由該第一電機(jī)8傳送到一預(yù)定位置。在該傳送后的位置處,該傳送頭12由該第二電機(jī)14降低,然后該傳送頭12將該托盤(pán)放開(kāi)將其置于所傳送到的位置處。
如已描述的那樣,當(dāng)在每個(gè)料盒上的一托盤(pán)20已被拾起后,為了拾起下一個(gè)托盤(pán),各傳送頭12被進(jìn)一步降低一個(gè)托盤(pán)的高度。由于該第二電機(jī)14是一個(gè)可控電機(jī),因此降低的位置可精確地的控制。因此,就不需要為了拾起隨后的托盤(pán)20而使料盒1a升起這一過(guò)程,因此一個(gè)用于升起該料盒的升降機(jī)及一個(gè)用于驅(qū)動(dòng)該升降機(jī)的電機(jī)都不需要。所以該機(jī)械手系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)被簡(jiǎn)化了。
如上所述,根據(jù)本發(fā)明,提供了一傳送裝置,該裝置可簡(jiǎn)化該機(jī)械手系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)并降低該機(jī)械手系統(tǒng)的制造成本。
雖然已對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明并在圖中示出了,但應(yīng)清楚地看到該實(shí)施例及各附圖只是為了解釋本發(fā)明,并不能限制本發(fā)明,因此本發(fā)明的實(shí)質(zhì)及范圍只由所附的權(quán)利要求書(shū)中的各權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種用于傳送堆疊于一機(jī)械手系統(tǒng)的料盒上的托盤(pán)的傳送裝置,所述傳送裝置包括一個(gè)用于拾起一托盤(pán)的傳送頭;一個(gè)用于使所述傳送頭沿水平方向傳遞的第一裝置;一個(gè)用于使所述傳送頭沿垂直方向傳送的第二裝置,所述第二傳送裝置改變所述傳送頭的垂直行程以便一個(gè)接一個(gè)地傳送托盤(pán)。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手系統(tǒng)的傳送裝置,其特征在于所述第一傳送裝置包括一個(gè)支承所述傳送頭的傳送支架;一個(gè)用于給所述傳送支架的運(yùn)動(dòng)水平導(dǎo)向的導(dǎo)軌;一個(gè)用于使所述傳送支架水平運(yùn)動(dòng)的第一電機(jī);及一個(gè)連接到所述傳送支架上的第一螺紋軸,所述第一螺紋軸由所述第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn),因而所述傳送支架作水平運(yùn)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手系統(tǒng)的傳送裝置,其特征在于所述第二傳送裝置包括一個(gè)裝在所述傳送支架上的第二電機(jī);及一個(gè)連接到所述傳送頭上的第二螺紋軸,所述第二螺紋軸由所述第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn),因此所述傳送頭相對(duì)所述傳送支架作垂直運(yùn)動(dòng)。
4.一托盤(pán)裝卸機(jī)構(gòu),包括一個(gè)用于使各料盒運(yùn)動(dòng)的機(jī)械手,每個(gè)料盒帶有垂直堆疊的多個(gè)托盤(pán);一個(gè)安裝得用于作垂直和水平運(yùn)動(dòng)以使一托盤(pán)相對(duì)堆疊的多個(gè)托盤(pán)沿垂直方向和水平方向傳送的托盤(pán)傳送裝置;及用于使該傳送裝置分別沿水平和垂直方向運(yùn)動(dòng)的第一和第二機(jī)構(gòu),該第二機(jī)構(gòu)布置得當(dāng)一個(gè)接一個(gè)傳送堆疊的托盤(pán)時(shí)使該傳送裝置垂直運(yùn)動(dòng)不同的垂直距離。
5.使堆疊的托盤(pán)裝卸機(jī)構(gòu)的托盤(pán)傳送裝置運(yùn)動(dòng)的方法,其中該托盤(pán)傳送裝置通過(guò)作水平和垂直運(yùn)動(dòng)傳送垂直堆疊的每個(gè)托盤(pán),其改進(jìn)處包括當(dāng)一個(gè)接一個(gè)地傳送各托盤(pán)時(shí)使該傳送裝置在垂直方向運(yùn)動(dòng)不同的垂直距離的各個(gè)步驟。
全文摘要
一種傳送堆疊的多個(gè)托盤(pán)的托盤(pán)堆裝卸機(jī)構(gòu)(例如將各托盤(pán)從一垂直托盤(pán)堆上卸走或?qū)⒏魍斜P(pán)裝到一垂直托盤(pán)堆上)。該機(jī)構(gòu)包括:一個(gè)借助于水平和垂直運(yùn)動(dòng)而傳送一垂直托盤(pán)堆的每個(gè)托盤(pán)的托盤(pán)傳送裝置。當(dāng)一個(gè)接一個(gè)地傳送各托盤(pán)時(shí),為了補(bǔ)償前一托盤(pán)卸走(或裝加)而產(chǎn)生的距離差,該傳送裝置相對(duì)軌道在垂直方向運(yùn)動(dòng)不同的垂直距離。
文檔編號(hào)B25J21/00GK1195602SQ9810621
公開(kāi)日1998年10月14日 申請(qǐng)日期1998年4月3日 優(yōu)先權(quán)日1997年4月4日
發(fā)明者具泰興 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社
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