本發(fā)明涉及真空吸附領(lǐng)域，尤其涉及一種真空吸附單元和真空吸附載臺。

背景技術(shù)：

近年來相關(guān)技術(shù)的真空吸附載臺吸附的基板尺寸趨于多樣化，為了應(yīng)對不同尺寸的基板，通常情況下采用粘貼膠帶的方式來關(guān)閉基板載臺上暫時不用的真空吸槽，從而給關(guān)閉真空吸槽的操作帶來不便并且浪費(fèi)人力。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提出一種真空吸附單元，可根據(jù)氣路通孔的用于吸附的一端是否被覆蓋而在活塞上下兩側(cè)產(chǎn)生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元的吸附狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)了真空吸附單元工作的自動化，實(shí)現(xiàn)了自動關(guān)閉未被覆蓋的氣路通孔的用于吸附的一端的目的。

本發(fā)明還提出一種真空吸附載臺，包括上述的真空吸附單元。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附單元，可應(yīng)用于真空吸附載臺，已知真空吸附載臺包括基板載臺，基板載臺上設(shè)有真空吸槽。真空吸附單元包括：外殼，所述外殼內(nèi)限定出氣路通孔，所述氣路通孔內(nèi)設(shè)有上止抵面和下止抵面；活塞，所述活塞可移動地設(shè)在所述氣路通孔內(nèi)且位于所述上止抵面和所述下止抵面之間，所述活塞的外周壁與所述氣路通孔的內(nèi)周壁滑動配合；彈性件，所述彈性件的兩端分別止抵在所述外殼和所述活塞上以常驅(qū)動所述活塞止抵在所述上止抵面上；與所述氣路通孔連通的泄壓通道，所述泄壓通道被構(gòu)造成在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述泄壓通道被關(guān)閉?？梢岳斫獾氖牵瑲饴吠椎膬啥朔謩e與真空吸槽和真空管路相連通以實(shí)現(xiàn)真空吸附單元的吸附工作。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附單元，通過在氣路通孔內(nèi)設(shè)置可移動的活塞，并且設(shè)置與氣路通孔連通的泄壓通道，泄壓通道被構(gòu)造成在活塞移動至止抵在下止抵面時泄壓通道被關(guān)閉，從而可根據(jù)真空吸槽是否被覆蓋而在活塞上下兩側(cè)產(chǎn)生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元的吸附狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)了真空吸附單元工作的自動化，實(shí)現(xiàn)了自動關(guān)閉基板載臺上的未被覆蓋的真空吸槽的目的。

可選地，所述泄壓通道設(shè)在所述活塞上，在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述下止抵面封堵所述泄壓通道。從而使泄壓通道的結(jié)構(gòu)簡單，能夠降低真空吸附單元的制造成本。

可選地，所述泄壓通道設(shè)在所述外殼內(nèi)，所述泄壓通道的上端位于所述上止抵面的上方，所述泄壓通道的下端位于所述下止抵面的上方，在所述活塞移動至止抵在所述下止抵面時所述活塞的側(cè)壁封堵所述泄壓通道的下端以關(guān)閉泄壓通道。從而使泄壓通道的結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)定，泄壓作用更加可靠。

根據(jù)本發(fā)明的一些地實(shí)施例，所述外殼包括：筒體，所述筒體內(nèi)限定出所述氣路通孔；止擋件，所述止擋件設(shè)在所述氣路通孔的內(nèi)壁上，所述止擋件內(nèi)設(shè)有與所述氣路通孔連通的貫通孔，所述止擋件的上表面限定出所述下止抵面；墊片，所述墊片設(shè)在所述止擋件的下表面上，所述彈性件設(shè)在所述活塞的下方且所述彈性件的下端穿過所述貫通孔止抵在所述墊片上。從而使真空吸附單元的結(jié)構(gòu)簡單、可靠。

根據(jù)本發(fā)明的又一些實(shí)施例，所述外殼包括：筒體，所述筒體內(nèi)限定出所述氣路通孔；止擋件，所述止擋件設(shè)在所述氣路通孔的內(nèi)壁上，所述止擋件內(nèi)設(shè)有與所述氣路通孔連通的貫通孔，所述止擋件的上表面限定出所述下止抵面；墊片，所述墊片設(shè)在所述筒體的內(nèi)壁上且位于所述止擋件的上方，所述彈性件位于所述活塞的上方且所述彈性件的上下兩端分別與所述墊片和所述活塞相連。

具體地，所述筒體包括：中空的外套筒；中空的內(nèi)套筒，所述內(nèi)套筒設(shè)在所述外套筒內(nèi)且位于所述止擋件的上方，所述內(nèi)套筒的外周壁和所述外套筒的內(nèi)周壁之間限定出所述泄壓通道，所述活塞可移動地設(shè)在所述內(nèi)套筒內(nèi)。由此可知，泄壓通道的設(shè)置簡單，內(nèi)套筒的頂端的下表面限定出上止抵面。

具體地，所述內(nèi)套筒的內(nèi)頂壁限定出所述上止抵面。

進(jìn)一步地，所述外殼的上端設(shè)有外螺紋。從而便于將真空吸附單元安裝到基板載臺上，使真空吸附單元與基板載臺的連接方式簡單，便于拆卸和更換。

進(jìn)一步地，所述氣路通孔的下端的內(nèi)周壁設(shè)有內(nèi)螺紋。從而便于將真空吸附單元與真空管路連接，使真空吸附單元與真空管路的連接方式簡單，便于拆卸和更換。

可選地，所述彈性件為彈簧。從而在保證彈性件對活塞的推動作用的同時使真空吸附單元的成本低。

可選地，所述泄壓通道的橫截面積保持不變。從而能夠保證泄壓通道內(nèi)不同位置的氣體流量相同，進(jìn)而保證泄壓通道的泄壓作用，同時使泄壓通道的結(jié)構(gòu)簡單、制造方便。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附載臺，包括：基板載臺，所述基板載臺上設(shè)有真空吸槽；真空吸附單元，所述真空吸附單元為根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的真空吸附單元，所述真空吸附單元與所述真空吸槽一一對應(yīng)配合連接。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附載臺，通過設(shè)置根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的真空吸附單元，從而可根據(jù)每個真空吸槽是否被覆蓋而在活塞上下兩側(cè)產(chǎn)生的不同的氣壓差來控制每個對應(yīng)的真空吸附單元的吸附狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)了真空吸附載臺工作的自動化。

進(jìn)一步地，所述真空吸槽為多個，所述真空吸附單元為多個且與多個所述真空吸槽一一對應(yīng)配合連接。

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基板載臺的俯視圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基板載臺的仰視圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附單元的示意圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附單元工作時活塞移動示意圖；

圖5是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附單元工作時活塞止抵在下止抵面的示意圖；

圖6是根據(jù)本發(fā)明又一實(shí)施例的真空吸附單元的示意圖；

圖7是根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例的真空吸附單元的示意圖。

附圖標(biāo)記：

真空吸附單元100；基板載臺200；

外殼1；筒體11；外套筒110；內(nèi)套筒111；止擋件12；墊片13；上止抵面14；下止抵面15；活塞2；彈性件3；泄壓通道4；真空吸槽21；氣路通孔a；貫通孔b。

具體實(shí)施方式

下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“豎直”、“水平”、“頂”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

下面參考圖1-圖7描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附單元100，本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附單元100可應(yīng)用于真空吸附載臺，已知真空吸附載臺包括基板載臺200，基板載臺200上設(shè)有真空吸槽21。

如圖1-圖7所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附單元100，包括：外殼1、活塞2、彈性件3和與氣路通孔a連通的泄壓通道4。

具體而言，外殼1內(nèi)限定出氣路通孔a，氣路通孔a內(nèi)設(shè)有上止抵面14和下止抵面15。從而可以理解的是，氣路通孔a的兩端分別與真空吸槽21和真空管路(圖未示出)相連通。當(dāng)基板載臺200上設(shè)有多個真空吸槽21時，每個真空吸槽21可以與一個真空吸附單元100的氣路通孔a相連。

活塞2可移動地設(shè)在氣路通孔a內(nèi)且位于上止抵面14和下止抵面15之間，活塞2的外周壁與氣路通孔a的內(nèi)周壁滑動配合。由此可知，在氣路通孔a內(nèi)，活塞2上下兩側(cè)被完全分離。

彈性件3的兩端分別止抵在外殼1和活塞2上以常驅(qū)動活塞2止抵在上止抵面14上。泄壓通道4被構(gòu)造成在活塞2移動至止抵在下止抵面15時泄壓通道4被關(guān)閉。由此可知，當(dāng)基板載臺200處于非工作狀態(tài)時，真空吸附單元100沒有吸附真空，活塞2在彈性件3的推動作用下止抵在上止抵面14。可以理解的是，彈性件3的兩端可分別止抵在外殼1和活塞2的上端面上或分別止抵在外殼1和活塞2的下端面上，只要保證彈性件3能常驅(qū)動活塞2止抵在上止抵面14上即可。若彈性件3兩端分別止抵在外殼1和活塞2的上端面上且活塞2上側(cè)壓強(qiáng)大于活塞2下側(cè)的壓強(qiáng)，則活塞2在氣壓差的作用下會克服彈性件3的彈力而逐漸向下移動，此時彈性件3被拉伸而產(chǎn)生向上的拉力，當(dāng)活塞2上下兩側(cè)的氣壓差相等時，活塞2在彈性件3的拉力作用下會向上移動至止抵在上止抵面14上后穩(wěn)定。若彈性件3兩端分別止抵在外殼1和活塞2的下端面上且活塞2上側(cè)壓強(qiáng)大于活塞2下側(cè)的壓強(qiáng)，則活塞2在氣壓差的作用下會克服彈性件3的彈力而逐漸向下移動，此時彈性件3被壓縮而產(chǎn)生向上的推動力，當(dāng)活塞2上下兩側(cè)的氣壓差相等時，活塞2在彈簧3的推動作用下會向上移動至止抵在上止抵面14上后穩(wěn)定。

當(dāng)基板載臺200處于工作狀態(tài)且真空吸槽21未被覆蓋時，真空吸附單元100吸附真空，活塞2上側(cè)的氣路通孔a通過真空吸槽21與外界空氣連通而在活塞2上側(cè)形成標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，活塞2下側(cè)與真空管路相連，從而在活塞2的上下兩側(cè)形成了氣壓差，活塞2在氣壓差的作用下克服了彈性件3的彈力而逐漸向下移動，在活塞2向下移動過程中，泄壓通道4不斷地對活塞2的上側(cè)進(jìn)行泄壓，當(dāng)活塞2向下移動至止抵在下止抵面15上時，泄壓通道4被關(guān)閉，此時活塞2上下兩側(cè)的氣壓差大于泄壓通道4流通時的氣壓差，從而使活塞2穩(wěn)定地止抵在下止抵面15，進(jìn)而使真空吸附單元100停止吸附工作，真空吸槽21被關(guān)閉，從而能夠截止真空吸槽21跟真空管路之間的空氣流通。

當(dāng)基板載臺200處于工作狀態(tài)且真空吸槽21被覆蓋時，真空吸附單元100吸附真空，活塞2下側(cè)與真空管路相連，開始時，活塞2上側(cè)的氣路通孔a內(nèi)的氣壓高于活塞2下側(cè)的氣壓，從而使活塞2向下移動，在活塞2向下移動過程中，泄壓通道4不斷地對活塞2的上側(cè)進(jìn)行泄壓，若泄壓通道4的泄壓效果較弱，則活塞2上側(cè)的氣壓始終高于活塞2下側(cè)的氣壓，從而使活塞2克服彈性件3的彈力而向下移動至止抵在下止抵面15上，進(jìn)而使活塞2關(guān)閉泄壓通道4以停止泄壓通道4的泄壓工作。此時，由于泄壓通道4的泄壓作用，活塞2上側(cè)的氣壓小于外部的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，從而能夠?qū)崿F(xiàn)真空吸附單元100對基板的吸附。若泄壓通道4的泄壓效果充分，則可使活塞2上下兩側(cè)的氣壓相等，進(jìn)而活塞2在彈性件3的彈力作用下又移動至止抵在上止抵面14上后穩(wěn)定，進(jìn)而使真空吸附單元100不斷地吸附基板。由此可知，真空吸附單元100可根據(jù)真空吸槽21是否被覆蓋而在活塞2的上下兩側(cè)產(chǎn)生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元100的吸附狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)了真空吸附單元100工作的自動化。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附單元100，通過在氣路通孔a內(nèi)設(shè)置可移動的活塞2，并且設(shè)置與氣路通孔a連通的泄壓通道4，泄壓通道4被構(gòu)造成在活塞2移動至止抵在下止抵面15時泄壓通道4被關(guān)閉，從而可根據(jù)真空吸槽21是否被覆蓋而在活塞2上下兩側(cè)產(chǎn)生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元100的吸附狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)了真空吸附單元100工作的自動化，實(shí)現(xiàn)了自動關(guān)閉基板載臺200上的未被覆蓋的真空吸槽21的目的。

可選地，如圖7所示，泄壓通道4設(shè)在活塞2上，在活塞2移動至止抵在下止抵面15時下止抵面15封堵泄壓通道4。從而使泄壓通道4的結(jié)構(gòu)簡單，能夠降低真空吸附單元100的制造成本。

可選地，如圖3-圖6所示，泄壓通道4設(shè)在外殼1內(nèi)，泄壓通道4的上端位于上止抵面14的上方，泄壓通道4的下端位于下止抵面15的上方，在活塞2移動至止抵在下止抵面15時活塞2的側(cè)壁封堵泄壓通道4的下端以關(guān)閉泄壓通道4。從而使泄壓通道4的結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)定，泄壓作用更加可靠。

如圖3-圖5所示，根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，外殼1包括：筒體11、止擋件12和墊片13。筒體11內(nèi)限定出氣路通孔a，止擋件12設(shè)在氣路通孔a的內(nèi)壁上，止擋件12內(nèi)設(shè)有與氣路通孔a連通的貫通孔b，止擋件12的上表面限定出下止抵面15。墊片13設(shè)在止擋件12的下表面上，彈性件3的下端穿過貫通孔b止抵在墊片13上。從而使真空吸附單元100的結(jié)構(gòu)簡單、可靠。

如圖6所示，根據(jù)本發(fā)明的又一些實(shí)施例，外殼1包括：筒體11、止擋件12和墊片13。筒體11內(nèi)限定出氣路通孔a，止擋件12設(shè)在氣路通孔a的內(nèi)壁上，止擋件12內(nèi)設(shè)有與氣路通孔a連通的貫通孔b，止擋件12的上表面限定出下止抵面15。墊片13設(shè)在筒體11的內(nèi)壁上且位于止擋件12的上方，彈性件3位于活塞2的上方且彈性件3的上下兩端分別與墊片13和活塞2相連。由此可知，當(dāng)活塞2上側(cè)壓強(qiáng)大于活塞2下側(cè)的壓強(qiáng)，則活塞2在氣壓差的作用下會克服彈性件3的彈力而逐漸向下移動，此時彈性件3被拉伸而產(chǎn)生向上的拉力，當(dāng)活塞2上下兩側(cè)的氣壓差相等時，活塞2在彈性件3的拉力作用下會向上移動至止抵在上止抵面14上后穩(wěn)定。

具體地，筒體11包括：中空的外套筒110和中空的內(nèi)套筒111。內(nèi)套筒111設(shè)在外套筒110內(nèi)且位于止擋件12的上方，內(nèi)套筒111的外周壁和外套筒110的內(nèi)周壁之間限定出泄壓通道4，活塞2可移動地設(shè)在內(nèi)套筒111內(nèi)。內(nèi)套筒111的內(nèi)頂壁限定出上止抵面14。由此可知，泄壓通道4的設(shè)置簡單。

進(jìn)一步地，外殼1的上端設(shè)有外螺紋，對應(yīng)地，真空吸槽21內(nèi)設(shè)有與外殼1上的外螺紋配合的內(nèi)螺紋。從而便于將真空吸附單元100安裝到基板載臺200上，使真空吸附單元100與基板載臺200的連接方式簡單，便于拆卸和更換。

進(jìn)一步地，氣路通孔a的下端的內(nèi)周壁設(shè)有內(nèi)螺紋，對應(yīng)地，真空管路上設(shè)有與氣路通孔a上的內(nèi)螺紋配合的外螺紋。從而便于將真空吸附單元100與真空管路連接，使真空吸附單元100與真空管路的連接方式簡單，便于拆卸和更換。

可選地，彈性件3為彈簧。從而在保證彈性件3對活塞2的推動作用的同時使真空吸附單元100的成本低。

具體地，泄壓通道4的橫截面積保持不變。從而能夠保證泄壓通道4內(nèi)不同位置的氣體流量相同，進(jìn)而保證泄壓通道4的泄壓作用，同時使泄壓通道4的結(jié)構(gòu)簡單、制造方便。

可選地，活塞2為聚四氟乙烯材料件。從而使活塞2質(zhì)量好、密封性好、重量輕。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附載臺，包括：基板載臺200和根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的真空吸附單元100。

基板載臺200上設(shè)有真空吸槽21，真空吸附單元100與真空吸槽21配合連接。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附載臺，通過設(shè)置根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的真空吸附單元100，從而可根據(jù)真空吸槽21是否被覆蓋而在活塞2上下兩側(cè)產(chǎn)生的不同的氣壓差來控制真空吸附單元100的吸附狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)了真空吸附載臺工作的自動化。

進(jìn)一步地，真空吸槽21為多個，真空吸附單元100為多個且與多個真空吸槽21一一對應(yīng)配合連接。從而能夠避免多個真空吸槽21的吸附工作相互影響，使真空吸附載臺的工作更加穩(wěn)定、可靠。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附載臺的其他構(gòu)成以及操作對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言都是已知的，這里不再詳細(xì)描述。

下面參考圖1-圖5對根據(jù)本發(fā)明一個具體實(shí)施例的真空吸附載臺結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。但是需要說明的是，下述的說明僅具有示例性，普通技術(shù)人員在閱讀了本發(fā)明的下述技術(shù)方案之后，顯然可以對其中的技術(shù)方案或者部分技術(shù)特征進(jìn)行組合或者替換、修改，這也落入本發(fā)明所要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。

如圖1-圖5所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的真空吸附載臺，包括：基板載臺200和多個真空吸附單元100。

基板載臺200上設(shè)有多個真空吸槽21，多個真空吸附單元100分別與多個真空吸槽21一一對應(yīng)配合連接。

真空吸附單元100包括：外殼1、活塞2、彈性件3和泄壓通道4。外殼1內(nèi)限定出氣路通孔a，氣路通孔a的一端適于與真空吸槽21連通，氣路通孔a的另一端適于連接真空管路，氣路通孔a內(nèi)設(shè)有上止抵面14和下止抵面15。

具體地，外殼1的上端設(shè)有外螺紋以與基板載臺200上的真空吸槽21連接，氣路通孔a的下端的內(nèi)周壁設(shè)有內(nèi)螺紋以與真空管路連接。外殼1包括：筒體11、止擋件12和墊片13。筒體11內(nèi)限定出氣路通孔a，筒體11包括中空的外套筒110和中空的內(nèi)套筒111，內(nèi)套筒111設(shè)在外套筒110內(nèi)且位于止擋件12的上方，止擋件12內(nèi)設(shè)有與氣路通孔a連通的貫通孔b，止擋件12的上表面限定出下止抵面15，內(nèi)套筒111的內(nèi)頂壁限定出上止抵面14。墊片13設(shè)在止擋件12的下表面上。彈性件3為彈簧且彈性件3的兩端分別止抵在墊片13和活塞2的下端面上以常推動活塞2止抵在上止抵面14上。

活塞2為聚四氟乙烯材料件，活塞2可移動地設(shè)在內(nèi)套筒111內(nèi)且位于上止抵面14和下止抵面15之間，活塞2的外周壁與氣路通孔a的內(nèi)周壁滑動配合。內(nèi)套筒111的外周壁和外套筒110的內(nèi)周壁之間限定出泄壓通道4，泄壓通道4的上端位于上止抵面14的上方，泄壓通道4的下端位于下止抵面15的上方，同時泄壓通道4的橫截面積保持不變。在活塞2移動至止抵在下止抵面15時活塞2的側(cè)壁封堵泄壓通道4的下端以關(guān)閉泄壓通道4。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個或多個實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解：在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。