本發(fā)明涉及加工裝置，該加工裝置包含：卡盤工作臺(tái)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；以及加工構(gòu)件，其對(duì)該卡盤工作臺(tái)所保持的被加工物實(shí)施加工。

背景技術(shù)：

在通過磨削裝置對(duì)由分割預(yù)定線劃分并在正面上形成有ic、lsi等多個(gè)器件的晶片的背面進(jìn)行磨削而形成為規(guī)定的厚度之后，通過劃片裝置將晶片分割成各個(gè)器件芯片，并將分割得到的器件芯片應(yīng)用于移動(dòng)電話、個(gè)人計(jì)算機(jī)等電子設(shè)備。

磨削裝置大致包含：卡盤工作臺(tái)，其對(duì)晶片進(jìn)行保持；磨削構(gòu)件，其將對(duì)該卡盤工作臺(tái)所保持的晶片進(jìn)行磨削的磨削磨輪(工具)安裝成能夠旋轉(zhuǎn)，該磨削裝置能夠?qū)⒕庸ぶ料Ｍ暮穸?例如，參照專利文獻(xiàn)1。)。

并且，劃片裝置大致包含：卡盤工作臺(tái)，其對(duì)晶片進(jìn)行保持；以及切削構(gòu)件，其將對(duì)該卡盤工作臺(tái)所保持的晶片進(jìn)行切削的切削刀具(工具)安裝成能夠旋轉(zhuǎn)，該劃片裝置能夠?qū)⒕呔鹊胤指畛筛鱾€(gè)器件芯片(例如，參照專利文獻(xiàn)2。)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2010-052057號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2010-173002號(hào)公報(bào)

上述的磨削構(gòu)件、切削構(gòu)件構(gòu)成為包含：主軸，在該主軸上安裝有工具；以及空氣軸承，其通過提供高壓空氣而以非接觸狀態(tài)對(duì)該主軸進(jìn)行支承，該磨削構(gòu)件、切削構(gòu)件以幾乎沒有摩擦阻力的狀態(tài)將該主軸支承為能夠旋轉(zhuǎn)，并抑制振動(dòng)而使高精度的磨削、切削成為可能。然而，當(dāng)灰塵、粉塵、水等從外部侵入到提供空氣的提供路徑或排氣路徑中時(shí)，或者隨著壓力、溫度變化而產(chǎn)生的水等異物堵塞住提供空氣的提供路徑或排氣路徑時(shí)，不能對(duì)空氣軸承提供充分的高壓空氣，不能維持該非接觸狀態(tài)，存在產(chǎn)生咬接現(xiàn)象而使磨削構(gòu)件和切削構(gòu)件破損的擔(dān)心。另外，也會(huì)因在該路徑上產(chǎn)生空氣泄漏而產(chǎn)生同樣的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于上述事實(shí)而完成的，其主要的技術(shù)課題在于提供一種加工裝置，在對(duì)加工用的工具進(jìn)行支承的空氣軸承中，能夠?qū)⒖諝廨S承的咬接現(xiàn)象防患于未然。

根據(jù)本發(fā)明，提供加工裝置，該加工裝置包含：卡盤工作臺(tái)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；以及加工構(gòu)件，其對(duì)該卡盤工作臺(tái)所保持的被加工物實(shí)施加工，該加工裝置的特征在于，該加工構(gòu)件具有：主軸；主軸外殼，其將該主軸支承為能夠旋轉(zhuǎn)，并且該主軸外殼具有空氣提供路、與該空氣提供路連接的空氣提供口、排氣路以及與該排氣路連接的排氣口，空氣軸承，在該主軸與該主軸外殼之間劃分出該空氣軸承，該空氣軸承與該空氣提供路和該排氣路連通而利用高壓空氣對(duì)該主軸進(jìn)行支承；工具，其安裝在該主軸的前端；高壓空氣源；空氣提供路徑，其將該高壓空氣源與該空氣提供口連接；壓力計(jì)，其配設(shè)在該空氣提供路徑上；以及流量計(jì)，其配設(shè)在該空氣提供路徑上，對(duì)該壓力計(jì)檢測(cè)出的壓力值設(shè)定第1容許值，對(duì)該流量計(jì)檢測(cè)出的流量值設(shè)定第2容許值。

優(yōu)選當(dāng)該壓力計(jì)檢測(cè)出的壓力值脫離該第1容許值或該流量計(jì)檢測(cè)出的流量值脫離該第2容許值的情況下，對(duì)操作者進(jìn)行警告，特別是，當(dāng)該壓力計(jì)檢測(cè)出的壓力值維持該第1容許值、該流量計(jì)檢測(cè)出的流量值低于第2容許值的情況下，警告在該空氣提供路或該排氣路上產(chǎn)生了異物的堵塞，當(dāng)該壓力計(jì)檢測(cè)出的壓力值維持該第1容許值、該流量計(jì)檢測(cè)出的流量值高于第2容許值的情況下，警告在該空氣提供路或該排氣路上產(chǎn)生了空氣泄漏。

根據(jù)本發(fā)明，除了壓力計(jì)之外，還能夠通過流量計(jì)檢測(cè)出的流量值來進(jìn)行對(duì)于從空氣源對(duì)空氣軸承提供的空氣的管理，所以能夠預(yù)知盡管提供空氣的壓力維持為希望的壓力但水等異物堵塞在向空氣軸承提供空氣的提供路或排氣路上、沒有對(duì)空氣軸承提供充分的高壓空氣的情況下的咬接現(xiàn)象，從而將配設(shè)有空氣軸承的加工構(gòu)件例如磨削構(gòu)件、切削構(gòu)件等的破損防患于未然。

并且，構(gòu)成為當(dāng)該壓力計(jì)檢測(cè)出的壓力值脫離第1容許值或該流量計(jì)檢測(cè)出的流量值脫離第2容許值的情況下對(duì)操作者執(zhí)行警告，特別是，當(dāng)該壓力計(jì)檢測(cè)出的壓力值維持該第1容許值、該流量計(jì)檢測(cè)出的流量值低于第2容許值的情況下，能夠警告在該空氣提供路或該排氣路上產(chǎn)生了異物的堵塞，當(dāng)該壓力計(jì)檢測(cè)出的壓力值維持該第1容許值、該流量計(jì)檢測(cè)出的流量值高于第2容許值的情況下，能夠警告在該空氣提供路或該排氣路上產(chǎn)生了空氣泄漏。

附圖說明

圖1是磨削裝置的整體立體圖。

圖2是適用于圖1所示的磨削裝置的磨削單元的縱剖視圖。

圖3是用于對(duì)根據(jù)本發(fā)明而實(shí)施的程序進(jìn)行說明的流程圖。

圖4是作為其他的實(shí)施方式而示出的切削單元的縱剖視圖。

標(biāo)號(hào)說明

1：磨削裝置；2：靜止基臺(tái)；10：磨削單元；10′：切削單元；12：主軸外殼；13：支承部；15：主軸；20：伺服電動(dòng)機(jī)；50：空氣提供源；52：壓力計(jì)；53：流量計(jì)；54：空氣提供路；56：排氣路；60：徑向空氣軸承；70：推力空氣軸承。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的加工裝置的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)地說明。

作為第一實(shí)施方式，在圖1中示出了根據(jù)本發(fā)明而構(gòu)成的具有加工構(gòu)件的磨削裝置的整體立體圖。在圖1所示的磨削裝置1上立起設(shè)置有靜止基臺(tái)2和從該靜止基臺(tái)2的背面朝向上方的柱3。在柱3上固定有在上下方向上延伸的一對(duì)導(dǎo)軌4。

磨削單元10具有主軸外殼12和對(duì)主軸外殼12進(jìn)行保持的支承部13，該支承部13安裝在移動(dòng)基臺(tái)14上，該移動(dòng)基臺(tái)14沿著一對(duì)導(dǎo)軌4在上下方向上移動(dòng)，磨削單元10(磨削構(gòu)件)以能夠在上下方向上移動(dòng)的方式安裝。

磨削單元10包含：主軸15，其以能夠旋轉(zhuǎn)的方式收納在主軸外殼12內(nèi)；伺服電動(dòng)機(jī)20，其對(duì)主軸15進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；輪安裝座22，其固定在主軸15的前端；以及磨削磨輪24，其以能夠裝拆的方式在輪安裝座22上，并在其下表面具有呈環(huán)狀配設(shè)的多個(gè)磨具26。

磨削裝置1具有磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)30，該磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)30由使磨削單元10沿著一對(duì)導(dǎo)軌4在上下方向上移動(dòng)的滾珠絲杠和脈沖電動(dòng)機(jī)構(gòu)成。該磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)30通過對(duì)脈沖電動(dòng)機(jī)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)而使?jié)L珠絲杠旋轉(zhuǎn)，并使移動(dòng)基臺(tái)14在上下方向上移動(dòng)。

在靜止基臺(tái)2的上表面上配設(shè)有作為對(duì)被加工物進(jìn)行保持的保持構(gòu)件的卡盤工作臺(tái)機(jī)構(gòu)36，該卡盤工作臺(tái)機(jī)構(gòu)36構(gòu)成為通過未圖示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)而在晶片裝拆位置與磨削位置之間移動(dòng)，其中，該磨削位置與磨削單元10相對(duì)。

在圖2中示出了具有空氣提供路54和排氣路56的磨削單元10的縱剖視圖。磨削單元10的主軸外殼12將主軸15支承在其中心，主軸15具有一體形成的圓板形狀的止推板71，在該主軸外殼12中包含利用空氣對(duì)主軸15的徑向方向進(jìn)行支承的徑向空氣軸承60和利用空氣對(duì)主軸15的夾著止推板71的推力方向進(jìn)行支承的推力空氣軸承70。

在磨削單元10的主軸外殼12的外周部配設(shè)有空氣提供口541和排氣口561。在主軸外殼12內(nèi)形成有對(duì)空氣軸承提供高壓空氣的空氣提供路54(圖中，以粗線示出)和將經(jīng)過了徑向空氣軸承60、推力空氣軸承70的空氣排出的排氣路56(圖中，以細(xì)線示出)。從外部的空氣提供源50提供該高壓空氣(例如，0.6mpa)，經(jīng)由空氣提供路徑51導(dǎo)入到空氣提供口541，并經(jīng)過各空氣軸承而從排氣口561排出到外部。

從空氣提供口541導(dǎo)入的高壓空氣經(jīng)由從形成在主軸外殼12內(nèi)的空氣提供路54的中途分支出的一側(cè)的空氣提供路54而從形成在徑向空氣軸承60上的空氣噴出口54a噴出。并且，該高壓空氣也經(jīng)由從該分支出的另一側(cè)的空氣提供路54而從形成在推力空氣軸承70上的空氣噴出口54b噴出。

徑向空氣軸承60、推力空氣軸承70構(gòu)成為：通過從該空氣噴出口54a、54b提供的高壓空氣而形成具有微小的間隙(5～10μm)的高壓空氣層，并通過主軸外殼12以非接觸狀態(tài)對(duì)主軸15進(jìn)行支承。由此能夠以極小的阻力穩(wěn)定地進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)。另外，在主軸15的上端部形成有用于使主軸15旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的伺服電動(dòng)機(jī)20，該伺服電動(dòng)機(jī)20由定子20a和轉(zhuǎn)子20b構(gòu)成。

空氣提供源50是在配置有本實(shí)施方式的加工裝置的工廠等加工現(xiàn)場(chǎng)對(duì)多個(gè)各種裝置提供高壓空氣的裝置，其構(gòu)成為即使各裝置中消耗的高壓空氣的量發(fā)生稍許變化也維持大致恒定的壓力而對(duì)該主軸12進(jìn)行穩(wěn)定地支承。

在從該空氣提供源50對(duì)磨削單元10提供高壓空氣的空氣提供路徑51上配設(shè)有對(duì)空氣提供路徑51內(nèi)的壓力進(jìn)行檢測(cè)的壓力計(jì)52、以及對(duì)在空氣提供路徑51內(nèi)流通的高壓空氣的流量進(jìn)行檢測(cè)的流量計(jì)53，所檢測(cè)出的壓力值和流量值被輸出給后述的控制構(gòu)件。

本實(shí)施方式的磨削裝置1具有未圖示的控制構(gòu)件，該控制構(gòu)件由計(jì)算機(jī)構(gòu)成，具有：中央處理裝置(cpu)，其根據(jù)控制程序來進(jìn)行運(yùn)算處理；只讀存儲(chǔ)器(rom)，其對(duì)控制程序等進(jìn)行儲(chǔ)存；能夠讀寫的隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(ram)，其對(duì)運(yùn)算結(jié)果等進(jìn)行隨時(shí)儲(chǔ)存；以及輸入接口和輸出接口。對(duì)該控制構(gòu)件的該輸入接口輸入來自配設(shè)在上述高壓空氣的空氣提供路徑51上的壓力計(jì)52的壓力值信號(hào)、來自流量計(jì)53的流量值信號(hào)、以及配設(shè)在伺服電動(dòng)機(jī)20上的未圖示的旋轉(zhuǎn)速度傳感器、加速度傳感器的輸出值等。并且，從該輸出接口輸出針對(duì)伺服電動(dòng)機(jī)20的輸出信號(hào)、針對(duì)操作者的警告信號(hào)等。在上述控制構(gòu)件的只讀存儲(chǔ)器(rom)中存儲(chǔ)有根據(jù)圖3所示的流程圖而構(gòu)成的程序，在實(shí)施磨削裝置1中所實(shí)施的針對(duì)被加工物的加工的期間，在每個(gè)規(guī)定的時(shí)間內(nèi)重復(fù)執(zhí)行該程序，對(duì)加工狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)視。

本實(shí)施方式的磨削裝置1大致由以上那樣構(gòu)成，對(duì)其作用進(jìn)行說明。

在圖1所示的磨削裝置1中，當(dāng)將晶片載置在構(gòu)成保持構(gòu)件的卡盤工作臺(tái)機(jī)構(gòu)36上時(shí)，從該控制構(gòu)件輸出對(duì)構(gòu)成伺服電動(dòng)機(jī)20的定子20a施加電力的控制信號(hào)，使與轉(zhuǎn)子20b連結(jié)的主軸15旋轉(zhuǎn)，成為能夠通過安裝在主軸15上的磨削磨輪24的磨具26來進(jìn)行規(guī)定的磨削加工的待機(jī)狀態(tài)。另外，在對(duì)伺服電動(dòng)機(jī)20提供電力的情況下，事先從空氣提供源50對(duì)磨削單元10提供高壓空氣，在主軸外殼12的內(nèi)部以非接觸狀態(tài)對(duì)該主軸15進(jìn)行支承。

在對(duì)伺服電動(dòng)機(jī)20提供電力并使該磨削單元10的主軸15旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，移動(dòng)基臺(tái)14沿著一對(duì)導(dǎo)軌4下降，在與作為被加工物的晶片的磨削面接觸之后開始磨削加工，并一邊以恒定的磨削進(jìn)給速度下降一邊執(zhí)行磨削加工。這里，為了對(duì)該磨削裝置1中的異常進(jìn)行檢測(cè)，在每個(gè)規(guī)定的時(shí)間內(nèi)重復(fù)執(zhí)行基于圖3所示的流程圖的程序。

當(dāng)該程序開始時(shí)，將設(shè)置在空氣提供路徑51上的壓力計(jì)52檢測(cè)出的壓力值輸入并存儲(chǔ)在該控制構(gòu)件中(步驟s1)。進(jìn)而，將設(shè)置在空氣提供路徑51上的流量計(jì)53檢測(cè)出的流量值輸入并存儲(chǔ)在該控制構(gòu)件中(步驟s2)。

在該控制構(gòu)件中以具有規(guī)定的容許范圍的方式預(yù)先設(shè)定并存儲(chǔ)有該磨削單元10的空氣軸承所容許的高壓空氣的壓力容許值和流量容許值，在本實(shí)施方式中，例如，設(shè)定為壓力容許值＝0.5～0.6mpa、流量容許值＝48～52升/分鐘。當(dāng)在步驟s1、s2中對(duì)控制構(gòu)件輸入了空氣提供路徑51的壓力值、流量值之后，對(duì)該壓力值是否落在該壓力容許值內(nèi)進(jìn)行判定(步驟s3)。在判定為該壓力值落在壓力容許值內(nèi)(是)的情況下，判斷為壓力不存在異常，進(jìn)入下一個(gè)步驟，對(duì)由流量計(jì)53檢測(cè)出的流量值是否落在流量容許值內(nèi)進(jìn)行判定(步驟s4)。在判定為流量值落在上述的流量容許值內(nèi)(是)的情況下，進(jìn)入步驟s41，使異常標(biāo)志＝0(沒有異常)，該程序完成，在下一個(gè)時(shí)間點(diǎn)上再次執(zhí)行該程序。另外，在初次執(zhí)行該程序時(shí)，作為初期設(shè)定，異常標(biāo)志被設(shè)定為0。

回到步驟s3繼續(xù)進(jìn)行說明，當(dāng)判定為在步驟s3中檢測(cè)出的空氣提供路徑51的壓力值不在壓力容許值內(nèi)(否)的情況下，進(jìn)入步驟s31，使異常標(biāo)志＝1并存儲(chǔ)在控制構(gòu)件中，進(jìn)入步驟s7，根據(jù)該異常標(biāo)志的值來實(shí)施針對(duì)操作者的異常的警告(蜂鳴器、監(jiān)視器中的異常顯示、紅色燈的點(diǎn)亮等)。另外，也可以將高壓空氣的空氣提供路徑51中的壓力異常(異常標(biāo)志＝1)推斷為空氣提供源50的異常，并將該內(nèi)容顯示在監(jiān)視器等中(例如，顯示“提供空氣壓力異?！钡?。

當(dāng)在步驟s3中判定為壓力值落在壓力容許值內(nèi)(是)之后，進(jìn)入步驟s4，作為進(jìn)行了流量值是否落在流量容許值內(nèi)的判定的結(jié)果，在判定為該流量值不在流量容許值內(nèi)(否)的情況下，進(jìn)入步驟s5。在步驟s5中，對(duì)該流量值是否為流量容許值以上進(jìn)行判定，在判定為流量值不是流量容許值以上(否)的情況下，被判定為處于流量容許值以下，所以進(jìn)入步驟s51，使異常標(biāo)志＝2并存儲(chǔ)在控制構(gòu)件中。然后，進(jìn)入步驟s7，根據(jù)異常標(biāo)志的值來實(shí)施針對(duì)操作者的異常的警告(蜂鳴器、監(jiān)視器中的異常顯示、紅色燈的點(diǎn)亮等)。另外，當(dāng)在步驟s5中判定為否的情況下，由于推斷為在高壓空氣的提供路徑、或排氣路徑上的任意路徑上產(chǎn)生了異物等堵塞，所以將該內(nèi)容顯示在操作者能夠目視確認(rèn)的監(jiān)視器中(例如，顯示“產(chǎn)生異物堵塞”等)而進(jìn)行警告。

當(dāng)在步驟s5中判定為流量值為流量容許值以上(是)的情況下，進(jìn)入步驟s6，使異常標(biāo)志＝3并存儲(chǔ)在控制構(gòu)件中。然后，進(jìn)入步驟s7，根據(jù)異常標(biāo)志的值來實(shí)施針對(duì)操作者的異常的警告(蜂鳴器、監(jiān)視器中的異常顯示、紅色燈的點(diǎn)亮等)。另外，當(dāng)在步驟s5中流量值為流量容許值以上的情況下，由于推斷為在高壓空氣的提供路徑或排氣路徑上的任意路徑上產(chǎn)生了空氣泄漏，所以將該內(nèi)容顯示在操作者能夠目視確認(rèn)的監(jiān)視器在(例如，顯示“產(chǎn)生空氣泄漏”等)而進(jìn)行警告。另外，在異常標(biāo)志為1～3的情況下，除了將異常內(nèi)容如上述那樣具體顯示在監(jiān)視器中而進(jìn)行警告之外，或者可以代替上述方式而采用能夠使操作者區(qū)分出異常的種類的下述各種警告方式：通過附帶于加工裝置的警告燈的顏色來對(duì)異常進(jìn)行警告；以及將上述異常標(biāo)志的值作為錯(cuò)誤代碼進(jìn)行顯示等。

如上述那樣，當(dāng)在工廠等中從容量較大的高壓空氣提供源對(duì)多個(gè)裝置提供高壓空氣的情況下，即使在各裝置中消耗的高壓空氣的流量會(huì)稍許變化，也能夠?qū)?duì)各裝置提供的高壓空氣的壓力值保持為大致恒定。因此，如果在各裝置中的空氣的提供路徑、排出路徑上產(chǎn)生堵塞或空氣泄漏也僅對(duì)來自壓力計(jì)的檢測(cè)值進(jìn)行監(jiān)視，則在漏檢了該異常的狀態(tài)下繼續(xù)使用加工構(gòu)件，存在空氣軸承不能正常地發(fā)揮功能、主軸外殼與主軸接觸而產(chǎn)生咬接現(xiàn)象、空氣軸承部發(fā)生破損的擔(dān)心。與此相對(duì)，在根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的加工裝置中，除了在高壓空氣的提供路徑上設(shè)置壓力計(jì)之外，還設(shè)置流量計(jì)，通過將由壓力計(jì)檢測(cè)出的壓力值和流量計(jì)檢測(cè)出的流量值相配合地進(jìn)行監(jiān)視，假設(shè)即使壓力值維持在容許值內(nèi)，也能夠在產(chǎn)生咬接現(xiàn)象之前立即對(duì)高壓空氣的提供路徑、排出路徑的異常進(jìn)行檢測(cè)而預(yù)知咬接現(xiàn)象的產(chǎn)生，防止造成較大的破損。

并且，在本發(fā)明中，由于能夠根據(jù)由流量計(jì)檢測(cè)出的流量值為流量容許值以上或是以下來區(qū)別出是高壓空氣的泄漏或是空氣的提供路徑、排氣路徑的堵塞，所以能夠快速地對(duì)異常的產(chǎn)生進(jìn)行檢測(cè)，并且容易對(duì)異常原因進(jìn)行確定。

作為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的第二實(shí)施方式，在圖4中示出了適用于切削裝置的切削單元10′，并示出了具有與提供高壓空氣的空氣提供路徑51連接的空氣提供路54和排氣路56的該切削單元10′的縱剖視圖。另外，對(duì)與上述的第一實(shí)施方式的磨削單元10相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的編號(hào)而省略其詳細(xì)的說明。通過凸緣部件28將圓環(huán)狀的切削刀具27夾持在該切削單元10′的主軸15的前端部。第一實(shí)施方式的磨削單元10構(gòu)成為其主軸15的軸以指向上下方向的方式配置并沿著導(dǎo)軌4在作為磨削進(jìn)給方向的上下方向上移動(dòng)，但該第二實(shí)施方式的切削單元10′在未圖示的切削裝置上被配設(shè)成其主軸15的軸向指向水平方向。

在本實(shí)施方式的切削單元10′中，由于將主軸15配設(shè)在水平方向上來進(jìn)行切削加工，所以在與主軸15的軸垂直的方向即徑向方向上最大程度地承受負(fù)荷。因此，當(dāng)在提供路徑54和排氣路徑56的任意一個(gè)上產(chǎn)生了異常的情況下，在主軸15的徑向空氣軸承60中產(chǎn)生咬接現(xiàn)象的可能性變大。因此，在本實(shí)施方式中，也與第一實(shí)施方式同樣，通過執(zhí)行基于圖3所示的流程圖的程序而實(shí)施異常判定和警告，能夠?qū)Ξ惓５漠a(chǎn)生進(jìn)行快速地檢測(cè)，并且對(duì)異常原因進(jìn)行確定。

在上述的第一、第二實(shí)施方式中，示出了將本發(fā)明適用于將磨削磨具作為工具的磨削裝置、將切削刀具作為工具的切削裝置中的例子，但本發(fā)明并不僅限于此，能夠適用于具有所謂的加工構(gòu)件的加工裝置，例如車床加工裝置、銑床加工裝置等，其中，所述加工構(gòu)件包含：主軸；外殼，在該外殼中配設(shè)有利用空氣對(duì)該主軸進(jìn)行支承的空氣軸承；以及工具，其安裝在該主軸的前端，該外殼具有：空氣提供口，其與對(duì)該空氣軸承提供空氣的空氣提供路連通；以及排氣口，其與排氣路連通并將空氣從該空氣軸承排出。