本實(shí)用新型涉及一種模具，尤其是涉及一種壓靶模具。

背景技術(shù)：

使用脈沖激光沉積、磁控濺射等設(shè)備制備氧化物、陶瓷薄膜的時(shí)候都需要靶材。一般來(lái)說(shuō)，氧化物、陶瓷靶材是通過(guò)粉末壓制而成。壓靶模具就是將粉末壓制成靶材的常用工具。在工業(yè)化生產(chǎn)靶材的時(shí)候，靶材的厚度要求是一定的，如何保證壓制靶材的厚度均勻性是關(guān)鍵問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，人們對(duì)壓靶模具進(jìn)行了很多的研究和改進(jìn)。其中公開(kāi)號(hào)為CN 201320322140.1的中國(guó)專利公開(kāi)了一種帶有刻度的壓靶模具，上模具桿的一端固定連接在模具把上，上模具桿遠(yuǎn)離模具把的一端固定連接在上模具的中心位置，并且上模具和下模具均安裝在模具套的中心孔內(nèi)，其特征在于：上模具的上模具桿上安裝有刻度尺，所以在使用壓靶模具的時(shí)候就可以得到具有相同厚度的靶材。但是，在使用上述壓靶模具時(shí)，工作人員必須仔細(xì)觀察刻度尺，以保證每次的壓制都達(dá)到統(tǒng)一刻度，從而給工作人員帶來(lái)較大的工作量。此外，使用上述模具時(shí)，需要通過(guò)肉眼來(lái)觀察刻度尺，這樣就會(huì)有出現(xiàn)誤差甚至錯(cuò)誤的情況產(chǎn)生。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型意在提供一種壓靶模具，以降低靶材生產(chǎn)過(guò)程中出現(xiàn)的誤差。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種壓靶模具，包括模具套、上模具、下模具、上模具桿和模具把，所述上模具桿的一端固定連接在上模具的上表面中央，所述模具把下表面與數(shù)個(gè)中空的定位筒連接，所述定位筒壁上設(shè)有多個(gè)鎖孔，鎖孔在定位筒壁上沿縱向分布，每相鄰兩個(gè)鎖孔的間隔距離相同，所述定位筒內(nèi)滑動(dòng)連接著一個(gè)定位桿，所述定位桿上設(shè)有沿徑向的定位孔，所述定位孔與所述鎖孔通過(guò)螺栓固定連接，所述定位桿遠(yuǎn)離所述模具把的一端固定連接著擋塊，所述擋塊與所述模具套的側(cè)壁頂端相抵。

上述技術(shù)方案的特點(diǎn)是：由于定位筒壁上有距離相同的數(shù)個(gè)鎖孔，通過(guò)螺栓將定位孔與不同的鎖孔連接，就能制得不同厚度的靶材。又因?yàn)槎ㄎ粭U下端固定連接著擋塊，所以在壓制過(guò)程中，上模具桿向下運(yùn)動(dòng)就能帶動(dòng)擋塊向下運(yùn)動(dòng)，直到擋塊與模具套的側(cè)壁頂端相抵。因此，在使用本實(shí)用新型提供的壓靶模具時(shí)，只需要人工將定位孔與不同的鎖孔連接，之后就能夠保證制得的靶材具有相同的厚度。由于在生產(chǎn)靶材的過(guò)程中，不需要工作人員隨時(shí)關(guān)注刻度尺的讀數(shù)，從而能夠減少工作人員的工作量。此外，本方案相比現(xiàn)有技術(shù)減少了肉眼的觀察，因此，本實(shí)用新型提供的壓靶模具能夠有效地降低生產(chǎn)過(guò)程中出現(xiàn)的誤差。

以下是上述方案的優(yōu)選方案：

優(yōu)選方案一：所述定位筒有2個(gè)，兩個(gè)所述定位筒關(guān)于所述上模具桿的中軸對(duì)稱。通過(guò)使用關(guān)于上模具桿中軸對(duì)稱的兩個(gè)定位筒，能夠保證在壓制過(guò)程中限位更加穩(wěn)定，不會(huì)出現(xiàn)由于模具把一端的擋塊與模具套相抵，從而造成另一端傾斜的情況。

優(yōu)選方案二：所述定位筒與所述模具把下表面可拆卸連接。通過(guò)定位筒與模具把的可拆卸連接，可以使定位筒的更換和維護(hù)更加方便。此外，還可以通過(guò)更換具有不同鎖孔間距的定位筒，制得之前定位筒不能壓制的厚度的靶材。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型限位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面通過(guò)具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明：

說(shuō)明書(shū)附圖中的附圖標(biāo)記包括：模具套1、下模具2、上模具3、上模具桿4、模具把5、定位筒6、定位桿7、擋塊8、鎖孔9、定位孔10、螺栓11。

實(shí)施例如圖1和圖2所示：上模具3與下模具2套接在模具套1內(nèi)，并且能夠在模具套1中滑動(dòng)。上模具3與模具把5通過(guò)上模具桿4連接在一起。兩個(gè)定位筒6均通過(guò)螺栓與模具把5的下表面可拆卸連接，并且兩個(gè)定位筒6關(guān)于上模具桿4的中軸對(duì)稱。定位筒6側(cè)壁上縱向設(shè)有5個(gè)鎖孔9，每相鄰兩個(gè)鎖孔9間的距離為1厘米。定位桿7的一端與擋塊8固定連接，定位桿7上沿徑向設(shè)有一個(gè)定位孔10。定位桿7滑動(dòng)連接在定位筒6內(nèi)。

使用時(shí)，將定位桿7上的定位孔10與定位筒6上某一鎖孔9對(duì)齊，并且用螺栓11鎖緊。當(dāng)定位孔10與定位筒6上最上面的鎖孔9鎖緊時(shí)，上模具3能夠向下移動(dòng)到剛好與下模具2相抵。定位孔10每向下移動(dòng)1厘米，壓制出來(lái)的靶材厚度增加1厘米。

此外，由于定位筒6與模具把5之間通過(guò)螺栓連接，所以可以根據(jù)實(shí)際情況更換具有不同鎖孔9間距的定位筒6，從而制得之前定位筒6不能壓制的厚度的靶材。

以上所述的僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，方案中公知的具體結(jié)構(gòu)和/或特性等常識(shí)在此未作過(guò)多描述。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的前提下，還可以作出若干變形和改進(jìn)，這些也應(yīng)該視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，這些都不會(huì)影響本實(shí)用新型實(shí)施的效果和專利的實(shí)用性。本申請(qǐng)要求的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以其權(quán)利要求的內(nèi)容為準(zhǔn)，說(shuō)明書(shū)中的具體實(shí)施方式等記載可以用于解釋權(quán)利要求的內(nèi)容。