本發(fā)明涉及單晶硅棒加工技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：
單晶硅棒粘接工序是單晶開(kāi)方前的一個(gè)準(zhǔn)備工序，主要工作就是將一根根單晶硅棒用膠粘接到開(kāi)方機(jī)專(zhuān)用的圓形狀晶托上，必須保證單晶硅棒的中心軸線(xiàn)與晶托的中心軸線(xiàn)的誤差在允許的范圍內(nèi)，才能保證開(kāi)方機(jī)能正常的將單晶硅棒加工成單晶硅塊。由于單晶粘接工序?qū)θ藛T的要求較高，粘料工在粘接過(guò)程中需要憑借自己的工作經(jīng)驗(yàn)來(lái)進(jìn)行操作，有很大的幾率造成單晶出現(xiàn)外形情況，特別是臨界單晶和扭曲單晶，出現(xiàn)外形的幾率和單晶的長(zhǎng)度也有很大的因素，而且粘料無(wú)法粘接500mm以上單晶。培養(yǎng)一名粘料人員最少需要半年時(shí)間，假如有人員辭職而沒(méi)有頂崗人員會(huì)對(duì)生產(chǎn)造成一定的影響。綜上所述，人工粘接單晶硅棒效率低、精度低，且生產(chǎn)過(guò)程中受人為因素影響很大，不能保證高效穩(wěn)定的持續(xù)生產(chǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種單晶硅棒機(jī)械粘接設(shè)備，提高了單晶硅棒粘接工序的加工效率和加工精度，同時(shí)降低對(duì)工人的要求，操作方便，保證后續(xù)開(kāi)方工序的穩(wěn)定生產(chǎn)。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是：包括第一平板、第二平板、電磁吸盤(pán)、立柱、回轉(zhuǎn)臺(tái)、調(diào)整平臺(tái)、升降絲杠、底座，工作臺(tái)；工作臺(tái)的上表面設(shè)有調(diào)整平臺(tái)，調(diào)整平臺(tái)上面為回轉(zhuǎn)臺(tái)，回轉(zhuǎn)臺(tái)上面為底座，四根立柱和第一平板固定連接，四根立柱和第二平板滑動(dòng)配合，第二平板的底面上設(shè)有電磁吸盤(pán)；升降絲杠能使第二平板升降下壓，升降絲杠和動(dòng)力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。作為優(yōu)選，本發(fā)明還設(shè)有壓力傳感器、能沿立柱升降的位移傳感器和控制器，所述動(dòng)力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為伺服電機(jī)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。作為優(yōu)選，所述回轉(zhuǎn)臺(tái)為蝸桿蝸輪結(jié)構(gòu)。作為優(yōu)選，所述調(diào)整平臺(tái)為相互垂直的兩組直線(xiàn)導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)構(gòu)成，導(dǎo)軌兩側(cè)標(biāo)有刻度。作為優(yōu)選，回轉(zhuǎn)臺(tái)、調(diào)整平臺(tái)均設(shè)有電機(jī)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。作為優(yōu)選，回轉(zhuǎn)臺(tái)、調(diào)整平臺(tái)均為手動(dòng)機(jī)構(gòu)，并設(shè)有位移顯示器,位移顯示器上顯示位移傳感器測(cè)量到的單晶硅棒的尺寸偏移量。作為優(yōu)選，所述位移傳感器固定在連接板上，連接板通過(guò)安裝在立柱上的直線(xiàn)軸承與立柱相連，實(shí)現(xiàn)所述位移傳感器上下移動(dòng)。采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于：本發(fā)明通過(guò)各種傳感器、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和調(diào)整平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了準(zhǔn)確地將單晶硅棒和晶托調(diào)整至相同位置后機(jī)械粘接，加工效率和加工精度都得到了極大的提升，同時(shí)降低了對(duì)工人的要求，操作方便，保證了后續(xù)開(kāi)方工序的穩(wěn)定生產(chǎn)。附圖說(shuō)明圖1是本發(fā)明的一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中：1-第一平板，2-第二平板，3-電磁吸盤(pán)，4-晶托，5-單晶硅棒,6-立柱，7-回轉(zhuǎn)臺(tái)，8-調(diào)整平臺(tái)，9-工作臺(tái)，10-升降絲杠，11-連接板，12-直線(xiàn)軸承，13-位移傳感器，14-底座，15-位移顯示器。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖采用非常簡(jiǎn)化的形式且使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。如圖1所示，為本發(fā)明一種單晶硅棒機(jī)械粘接設(shè)備的一個(gè)實(shí)施例，此設(shè)備包括第一平板1、第二平板2、電磁吸盤(pán)3、立柱6、回轉(zhuǎn)臺(tái)7、調(diào)整平臺(tái)8、升降絲杠10、底座14，工作臺(tái)9；工作臺(tái)9的上表面設(shè)有調(diào)整平臺(tái)8，調(diào)整平臺(tái)8上面為回轉(zhuǎn)臺(tái)7，回轉(zhuǎn)臺(tái)7上面為底座14，四根立柱6和第一平板1固定連接，四根立柱6和第二平板2滑動(dòng)配合，第二平板2的底面上設(shè)有電磁吸盤(pán)3；升降絲杠10能使第二平板2升降下壓，升降絲杠10和動(dòng)力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。動(dòng)力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為伺服電機(jī)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)伺服電機(jī)可直接控制升降絲杠10實(shí)現(xiàn)上下移動(dòng)，升降絲杠10帶動(dòng)第二平板2、第二平板2底面上的電磁吸盤(pán)3和電磁吸盤(pán)3吸附的晶托4實(shí)現(xiàn)上下移動(dòng)，升降距離可達(dá)到600mm。進(jìn)一步地，本實(shí)施例還設(shè)有壓力傳感器、能沿立柱6升降的位移傳感器13和控制器。位移傳感器13固定在連接板11上，連接板11通過(guò)安裝在立柱6上的直線(xiàn)軸承12與立柱6相連，實(shí)現(xiàn)位移傳感器13上下移動(dòng)。進(jìn)一步地，回轉(zhuǎn)臺(tái)7為蝸桿蝸輪結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步地，調(diào)整平臺(tái)8為相互垂直的兩組直線(xiàn)導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)構(gòu)成，導(dǎo)軌兩側(cè)標(biāo)有刻度，通過(guò)調(diào)整平臺(tái)8來(lái)調(diào)整底座14的位置，以此實(shí)現(xiàn)單晶硅棒5的中心軸線(xiàn)與晶托4的中心軸線(xiàn)處于同一直線(xiàn)上。進(jìn)一步地，回轉(zhuǎn)臺(tái)7、調(diào)整平臺(tái)8均設(shè)有電機(jī)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)位移準(zhǔn)確移動(dòng)。進(jìn)一步地，回轉(zhuǎn)臺(tái)7、調(diào)整平臺(tái)8還可以設(shè)為手動(dòng)機(jī)構(gòu)，減少電機(jī)部件，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。設(shè)有位移顯示器15,位移顯示器15上顯示位移傳感器13測(cè)量到的單晶硅棒5的尺寸偏移量。采用上述技術(shù)方案后，本發(fā)明通過(guò)各種傳感器、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和調(diào)整平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了準(zhǔn)確地將單晶硅棒和晶托調(diào)整至相同位置后機(jī)械粘接，加工效率和加工精度都得到了極大的提升，同時(shí)降低了對(duì)工人的要求，操作方便，保證了后續(xù)開(kāi)方工序的穩(wěn)定生產(chǎn)。