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一種用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置的制作方法

文檔序號:11478662閱讀:337來源:國知局
一種用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置的制造方法

本實用新型是關(guān)于單晶硅截斷裝備輔助設(shè)備領(lǐng)域,特別涉及一種用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置。



背景技術(shù):

單晶硅是一種良好的半導(dǎo)材料,其主要運用于半導(dǎo)體器件、太陽能電池等領(lǐng)域。通過單晶爐生長得到的是單晶硅棒,單晶硅棒的截斷是其進一步加工處理和運用過程中必須的一道工序。在單晶硅棒截斷設(shè)備中,硅棒的支撐和夾緊是其截斷質(zhì)量好壞的關(guān)鍵。硅棒截斷時,其于截斷工位的一端被完全固定,但由于硅棒外表面的不規(guī)則性,使得硅棒另一端固定處于過定位或欠定位的狀態(tài),當硅棒被截斷瞬間,硅棒表面產(chǎn)生細微的位移而導(dǎo)致“崩邊”現(xiàn)象,嚴重影響截斷質(zhì)量,造成原材料不必要的損失。

為了解決上述問題,現(xiàn)主要采用人工塞墊的方式,但由于人工塞墊的方法難以控制,且效率低下,硅棒截斷質(zhì)量仍難以有效保證。因而如何減小硅棒截斷過程中的細微位移,防止“崩邊”現(xiàn)象,是一個急需解決的問題。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種能減小硅棒在截斷過程中細微位移、防止“崩邊”現(xiàn)象的捆綁支撐裝置。為解決上述技術(shù)問題,本實用新型的解決方案是:

提供一種用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置,用于硅棒的支撐和夾緊,所述用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置包括支撐機構(gòu)、捆綁機構(gòu)、連接組件;

所述連接組件包括支架墊塊、螺釘;

所述支撐機構(gòu)包括底座、支撐墊塊;底座的兩側(cè)對稱開有(八個)螺紋孔,用于安裝捆綁機構(gòu);底座上還左右對稱共開有(六個)螺紋孔,支撐墊塊設(shè)有兩個,分別利用螺釘左右對稱安裝在底座上;且支撐墊塊上有一個斜面,兩個支撐墊塊的斜面相對安裝,用于配合托住硅棒;

所述捆綁機構(gòu)包括捆綁帶、捆綁帶扣頭、捆綁帶支架、捆綁帶壓頭;捆綁帶支架設(shè)有兩個,分別利用螺釘通過支架墊塊固定在底座的兩側(cè);捆綁帶扣頭包括扣座、扣緊板、連接軸,扣緊板的頭部為鋸齒狀,扣緊板、扣座通過連接軸連接,扣座通過螺釘固定在右側(cè)的捆綁帶支架的外側(cè);捆綁帶支架的上端開有用于捆綁帶通過的通孔,捆綁帶能穿過兩側(cè)的捆綁帶支架通孔,捆綁帶壓頭用于將捆綁帶的一端部固定在左側(cè)的捆綁帶支架上,且捆綁帶壓頭和左側(cè)的捆綁帶支架采用螺釘連接;捆綁帶的另一端穿過扣座,通過壓緊扣緊板鎖死捆綁帶,再利用捆綁帶壓頭固定在右側(cè)的捆綁帶支架上;當硅棒置于支撐墊塊和捆綁帶上之后,能消除接觸間隙。

作為進一步的改進,所述支撐墊塊的斜面角度能根據(jù)硅棒直徑大小進行調(diào)整,用于貼合硅棒。

本實用新型的工作原理:整個裝置通過支撐機構(gòu)托住硅棒,再拉緊捆綁帶并鎖死,減小硅棒在截斷過程中的細微位移。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:

本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉,能消除接觸間隙,顯著減小了硅棒在截斷過程中的細微位移,有效消除現(xiàn)存硅棒截斷“崩邊”問題,而且適用于不同直徑的硅棒。

附圖說明

圖1為本實用新型的正視圖。

圖2為本實用新型的三維等軸側(cè)視圖。

圖3為硅棒置于捆綁帶上,且捆綁帶鎖緊之后的狀態(tài)圖。

圖中的附圖標記為:1捆綁帶壓頭;2捆綁帶支架;3支架墊塊;4捆綁帶;5底座;6支撐墊塊;7扣座;8扣緊板;9連接軸。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細描述:

如圖1、圖2所示的一種用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置包括支撐機構(gòu)、捆綁機構(gòu)、連接組件,用于硅棒的支撐和夾緊。其中,連接組件由支架墊塊3和螺釘組成。

所述支撐機構(gòu)包括底座5、支撐墊塊6;底座5上左右對稱共開有六個螺紋孔,支撐墊塊6設(shè)有兩個,分別利用螺釘左右對稱安裝在底座5上。支撐墊塊6上有一個斜面,兩個支撐墊塊6的斜面相對安裝,用于配合托住硅棒;且支撐墊塊6可根據(jù)硅棒直徑大小調(diào)整其斜面的角度,以便于更好地貼合硅棒。底座5的兩側(cè)還對稱開有八個螺紋孔,用于安裝捆綁機構(gòu)。

所述捆綁機構(gòu)包括捆綁帶4、捆綁帶扣頭、捆綁帶支架2、捆綁帶壓頭1;捆綁帶支架2設(shè)有兩個,分別利用螺釘通過支架墊塊3固定在底座5的兩側(cè)。捆綁帶扣頭包括扣座7、扣緊板8、連接軸9,扣緊板8、扣座7通過連接軸9連接,扣座7通過螺釘固定在右側(cè)的捆綁帶支架2的外側(cè)。捆綁帶支架2的上端開有用于捆綁帶4通過的通孔,捆綁帶4穿過該通孔,然后再穿過扣座7,用捆綁帶壓頭1固定在兩側(cè)的捆綁帶支架2上,捆綁帶壓頭1和捆綁帶支架2采用螺釘連接。當硅棒置于支撐墊塊6和捆綁帶4上后,拉緊捆綁帶4,然后用扣緊板8鎖死,可有效消除接觸間隙,可參考圖3??劬o板8頂部設(shè)計為鋸齒狀,增大鎖緊力。

單晶截斷機工作時,當硅棒于截斷工位的一端被完全固定后,另一端放置于該捆綁支撐裝置的支撐墊塊6和捆綁帶4上,拉緊捆綁帶4,然后用扣緊板8固定鎖死,可完全限制硅棒截斷面在水平和豎直方向上的位置,又使得硅棒在截斷過程中即存在自由度,采用捆綁帶4拖住硅棒,能消除接觸間隙,減小了硅棒在截斷過程中的細微位移,從而有效解決現(xiàn)存硅棒截斷“崩邊”問題,且該機構(gòu)可適用于不同直徑的硅棒。

最后,需要注意的是,以上列舉的僅是本實用新型的具體實施例。顯然,本實用新型不限于以上實施例,還可以有很多變形。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本實用新型公開的內(nèi)容中直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的所有變形,均應(yīng)認為是本實用新型的保護范圍。

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