本實用新型是關(guān)于單晶硅線切割加工輔助設(shè)備領(lǐng)域,特別涉及一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置。
背景技術(shù):
硅單晶材料是最為重要的光伏發(fā)電原材料,隨著光伏行業(yè)迅猛發(fā)展,硅單晶產(chǎn)能不斷提升。硅單晶常用制備方法有直拉法、區(qū)熔法等,此類方法制備的單晶硅均呈圓柱型。制備完成的單晶硅棒需經(jīng)過截斷、切方、磨削、切片等工序,加工出用于制造太陽能電池片的硅片。
在單晶硅切割領(lǐng)域,主要有盤鋸切割、帶鋸切割、游離磨料線鋸切割和金剛線切割。金剛線切割憑借切割穩(wěn)定、效率高、硅損耗小等優(yōu)良特性,正逐步取代游離磨料線鋸切割及傳統(tǒng)鋸切割。
傳統(tǒng)的單晶硅棒開方進刀裝置一般采用多線切割的方式,此種結(jié)構(gòu)笨重,需要占用很大空間。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、定位準(zhǔn)確、排線均勻的金剛線開方進刀裝置。為解決上述技術(shù)問題,本實用新型的解決方案是:
提供一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置,包括龍門架豎梁、直線進刀模組、導(dǎo)輪組件、工作臺接近開關(guān)組件,所述龍門架豎梁上安裝有導(dǎo)軌安裝條;
所述直線進刀模組豎直安裝在龍門架豎梁的導(dǎo)軌安裝條上;直線進刀模組包括電機、進給電機座、進給單元聯(lián)軸器、KK模組、導(dǎo)輪安裝座、護罩安裝頂板、風(fēng)琴護罩、護罩密封墊、護罩底板、鈑金件;
所述KK模組包括固定平臺、絲桿、螺母、滑塊、導(dǎo)軌,固定平臺安裝在龍門架豎梁的導(dǎo)軌安裝條上;所述導(dǎo)軌設(shè)有兩根,水平安裝在固定平臺上;所述滑塊安裝在導(dǎo)軌上,并通過螺母與絲桿相連,使滑塊能沿著導(dǎo)軌上下移動;
所述進給電機座安裝在護罩安裝頂板上,電機安裝在進給電機座上,電機通過進給單元聯(lián)軸器與KK模組中的絲桿相連,用于通過絲桿控制滑塊移動;導(dǎo)輪安裝座固定在KK模組上的滑塊上;所述風(fēng)琴護罩設(shè)有兩個,分別安裝在護罩安裝頂板和護罩底板上,并通過護罩密封墊密封,用于防止水和硅粉進入直線進刀模組上;護罩安裝頂板上還安裝有用于防水和硅泥的鈑金件;
所述導(dǎo)輪組件包括導(dǎo)輪、導(dǎo)輪輪蓋、導(dǎo)輪輪套、導(dǎo)輪軸承壓蓋、導(dǎo)輪鎖緊螺釘、深溝球軸承、導(dǎo)輪軸,導(dǎo)輪組件通過螺紋安裝在直線進刀模組的導(dǎo)輪安裝座上;所述導(dǎo)輪軸安裝在導(dǎo)輪安裝座上;所述深溝球軸承設(shè)有兩個,成對安裝在(一個)導(dǎo)輪軸上,導(dǎo)輪鎖緊螺釘用于對深溝球軸承進行軸向定位;所述導(dǎo)輪輪套安裝在深溝球軸承上,導(dǎo)輪安裝在導(dǎo)輪輪套上,導(dǎo)輪輪蓋用于對導(dǎo)輪進行軸向固定;所述導(dǎo)輪軸承壓蓋安裝在導(dǎo)輪輪套上,用于軸向固定軸承;導(dǎo)輪上開有導(dǎo)輪槽,金剛線能在導(dǎo)輪槽隨深溝球軸承自由旋轉(zhuǎn);
導(dǎo)輪組件采用迷宮密封方式和氣密封進行密封,用于防止水和硅泥進入腐蝕零件;所述迷宮密封方式具體是指:導(dǎo)輪軸設(shè)有3個依次排列的環(huán)形密封齒,在導(dǎo)輪輪套上設(shè)計有2個依次排列的環(huán)形密封齒,導(dǎo)輪軸上的環(huán)形密封齒和導(dǎo)輪輪套上的環(huán)形密封齒能形成一系列截流間隙與膨脹空腔,用于在水和硅泥通過曲折迷宮的間隙時產(chǎn)生節(jié)流效應(yīng)而達到阻漏的目的;所述氣密封具體是指:在導(dǎo)輪軸中心設(shè)計有進氣孔,在密封槽中設(shè)計有4個出氣口,氣體能從進氣孔進入,從出氣口出來,在迷宮密封間隙中形成氣體保護,用于防止水和硅泥進入軸承腔;
所述工作臺接近開關(guān)組件包括接近開關(guān)、接近開關(guān)安裝座、接近開關(guān)安裝墊板、接近開關(guān)滑塊、接近開關(guān)連接板,接近開關(guān)連接板安裝在龍門豎梁龍門架豎梁上,接近開關(guān)安裝座安裝在接近開關(guān)連接板上,接近開關(guān)安裝墊板通過接近開關(guān)滑塊安裝在接近開關(guān)安裝座上,使接近開關(guān)安裝墊板能利用接近開關(guān)滑塊在接近開關(guān)安裝座上滑動,根據(jù)金剛線開始切硅棒的起始位置和切透單晶棒邊皮時的位置來設(shè)置接近開關(guān)安裝滑塊的位置;接近開關(guān)安裝在接近開關(guān)安裝墊板上;工作臺接近開關(guān)組件設(shè)有兩個,分別上下安裝在龍門架豎梁的導(dǎo)軌安裝條上,安裝在龍門架豎梁上部分的工作臺接近開關(guān)組件中的接近開關(guān)為上位接近開關(guān),安裝在龍門架豎梁下部分的工作臺接近開關(guān)組件中的接近開關(guān)為下位接近開關(guān),用于限制直線進刀模組中的導(dǎo)輪安裝座的上下位移,直線進刀模組從上位接近開關(guān)開始切割晶棒,到下位接近開關(guān)完成對晶棒的開方。
作為進一步的改進,所述導(dǎo)軌安裝條和直線進刀模組的安裝面的安裝精度為0.025mm,保證了進給模組的垂直度。
作為進一步的改進,所述電機采用伺服電機。
作為進一步的改進,所述KK模組中的導(dǎo)軌采用直線導(dǎo)軌。
作為進一步的改進,所述接近開關(guān)采用磁性開關(guān)。
作為進一步的改進,龍門架設(shè)有兩個,每個龍門架設(shè)有前后兩個安裝有直線進刀模組、導(dǎo)輪組件、工作臺接近開關(guān)組件的龍門架豎梁,兩個龍門架呈左右對稱布置,金剛線繞過導(dǎo)輪的方式為:金剛線從收放線輪出來,繞過左側(cè)龍門架上的兩個導(dǎo)輪,經(jīng)過換向?qū)л喞@過右側(cè)龍門架上的兩個導(dǎo)輪,最后繞回到收放線輪,并保證繞在導(dǎo)輪上的金剛線保持在同一水平上,兩條金剛線能對水平放置的晶棒實現(xiàn)開方。
本實用新型的工作原理:在晶棒開方的過程中,在水平方向上,金剛線在收放線輪的驅(qū)動下沿著導(dǎo)輪高速移動來對晶棒進行切割;在豎直方向上,四組進刀裝置的四個伺服電機同時運行,晶棒開方的進刀量通過伺服電機控制,其金剛線豎直方向的進刀量為6mm/s;進刀組件在豎直方向運動的過程中,上下兩個位置分別裝有接近開關(guān),兩個接近開關(guān)的距離大于晶棒的直徑,進刀裝置在上位接近開關(guān)開始開方,隨著開方完成,裝置觸碰下位接近開關(guān),進刀裝置停止進刀進給運動。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:
本實用新型結(jié)構(gòu)簡單緊湊,使用本實用新型進行金剛線進刀開方,能夠使晶棒的切割刀痕小、切割面質(zhì)量高。
附圖說明
圖1為本實用新型的三維視圖。
圖2為本實用新型中直線進刀模組的示意圖。
圖3為圖2的A-A剖視圖。
圖中的附圖標(biāo)記為:1龍門架豎梁;2直線進刀模組;3導(dǎo)輪組件;4工作臺接近開關(guān)組件;5伺服電機;6進給電機座;7進給單元聯(lián)軸器;8護罩安裝頂板;9KK模組;10導(dǎo)輪安裝座;11導(dǎo)輪;12導(dǎo)輪輪蓋;13導(dǎo)輪輪套;14導(dǎo)輪軸承壓蓋;15導(dǎo)輪鎖緊螺釘;16深溝球軸承;17導(dǎo)輪軸;18風(fēng)琴護罩;19護罩密封墊;20護罩底板。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細描述:
如圖1所示的一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置包括龍門架豎梁1、直線進刀模組2、導(dǎo)輪組件3、工作臺接近開關(guān)組件4。
龍門架豎梁1上安裝有導(dǎo)軌安裝條,直線進刀模組2豎直安裝在龍門架豎梁1的導(dǎo)軌安裝條上,導(dǎo)軌安裝條和直線進刀模組2的安裝面具有很高的安裝精度,保證了進給模組的垂直度。如圖2、圖3所示,直線進刀模組2包括電機、進給電機座6、進給單元聯(lián)軸器7、KK模組9、導(dǎo)輪安裝座10、護罩安裝頂板8、風(fēng)琴護罩18、護罩密封墊19、護罩底板20、鈑金件。
所述KK模組9包括固定平臺、絲桿、螺母、滑塊、導(dǎo)軌,固定平臺安裝在龍門架豎梁1的導(dǎo)軌安裝條上;所述導(dǎo)軌設(shè)有兩根,水平安裝在固定平臺上;所述滑塊安裝在導(dǎo)軌上,并通過螺母與絲桿相連,使滑塊能沿著導(dǎo)軌上下移動。
所述進給電機座6安裝在護罩安裝頂板8上,電機安裝在進給電機座6上,電機通過進給單元聯(lián)軸器7與KK模組9中的絲桿相連,用于通過絲桿控制滑塊移動,導(dǎo)輪安裝座10固定在KK模組9上的滑塊上;這里的電機采用伺服電機5。所述風(fēng)琴護罩18設(shè)有兩個,分別安裝在護罩安裝頂板8和護罩底板20上,并通過護罩密封墊19密封,用于防止水和硅粉進入直線進刀模組2上;護罩安裝頂板8上還安裝有用于防水和硅泥的鈑金件。
所述直線進刀模組2導(dǎo)軌采用直線導(dǎo)軌。
導(dǎo)輪組件3包括導(dǎo)輪11、導(dǎo)輪輪蓋12、導(dǎo)輪輪套13、導(dǎo)輪軸承壓蓋14、導(dǎo)輪鎖緊螺釘15、深溝球軸承16、導(dǎo)輪軸17,導(dǎo)輪組件3通過螺紋安裝在直線進刀模組2的導(dǎo)輪安裝座10上。所述導(dǎo)輪軸17安裝在導(dǎo)輪安裝座10上;所述深溝球軸承16設(shè)有兩個,分別安裝在導(dǎo)輪軸17上,導(dǎo)輪鎖緊螺釘15用于對深溝球軸承16進行軸向定位;所述導(dǎo)輪輪套13安裝在深溝球軸承16上,導(dǎo)輪11安裝在導(dǎo)輪輪套13上,導(dǎo)輪輪蓋12用于對導(dǎo)輪11進行軸向固定;所述導(dǎo)輪軸承壓蓋14安裝在導(dǎo)輪輪套13,用于壓緊導(dǎo)輪11,防止其晃動;導(dǎo)輪11上開有導(dǎo)輪槽,金剛線能在導(dǎo)輪槽隨深溝球軸承16自由旋轉(zhuǎn)。
導(dǎo)輪組件3采用迷宮密封方式和氣密封進行密封,用于防止水和硅泥進入腐蝕零件。迷宮密封方式具體是指:在導(dǎo)輪軸17設(shè)計有3個依次排列的環(huán)形密封齒,在導(dǎo)輪輪套13上設(shè)計有2個依次排列的環(huán)形密封齒,安裝時,導(dǎo)輪軸17上的密封齒和導(dǎo)輪輪套13上的密封齒形成一系列截流間隙與膨脹空腔,水和硅泥在通過曲折迷宮的間隙時產(chǎn)生節(jié)流效應(yīng)而達到阻漏的目的。導(dǎo)輪組件3同時還采用氣密封,已防止水和硅泥進入;在導(dǎo)輪軸17中心設(shè)計有進氣孔,在密封槽中設(shè)計有4個出氣口,氣體從進氣孔進入,從出氣口出來,在迷宮密封間隙中形成氣體保護,使水和硅泥無法進入軸承腔。
工作臺接近開關(guān)組件4包括接近開關(guān)、接近開關(guān)安裝座、接近開關(guān)安裝墊板、接近開關(guān)滑塊、接近開關(guān)連接板,接近開關(guān)連接板安裝在龍門豎梁龍門架豎梁1上,接近開關(guān)安裝座安裝在接近開關(guān)連接板上,接近開關(guān)安裝墊板通過接近開關(guān)滑塊安裝在接近開關(guān)安裝座上,使接近開關(guān)安裝墊板能在接近開關(guān)安裝座上調(diào)節(jié)位置;接近開關(guān)安裝在接近開關(guān)安裝墊板上,接近開關(guān)采用磁性開關(guān)。工作臺接近開關(guān)組件4設(shè)有兩個,上下安裝在龍門架豎梁1的導(dǎo)軌安裝條上,安裝在龍門架豎梁1上部分的工作臺接近開關(guān)組件4中的接近開關(guān)為上位接近開關(guān),安裝在龍門架豎梁1下部分的工作臺接近開關(guān)組件4中的接近開關(guān)為下位接近開關(guān),用于限制直線進刀模組2中的導(dǎo)輪安裝座10的上下位移,直線進刀模組2從上位接近開關(guān)開始切割晶棒,到下位接近開關(guān)完成對晶棒的開方。
工作時,龍門架設(shè)有兩個,每個龍門架設(shè)有前后兩個安裝有直線進刀模組2、導(dǎo)輪組件3、工作臺接近開關(guān)組件4的龍門架豎梁1,即一臺設(shè)備擁有4套該裝置,四個導(dǎo)輪11分兩組相對布置,并保證繞在導(dǎo)輪11上的金剛線保持在同一水平上,兩組導(dǎo)輪11之間的距離即為晶棒開方完成的兩對面的尺寸,可開方的晶棒長度為200mm~700mm。
在收放電機工作時,導(dǎo)輪11上的金剛線帶動導(dǎo)輪11高速運行起來,同時4個伺服電機5同步工作,保證四個導(dǎo)輪11以相同的速度進刀,對晶棒進行線切割,按經(jīng)驗進刀速度為6mm/s,在此過程中伺服電機5帶動絲桿使導(dǎo)輪11以一定的速度向下切割晶棒,切割完晶棒以后,進刀模組會自動觸碰接近開關(guān),掉落晶棒邊皮以后,伺服電機5反向轉(zhuǎn)動是導(dǎo)輪11回到晶棒開方位置,整個過程就完成了對晶棒的一次開方。
最后,需要注意的是,以上列舉的僅是本實用新型的具體實施例。顯然,本實用新型不限于以上實施例,還可以有很多變形。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本實用新型公開的內(nèi)容中直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的所有變形,均應(yīng)認為是本實用新型的保護范圍。