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一種單晶硅棒金剛線開方進(jìn)刀裝置的制作方法

文檔序號:11346956閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及單晶硅線切割加工輔助設(shè)備,旨在提供一種單晶硅棒金剛線開方進(jìn)刀裝置。該種單晶硅棒金剛線開方進(jìn)刀裝置包括龍門架豎梁、直線進(jìn)刀模組、導(dǎo)輪組件、工作臺接近開關(guān)組件。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單緊湊,使用本實用新型進(jìn)行金剛線進(jìn)刀開方,能夠使晶棒的切割刀痕小、切割面質(zhì)量高。

技術(shù)研發(fā)人員:傅林堅;沈文杰;周建燦;謝龍輝;趙通通;何守龍;胡志偉;王凱;邱敏秀
受保護(hù)的技術(shù)使用者:浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
文檔號碼:201720120244
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.09
技術(shù)公布日:2017.09.12

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