專利名稱：基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)和基板分?jǐn)嗑€系統(tǒng)，用于分?jǐn)喟?液晶顯示裝置等的顯示面板上使用的玻璃基板等母基板在內(nèi)的各種材 料的母基板，特別是涉及基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)、基板制造裝置、基板切割方 法、基板分?jǐn)喾椒ǎ軌蚝芎玫赜糜谝粚?duì)脆性材料基板相互貼合在一 起而成的貼合母基板的分?jǐn)唷?br> 背景技術(shù)：
液晶顯示裝置等顯示面板通常是采用作為脆性材料基板的玻璃基 板形成的。液晶顯示裝置是通過將一對(duì)玻璃基板形成適當(dāng)間隔地貼合 在一起，在其間隙內(nèi)封入液晶而作為顯示面板。
在制造這種顯示面板時(shí)，通過將一對(duì)母玻璃基板貼合在一起而成 的貼合母基板分?jǐn)?，進(jìn)行從貼合母基板取出多個(gè)顯示面板的加工。用 于分?jǐn)噘N合母基板的切割裝置公開在特公昭59-22101號(hào)公報(bào)中。
圖93為該切割裝置的示意結(jié)構(gòu)圖。該切割裝置950備有分別放置 貼合母基板908兩側(cè)的側(cè)緣部的工作臺(tái)951。在工作臺(tái)951上安裝有夾 緊貼合母基板908的各側(cè)緣部的夾具952。切割裝置950備有分別設(shè)置 在貼合母基板908的上下的一對(duì)刀頭953和954。各刀頭953和954 成為隔著貼合母基板908而相互對(duì)置的狀態(tài)。
在這種結(jié)構(gòu)的切割裝置950中，當(dāng)貼合母基板908分別被各夾具 952固定在各工作臺(tái)951上時(shí)，貼合母基板908的正面和反面分別被一 對(duì)刀頭953和954同時(shí)切割，形成劃痕線。
但是，在這種切割裝置950中，另外需要用于分?jǐn)嘈纬闪藙澓劬€ 的貼合母基板908的斷開裝置。而且，在通過斷開裝置分?jǐn)噘N合母基 板908時(shí)，在分?jǐn)嗔速N合母基板908的一個(gè)母基板后，為了分?jǐn)嗔硪?個(gè)母基板而要使貼合母基板908翻轉(zhuǎn)(將上表面翻轉(zhuǎn)成下表面)，從 貼合母基板908上分?jǐn)喑鲲@示面板，所以必須構(gòu)筑復(fù)雜的線系統(tǒng)。為了采用這種切割裝置950從貼合母基板908上分?jǐn)喑鲲@示面板， 必須要構(gòu)筑具有數(shù)倍于切割裝置950的設(shè)置面積的復(fù)雜的線系統(tǒng)，這 成為增加顯示面板的制造成本一個(gè)原因。
而且，圖93所示的切割裝置950雖然是從作為母基板的貼合母基 板908正反面的兩側(cè)同時(shí)進(jìn)行切割的裝置，但其加工方向僅限于一個(gè) 方向，而不能夠進(jìn)行交叉切割(劃痕線正交方向的切割)。
因此，為了進(jìn)行交叉切割，則需要其他的切割裝置，存在貼合母 基板908的切割加工效率非常低的問題。
而且，即使在采用與上述的切割裝置950相同的裝置，分別從各 種母基板的正反面同時(shí)進(jìn)行分?jǐn)嗉庸さ那闆r下，也還是存在不能一次 設(shè)置基板而完成正交的兩個(gè)方向的加工的問題。
本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種基板 分?jǐn)嘞到y(tǒng)，可減小設(shè)置面積而緊湊化，并且能夠高效率地分?jǐn)喔鞣N母 基板。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其特征是，包括中空長方體狀的架臺(tái)； 安裝在該架臺(tái)上的夾緊裝置，夾緊送入該架臺(tái)內(nèi)的基板的側(cè)緣部的至 少一個(gè)部位； 一對(duì)基板分?jǐn)嘌b置，從由該夾緊裝置夾緊的該基板的上 表面一側(cè)和下表面一側(cè)分?jǐn)嘣摶?；切割裝置導(dǎo)向架，可沿著上述中 空長方體狀的架臺(tái)的一個(gè)邊往返移動(dòng)，安裝成上述一對(duì)基板分?jǐn)嘌b置 可沿著與其移動(dòng)方向正交的方向移動(dòng)。
而且，其特征是，備有支承由上述夾緊裝置夾緊的上述基板的基 板支承裝置。
另外，其特征是，上述基板支承裝置具備設(shè)置在上述切割裝置導(dǎo) 向架的移動(dòng)方向一側(cè)的第l基板支承部。
而且，其特征是，上述第1基板支承部備有分別沿著上述切割裝 置導(dǎo)向架的移動(dòng)方向平行移動(dòng)的多個(gè)第l基板支承單元，各第l基板 支承單元以隨著該切割裝置導(dǎo)向架向一側(cè)移動(dòng)而相互離開的方式移 動(dòng)，并且以隨著切割裝置導(dǎo)向架向另一側(cè)移動(dòng)而相互接近的方式移動(dòng)。
另外，其特征是，在上述各第1基板支承單元上分別支承有沿著 上述切割裝置導(dǎo)向架的移動(dòng)方向分別設(shè)置的多個(gè)第1支承帶，通過各 第1基板支承單元以相互離開的方式移動(dòng)，上述基板由各第1支承帶
4支承在水平狀態(tài)。
而且，其特征是，具備第1巻取組件，通過上述各第1基板支承 單元以相互接近的方式移動(dòng)而巻取上述各第1支承帶。
另外，其特征是，在上述各第1基板支承單元上設(shè)置有基板升降 裝置，使該基板上升到各第1支承帶的上方，由上述夾緊裝置夾緊上 述基板。
而且，其特征是，上述第1基板支承部備有分別沿著上述切割裝 置導(dǎo)向架的移動(dòng)方向平行移動(dòng)的多個(gè)第l基板支承單元，各第l基板 支承單元隨著該切割裝置導(dǎo)向架向一側(cè)移動(dòng)而與切割裝置導(dǎo)向架一起 移動(dòng)。
另外，其特征是，上述第1基板支承單元具備支承基板的多個(gè)皮帶。
而且，其特征是，備有至少一個(gè)離合器單元，使上述多個(gè)皮帶隨 著上述切割裝置導(dǎo)向架的移動(dòng)而有選擇地環(huán)繞移動(dòng)。
另外，其特征是，在上述基板支承裝置上還具備第2基板支承部， 該第2基板支承部設(shè)置在上述切割裝置導(dǎo)向架的移動(dòng)方向另一側(cè)。
而且，其特征是，上述第2基板支承部備有分別沿著上述切割裝 置導(dǎo)向架的移動(dòng)方向平行移動(dòng)的多個(gè)第2基板支承單元，各第2基板 支承單元以隨著向一側(cè)移動(dòng)而相互接近的方式移動(dòng)，并且以隨著向另 一側(cè)移動(dòng)而相互離開的方式移動(dòng)。
另外，其特征是，在上述各第2基板支承單元上分別支承有沿著 上述切割裝置導(dǎo)向架的移動(dòng)方向分別配置的多個(gè)第2支承帶，通過各 第2基板支承單元以相互離開的方式移動(dòng)，上述基板由各第2支承帶 支承在水平狀態(tài)。
而且，其特征是，具備第2巻取組件，通過上述各第2基板支承 單元以相互接近的方式移動(dòng)而巻取上述各第2支承帶。
而且，其特征是，上述第2基板支承部備有分別沿著上述切割裝 置導(dǎo)向架的移動(dòng)方向平行移動(dòng)的多個(gè)第2基板支承單元，各第l基板 支承單元隨著該切割裝置導(dǎo)向架向一側(cè)移動(dòng)而與切割裝置導(dǎo)向架一起 移動(dòng)。
另外，其特征是，上述第2基板支承單元具備支承基板的多個(gè)皮帶。而且，其特征是，備有至少一個(gè)離合器單元，使上述多個(gè)皮帶隨 著上述切割裝置導(dǎo)向架的移動(dòng)而有選擇地環(huán)繞移動(dòng)。
另外，其特征是，上述基板分?jǐn)嘌b置在刀輪上具備刀頭，該刀頭 采用伺服馬達(dá)，向上述基板傳遞推壓力。
而且，其特征是，在上述基板分?jǐn)嘌b置中具備蒸氣單元部，向刻 有劃痕線的基板的正反面噴射蒸氣。
另外，其特征是，在上述蒸氣單元部上設(shè)置有基板干燥組件，對(duì) 基板的正反面進(jìn)行干燥。
而且，其特征是，具備基板送出裝置，取出由上述蒸氣單元部分 斷后的基板。
另外，其特征是，上述基板輸送裝置具備送出機(jī)械手，該送出機(jī) 械手備有保持基板的基板保持組件，使保持著該基板的該基板保持組 件繞垂直于該基板的第1軸旋轉(zhuǎn)的基板旋轉(zhuǎn)組件，以及使該基板旋轉(zhuǎn) 組件繞與垂直于由該基板保持組件保持的基板的上述第1軸不同的第
2軸轉(zhuǎn)向的組件。
而且，其特征是，具備基板翻轉(zhuǎn)組件，對(duì)由上述基板輸送裝置輸
送的基板的正反面進(jìn)行翻轉(zhuǎn)。
另外，其特征是，具備定位單元部，對(duì)上述基板進(jìn)行定位。 而且，其特征是，備有輸送單元，將由上述切割裝置導(dǎo)向架切割
后的基板向蒸氣單元部輸送。
另外，其特征是，具備除去組件，除去分?jǐn)嗪蟮幕宓牟灰糠帧?而且，其特征是，上述多個(gè)皮帶張桂在基板送入側(cè)的框架和基板
送出側(cè)的框架之間，在上述第l基板支承部移動(dòng)中，該多個(gè)皮帶向切
割裝置導(dǎo)向架的下方沉入，或者從切割裝置導(dǎo)向架的下方向上方浮現(xiàn)。 另外，其特征是，上述多個(gè)皮帶張掛在基板送入側(cè)的框架和基板
送出側(cè)的框架之間，在上述第2基板支承部移動(dòng)中，該多個(gè)皮帶向切
割裝置導(dǎo)向架的下方沉入，或者從切割裝置導(dǎo)向架的下方向上方浮現(xiàn)， 其特征是，上述基板是一對(duì)母基板貼合而成的貼合母基板。 本發(fā)明的基板制造裝置，其特征是，在上述的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中連
接有倒角系統(tǒng)，對(duì)分?jǐn)嗪蟮幕宓亩嗣娌窟M(jìn)行倒角。
另外，其特征是，連接有檢查系統(tǒng)，對(duì)分?jǐn)嗪蟮幕宓男阅苓M(jìn)行檢查。本發(fā)明的在基板的上表面和下表面上形成劃痕線的切割方法，其 特征是，使形成沿著該基板的厚度方向的垂直裂紋的劃痕線形成組件 對(duì)置，不離開該基板地通過該切割形成組件連續(xù)地形成上述劃痕線。
而且，其特征是，通過上述切割形成組件形成3條以上的上述直 線狀劃痕線，由所形成的所有劃痕線形成封閉曲線。
另外，其特征是，通過上述切割形成組件，形成長方形的封閉曲線。
而且，其特征是，上述切割形成組件是刀輪片，該刀輪片為盤狀， 在其外周上形成在上述基板的表面上滾動(dòng)接觸的刀刃。
另外，其特征是，上述刀輪片在刀刃上以規(guī)定的間距形成有多個(gè) 突起。
而且，其特征是，在由上述刀輪片形成了上述至少2條劃痕線之 后，通過該刀輪片形成沿著已形成的至少2條劃痕線的副劃痕線。
另外，其特征是，上述副劃痕線是使上述刀輪片不離開上述基板 的表面地與形成在上述基板上的上述至少了條劃痕線連續(xù)地形成的。
而且，其特征是，在上述刀輪片形成了一個(gè)劃痕線，并且以描繪 出圓形軌跡的方式移動(dòng)上述基板后，形成另一個(gè)劃痕線。
另外，其特征是，在上述刀輪片以描繪出圓形軌跡的方式在上述 基板上移動(dòng)時(shí)，對(duì)于上述基板的壓力降低到低于分別形成上述各劃痕 線時(shí)相對(duì)于上述基板的壓力。
本發(fā)明的在基板的上表面和下表面上形成劃痕線的基板分?jǐn)喾?法，其特征是，包括使形成沿著該基板的厚度方向的垂直裂紋的劃 痕線形成組件對(duì)置，沿著該基板的分?jǐn)囝A(yù)定線形成主劃痕線的工序； 與已形成的主劃痕線隔開規(guī)定的間隔，沿著該主劃痕線形成輔助劃痕 線的工序。
而且，其特征是，上述輔助劃痕線是與上述主劃痕線隔開0. 5mm~ 1. 0mm的間隔形成的。
另外，其特征是，上述主劃痕線是由從基板表面深達(dá)基板的厚度 方向的80%以上的垂直裂紋形成的。
而且，其特征是，上述主劃痕線是由從基板表面深達(dá)基板的厚度 方向的90%以上的垂直裂紋形成的。
另外，其特征是，上述主劃痕線是通過在基板表面上滾動(dòng)的圓板狀刀輪形成的，該刀輪是其外周面的厚度方向中央部向外側(cè)突出成鈍
角的v字型，在其鈍角的部分上，以規(guī)定的間距遍及全周地設(shè)有規(guī)定
高度的多個(gè)突起。
而且，其特征是，上述刀輪形成的主劃痕線形成方向和輔助劃痕 線的形成方向相反，在該刀輪與基板表面接觸的狀態(tài)下連續(xù)地形成主 劃痕線和輔助劃痕線。
另外，其特征是，上述主劃痕線或輔助劃痕線是從上述分?jǐn)囝A(yù)定 線的至少一個(gè)端部隔開適當(dāng)?shù)拈g隔形成的。
而且，在基板的上表面和下表面的每一個(gè)上形成劃痕線并分?jǐn)嗷?板的方法，其特征是，對(duì)該基板的上表面和下表面進(jìn)行加熱，從而分 斷該基板。


圖1為表示本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)一例的示意立體圖。
圖2為本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)從另一方向觀察時(shí)的示 意立體圖。
圖3為表示本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)主要部分的示意結(jié) 構(gòu)的立體圖。
圖4為用于本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板支承裝置的
動(dòng)作說明的立體圖。
圖5為本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)主要部分的剖視圖。
圖6為放大了本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)主要部分后的示
意立體圖。
圖7為放大了本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)其他主要部分后 的示意立體圖。
圖8為設(shè)置在本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板支承裝置 上的第l基板支承單元的立體圖。
圖9為剖開設(shè)置在第1基板支承單元上的基板升降裝置的一部分 后的主視圖。
圖IO為表示分別安裝在笫l基板支承單元的一個(gè)端部上的連結(jié)臂 結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
圖ll為剖開圖9所示的基板升降裝置的一部分后的主視圖。 圖12為剖開基板升降裝置的一部分后的立體圖。
8fe 13為表示設(shè)置在基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)上的夾緊裝置結(jié)構(gòu)的立體圖。 圖14為用于夾緊裝置的動(dòng)作說明的立體圖。
圖15為表示本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板分?jǐn)嘌b置所 備有的刀頭的一例的側(cè)視圖。
圖16為刀頭主要部分的主視圖。
圖17為表示本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板分?jǐn)嘌b置所 備有的刀頭的另一例的主視圖。
圖18為用于本發(fā)明實(shí)施方式l的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖19為用于本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖20為用于本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖21為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ脑淼幕宓钠室晥D。
圖22為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ囊焕幕迩懈罘绞降?基板俯視圖。
圖23為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕迩懈罘绞?的基板俯視圖。
圖24為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧?一例的基板切割方式 的基板俯視圖。
圖25 (a)和圖25 (b)為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪?br> 例的基板切割方式的基板俯視圖。
圖26為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕迩懈罘绞?的基板俯視圖。
圖27為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕迩懈罘绞?的基板俯視圖。
圖28為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕迩懈罘绞?的基板俯視圖。
圖29為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕母┮晥D。 圖30為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕迩懈罘绞?的基板俯視圖。圖31為用于本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖32為用于本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖33為本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的蒸氣單元部主要部分 的主一見圖。
圖34為表示蒸氣單元部的蒸氣單元結(jié)構(gòu)的局部側(cè)剖視圖。
圖35為表示在本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中，對(duì)基板進(jìn)行 切割時(shí)的切割方式的附圖。
圖36為表示在本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中，對(duì)基板進(jìn)行 切割時(shí)的另一切割方式的附圖。
圖37為表示在本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中，對(duì)基板進(jìn)行 切割時(shí)的另一切割方式的附圖。
圖38為表示本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的一例的示意立體圖。
圖39為基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)從另一方向觀察時(shí)的示意立體圖。
圖40為放大基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的主要部分后的示意立體圖。
圖41為放大基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的其他主要部分后的示意立體圖。
圖42(a)為表示基板送出裝置的送出機(jī)械手的結(jié)構(gòu)的示意結(jié)構(gòu)圖，
圖42 (b)為說明送出機(jī)械手的動(dòng)作的說明圖。
圖43為設(shè)置在基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板支承裝置上的笫1基板支承單
元的側(cè)視圖。
圖44為從基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的切割裝置導(dǎo)向架一側(cè)觀察第l基板支承 部時(shí)的主視圖。
圖45為設(shè)置在基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板支承部上的離合器單元的示意
結(jié)構(gòu)圖。
圖46為離合器單元的側(cè)視圖。
圖47為從基板送入側(cè)觀察本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的蒸
氣單元部時(shí)的主要部分的主視圖。
圖48為表示蒸氣單元部的蒸氣單元的結(jié)構(gòu)的局部側(cè)剖視圖。
圖49為表示設(shè)置在本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)上的夾緊裝
置的結(jié)構(gòu)，是用于動(dòng)作說明的立體圖。圖50為表示設(shè)置在本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)上的夾緊裝 置的結(jié)構(gòu)，是用于動(dòng)作說明的立體圖。
圖51為表示本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板分?jǐn)嘌b置所 備有刀頭的一例的側(cè)視圖。
圖52為刀頭主要部分的主視圖。
圖53為表示本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板分?jǐn)嘌b置所
備有刀頭的另一例的側(cè)視圖。
圖54為用于本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意
俯視圖。
圖55為用于本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖56為本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中，對(duì)基板進(jìn)行切割時(shí) 的切割方式的附圖。
圖57為本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中，對(duì)基板進(jìn)行切割時(shí)
的另一切割方式的附圖。
圖58為本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中，對(duì)基板進(jìn)行切割時(shí)
的另一切割方式的附圖。
圖59為用于本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖60為用于本發(fā)明實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖61為用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ脑淼幕宓钠室晥D。 圖62為表示用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ囊焕幕宓那懈?方式的基板俯視圖。
圖63為表示用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕宓那?br> 割方式的基板俯視圖。
圖64為表示用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕宓那?br> 割方式的基板局部俯視圖。
圖65 (a)和圖65 (b)為表示用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ?另 一例的基板的切割方式的基板俯視圖。
圖66為表示用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕宓那?割方式的基板俯視圖。
ii圖67為表示用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕宓那?割方式的基板局部俯視圖。
圖68為表示用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕宓那?割方式的基板俯視圖。
圖69為表示用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕母┮晥D。
圖70為表示用于說明本發(fā)明的基板分?jǐn)喾椒ǖ牧硪焕幕宓那?割方式的基板俯視圖。
圖71為表示本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)喾椒ǖ囊焕恼w示意 立體圖。
圖72為表示基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)示意俯視圖。 圖73為表示基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)示意側(cè)視圖。
圖74為表示本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的定位單元部的示 意立體圖。
圖75本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的升降輸送部的示意俯視圖。
圖76為升降輸送部的第3基板支承單元的側(cè)視圖。 圖77為說明本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的面板端子分離部 的示意圖。
圖78為用于本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 局部俯視圖。
圖79為用于本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 局部俯視圖。
圖80為用于本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 局部俯^L圖。
圖81為用于本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 局部俯視圖。
圖82為用于本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 局部俯視圖。
圖83為用于本發(fā)明實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 局部側(cè)視圖。
圖84為表示本發(fā)明實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的一例的整體示意 立體圖。圖85為基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板支承裝置的第l基板支承單元的示意 立體圖。
圖86為用于基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板支承裝置的動(dòng)作說明的側(cè)視圖。 圖87為用于本發(fā)明實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖88為用于本發(fā)明實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明的示意 俯視圖。
圖89為用于本發(fā)明實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明示意俯 視圖。
圖90為用于本發(fā)明實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明示意俯 視圖。
圖91為采用了實(shí)施方式1~4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的本發(fā)明的基板制 造裝置結(jié)構(gòu)的一例的示意圖。
圖92為表示采用了實(shí)施方式1~4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的本發(fā)明的基 板制造裝置結(jié)構(gòu)的另一例的示意圖。
圖93為表示現(xiàn)有的切割裝置結(jié)構(gòu)的主視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式加以詳細(xì)說明。 〈實(shí)施方式1〉
圖1和圖2為表示本發(fā)明實(shí)施方式1的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的一例的不 同方向的整體的示意立體圖，圖3為表示其主要部分的示意結(jié)構(gòu)的立 體圖，圖4為用于其動(dòng)作說明的立體圖，圖5為其主要部分的剖裉圖。
另外，在本發(fā)明中，「基板」包括要分?jǐn)喑啥鄠€(gè)基板的母基板， 而且也包括鋼板等金屬基板、木板、塑料基板以及陶瓷基板、半導(dǎo)體 基板、玻璃基板等脆性材料基板等單板。另外，并不僅限于這種單板， 還包括將一對(duì)基板彼此貼合在一起的貼合基板、使一對(duì)基板彼此疊層 的疊層基板。
本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)例如是在制造一對(duì)玻璃基板相互貼合在一 起而成的液晶顯示裝置的面板基板(顯示面板基板用貼合基板)時(shí)， 通過該基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，將一對(duì)母玻璃基板相互貼合在一起而成的貼合 母基板90分?jǐn)喑啥鄠€(gè)面板基板(顯示面板用貼合基板)。
這種基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)具有中空的長方體狀的架臺(tái)IO，在架臺(tái)10的上部，沿著長度方向配置有一對(duì)主架11。在該架臺(tái)IO的內(nèi)部配置有基板 支承裝置20，通過輸送機(jī)械手，輸送帶等將在基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)上輸送的 貼合母基板90支承在水平狀態(tài)(參照?qǐng)D3和圖4)。
而且，如圖5所示，在架臺(tái)10上設(shè)置有夾緊裝置50，使通過設(shè)置 在基板支承裝置20 (第1基板支承單元21A )上的各基板升降裝置40 (參照?qǐng)D8)支承在水平狀態(tài)下的基板保持水平狀態(tài)。在圖5中，基板 支承裝置20省略了圖示。另外，在各主架ll上，沿著各主架ll的長 度方向設(shè)置有可滑動(dòng)的切割裝置導(dǎo)向架30。切割裝置導(dǎo)向架30具有在 各主架11的上方、沿著與各主架11正交的方向架設(shè)的上側(cè)導(dǎo)軌31， 以及在各主架11的下方之間、沿著上側(cè)導(dǎo)軌31架設(shè)的下側(cè)導(dǎo)軌32， 上側(cè)導(dǎo)軌31和下側(cè)導(dǎo)軌32沿著各主架11 一體地移動(dòng)。
圖6為切割裝置導(dǎo)向架30上的上側(cè)導(dǎo)軌31附近的示意立體圖。 在上側(cè)導(dǎo)軌31上安裝有上部基板分?jǐn)嘌b置60，可沿著上側(cè)導(dǎo)軌31移 動(dòng)。而且，圖7為切割裝置導(dǎo)向架30上的下側(cè)導(dǎo)軌32附近的示意立 體圖。在下側(cè)導(dǎo)軌32上安裝有下部基板分?jǐn)嘌b置70，可沿著下側(cè)導(dǎo)軌 32移動(dòng)。
上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70分別在線性馬達(dá)的 驅(qū)動(dòng)下沿著上側(cè)導(dǎo)軌31和下側(cè)導(dǎo)軌32往返運(yùn)動(dòng)，在上側(cè)導(dǎo)軌31和下 側(cè)導(dǎo)軌32上分別安裝有線性馬達(dá)的固定元件，在上部基板分?jǐn)嘌b置60 和下部基板分?jǐn)嘌b置70上分別安裝有線性馬達(dá)的可動(dòng)元件。上部基板 分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70將由夾緊裝置50保持在水平狀態(tài)， 同時(shí)由用于輔助基板的保持的基板支承裝置20支承的貼合母基板90 的上部和下部的各玻璃基板分?jǐn)喑啥鄠€(gè)面板基板。
在切割裝置導(dǎo)向架30上的一個(gè)端部上設(shè)置有第1光學(xué)裝置38，可 沿著切割裝置導(dǎo)向架30移動(dòng)，對(duì)由夾緊裝置50保持、由基板支承裝 置20支承的貼合母基板90上設(shè)置的第1校標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像，而且，在 切割裝置導(dǎo)向架30上的另一個(gè)端部上設(shè)置有笫2光學(xué)裝置39， 可沿 著切割裝置導(dǎo)向架30移動(dòng)，對(duì)貼合母基板90上設(shè)置的第2校準(zhǔn)標(biāo)識(shí) 進(jìn)行攝像。
如圖3和圖4所示，基板支承裝置20具有第1基板支承部20A和 第2基板支承部20B,第1基板支承部20A配置在切割裝置導(dǎo)向架30 的基板送入側(cè)，用于支承送入架臺(tái)IO(參照?qǐng)D2)內(nèi)的貼合母基板90，笫2基板支承部20B配置在切割裝置導(dǎo)向架30的基板送出側(cè)，用于支 承貼合母基板90被分?jǐn)?、并且面板基板順序地從架臺(tái)10送出后的貼 合母基板90。另外，架臺(tái)IO上的第l基板支承部20A—側(cè)為基板送入 側(cè)，第2基板支承部20B為基板送出側(cè)。
架臺(tái)10的各主架11是在各主架11的上表面上、沿著各主架11 的長度方向分別設(shè)置有使切割裝置導(dǎo)向架30移動(dòng)的線性馬達(dá)的固定元 件12。各固定元件12形成各自的外側(cè)面開口的扁平中空長方體形狀， 因此，其斷面形成為r3」字型。安裝在切割裝置導(dǎo)向架30上的線性 馬達(dá)可動(dòng)元件(未圖示)可沿著各主架11滑動(dòng)地插入各固定元件的內(nèi) 部。
在各固定元件12上，沿著長度方向分別配置有多個(gè)永久磁鐵，成 為鄰接的永久磁鐵的磁極相互翻轉(zhuǎn)的狀態(tài)。各可動(dòng)元件分別由電磁鐵 構(gòu)成，通過依次切換構(gòu)成各可動(dòng)元件的電磁鐵的磁極，各可動(dòng)元件分 別沿著各固定元件12滑動(dòng)。
線性馬達(dá)的可動(dòng)元件如圖4所示，分別安裝在將上側(cè)導(dǎo)軌31和下 側(cè)導(dǎo)軌32的各端面彼此相互連結(jié)的連結(jié)板33的內(nèi)側(cè)面上。各可動(dòng)元 件被同步地驅(qū)動(dòng)，相對(duì)于各固定元件12滑動(dòng)。
在架臺(tái)10 (參照?qǐng)D2)上的各主架ll之間架設(shè)有將從貼合母基板 90上分?jǐn)喑龅母髅姘寤逅统龅幕逅统鲅b置80 (參照?qǐng)D3)。該基 板送出裝置80相對(duì)于切割裝置導(dǎo)向架30配置在基板送出側(cè)，各自的 端部在線性馬達(dá)的作用下沿著分別設(shè)置在各主架11上的導(dǎo)軌19(參照 圖5)滑動(dòng)。這種情況下的線性馬達(dá)是分別安裝在基板送出裝置80的 各端部上的線性馬達(dá)的可動(dòng)元件(未圖示)分別插入分別設(shè)置在各主 架11上的線性馬達(dá)的固定元件12內(nèi)而構(gòu)成的，
在基板送出裝置80上設(shè)置有吸附部(未圖示)，吸附從貼合母基 板90分?jǐn)喑龅母髅姘寤?，在面板基板被吸附部吸附的狀態(tài)下，基板 送出裝置80整體通過在基板送出側(cè)滑動(dòng)而從架臺(tái)IO上送出。
如圖3和圖4所示，在一個(gè)主架11的各端部、即一個(gè)主架11上 的基板送入側(cè)的端部和基板送出側(cè)的端部上，分別設(shè)置有第1送入側(cè) 滑輪14a和第1送出側(cè)滑輪15a。而且，在另 一個(gè)主架11上的基板送 入側(cè)的端部和基板送出側(cè)的端部上，分別設(shè)置有第2送入側(cè)滑輪l仆 和第2送出側(cè)滑輪15b。這樣，在沿著一個(gè)主架11配置的第1送入側(cè)
15滑輪14a和第l送出側(cè)滑輪15a上繞掛有第l傳動(dòng)帶16a，在沿著另一 個(gè)主架11配置的第2送入側(cè)滑輪14b和第2送出側(cè)滑輪15b上繞掛有 第2傳動(dòng)帶16b。
在配置在基板送入側(cè)端部上的一對(duì)第1送入側(cè)滑輪14a和第2送 入側(cè)滑輪14b之間，以與第1送入側(cè)滑輪14a和第2送入側(cè)滑輪14b 同芯的狀態(tài)設(shè)置有送入側(cè)巻取筒17a。該送入側(cè)巻取筒17a與繞掛有第 1傳動(dòng)帶16a的第1送入側(cè)滑輪14a連結(jié)，在該第1送入側(cè)滑輪14a旋 轉(zhuǎn)的情況下，向同一方向一體地旋轉(zhuǎn)。設(shè)置在送入側(cè)巻取筒17a的另 一個(gè)端部上的第2送入側(cè)滑輪14b可相對(duì)于送入側(cè)巻取筒17a自由旋 轉(zhuǎn)。
在配置在基板送出側(cè)端部上的一對(duì)第1送出側(cè)滑輪15a和第2送 出側(cè)滑輪15b之間，以與第1送出側(cè)滑輪15a和第2送出側(cè)滑輪15b 同芯的狀態(tài)設(shè)置有送出側(cè)巻取筒17b。該送出側(cè)巻取筒17b與繞掛有笫 2傳動(dòng)帶16b的基板送出側(cè)的第2送出側(cè)滑輪15b連結(jié)，在該第2送出 側(cè)滑輪15b旋轉(zhuǎn)的情況下，向同一方向一體地旋轉(zhuǎn)。設(shè)置在送出側(cè)巻 取筒17b的另一個(gè)端部上的第1送出側(cè)滑輪15a可相對(duì)于送出側(cè)巻取 筒17b自由旋轉(zhuǎn)。
沿著架臺(tái)10的一個(gè)主架11配置的笫1傳動(dòng)帶16a連結(jié)在切割裝 置導(dǎo)向架30的端部上，因此，通過切割裝置導(dǎo)向架30向基板送入側(cè) 移動(dòng)，第1傳動(dòng)帶16a移動(dòng)，該第1傳動(dòng)帶16a繞桂的第1送入側(cè)滑 輪14a和第1送出側(cè)滑輪15a同向旋轉(zhuǎn)。而且，由于第1送入側(cè)滑輪 14a的旋轉(zhuǎn)，送入側(cè)巻取筒17a與第1送入側(cè)滑輪14a—體地同向旋轉(zhuǎn)。 在這種情況下，以與基板送出側(cè)的第2送出側(cè)滑輪15b同芯的狀態(tài)配 置的送出側(cè)巻取筒17b是僅第1送出側(cè)滑輪15a旋轉(zhuǎn)，第1送出側(cè)滑 輪15a和送出側(cè)巻取筒17b因未連結(jié)在一起而不旋轉(zhuǎn)。
而當(dāng)切割裝置導(dǎo)向架30向基板送出側(cè)移動(dòng)時(shí)，第l傳動(dòng)帶16a移 動(dòng)，該第1傳動(dòng)帶16a繞掛的第1送入側(cè)滑輪14a和第1送出側(cè)滑輪 15a同向旋轉(zhuǎn)。因此，基板送入側(cè)巻取筒17a與第1送入側(cè)滑輪14a同 向旋轉(zhuǎn)。但是，在這種情況下，如前所述，位于基板送出側(cè)位置上的 送出側(cè)巻取筒17b不旋轉(zhuǎn)。
基板支承裝置20的第l基板支承部20A和第2基板支承部20B分 別具有例如可分別向與切割裝置導(dǎo)向架30的移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)的5個(gè)第1基板支承單元21A和第2基板支承單元21B。各第1基板支 承單元21A和各第2基板支承單元21B分別構(gòu)成為沿著與各主架11正
交方向的直線狀。
圖8為設(shè)置在第1基板支承部20A上的第1基板支承單元21A的 立體圖。第1基板支承單元21A具有沿著與各主架11正交的方向直線 狀延伸的支承主體部21a，在支承主體部21a的各端部上，分別安裝有 相對(duì)于支承主體部21a垂直地向上方伸出的連結(jié)板21b。在各連結(jié)板 21b的上端部上分別設(shè)置有滑塊21c，可滑動(dòng)地分別與各主架11的外 側(cè)面上分別設(shè)置的基板支承單元用導(dǎo)軌13 (參照?qǐng)D5)卡合。笫1基 板支承單元21A通過滑塊21c沿著基板支承單元用導(dǎo)軌13滑動(dòng)而沿著 各主架ll移動(dòng)。
在第l基板支承單元21A上，在與主架11正交的方向上隔開一定 間隔地設(shè)置有例如6對(duì)引導(dǎo)輥21d，并且在成對(duì)的各引導(dǎo)輥21d之間分 別設(shè)置有基板升降裝置40。
圖9為剖開設(shè)置在第1基板支承部20A的第1基板支承單元21A 上的一對(duì)引導(dǎo)輥21d，和設(shè)置在兩引導(dǎo)輥21d之間的基板升降裝置40 的一部分后的主視圖。各引導(dǎo)輥21d以各自的輥軸沿著與各主架ll正 交方向的水平狀態(tài)可旋轉(zhuǎn)地支承在分別垂直地支承在支承主體部21a 上的輥支持體21e的上端部。
構(gòu)成第1基板支承部20A的5個(gè)笫1基板支承單元21A是按各第1 基板支承單元21A設(shè)置的各個(gè)引導(dǎo)輥21d相對(duì)于各自的支承主體部21a 設(shè)置在相同的位置，因此，設(shè)置在各笫1基板支承單元21A上的各自 的引導(dǎo)輥21d，和鄰接的設(shè)置在笫1基板支承單元21A上的各引導(dǎo)輥 21d成為沿著各主架11 一列排開的狀態(tài)。而且，1條第1支承帶23a 分別支承在沿著各主架ll排開的所有第1基板支承單元21A上的引導(dǎo) 輥21d上。
如圖3和圖4所示，各笫1支承帶23a是一個(gè)端部固定在架臺(tái)10 上的基板送入側(cè)的適當(dāng)部位上，各第1支承帶23a支承在笫1基板支 承部20A上的沿著各主架ll排開的所有第l基板支承單元21A的引導(dǎo) 輥21d上，并分別繞掛在最接近切割裝置導(dǎo)向架30的第l基板支承單 元21A上設(shè)置的各引導(dǎo)輥21d上。各第1支承帶23a通過第1基板支 承部20A上的沿著各主架11排開的所有基板支承單元21A的引導(dǎo)輥
1721d的下方區(qū)域被引入基板送入側(cè)，分別繞掛在配置在基板送入側(cè)端部 上的第1送入側(cè)滑輪14a和第2逸入側(cè)滑輪14b之間的送入側(cè)巻取筒 17a上。
鄰接的第1基板支承單元21A彼此通過分別安裝在各第1基板支 承單元21A的各端部上的連結(jié)臂28a相互連結(jié)在一起。圖10為表示分 別安裝在各第1基板支承單元21A的至少一個(gè)端部上的連結(jié)臂28a的 結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。優(yōu)選地是連結(jié)臂28a分別安裝在各第1基板支承單元 21A的兩端部上。各連結(jié)臂28a是各自的中央部通過安裝銷28b可轉(zhuǎn)動(dòng) 地安裝在各第1基板支承單元21A上的支承主體部21a的各端部上設(shè) 置的連結(jié)板21b上。而且，分別安裝在鄰接的第1基板支承單元21A 上的連結(jié)臂28a的一個(gè)端部彼此通過連結(jié)銷28c可相互轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝。
安裝在位于基板送出側(cè)端部上的第1基板支承單元21A上的連結(jié) 臂28a是與連結(jié)在鄰接的第1基板支承單元21A上的端部不同的端部 通過連結(jié)銷28c相互可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)臂28d的一個(gè)端部上。該轉(zhuǎn) 動(dòng)臂28d是另一個(gè)端部通過固定銷28e可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在主架11上。
而且，最接近切割裝置導(dǎo)向架30地配置的第1基板支承單元21A 上安裝的連結(jié)臂28a是與連結(jié)在相鄰的第1基板支承單元21A上的端 部不同的端部通過連結(jié)銷28c可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)臂28g的一個(gè)端部 上。該轉(zhuǎn)動(dòng)臂28g是另一個(gè)端部通過固定銷28f可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在切割 裝置導(dǎo)向架30上。
在這種結(jié)構(gòu)的第l基板支承部20A中，當(dāng)切割裝置導(dǎo)向架30向基 板送出側(cè)滑動(dòng)，接近切割裝置導(dǎo)向架30設(shè)置的第1基板支承單元21A 也一體地同向滑動(dòng)時(shí)，各笫1基板支承單元21A依次離開在滑動(dòng)方向 上鄰接的笫l基板支承單元21A地向基板送出側(cè)端部滑動(dòng)，所有的第1 基板支承單元21A在架臺(tái)IO上的長度方向的基本整個(gè)區(qū)域上配置成相
互隔開一定間隔的狀態(tài)。
在這種情況下，通過切割裝置導(dǎo)向架30向基板送出側(cè)滑動(dòng)，第l 傳動(dòng)帶16a移動(dòng)，第1送入側(cè)滑輪14a旋轉(zhuǎn)，送入側(cè)巻取筒17a旋轉(zhuǎn)， 所以通過笫1基板支承單元21A與切割裝置導(dǎo)向架30 —體地移動(dòng)，巻 繞在送入側(cè)巻取筒17a上的所有第1支承帶23a被拉出。
這樣一來，當(dāng)?shù)?基板支承部20A的所有第1基板支承單元21A 在架臺(tái)IO上的長度方向的基本整個(gè)區(qū)域上配置成相互隔開一定間隔的狀態(tài)時(shí)，貼合母基板90放置在各第1基板支承單元21A上設(shè)置的基板 升降裝置40的各抵接部件48 (參照?qǐng)D9)上。
相反，在第l基板支承部20A中，當(dāng)通過切割裝置導(dǎo)向架30向基 板送入側(cè)滑動(dòng)，接近切割裝置導(dǎo)向架30設(shè)置的第1基板支承單元21A 也一體地同向滑動(dòng)時(shí)，各第1基板支承單元21A依次接近在滑動(dòng)方向 上鄰接的第1基板支承單元21A地向基板送入側(cè)端部滑動(dòng)，成為所有 的第1基板支承單元21A在基板送入側(cè)的端部相互接近的狀態(tài)。
在這種情況下，如前所述，通過切割裝置導(dǎo)向架30向基板送入側(cè) 滑動(dòng)，第l傳動(dòng)帶16a移動(dòng)，第1送入側(cè)滑輪14a旋轉(zhuǎn)，送入側(cè)巻取 筒17a與第1送入側(cè)滑輪14a —體地旋轉(zhuǎn)，從而支承在各笫1基板支 承單元21A的引導(dǎo)輥21d上的第1支承帶23a巻取到送入側(cè)巻取筒17a 上。
另外，在貼合母基板90由夾緊裝置50保持，并支承在各第1支 承帶23a上的狀態(tài)下，各笫1基板支承單元21A滑動(dòng)到在基板送入側(cè) 端部相互接近的狀態(tài)時(shí)，各第1支承帶23a隨著各第1基板支承單元 21的滑動(dòng)而被送入側(cè)巻取筒17a巻取，所以不必?fù)?dān)心與貼合母基板90 的下表面滑動(dòng)接觸。
相對(duì)于切割裝置導(dǎo)向架30配置在基板送出側(cè)的第2基板支承部 20B也一樣，例如具有5個(gè)第2基板支承單元21B。設(shè)置在第2基板支 承部20B上的各第2基板支承單元21B與第1基板支承部20A的各第1 基板支承單元21A相比，除了未設(shè)置基板升降裝置40之外，具有相同 的結(jié)構(gòu)，在第2基板支承部20B上，所有笫2基板支承單元21B上沿 著各主架11排開的引導(dǎo)輥21d上也分別支承有1條第2支承帶23b。
各第2支承帶23b是位于基板送出側(cè)端部上的端部固定在架臺(tái)10 的適當(dāng)部位上，并繞掛在最接近滑動(dòng)裝置導(dǎo)向架30的第2基板支承單 元21B上設(shè)置的各引導(dǎo)輥21d上，在第2基板支承部20B上，通過沿 著各主架ll排開的所有第2基板支承單元21B的引導(dǎo)輥21d下方的區(qū) 域，在基板送出側(cè)，巻繞在第l送出側(cè)滑輪15a和第2送出側(cè)滑輪15b 之間設(shè)置的送出側(cè)巻取筒17b上。
在第2基板支承部20B上，與設(shè)置在各主架11上的固定元件12 一起構(gòu)成線性馬達(dá)的可動(dòng)元件(未圖示)分別設(shè)置在最接近滑動(dòng)裝置 導(dǎo)向架30地配置的第2基板支承單元21B長度方向上的各端部上，各可動(dòng)元件分別插入固定元件12內(nèi)。而且，通過各可動(dòng)元件在固定元件 12內(nèi)滑動(dòng)，接近切割裝置導(dǎo)向架30的第2基板支承單元21B與切割裝 置導(dǎo)向架30分別地獨(dú)自沿著各主架11滑動(dòng)。
而且，接近切割裝置導(dǎo)向架30的第2基板支承單元21B連結(jié)在第 2傳動(dòng)帶16b上，第2基板支承單元21B沿著各主架11滑動(dòng)，從而使 第2傳動(dòng)帶16b移動(dòng)。
如前所述，繞掛有第2傳動(dòng)帶16b的第2送出側(cè)滑輪15b與送出 側(cè)巻取筒17b連結(jié)，通過安裝在第2傳動(dòng)帶16b上的第2基板支承單 元21B向基板送出側(cè)滑動(dòng)，笫2傳動(dòng)帶16b同向移動(dòng)，第2送出側(cè)滑 輪15b旋轉(zhuǎn)，從而送出側(cè)巻取筒17b旋轉(zhuǎn)，巻繞在該送出側(cè)巻取筒17b 上的所有第2支承帶23b被送出側(cè)巻取筒17b巻取。
另外，即使在第2基板支承部20B上，鄰接的第2基板支承單元 21B彼此由分別安裝在各第2基板支承單元21B的各端部上的連結(jié)臂 28a相互連結(jié)在一起。各連結(jié)臂28a的中央部可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在各第2基 板支承單元21B上，安裝在鄰接的第2基板支承單元上的連結(jié)臂28a 的端部彼此可相互轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝。而且，安裝在基板送出側(cè)上設(shè)置的第2 基板支承單元21上的連結(jié)臂28A是與安裝在鄰接的第2基板支承單元 21B上的端部相反一側(cè)的端部可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在主架11上。另外，安裝 在接近滑動(dòng)裝置導(dǎo)向架20的第2基板支承單元21B上的連結(jié)臂28a安 裝成一個(gè)端部可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在其第2基板支承單元21B上，另一個(gè)端 部可與安裝在鄰接的第2基板支承單元21B上的連結(jié)臂28a的端部相 互轉(zhuǎn)動(dòng)。
在這種結(jié)構(gòu)的第2基板支承部20B上，通過接近滑動(dòng)裝置導(dǎo)向架 30的第2基板支承單元21B向基板送入側(cè)滑動(dòng)，各第2基板支承單元 21B依次離開在滑動(dòng)方向上鄰接的第2基板支承單元21B地向基板送入 側(cè)端部滑動(dòng)，所有第2基板支承單元21B配置成在架臺(tái)IO上長度方向 的基本整個(gè)區(qū)域上相互隔開一定的狀態(tài)。
在這種情況下，通過接近滑動(dòng)裝置導(dǎo)向架30的第2基板支承單元 21B向基板送入側(cè)滑動(dòng)，第2傳動(dòng)帶16b移動(dòng)，笫2送出側(cè)滑輪15b旋 轉(zhuǎn)，送出側(cè)巻取筒17b旋轉(zhuǎn)，從而通過巻繞有第2支承帶23b的第2 基板支承單元21B移動(dòng)，巻繞在送出側(cè)巻取筒17b上的所有第2支承 帶23b被拉出。如上所述，當(dāng)?shù)?基板支承部20A的所有第1基板支承單元21A 在架臺(tái)IO上長度方向的基本整個(gè)區(qū)域上配置成相互隔開一定間隔的狀 態(tài)時(shí)，貼合母基板90放置在各第1基板支承單元21A上設(shè)置的基板升 降裝置40的各抵接部件49 (參照?qǐng)D9)上。
然后，若貼合母基板90被定位，則定位后貼合母基板90被夾緊 裝置20保持，并且被第1基板支承部20A的各第1支承帶23a支承。
在這種狀態(tài)下，通過設(shè)置在切割裝置導(dǎo)向架30上的上部基板分?jǐn)?裝置80以及下部基板裝置70，貼合母基板90開始分?jǐn)啵S著切割裝 置導(dǎo)向架30向基板送入側(cè)移動(dòng)，各第l基板支承單元21A依次接近在 滑動(dòng)方向上鄰接的第1基板支承單元21A地向基板送入側(cè)端部滑動(dòng)， 進(jìn)而第2基板支承部20B的各基板支承單元21B依次離開在滑動(dòng)方向 上鄰接的笫2基板支承單元21B地向基板送入側(cè)端部滑動(dòng)，成為分?jǐn)?途中的貼合母基板90被第2基板支承部20B的各笫2支承帶23b支承 的狀態(tài)。
在貼合母基板90的分?jǐn)嘟Y(jié)束的狀態(tài)下，第2基板支承部20B的所 有第2基板支承單元21B在架臺(tái)IO上長度方向上的基本整個(gè)區(qū)域上配 置在相互隔開一定間隔的狀態(tài)，由各第2支承帶23b支承貼合母基板 90。
因此，當(dāng)?shù)?基板支承部20B的所有第2基板支承單元21B在架 臺(tái)IO上長度方向上的基本整個(gè)區(qū)域上配置在相互隔開一定間隔的狀態(tài) 時(shí)，所有的面板基板被基板送出裝置80送出到由設(shè)置在各第2基板支 承單元21B上的各自的引導(dǎo)輥21分別支承的各第2支承帶23b上，分 斷后的貼合母基板90'(端材)得到支承。
之后，分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，由夾緊裝置50進(jìn)行的保持被解除， 接近切割裝置導(dǎo)向架30的第2基板支承單元21B向基板送出側(cè)端部滑 動(dòng)。這樣一來，各第1基板支承單元21B依次接近在滑動(dòng)方向上鄰接 的第2基板支承單元21B地向基板送出側(cè)端部滑動(dòng)，成為所有的第2 基板支承單元21B在基板送出側(cè)端部相互接近的狀態(tài)。
在這種情況下，如前所述，通過接近切割裝置導(dǎo)向架30的第2基 板支承單元21B向基板送出側(cè)滑動(dòng)，第2傳動(dòng)帶16b移動(dòng)，第2送出 側(cè)滑輪15b旋轉(zhuǎn)，送出側(cè)巻取筒17b與第2送出側(cè)滑輪15b —體地旋 轉(zhuǎn)，從而支承在各第2基板支承單元21B的引導(dǎo)輥21d上的第2支承帶23b巻取在送出側(cè)巻取筒17b上。另外，巻取各第1支承帶23a和 各第2支承帶23b的方式并不僅限于上述那樣通過分?jǐn)嘌b置導(dǎo)向架30 以及第2基板支承單元21B的移動(dòng)而使送入側(cè)巻取筒17a以及送出側(cè) 巻取筒17b旋轉(zhuǎn)的方式。
例如，也可以始終在巻取筒上朝向施加巻取支承帶的方向的旋轉(zhuǎn) 力，通過大于該旋轉(zhuǎn)力的力使分?jǐn)嘌b置導(dǎo)向架30以及第2基板支承單 元21B移動(dòng)。
而且，在巻取上述第1基板支承部20A的各第1支承帶23a和第2 基板支承部20B的各第2支承帶23b的機(jī)構(gòu)上，還可以與裝置的尺寸 相匹配地備有向各第1支承帶23a和各第2支承帶23b施加張力的裝 置。
另外，在各送入側(cè)滑輪14a和14b以及各送出側(cè)滑輪15a和15b 上，還可以根據(jù)需要設(shè)置離合器，以分別與各巻取筒17a和17b連結(jié) 或分離。
這樣，由于通過各第2基板支承單元21B向基板送出側(cè)端部滑動(dòng)， 設(shè)置在各第2基板支承單元21B上的引導(dǎo)輥21d也同向滑動(dòng)，所以各 第2支承帶23b不會(huì)從分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，的下表面滑動(dòng)接觸， 而是依次成為非接觸狀態(tài)，由各第2支承帶23b進(jìn)行的分?jǐn)嗪蟮馁N合 母基板90，的支承被依次解除。而且，在成為所有的第2基板支承單 元21B在基板送出側(cè)端部相互接近的狀態(tài)時(shí)，則成為分?jǐn)嗪蟮馁N合母 基板90'(端材)不被各第2支承帶23b支承的狀態(tài)而落到下方。在 這種情況下，落到下方的分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，(端材以及碎屑) 由以傾斜狀態(tài)配置的引導(dǎo)板導(dǎo)引而收納到碎屑收納箱內(nèi)。
圖11為剖開設(shè)置在第l基板支承部20A的各第2基板支承單元21A 上的基板升降裝置40的一部分后的主視圖。圖12為其立體圖。在設(shè) 置在第1基板支承部20A上的各第1基板支承單元21A上，在一對(duì)引 導(dǎo)輥21d之間設(shè)置有基板升降裝置40，該基板升降裝置40具有以垂直 狀態(tài)安裝在第1基板支承單元21A上的升降液壓缸41，以及分別以垂 直狀態(tài)配置在該升降液壓缸41兩側(cè)的定位液壓缸42。另外，在設(shè)置在 第2基板支承部20B上的各第基板支承單元21B上未設(shè)置這樣的基板 升降裝置。
升降液壓缸41的活塞桿41a朝向上方進(jìn)出，在其活塞桿41a的前端部上安裝有滑動(dòng)部件43?；瑒?dòng)部件43具有分別位于升降液壓缸41 兩側(cè)地分別安裝在各側(cè)部上的筒狀的滑動(dòng)部43a，以及連結(jié)各滑動(dòng)部 43a彼此的水平狀態(tài)的平板狀連結(jié)部43b。連結(jié)部43b的中央部安裝在 升降液壓缸41的活塞桿41a的前端部上。
設(shè)置在升降液壓缸41兩側(cè)的各定位液壓缸42為相同的結(jié)構(gòu)，各 自的活塞桿42a朝向上方進(jìn)出。在各活塞桿42a的前端部上，分別以 同軸的狀態(tài)連結(jié)有引導(dǎo)輥44。各引導(dǎo)輥44隔開適當(dāng)?shù)拈g隔插入滑動(dòng)部 件43的各滑動(dòng)部43a內(nèi)。在各滑動(dòng)部43a的下部分別設(shè)置有滑動(dòng)襯套 47，相對(duì)于插入各滑動(dòng)部43a內(nèi)的引導(dǎo)輥44順暢地滑動(dòng)。
在各引導(dǎo)輥44的下端部上，以分別嵌合的狀態(tài)安裝有圓板狀的固 定環(huán)45，并且在各固定環(huán)45上，以分別嵌合的狀態(tài)安裝有聚酯橡膠構(gòu) 成的圓板狀的緩沖部件46。各固定環(huán)45在各定位液壓缸42的活塞桿 42a分別退入到各定位液壓缸42內(nèi)的最里面的狀態(tài)下成為分別最接近 各定位液壓缸42的規(guī)定位置。
在滑動(dòng)部件43的連結(jié)部43b上設(shè)置有固定臺(tái)43c，在該固定臺(tái)43c 上設(shè)置有抵接部件48，在接受由輸送機(jī)械手、輸送帶等輸送機(jī)構(gòu)向本 基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)輸送來的貼合母基板90時(shí)，抵接在其貼合母基板的下表 面上。抵接部件48具有圓板狀的抵接主體部48a，以及從該抵接主體 部48a的中心部垂直伸出的軸部48b，軸部48b的下端部插入固定臺(tái) 43c的上面部中。在抵接部件48的軸部48b上，以位于抵接部件48的 抵接主體部48a和固定臺(tái)43c的上面部之間的方式嵌合有螺旋彈簧 48c，而且，在抵接部件48的抵接主體部48a和固定臺(tái)43c的上面部 之間的軸部43b的周邊部上分別設(shè)置有多個(gè)螺旋彈簧48c。各螺旋彈簧 48c對(duì)抵接主體部48a向上方施力，抵接主體部48a由各螺旋彈簧48c 支承在水平狀態(tài)。
在這種結(jié)構(gòu)的基板升降裝置40中，設(shè)置在第1基板支承部20A上 的所有升降液壓缸41 ,皮一體地驅(qū)動(dòng)，所有定位液壓缸42也被一體地 驅(qū)動(dòng)。而且，當(dāng)升降液壓缸41的活塞桿41a退入到最里面時(shí)，抵接部 件48的抵接主體部48a為引導(dǎo)輥21d的上端部下方的退避位置。因此， 在該退避位置，抵接部件48的抵接主體部48a在第1基板支承部20A 上位于由各第1支承帶23a支承的貼合母基板90的下方。
當(dāng)升降液壓缸41的活塞桿41a伸出到最外面時(shí)，抵接部件48的
23抵接主體部48a位于各引導(dǎo)輥21d的上端部上方的支承位置，成為突 出到比第1支承帶23a僅高出規(guī)定高度的上方的狀態(tài)。在這種情況下， 各定位液壓缸42均不,皮驅(qū)動(dòng)，因此，當(dāng)升降液壓缸41的活塞桿41a 伸出時(shí)，安裝在其活塞桿41a上的滑動(dòng)部件43是各滑動(dòng)部43a沿著引 導(dǎo)輥44滑動(dòng)。在升降液壓缸41的活塞桿41a伸出到最外面的狀態(tài)下， 各抵接部件48的抵接主體部48a位于各第1支承帶23a的上方的位置， 在該位置上，貼合母基板90被放置在各抵接部件48的抵接主體部48a 上并得到支承。
而且，升降液壓缸41的活塞桿41a以各抵接部件48的抵接主體 部48a在支承貼合母基板90的狀態(tài)下位于比各第1支承帶23a僅突出 到上方規(guī)定高度的規(guī)定的中間位置的方式伸出。在這種情況下，驅(qū)動(dòng) 升降液壓缸41，使各定位液壓缸42的活塞桿42a在分別僅伸出規(guī)定量 后，處于最伸出狀態(tài)的升降液壓缸41的活塞桿退入。這樣一來，連結(jié) 在各活塞桿42a上的引導(dǎo)輥44上安裝的固定環(huán)45分別位于規(guī)定的位 置，通過升降液壓缸41，滑動(dòng)部件43的各滑動(dòng)部43a分別經(jīng)由緩沖部 件46抵接在各固定環(huán)45上，使滑動(dòng)部件43為規(guī)定的高度位置。這樣 一來，各抵接部件48的抵接主體部8a為規(guī)定的高度位置，在該位置 上，由各抵接主體部48a支承的貼合母基板90被定位。
而且，在各抵接部件48的軸部48b上形成有貫通孔48d，從該貫 通孔經(jīng)由接頭48e噴出例如壓縮空氣或氮?dú)?、He等氣體。
在第2基板支承部20B上設(shè)置的各第2基板支承單元21B上未設(shè) 置這種結(jié)構(gòu)的基板升降裝置40。
上述基板升降裝置40的結(jié)構(gòu)是例示本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中使用 的一例，并不僅限于此。即，只要是通過輸送機(jī)械手、輸送帶等在基 板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的內(nèi)部接受并支承輸送到本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中的貼合 母基板90的結(jié)構(gòu)即可。
在架臺(tái)IO上設(shè)置有定位裝置(未圖示)，用于對(duì)由設(shè)置在第l基 板支承部20A上的所有基板升降裝置40支承在中間位置的貼合母基板 90進(jìn)行定位。
定位裝置例如是沿著一個(gè)主架11，以及沿著相對(duì)于其主架11正交 的方向分別隔開一定的間隔設(shè)置有多個(gè)定位銷(未圖示)。而且，相 對(duì)于沿著一個(gè)主架11配置的定位銷設(shè)置用于推壓支承在中間位置的貼合母基板90上與各定位銷對(duì)置的側(cè)緣部的推桿(未圖示)，同時(shí)相對(duì)
于沿著與其主架11正交的方向配置的定位銷設(shè)置用于推壓貼合母基板 90上對(duì)置的側(cè)緣部的推桿(未圖示)。
而且，例如，在與本基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)分別地裝備在輸送到本發(fā)明的 基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中之前實(shí)施貼合母基板90的定位的定位裝置的情況下， 能夠省略本基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)內(nèi)的單位裝置。
而且，本基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)內(nèi)的定位裝置并不僅限于上述的定位銷和 推桿，只要是使貼合母基板90的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)內(nèi)的位置為一定的裝置 即可。
另外，在架臺(tái)IO上設(shè)置有夾緊裝置50，夾緊被設(shè)置在第l基板支 承部20A上的所有基板升降裝置40支承在中間位置，并被各定位銷推 壓而定位后的貼合母基板90。例如，夾緊裝置如圖5所示，在一個(gè)主 架11上，為了夾緊定位后的貼合母基板90上沿著其主架11的側(cè)緣部 而具有在長度方向上隔開一定間隔安裝的多個(gè)夾具51，為了夾緊定位 后的貼合母基板90上基板送入側(cè)的側(cè)緣部而具有沿著與各主架11正 交的方向隔開一定的間隔配置的多個(gè)夾具51。
圖13為表示設(shè)置在一個(gè)主架11上的多個(gè)夾具51的立體圖，圖14 為用于說明其動(dòng)作的立體圖。各夾具51分別為相同的結(jié)構(gòu)，具有安裝 在主架11上的殼體51a，以及在該殼體5U上可從垂直狀態(tài)轉(zhuǎn)動(dòng)到水 平狀態(tài)地分別安裝的上下一對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b。各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b能夠以各 自的一個(gè)端部為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，處于成為各自的轉(zhuǎn)動(dòng)中心的端部彼此相互 接近的狀態(tài)。位于上側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b的前端部在垂直狀態(tài)下位于轉(zhuǎn) 動(dòng)中心的上方，位于下側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b的前端部在垂直狀態(tài)下位于 轉(zhuǎn)動(dòng)中心的下方。而且，通過各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b分別在貼合母基板90 — 側(cè)90度的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，成為各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b分別相互對(duì)置的狀態(tài)。
在各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b的前端部上，分別安裝有分別抵接在貼合母基 板90的上表面和下表面的夾緊部51c。各夾緊部51c分別由彈性體構(gòu) 成。而且，各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b分別一體地從垂直狀態(tài)轉(zhuǎn)動(dòng)到水平狀態(tài)， 并且從水平狀態(tài)轉(zhuǎn)動(dòng)到垂直狀態(tài)。而且，當(dāng)各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b轉(zhuǎn)動(dòng)到水 平狀態(tài)時(shí)，通過分別安裝在各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部51b的前端部上的夾緊部51c， 貼合母基板90被夾緊。
沿著與各主架11正交的方向配置的各夾具51也具有同樣的結(jié)構(gòu)，這些夾具51也一體地被驅(qū)動(dòng)。貼合母基板90在相互正交的各側(cè)緣部 分別被多個(gè)夾具51夾緊的狀態(tài)下，所有的夾具51向下方沉入，由第1 基板支承部20A的各第1支承帶23a支承。
上述夾緊裝置50和夾具51的結(jié)構(gòu)示出了本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng) 中使用的一例，但并不僅限于此。即，只要是把持或保持貼合母基板 90上的側(cè)緣部的結(jié)構(gòu)即可。而且，例如在基板尺寸較小的情況下，能 夠通過夾緊基板側(cè)緣部的一個(gè)部位保持基板，基板上不產(chǎn)生不良情況 地將基板分?jǐn)唷?br> 在切割裝置導(dǎo)向架30上的上側(cè)導(dǎo)軌31上，如圖6所示，安裝有 上部基板分?jǐn)嘌b置60，而且，在下側(cè)導(dǎo)軌32上，如圖7所示，安裝有 與上部基板分?jǐn)嘌b置60結(jié)構(gòu)相同、上下翻轉(zhuǎn)狀態(tài)的下部基板分?jǐn)嘌b置 70。上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70如前所述，分別通 過線性馬達(dá)沿著上側(cè)導(dǎo)軌31和下側(cè)導(dǎo)軌32滑動(dòng)。
例如，在上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70上，對(duì)貼 合母基板90的上部玻璃基板進(jìn)行切割的刀輪62a旋轉(zhuǎn)自如地安裝在刀 架62b上，另外，刀架62b以垂直于由夾緊裝置50保持的貼合母基板 90的表面的方向?yàn)檩S旋轉(zhuǎn)自如地安裝在刀頭62c上。而且，刀頭62c 通過未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著垂直于貼合母基板的表面的方向自由移 動(dòng)，通過未圖示的施力機(jī)構(gòu)在刀輪62a上施加適當(dāng)?shù)呢?fù)荷。
作為保持在刀架62b上的刀輪62a，例如象特開平9-188534號(hào)公 報(bào)所示那樣，使用具有寬度方向的中央部成鈍角的V字型突出的刀刃， 在該刀刃上沿著周向以規(guī)定的間距形成有規(guī)定高度的突起的刀輪。
設(shè)置在下側(cè)導(dǎo)軌32上的下部基板分?jǐn)嘌b置70與上部基板分?jǐn)嘌b 置60的結(jié)構(gòu)相同，在與上部基板分?jǐn)嘌b置60為上下翻轉(zhuǎn)的狀態(tài)下， 其刀輪62a (參照?qǐng)D7 )配置成與上部基板分?jǐn)嘌b置60的刀輪62a對(duì) 置。
上部基板分?jǐn)嘌b置60的刀輪62a通過上述的施力機(jī)構(gòu)和刀頭62c 的移動(dòng)機(jī)構(gòu)壓接在貼合母基板90的表面上滾動(dòng)，下部基板分?jǐn)嘌b置70 的刀輪62a也通過上述的施力機(jī)構(gòu)和刀頭62c的移動(dòng)機(jī)構(gòu)壓接在貼合 母基板90的表面上滾動(dòng)。而且，通過使上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部 基板分?jǐn)嘌b置70同時(shí)向一個(gè)方向移動(dòng)，將貼合母基板90分?jǐn)唷?br> 這種刀輪62a優(yōu)選地是旋轉(zhuǎn)自如地支承在W0 03/011777中公開的、采用了伺服馬達(dá)的刀頭65上。
作為采用了伺服馬達(dá)的刀頭65的一例，圖15表示刀頭65的側(cè)視 圖，圖16表示其主要部分的主視圖。伺服馬達(dá)65b以倒立的狀態(tài)保持 在一對(duì)側(cè)壁65a之間，其側(cè)壁65a的下部設(shè)置有從側(cè)方觀察為L字型 的刀架保持件65c，該刀架保持件65c通過支軸65d自由轉(zhuǎn)動(dòng)。在該刀 架保持件65c的前方(圖16中為右方)安裝有經(jīng)由軸65e支承刀輪62a 自由旋轉(zhuǎn)的刀架62b。在伺服馬達(dá)65b的旋轉(zhuǎn)軸和支軸62d上，相互嚙 合地安裝有直傘齒輪65f 。這樣一來，通過伺服馬達(dá)65d正反向旋轉(zhuǎn)， 刀架保持件65c以支軸65d為支點(diǎn)進(jìn)行仰臥動(dòng)作，刀輪62a上下移動(dòng)。 上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70備有這種刀頭65自身。
圖17為表示采用了伺服馬達(dá)的刀頭另一例的主視圖，是伺服馬達(dá) 65b的旋轉(zhuǎn)軸直接連結(jié)在刀架保持件65c上。
圖15和圖17的刀頭通過對(duì)伺服馬達(dá)進(jìn)行位置控制而旋轉(zhuǎn)，使刀 輪62a升降而定位。在使刀頭向水平方向移動(dòng)，在貼合母基板90上形 成劃痕線的切割動(dòng)作中，預(yù)先由伺服馬達(dá)65b設(shè)定的刀輪62a的位置 偏離時(shí)，限制返回其設(shè)定位置地動(dòng)作的旋轉(zhuǎn)力矩，將相對(duì)于脆性材料 基板的切割壓力傳遞到刀輪62a上。即，伺服馬達(dá)65b控制刀輪62a 垂直方向的位置，同時(shí)成為相對(duì)于刀輪62a的施力機(jī)構(gòu)。
在通過采用備有上述的伺服馬達(dá)的刀頭，對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切 割時(shí)，與刀輪62a承受的阻力的變動(dòng)產(chǎn)生的切割壓力的變化瞬時(shí)對(duì)應(yīng)， 伺服馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)力矩被修正，所以可實(shí)施穩(wěn)定的切割，能夠形成高品 質(zhì)的劃痕線。
另外，備有使對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切割的金剛石筆刀具或刀輪等 切割刀具振動(dòng)，使切割刀具產(chǎn)生的對(duì)貼合母基板90的推壓力周期變化 的機(jī)構(gòu)的刀頭也有效地適用于本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的母基板的分 斷。
另外，上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70并不僅限于 上述的結(jié)構(gòu)。即，只要是對(duì)基板的正反面進(jìn)行加工，使基板分?jǐn)嗟难b 置即可。
例如，上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70可以是采用 激光、鉆石輪劃片機(jī)、切削片、切刃、金剛石刀具等使基板分?jǐn)嗟难b 置。在母基板為鋼板等金屬基板、木板、塑料基板、以及陶瓷基板、 玻璃基板、半導(dǎo)體基板等脆性材料基板的情況下，例如使用采用激光、 切割機(jī)、鉆石輪劃片機(jī)、切削片、切刃、金剛石刀具等分?jǐn)嗄富宓?切割裝置。
另外，在分?jǐn)嘁粚?duì)母基板貼合而成的貼合母基板、不同的母基板 組合在一起貼合而成貼合母基板、多個(gè)母基板彼此組合并疊層的基板 的情況下，使用與上述分?jǐn)嗄富宓难b置相同的基板分?jǐn)嘌b置。
而且，也可以在上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70上 備有輔助基板的分?jǐn)嗟姆謹(jǐn)噍o助組件。作為分?jǐn)噍o助組件，例如可列 舉出使輥等推壓在基板上，朝向基板噴射壓縮空氣或噴射熱風(fēng)等加溫 (加熱)基板的組件。
另外，在上述的說明中，對(duì)上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)?裝置70為相同結(jié)構(gòu)的情況進(jìn)行了說明，但也可以因基板的分?jǐn)喾绞交?基板的分?jǐn)鄺l件而是不同結(jié)構(gòu)的裝置。
在這種結(jié)構(gòu)的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作中，主要對(duì)分?jǐn)啻笮偷牟ＡЩ?板貼合而成的貼合基板時(shí)的一例加以說明。
在將大型的玻璃基板相互貼合在一起而成的貼合母基板90分?jǐn)喑?多個(gè)面板基板90a (參照?qǐng)D19)時(shí)，首先，如圖18所示，使基板支承 裝置20上的第2基板支承部20B的所有第2基板支承單元21B向基板 送出側(cè)端部移動(dòng)，同時(shí)切割裝置導(dǎo)向架30也向基板送出側(cè)端部移動(dòng)。 當(dāng)切割裝置導(dǎo)向架30向基板送出側(cè)移動(dòng)時(shí)，基板支承裝置20上的第1 基板支承部20A的所有送入側(cè)第1基板支承單元21A在架臺(tái)IO上基本 整個(gè)區(qū)域上配置在隔開一定間隔的狀態(tài)。
然后，同步地驅(qū)動(dòng)設(shè)置在各第1基板支承單元21A上的所有基板 升降裝置40的升降液壓缸41，各自的活塞桿41a向上方伸出。這樣一 來，設(shè)置在各基板升降裝置40上的各抵接部件48的抵接主體部48a 為突出到各第1支承帶23a上方的貼合母基板的接受位置。
當(dāng)成為這種狀態(tài)時(shí)，貼合母基板90從基板送入側(cè)的端部通過輸送 機(jī)、輸送機(jī)械手等送入本基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，通過各第1基板支承部2OA 上的所有基板升降裝置40的各抵接部件48的抵接主體部48a支承在 水平狀態(tài)。
當(dāng)貼合母基板90成為由各抵接部件48的抵接主體部48a支承的.5
狀態(tài)時(shí)，各基板升降裝置40上的一對(duì)定位液壓缸42被驅(qū)動(dòng)，各自的 活塞桿42a分別僅伸出規(guī)定的量。而且，同步地驅(qū)動(dòng)所有的基板升降 裝置40的升降液壓缸41，各自的活塞桿41a退入下方。這樣一來，安 裝在各活塞桿42a上所連結(jié)的引導(dǎo)輥44上的固定環(huán)45分別為規(guī)定的 位置，滑動(dòng)部件43的各滑動(dòng)部43a分別經(jīng)由緩沖部件46抵接在各固 定環(huán)45上，所以設(shè)置在各基板升降裝置40上的各抵接部件48的抵接 主體部48a為比各第1支承帶23a僅高規(guī)定高度的上方的中間位置， 由各抵接主體部48a支承在水平狀態(tài)下的貼合母基板90位于第1支承 帶23a上方的中間位置。
當(dāng)成為這種狀態(tài)時(shí)，從各抵接部件48的各貫通孔48d中吹出壓縮 空氣，使貼合母基板90從各抵接主體部48a上稍稍上浮，并且由各抵 接主體部48a保持在水平狀態(tài)下的貼合母基板90被未圖示的推桿推 壓，以抵接在沿著一個(gè)主架11配置的未圖示的定位銷上，同時(shí)被未圖 示的推桿推壓，以抵接在沿著與該主架ll正交的方向配置的未圖示的 定位銷上。這樣一來，從各抵接主體部48a上以水平狀態(tài)稍稍上浮的 貼合母基板90被定位在基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中架臺(tái)IO內(nèi)的規(guī)定位置上。
然后，如圖19所示，由各抵接主體部48a支承在水平狀態(tài)下的貼 合母基板90是沿著一個(gè)主架11的側(cè)緣部分別被夾緊裝置50的夾具51 夾緊，并且位于基板送入側(cè)端部的貼合母基板90的側(cè)緣部被與各主架 11正交地配置在基板送入側(cè)的各夾具51夾緊。
當(dāng)貼合母基板90的相互正交的各側(cè)緣部分別被夾緊裝置50夾緊 時(shí)，設(shè)置在各第1基板支承單元21A上的各基板升降裝置40的升降液 壓缸41和一對(duì)定位銷42分別被驅(qū)動(dòng)而使各自的活塞桿41a和42a退 入，各抵接部件48的抵接主體部48a為各第1支承帶23a下方的退避 位置，隨之，用于夾緊貼合母基板90的側(cè)緣部的各夾具因貼合母基板 的自重而同時(shí)沉入，所以成為貼合母基板90由各第1支承帶23a輔助 支承的狀態(tài)。
當(dāng)成為這種狀態(tài)時(shí)，切割裝置導(dǎo)向架30向基板送入側(cè)滑動(dòng)，成為 由夾緊裝置50夾緊在水平狀態(tài)下的貼合母基板90上接近的側(cè)緣部上 的規(guī)定位置。而且，通過設(shè)置在切割裝置導(dǎo)向架30上的第1光學(xué)裝置 38和笫2光學(xué)裝置39從各自的待機(jī)位置沿著切割裝置導(dǎo)向架30移動(dòng)， 對(duì)分別設(shè)置在貼合母基板90上的第1校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)和笫2校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝
29像'
在這種情況下，通過切割裝置導(dǎo)向架30滑動(dòng)，接近切割裝置導(dǎo)向 架30的第1基板支承部20A上的第1基板支承單元1A向基板送入側(cè) 端部滑動(dòng)，同時(shí)接近切割裝置導(dǎo)向架30的第2基板支承部20B上的第 2基板支承單元21B向基板送入側(cè)端部滑動(dòng)。
然后，基于第1校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)和第2校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的攝像結(jié)果，通過用未 圖示的運(yùn)算處理裝置進(jìn)行運(yùn)算求出由夾緊裝置50支承在水平狀態(tài)下的 貼合母基板90相對(duì)于沿著切割裝置導(dǎo)向架30的方向的傾斜、分?jǐn)嚅_ 始位置和分?jǐn)嘟Y(jié)束位置，基于其運(yùn)算結(jié)果使切割裝置導(dǎo)向架30與上 部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70 —起移動(dòng)，分?jǐn)噘N合母基 板90。
在這種情況下，如圖20所示，通過使分別與貼合母基板90的正 面和反面對(duì)置的刀輪62a壓接在各正面和反面上地滾動(dòng)，在貼合母基 板90的正面和反面上形成劃痕線。
此時(shí)，如圖21所示，刀輪62a沿著貼合母基板90的上部母基板 91和下部母基板92的分?jǐn)囝A(yù)定線壓接在母基板91和92上并滾動(dòng)，對(duì) 母基板91和92進(jìn)行切割。這樣一來，沿著分?jǐn)囝A(yù)定線依次形成母基 板91和92各自的沿著厚度方向的垂直裂紋Vm，形成主劃痕線MS。垂 直裂紋Vm形成為從母基板91和92的表面深達(dá)母基板91和92各自的 厚度的80%以上，優(yōu)選地形成為90%以上。
然后，在通過分?jǐn)嗄富?1和92所獲得的面板基板的區(qū)域之外， 相對(duì)于主劃痕線MS隔開0.5 1.0mm左右的間隔，使刀輪62a沿著主 劃痕線MS壓接在母基板91和92上滾動(dòng)，對(duì)母基板91和92進(jìn)行切割。 這樣一來，沿著主劃痕線MS依次形成沿著母基板91和92的厚度方向 的垂直裂紋Vs,形成輔助劃痕線SS。
此時(shí)，刀輪62a壓接在母基板91和92的表面上滾動(dòng)，其刀刃部 咬入母基板91和92的表面，從而在母基板91和92的表面部分上施 加壓縮力，在已形成的主劃痕線MS的垂直裂紋Vm的表面部分上作用 有壓縮力。在這種情況下，形成主劃痕線MS的垂直裂紋Vm形成為深 達(dá)相對(duì)于母基板91和92各自的厚度為80%以上，母基板91和92的 表面部分被壓縮，從而主劃痕線MS的垂直裂紋Vm成為母基板91和92 的表面部分上的間隙被壓縮的狀態(tài)，并成為擴(kuò)大底面部分的間隔的狀態(tài)，所以垂直裂紋Vm朝向母基板91和92的貼合面伸展。該垂直裂紋 Vm達(dá)到母基板91和92的貼合面，由于在主劃痕線MS的整體上，垂直 裂紋Vm成為達(dá)到母基板91和9 2的貼合面的狀態(tài)，所以貼合母基板9 0 沿著主劃痕線MS被分?jǐn)唷?br> 輔助劃痕線SS優(yōu)選地是相對(duì)于主劃痕線MS隔開0. 5咖~ 1. Omm左 右的間隔形成的。在輔助劃痕線SS相對(duì)于主劃痕線MS的間隔小于 0.5mm的情況下，相對(duì)于形成主劃痕線MS垂直裂紋Vm的表面?zhèn)炔糠?作用有大的壓縮力，有可能在垂直裂紋Vm的表面?zhèn)榷瞬可袭a(chǎn)生缺損等 損傷。相反，若其間隔大于1.0咖，則作用在主劃痕線MS的垂直裂紋 Vm的表面?zhèn)炔糠稚系膲嚎s力不充分，垂直裂紋Vm有可能達(dá)不到母基板 91和92的貼合面。
如上所述，通過以規(guī)定的間隔形成主劃痕線MS和輔助劃痕線SS 的雙重劃痕線，從貼合母基板90上分?jǐn)喑龆鄠€(gè)面板基板90a。
圖22為說明采用這樣的主劃痕線MS和輔助劃痕線SS的雙重劃痕 線從貼合母基板90上分?jǐn)喑雒姘寤?0a的切割方式的附圖。上部基 板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70各自的刀輪62a成為沿著貼合 母基板90上的基板送出側(cè)的兩個(gè)面板基板90a的基板送出側(cè)的側(cè)緣的 狀態(tài)，雙重的劃痕線(主劃痕線MS1和輔助劃痕線SS1 )沿著兩個(gè)面板 基板90a的基板送出側(cè)的側(cè)緣形成。
然后，沿著貼合母基板90上的基板送出側(cè)的兩個(gè)面板基板90a上 的基板送入側(cè)的各側(cè)緣形成主劃痕線MS2和輔助劃痕線SS2。當(dāng)成為貼 合母基板90上的基板送出側(cè)的兩個(gè)面板基板90a上的基板送出側(cè)和基 板送入側(cè)的各側(cè)緣被分?jǐn)嗟臓顟B(tài)時(shí)，各切割裝置導(dǎo)向架30向基板送出 側(cè)滑動(dòng)，使各刀輪62a位于貼合母基板90的基板送出側(cè)的側(cè)緣部上。 而且，上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70沿著上側(cè)導(dǎo)軌31 和下側(cè)導(dǎo)軌32滑動(dòng)，使上部基板分?jǐn)嘌b置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70 的刀輪62a位于接近主架11的框架11A的基板送出側(cè)面板基板90a上 接近該主架11的側(cè)緣的延長線上。而且，沿著其側(cè)緣的延長線，形成 雙重的劃痕線(主劃痕線MS3和輔助劃痕線SS3 )，成為接近主架11 的框架11A的基板送出側(cè)面板基板90a上接近其框架11A的側(cè)緣被分 斷的狀態(tài)。
以后，同樣地，通過與框架IIA平行地分別形成雙重的劃痕線(主劃痕線MS4 ~ MS6和輔助劃痕線SS4 ~ SS6 )，分別分?jǐn)辔挥诨逅统鰝?cè) 的各面板基板90a的沿著框架11A方向的側(cè)緣。
然后，對(duì)于沿著上側(cè)導(dǎo)軌31和下側(cè)導(dǎo)軌32的其他兩列的兩個(gè)面 板基板90a，也通過沿著面板基板90a的側(cè)緣形成雙重的劃痕線(主劃 痕線MS7 ~ MS12和輔助劃痕線SS7 ~ SS12 ),各面板基板90a的側(cè)緣被 分?jǐn)唷?br> 在上述的說明中，雖然以分別單獨(dú)地形成雙重的劃痕線的情況作 為一例進(jìn)行了說明，但并不僅限于這種方法。即，只要是沿著各面板 90a的側(cè)緣形成雙重的劃痕線即可，例如可以由一條劃痕線在各面板基 板90a的側(cè)緣上形成雙重的劃痕線。
圖23為說明采用主劃痕線MS和輔助劃痕線SS的雙重劃痕線從貼 合母基板90上分?jǐn)喑雒姘寤?0a的切割方式的附圖。在該例中，貼 合母基板90的母基板91和92沿著第1 ~第8分?jǐn)囝A(yù)定線Dl ~ D8順序 地凈皮分?jǐn)啵瞥?行x 2列的四個(gè)面板基板90a。
第1分?jǐn)囝A(yù)定線D1是對(duì)應(yīng)于第l行的兩個(gè)面板基板90a上沿著行 方向(橫向)的側(cè)緣，相對(duì)于貼合母基板90的沿著行方向的一個(gè)側(cè)緣 設(shè)置有一定的間隔。第2分?jǐn)囝A(yù)定線D2對(duì)應(yīng)于第l行的兩個(gè)面板基板 90a上接近第2行的面板基板90a的側(cè)緣。第3分?jǐn)囝A(yù)定線D3對(duì)應(yīng)于 第2行的兩個(gè)面板基板90a上接近第1行的面板基板90a的側(cè)緣，與 第2分?jǐn)囝A(yù)定線D2隔開2-4mm的間隔。第4分?jǐn)囝A(yù)定線D4對(duì)應(yīng)于笫 2行的兩個(gè)面板基板90a上沿著行方向(橫向)的側(cè)緣，相對(duì)于貼合母 基板90的沿著行方向的另一個(gè)側(cè)緣設(shè)置有一定的間隔。
第5分?jǐn)囝A(yù)定線D5對(duì)應(yīng)于第1列的兩個(gè)面板基板90a上沿著列方 向(縱向)的側(cè)緣，相對(duì)于貼合母基板90的沿著列方向的另一個(gè)側(cè)緣 設(shè)置有一定的間隔。第6分?jǐn)囝A(yù)定線D6對(duì)應(yīng)于第l列的兩個(gè)面板基板 90a上接近第2列的面板基板90a的側(cè)緣。第7分?jǐn)囝A(yù)定線D7對(duì)應(yīng)于 笫2列的兩個(gè)面板基板90a上接近第1列的面板基板90a的側(cè)緣，與 第6分?jǐn)囝A(yù)定線D6隔開2-4mm的間隔。第8分?jǐn)囝A(yù)定線D8對(duì)應(yīng)于第 2列的兩個(gè)面板基板90a上沿著列方向(縱向)的側(cè)緣，相對(duì)于貼合母 基板90的沿著列方向的另 一個(gè)側(cè)緣設(shè)置有一定的間隔。
在分?jǐn)噙@種貼合母基板90時(shí)，首先，相對(duì)于貼合母基板90，例如 使刀輪62a沿著第1 ~第4分?jǐn)囝A(yù)定線Dl ~ D4以該順序在壓接狀態(tài)下滾動(dòng)。這樣一來，分別形成從貼合母基板90上下的母基板91和92的 表面深達(dá)母基板91和92各自的厚度的90%以上的垂直裂紋形成的笫 1~第4主劃痕線MS13-MS16。
當(dāng)成為這種狀態(tài)時(shí)，使刀輪62a沿著第5分?jǐn)囝A(yù)定線D5在壓接狀 態(tài)下滾動(dòng)。這樣一來，沿著第5分?jǐn)囝A(yù)定線D5分別形成第5主劃痕線 MS17。
之后，同樣地，使刀輪62a沿著第6~第8分?jǐn)囝A(yù)定線D6 D8順 序地在壓接狀態(tài)下滾動(dòng)，沿著第6 ~第8分?jǐn)囝A(yù)定線D6 ~ D8以該順序 分別形成第6~第8主劃痕線MS18 ~MS20。
這樣，當(dāng)形成第1~第8主劃痕線MS13-MS20時(shí)，在相對(duì)于第1 主劃痕線MS13與面板基板90a相反一側(cè)的貼合母基板90的側(cè)緣部上， 相對(duì)于第1主劃痕線MS13隔開0. 5~ 1. 0mm左右的間隔，通過使刀輪 62a在壓接的狀態(tài)下滾動(dòng)，沿著第1主劃痕線MS13形成第1輔助劃痕 線SS13。這樣一來，第1主劃痕線MS13上的垂直裂紋朝向貼合母基板 90的母基板91和92的貼合面伸展，達(dá)到母基板91和92的貼合面。 由于該作用在第1主劃痕線MS13的整體上產(chǎn)生，所以貼合母基板90 沿著第1主劃痕線MS13被分?jǐn)唷?br> 接著，在相對(duì)于第2主劃痕線MS14與面板基板90a相反一側(cè)的區(qū) 域上，相對(duì)于第2主劃痕線MS14隔開0. 5~1. Omm左右的間隔，通過 刀輪62a沿著第2主劃痕線MS14形成第2輔助劃痕線SS14。這樣一來， 第2主劃痕線MS14上的垂直裂紋從貼合母基板90的母基板91和92 的表面伸展到貼合母基板90的母基板91和92的貼合面，垂直裂紋在 第2主劃痕線MS14的整體上達(dá)到母基板91和92的貼合面，從而貼合 母基板90沿著第2主劃痕線MS14被分?jǐn)唷?br> 沿著笫3主劃痕線MS15和第4主劃痕線MS16在與面板基板90a 一側(cè)相反的一側(cè)分別形成第3輔助劃痕線SS15和第4輔助劃痕線 SS16,貼合母基板90沿著第3主劃痕線MS15和第4主劃痕線MS16依 次i皮分?jǐn)唷?br> 之后，通過沿著第5主劃痕線MS17 第8主劃痕線MS20，在與面 板基板90a—側(cè)相反的一側(cè)，在第1主劃痕線MS13和第2主劃痕線MS14 之間、笫3主劃痕線MS15和第4主劃痕線MS16之間，分別形成第5 輔助劃痕線SS17 ~第8輔助劃痕線SS20，貼合母基板90沿著第5主劃痕線MS17 第8主劃痕線MS20凈皮分?jǐn)?，除去不要的部分而得?個(gè) 面板基板90a。
另外，在這種情況下，第1~第8主劃痕線MS13-MS20形成在貼 合母基板90的端面之間、即從貼合母基板90的一個(gè)端面朝向?qū)χ玫?另一個(gè)端面上形成的分?jǐn)囝A(yù)定線D1 D8全體上，而且，第1~第8輔 助劃痕線SS13 ~ SS20分別形成在從貼合母基板90的端面或被分?jǐn)嗟?一個(gè)分?jǐn)嗝娉驅(qū)χ玫牧硪粋€(gè)端面或另一個(gè)分?jǐn)嗝嬷g。
這樣，不必限于在貼合母基板90的端面之間形成的分?jǐn)囝A(yù)定線 D1-D8的全體上形成第l-第8主劃痕線MS13 MS20，在從貼合母基 板90的一個(gè)端面朝向?qū)χ玫牧硪粋€(gè)端面上分別形成第1-第4輔助劃 痕線SS13 SS16，在從貼合母基板90的一個(gè)分?jǐn)嗝娉驅(qū)χ玫牧硪粋€(gè) 面對(duì)面上分別形成笫5 ~第8輔助劃痕線SS17 ~ SS20的方法。可如圖 24所示，將從母玻璃基板10的一個(gè)端面隔開0. 2~0. 5mm左右的適當(dāng) 間隔的位置作為第1~第8主劃痕線MS13 MS20的開始位置，同樣地， 將相對(duì)于另一個(gè)端面前側(cè)0. 2~0. 5nnn左右的位置作為第1~第8主劃 痕線MS13 - MS20的結(jié)束位置。
在這種情況下，當(dāng)為了形成第1~第8主劃痕線MS13~MS20，使 刀輪62a分別壓接在貼合母基板90的母基板91和92上滾動(dòng)而實(shí)施切 割時(shí)，垂直裂紋相對(duì)于切割開始位置向切割方向的前后方向伸展，所 以已形成的第1~第8主劃痕線MS13 MS20達(dá)到貼合母基板90的母基 板91和92的一個(gè)端面。
同樣地，即使第1~第8主劃痕線MS13 MS20的切割結(jié)束位置位 于貼合母基板90的母基板91和92另 一個(gè)端部的前側(cè)，由于母基板91 和92的垂直裂紋向切割方向伸展，所以已形成的第1 ~第8主劃痕線 MS13~MS20達(dá)到母基板91和92的另一個(gè)端面。
因此，第1~第8輔助劃痕線SS13-SS20也無需分別形成在從母 基板91和92的一個(gè)端面或被分?jǐn)嗟囊粋€(gè)分?jǐn)嗝娉驅(qū)χ玫牧硪粋€(gè)端 面或分?jǐn)嗝嬷g，可如圖24所示，將從貼合母基板90的母基板91和 92的一個(gè)端面或凈皮分?jǐn)嗟囊粋€(gè)分?jǐn)嗝娓糸_0. 2~0. 5mm左右的適當(dāng)間 隔的位置作為第1~第8輔助劃痕線SS13~SS20的開始位置，同樣地， 將相對(duì)于另一個(gè)端面或分?jǐn)嗝媲皞?cè)0. 2~0. 5mm左右的位置作為笫1~ 第8輔助劃痕線SS13 SS20的結(jié)束位置。另外，還可以是第1~第8主劃痕線MS13~MS20和第1~第8輔 助劃痕線SS13 ~ SS20的某一種以貼合母基板的母基板91和92的一個(gè) 端面或一個(gè)分?jǐn)嗝嫘纬?，到母基?1和92的另一個(gè)端面或另一個(gè)分 斷面，第1~第8主劃痕線MS13 MS20和第1~第8輔助劃痕線SS13~ SS20的另 一種從與貼合母基板90的母基板91和92的一個(gè)端面或一個(gè) 分?jǐn)嗝骐x開適當(dāng)間隔的位置形成到另一個(gè)端面或母基板91和92的另 一個(gè)分?jǐn)嗝娴那皞?cè)。
圖25為說明從貼合母基板90上分?jǐn)喑雒姘寤?0a的其他切割 方式的俯視圖。在這種切割方法中，沿著貼合母基板90上的沿著橫向 的第l和第2分?jǐn)囝A(yù)定線D1和D2，用刀輪62a，通過從貼合母基板90 的母基板91和92的表面深達(dá)各自的厚度的90%以上的垂直裂紋分別 形成第l和第2主劃痕線MS13和MS14。之后，在笫l和第2主劃痕線 MS13和MS14之間的區(qū)域，通過刀輪62a沿著縱向的第5分?jǐn)囝A(yù)定線 D5形成第5主劃痕線MS17，并且相對(duì)于其笫5主劃痕線MS17隔開0. 5 ~ 1. Omm左右的間隔，在與面板基板90a —側(cè)相反的一側(cè)形成第5輔助劃 痕線SS17。
在這種情況下，為了第5主劃痕線MS17和第5輔助劃痕線SS17 分別與已形成的第1和第2主劃痕線MS13和MS14相交叉，以通過一 次切割連續(xù)地形成第5主劃痕線MS17和第5輔助劃痕線SS17的方式， 第5主劃痕線MS17越過了第2主劃痕線MS14后，翻轉(zhuǎn)180度，形成 第5輔助劃痕線SS17。
以后，同樣地，在第l和第2主劃痕線MS13和MS14之間的區(qū)域， 用刀輪62a沿著第6分?jǐn)囝A(yù)定線D6形成第6主劃痕線MS18，并且翻轉(zhuǎn) 而連續(xù)地在與面板基板90a—側(cè)相反的一側(cè)形成第6輔助劃痕線SS18， 另外，同樣順序地形成第7主劃痕線MS19和第7輔助劃痕線SS19，第 8主劃痕線MS20和第8輔助劃痕線SS20。第5至第8主劃痕線MS17 ~ MS20和第5至第8輔助劃痕線SS17 ~ SS20通過第1和第2主劃痕線 MS13和MS14，分別形成第1和笫2主劃痕線MS13和MS14的垂直裂紋 在笫1和第2主劃痕線MS13和MS14的整體上可靠地達(dá)到貼合母基板 90的母基板91和92的貼合面。因此，貼合母基板90沿著第1和第2 主劃痕線MS13和MS14被可靠地分?jǐn)?，得到一?duì)面板基板90a。
在該時(shí)刻，分?jǐn)喑梢粚?duì)面板基板90a之前，將貼合母基板90未分?jǐn)嗲暗膮^(qū)域作為第2基板部分90c。
然后，如圖25(b)所示，使刀輪62c沿著貼合母基板90上橫向 的第3和第4分?jǐn)囝A(yù)定線D3和D4壓接在被第2主劃痕線MS14分?jǐn)嗟?第2基板部分90c上滾動(dòng)，分別形成由從貼合母基板90的母基板91 和92的表面深達(dá)各自的厚度的90%以上的垂直裂紋產(chǎn)生的第3和第4 主劃痕線MS15和MS16。之后，在笫3和第4主劃痕線MS15和MS16 之間的區(qū)域，在面板基板90a的外側(cè)，分別與第3和第4主劃痕線MS15 和MS16相交叉地形成沿著縱向的第9分?jǐn)囝A(yù)定線D9的笫9主劃痕線 MS21和第5輔助劃痕線SS21，沿著第10分?jǐn)囝A(yù)定線D10的主劃痕線 MS22和笫10輔助劃痕線SS22,沿著第11分?jǐn)囝A(yù)定線Dll的第11主 劃痕線MS23和笫11輔助劃痕線SS23，以及沿著第12分?jǐn)囝A(yù)定線D12 的第12主劃痕線MS24和第12輔助劃痕線SS24。這樣一來，笫2基板 部分90c被分?jǐn)?，分?jǐn)喑鲆粚?duì)面板基板90a。
另外，第5~第12的各輔助劃痕線SS21 SS24無需與第1和第3 主劃痕線MS16和MS15相交叉，例如可如圖26所示，相對(duì)于第1和笫 3主劃痕線MS13和MS15前側(cè)0. 2 ~ 0. 5mm左右的位置作為第5 ~笫12 的各輔助劃痕線SS17~SS24的終點(diǎn)位置。在這種情況下，形成第5-第12各輔助劃痕線SS17~SS24的垂直裂紋也在切割方向上伸展。而 且，成為第5 ~第12各主劃痕線MS17 ~ MS24在各主劃痕線MS17 ~ MS24 整體上分?jǐn)嗟臓顟B(tài)。
在使劃痕線彼此交叉而分?jǐn)嗷宓那闆r下，可如圖27所示，在貼 合母基板90上沿著第1~第4各分?jǐn)囝A(yù)定線D1 D4分別形成了主劃痕 線MS13 ~ MS16后，為了分別與第1主劃痕線MS13和第4主劃痕線MS16 相交叉，以通過一次切割連續(xù)地形成主劃痕線和輔助劃痕線的方式越 過的4主劃痕線MS16后，翻轉(zhuǎn)180度，連續(xù)地形成第5主劃痕線MS17 和第5輔助劃痕線SS17,第6主劃痕線MS18和第6輔助劃痕線SS18， 第7主劃痕線MS19和笫7輔助劃痕線SS19，以及第8主劃痕線MS20 和第8輔助劃痕線SS20。
圖28為說明采用主劃痕線MS和輔助劃痕線SS的雙重劃痕線從貼 合母基板90上分?jǐn)喑雒姘寤?0a的切割方式的示意俯視圖。首先， 相對(duì)于面板基板90a形成沿著切割預(yù)定線SI ~S4的4條劃痕線(以下 將面板基板90a全周上的4條直線狀劃痕線作為主劃痕線DS1 )。然后，相對(duì)于該主劃痕線DS1，在面板基板90a的外側(cè)，隔開0.5mm ~1.0mm 左右的間隔，與主劃痕線DS1平行地形成4條直線狀副劃痕線DS2。
這樣，當(dāng)相對(duì)于主劃痕線DS1A隔開0. 5mm~ 1. Omm左右的間隔形 成副劃痕線DS2時(shí)，在副劃痕線DS2的形成時(shí)，在貼合母基板90表面 上沿著與劃痕線的形成方向正交的方向施加應(yīng)力，在已形成的、形成 主劃痕線DS1的垂直裂紋的表面部分上作用有壓縮力。當(dāng)在形成主劃 痕線DS1的垂直裂紋的表面部分上作用有壓縮力時(shí)，在垂直裂紋的底 部上沿著擴(kuò)大垂直裂紋的寬度的方向作用有反作用力。這樣一來，垂 直裂紋向貼合母基板90的厚度方向伸展，垂直裂紋達(dá)到貼合母基板的 母基板91和92的貼合面。
另外，在這種情況下，可如圖29所示，在形成主劃痕線DS1之后， 不使刀輪62a離開貼合母基板90的正反面地與主劃痕線DS1連續(xù)地形 成副劃痕線DS2。
另外，在沿著切割預(yù)定線Sl和S2連續(xù)地形成劃痕線后，沿著切 割預(yù)定線S4和S2連續(xù)地形成劃痕線的情況下，也可如圖30所示，在 形成主劃痕線DS1后形成副劃痕線DS2。
如上所述，通過以規(guī)定的間隔形成主劃痕線MS和輔助劃痕線SS 雙重的劃痕線，從貼合母基板90上分?jǐn)喑龆鄠€(gè)面板基板90a。
然后，如圖31所示，通過使切割裝置導(dǎo)向架30滑動(dòng)，第1基板 支承部30A的各第l基板支承單元31A以相鄰的第1基板支承單元21A 的間隔變窄的方式分別向基板送入側(cè)滑動(dòng)。
在上述的說明中，雖然以分別單獨(dú)地形成雙重的劃痕線的情況為 例進(jìn)行了說明，但并不僅限于此。即，只要是沿著各顯示用貼合基板 90a的側(cè)緣形成雙重的劃痕線即可，例如，可通過一條劃痕線在面板基 板90a的側(cè)緣上形成雙重的劃痕線。
而且，作為分?jǐn)嗷宓姆椒?，如上所述，?duì)在將母基板為脆性材 料基板的一種的玻璃基板貼合在一起而成的母基板上形成雙重的劃痕 線的方法為例進(jìn)行了說明，但并不僅限于此。在母基板為鋼板等金屬 基板、木板、塑料基板、以及陶瓷基板，玻璃基板、半導(dǎo)體基板、脆 性材料基板的情況下，使用例如采用了激光、鉆石輪劃片、切削片、 切刃、金剛石筆刀具等的母基板分?jǐn)喾椒ā?br> 另外，基板除了母基板之外，也包括將母基板彼此組合并貼合而成的貼合基板，組合不同的母基板并貼合而成的貼合基板，組合母基 板并疊層的基板。
這樣，隨著貼合母基板90上的面板基板90a被依次分?jǐn)啵蔀榭?從貼合母基板90上取出的狀態(tài)，基板送出裝置80滑動(dòng)，面板基板90a 依次被基板送出裝置80吸附，向架臺(tái)10的外部送出。
當(dāng)貼合母基板90的分?jǐn)嘟Y(jié)束，被分?jǐn)嗟乃忻姘寤?0a向架臺(tái) IO的外部送出時(shí)，如圖31所示，切割裝置導(dǎo)向架30滑動(dòng)到基板送入 側(cè)的最端部。這樣一來，第1基板支承部20A上的所有第1基板支承 單元2A配置成在架臺(tái)10的基板送入側(cè)端部相互接近的狀態(tài)。此時(shí)， 在第2基板支承部20B上最接近切割裝置導(dǎo)向架30地配置的第2基板 支承單元21B根據(jù)切割裝置導(dǎo)向架30的移動(dòng)而移動(dòng)，所以第2基板支 承部20A上所有的第2基板支承單元21B在分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，
下方的所有區(qū)域上配置成隔開一定間隔的狀態(tài)。
而且，如圖32所示，當(dāng)從貼合母基板90上送出所有的面板基板 90a時(shí)，由于所有面板基板90a送出，成為框狀的分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板 90，被各夾具51進(jìn)行的夾緊解除。而且，最接近切割裝置導(dǎo)向架30 的第2基板支承單元21B向基板送出側(cè)端部滑動(dòng)。這樣一來，支承分 斷后的貼合母基板90，的笫2支承帶23b依次解除分?jǐn)嗪蟮馁N合母基 板90，的支承，各夾具51的夾緊被解除，分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90' 落到下方，由引導(dǎo)板導(dǎo)引而收納在碎屑收納箱內(nèi)。
而且，作為不采用上述的雙重劃痕線的切割方法的切割加工后的 貼合母基板90的分?jǐn)嘌b置，是在切割裝置導(dǎo)向架30的基板送出側(cè)， 設(shè)置例如向貼合母基板90的正反面噴射壓縮空氣、或者向貼合母基板 90的正反面噴射熱風(fēng)等對(duì)基板進(jìn)行加溫(加熱)的裝置。
圖13為從基板送入側(cè)觀察蒸氣單元部75時(shí)的主要部分的主視圖。 6個(gè)蒸氣單元76安裝在上側(cè)蒸氣單元安裝桿77上，6個(gè)蒸氣單元76 相對(duì)于上側(cè)的6個(gè)蒸氣單元76隔開間隙GA地安裝在下側(cè)蒸氣單元安 裝桿78上。另外，間隙GA調(diào)整成在蒸氣單元76向基板送入側(cè)移動(dòng)時(shí) 貼合母基板90通過該間隙GA。
配置在切割裝置導(dǎo)向架30的基板送出側(cè)的蒸氣單元部75通過切 割裝置導(dǎo)向架30滑動(dòng)后，被夾緊裝置50夾緊(保持)，由第2基板 支承部20B支承的切割加工后的貼合母基板90通過蒸氣單元部上下各自的多個(gè)蒸氣單元76的間隙地向基板送入側(cè)滑動(dòng)(移動(dòng))。
圖34為表示蒸氣單元76的結(jié)枸的側(cè)剖視圖。蒸氣單元76是整體
基本上由鋁材構(gòu)成，在垂直方向上埋入有多根加熱器76a。當(dāng)通過自動(dòng)
操作而開閉的開閉閥(未圖示)打開時(shí)，水從供水口 76b流入蒸氣單
元76內(nèi)，被加熱器76a加熱，供應(yīng)的水被氣化而成為蒸氣。該蒸氣通
過導(dǎo)通孔76c從噴出口 76d向母基板的表面噴射。
而且，上側(cè)蒸氣單元安裝桿77的送出側(cè)備有氣刀71，用于蒸氣噴
射到貼合母基板90的上表面后除去殘留在貼合母基板90表面上的水分。
另外，下側(cè)蒸氣單元安裝桿78上也備有與安裝在上側(cè)蒸氣單元安 裝桿77上的相同的蒸氣單元76和氣刀71。
通過上部基板分?jǐn)嘌b置60的刀輪62a和下部基板分?jǐn)嘌b置70的 刀輪62a，在各玻璃基板上各刀輪62a滾動(dòng)接觸的部分上分別產(chǎn)生垂直 裂紋，形成劃痕線95。而且，由于在各刀輪62a的刀刃上以規(guī)定的間 距分別形成有突起部，所以在各玻璃基板上沿著厚度方向形成深達(dá)玻 璃基板的厚度的約90%以上的垂直裂紋。
而且，采用刀頭的切割方法也有效地適用于本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞?統(tǒng)的貼合母基板90的分?jǐn)啵摰额^備有使對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切割 的金剛石筆刀具和刀輪等切割刀具產(chǎn)生的對(duì)貼合母基板90的推壓力周 期地變化(振動(dòng))的機(jī)構(gòu)。
作為對(duì)貼合母基板90的正反面進(jìn)行切割的方法，如圖35所示， 通常釆用沿著作為貼合母基板90的短邊方向的縱向、并沿著切割預(yù)定 線SI ~ S4依次形成劃痕線后，從沿著作為長邊方向的橫向的切割預(yù)定 線S5至S8依次形成劃痕線的現(xiàn)有的方法。
而且，除了上述的切割方法之外，在本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中最 好實(shí)施圖36所示的切割方法。圖20中，從l張貼合母基板90形成4 張面板基板90a。
貼合母基板90為長方形，4張面板基板90a是沿著貼合母基板90 的長度方向形成2張面板基板90a，同時(shí)沿著與長度方向正交的方向形 成2張面板基板90a。各面板基板90a是在與鄰接的貼合母基板90隔 開適當(dāng)間隔的狀態(tài)下，而且與沿著貼合母基板90的長度方向的各側(cè)緣 以及沿著寬度方向的各側(cè)緣隔開適當(dāng)?shù)拈g隔形成的。通過使上部基板分?jǐn)嘌b置60的刀輪62a和下部基板分?jǐn)嘌b置70 的刀輪62a分別相對(duì)并同時(shí)壓接滾動(dòng)， 一張一張地依次分?jǐn)喑雒姘寤?板90a，在貼合母基板90的正反面上形成遍及全周的劃痕線。
在這種情況下，首先，相對(duì)于切割對(duì)象的面板基板90a，沿著與貼 合母基板90的長度方向平行的側(cè)緣的1條直線狀切割預(yù)定線Sl形成 劃痕線。即，使刀頭62c的刀輪62a沿著該切割預(yù)定線Sl壓接在貼合 母基板90的正反面上滾動(dòng)。
此時(shí)，圖37中，刀輪62a形成的切割開始點(diǎn)位于貼合母基板90 上的位置(內(nèi)切位置)，但也可以是沿著切割預(yù)定線Sl的貼合母基板 90的端面外側(cè)附近的位置(外切位置)。
在沿著切割預(yù)定線Sl形成遍及厚度方向整體的垂直裂紋形成的劃 痕線時(shí)，通過使切割裝置導(dǎo)向架30向Y方向、并且使上部基板分?jǐn)嘌b 置60和下部基板分?jǐn)嘌b置70向X方向同時(shí)移動(dòng)，刀輪62a以形成半 徑為lmm左右的圓形軌跡的方式繞垂直軸轉(zhuǎn)向270度(圖37的角部A)。
在刀輪62a轉(zhuǎn)向移動(dòng)中，由于刀輪62a相對(duì)于貼合母基板90的壓 接力降低，所以在貼合母基板90上不形成深的垂直裂紋。貼合母基板 90的板厚為0. 7mm時(shí)，刀輪62a轉(zhuǎn)向移動(dòng)中在貼合母基板90上形成的 垂直裂紋的深度為100^im- 200 ym左右。
如圖35所示，在刀輪62a進(jìn)行交叉切割時(shí)，在第l方向上切割， 并向笫2方向切割時(shí)形成的劃痕線的交叉點(diǎn)上，容易在貼合母基板90 上產(chǎn)生缺損。
這種缺損在下述的時(shí)刻產(chǎn)生，即，在已向笫1方向切割后，在貼 合母基板90上已形成基本上深達(dá)其板厚的垂直裂紋，所以在向第2方 向切割中，刀輪62a到達(dá)第1方向的劃痕線附近時(shí)，在第1劃痕線的 前側(cè)，母玻璃基板90沉入，在第1方向的劃痕線和第2方向的劃痕線 的交叉部設(shè)置在沿著第1方向的劃痕線上。
在圖36所示的切割方法中，使刀輪62a轉(zhuǎn)向，降低相對(duì)于貼合母 基板90的壓接力，與沿著已形成的分?jǐn)囝A(yù)定線Sl相交叉，所以在劃 痕線交叉前，貼合母基板90的一部分不會(huì)沉入，能夠防止劃痕線交叉 時(shí)的貼合母基板90產(chǎn)生缺損。
在刀輪62a的行進(jìn)方向轉(zhuǎn)向270度，刀輪62a成為沿著與切割預(yù) 定線Sl正交的面板基板90a的寬度方向上的直線狀切割預(yù)定線S2的狀態(tài)時(shí)，刀輪62a沿著切割預(yù)定線S2壓接滾動(dòng)。這樣一來，沿著切割 預(yù)定線S2形成遍及厚度方向的垂直裂紋形成的劃痕線。
之后，同樣地，刀輪62a不離開貼合母基板90的正反面，在角部 B，形成半徑為lmm左右的圓形軌跡地向與切割預(yù)定線S2正交的方向 上轉(zhuǎn)向270度，成為沿著切割預(yù)定線S3的狀態(tài)，沿著切割預(yù)定線S3 形成遍及厚度方向整體的垂直裂紋形成的劃痕線。另外，以后也同樣 地，刀輪62a不離開貼合母基板90的正反面，在角部C，形成半徑為 lmm左右的圓形軌跡地向與切割預(yù)定線S3正交的方向上轉(zhuǎn)向270度， 成為沿著切割預(yù)定線S4的狀態(tài)，在貼合母基板90的正反面上沿著切 割預(yù)定線S4形成遍及厚度方向整體的垂直裂紋形成的劃痕線。
這樣一來，在面板基板90a的周圍，成為形成了由4條直線狀劃 痕線形成的閉合曲線的狀態(tài)。之后，例如為了形成在貼合母基板90的 長度方向上鄰接的面板基板90a，同樣地在其面板基板90a的周圍，遍 及全周地形成由4條直線狀劃痕線形成的閉合曲線，進(jìn)而對(duì)于其佘的 一對(duì)面板基板90a的每一個(gè)也遍及全周地依次形成由4條直線狀的劃 痕線形成的閉合曲線。
另外，除了上述的切割方法之外，在本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中能 夠?qū)嵤﹫D37所示的切割方法。圖37中，由1張貼合母基板90形成4 張面板基板90a。
在圖37所示的切割方法中，通過與上述相同的方法形成沿著面板 基板90a上相互正交的切割預(yù)定線Sl和S2的劃痕線。在沿著切割預(yù) 定線Sl形成劃痕線的情況下，使刀輪62a位于貼合母基板90端面外 側(cè)的附近，從此處連續(xù)地形成沿著切割預(yù)定線Sl的劃痕線。
在切割開始之初，刀輪62a設(shè)置在貼合母基板90的正反面上時(shí)產(chǎn) 生的貼合母基板90的缺損不影響作為成品的面板基板90a。
而且，在角部A，形成圓形的軌跡，并且向與切割預(yù)定線Sl正交 的方向轉(zhuǎn)向270度，成為沿著切割預(yù)定線S2的狀態(tài)，沿著切割預(yù)定線 S2形成基本上遍及厚度方向整體的垂直裂紋形成的劃痕線。
之后，使滑輪62a暫時(shí)離開貼合母基板90的表面，然后依次形成 與切割預(yù)定線Sl正交方向的切割預(yù)定線S4和S3。在這種情況下，在 切割開始之初，刀輪62a設(shè)置在貼合母基板90的正反面上時(shí)產(chǎn)生的貼 合母基板90的缺損也不影響作為成品的面板基板90a。這樣一來，成為在面板基板90a的周圍形成了 4條直線狀劃痕線 的狀態(tài)。之后，例如為了形成在貼合母基板90的長度方向上鄰接的面 板基板90a，同樣地在其面板基板90a的周圍，遍及全周地形成4條直 線狀劃痕線，進(jìn)而對(duì)于其余的一對(duì)面板基板90a的每一個(gè)也遍及全周 地依次形成由4條直線狀的劃痕線形成的閉合曲線。
通過上述的切割方法在貼合母基板上形成了劃痕線后，蒸氣單元 部75向基板送入側(cè)移動(dòng)，將蒸氣噴射在刻有劃痕線的貼合母基板90 的整個(gè)正反面上，貼合母基板90凈皮完全分?jǐn)?，同時(shí)用氣刀71除去噴 射了蒸氣后的貼合母基板90的表面上殘存的水分。
通過向刻有劃痕線的貼合母基板90的整個(gè)正反面上噴射蒸氣，由 刀輪62a形成的劃痕線因貼合母基板90的正反面部分被加熱而體積膨 脹，垂直裂紋從貼合母基板90上下的母基板的表面向貼合面一側(cè)伸展， 貼合母基板90被完全分?jǐn)唷?br> 另外，在上述本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作說明中，以分?jǐn)嗖Ａ?基板貼合而成的貼合母基板的情況為例進(jìn)行了描述，但并不僅限于此。 例如，也包括因分?jǐn)嗟幕宓姆N類或?yàn)榱颂岣邩?gòu)成基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的各 裝置的性能而實(shí)施與上述的說明不同的動(dòng)作的情況。 (實(shí)施方式2)
圖38和圖39為表示分別從不同的方向觀察本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞?統(tǒng)的實(shí)施方式另一例時(shí)的整體的示意立體圖。
另外，在本發(fā)明中，「基板J包括分?jǐn)喑啥鄠€(gè)基部的母基板，而 且包括鋼板的金屬基板，木版，塑料基板和陶資基板，半導(dǎo)體基板， 玻璃基板等脆性材料基板等的單板。另外，并不僅限于這種基板，還 包括一對(duì)基板彼此貼合而成的貼合基板， 一端基板彼此疊層的疊層基 板。
本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)例如在制造一對(duì)玻璃基板相同貼合而成的 液晶顯示裝置的面板基板(顯示面板用貼合基板)時(shí)，通過該基板分 斷系統(tǒng)，將一對(duì)母玻璃基板相互貼合而成的貼合母基板90分?jǐn)喑啥鄰?面板基板(顯示面板用貼合基板)。
在本實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)100中，將配置第1基板支承部 120A —側(cè)作為基板送入側(cè)，將配置基板送出裝置108 —側(cè)作為基板送 出側(cè)進(jìn)行以下的說明。而且，在本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)100中，基板送出的方向(基板的流動(dòng)方向)為從基板送入側(cè)朝向基板送出側(cè)的+Y 方向。而且，該基板送出的方向?yàn)橄鄬?duì)于切割裝置導(dǎo)向架130以水平 狀態(tài)正交的方向，切割裝置導(dǎo)向架130沿著X方向設(shè)置。這種基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)100具有真空的長方體狀的架臺(tái)110，在架臺(tái) 110的上表面上設(shè)置有4根支柱114，框狀的主架111配置在支柱ll4 的上部。在該架臺(tái)110的上表面上配置有基板支承裝置120，以水平狀 態(tài)支承由輸送機(jī)械手輸送到本基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)100中的貼合母基板90。如圖38所示，基板支承裝置120備有第1基板支承部120A和第2 基板支承部120B，第l基板支承部120A用于支承送入主架111內(nèi)的貼 合母基板90，配置在基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)100的基板送入側(cè)，第2基板支承 部120B用于支承貼合母基板90被分?jǐn)?、顯示面板依次從基板分?jǐn)嘞?統(tǒng)送出后的貼合母基板90，配置在基板送出側(cè)。另外，架臺(tái)110上的 笫1基板支承部12 OA —側(cè)為基板送入側(cè)，笫2基板支承部12 0B —側(cè) 為基板送出側(cè)。而且，如圖39所示，在架臺(tái)110的上方，設(shè)置有以水平狀態(tài)保持 由基板支承裝置120 (第1基板支承單元121A)水平狀態(tài)支承的基板 的夾緊裝置150。另外，如圖38所示，在架臺(tái)110的上表面上設(shè)置有 切割裝置導(dǎo)向架130，可沿著主架111長度方向的框架111A和111B 滑動(dòng)。切割裝置導(dǎo)向架130在主架111的上方備有沿著與主架111長 度方向的框架111A和111B正交的X方向架設(shè)的上側(cè)導(dǎo)軌131，在主架 111的下方備有沿著上側(cè)導(dǎo)軌131架設(shè)的下側(cè)導(dǎo)軌132，上側(cè)導(dǎo)軌131 和下側(cè)導(dǎo)軌132沿著主架111長度方向(Y方向)的框架111A和111B 一體地移動(dòng)。圖40為切割裝置導(dǎo)向架130上的上側(cè)導(dǎo)軌131附近的示意立體圖。 在上側(cè)導(dǎo)軌131上安裝有上部基板分?jǐn)嘌b置160，可沿著上側(cè)導(dǎo)軌in 移動(dòng)。而且，圖41為切割裝置導(dǎo)向架130上的下側(cè)導(dǎo)軌132附近的示 意立體圖。在下側(cè)導(dǎo)軌132上安裝有下部基板分?jǐn)嘌b置170，可沿著下 側(cè)導(dǎo)軌132移動(dòng)。上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170分別通過線性馬 達(dá)沿著上側(cè)導(dǎo)軌131和下側(cè)導(dǎo)軌132往返移動(dòng)，在上側(cè)導(dǎo)軌in和下 側(cè)導(dǎo)軌132上分別安裝有線性馬達(dá)的固定元件，在上部分?jǐn)嘌b置l60 和下部分?jǐn)嘌b置170上分別安裝有線性馬達(dá)的可動(dòng)元件。上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170將母基板由夾緊裝置150保持在 水平狀態(tài)、并且由輔助母基板的保持的基板支承裝置120支承的貼合 母基板90的上側(cè)和下側(cè)的各玻璃基板分?jǐn)喑啥鄠€(gè)顯示面板。在切割裝置導(dǎo)向架130上的一個(gè)端部上設(shè)置有可沿著切割裝置導(dǎo) 向架130移動(dòng)的第1光學(xué)裝置138，對(duì)由夾緊裝置150保持、由基板支 承裝置120支承的貼合母基板90上設(shè)置的第1校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像，而 且，在光學(xué)裝置導(dǎo)向架130上的另一個(gè)端部上設(shè)置有可沿著切割裝置 導(dǎo)向架130移動(dòng)的第2光學(xué)裝置139，對(duì)貼合母基板90上設(shè)置的第2 校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像。在架臺(tái)110的上表面上，分別沿著主架111長度方向的框架111A 和111B設(shè)置有使切割裝置導(dǎo)向架130移動(dòng)的線性馬達(dá)的固定元件112。 各固定元件112形成為各自的外側(cè)面開口的扁平的中空長方體形狀， 其斷面形成為r 3」字型。在各固定元件的內(nèi)部，保持支承滑動(dòng)裝置 導(dǎo)向架130的兩端的支柱128的引導(dǎo)座115上插入線性馬達(dá)的可動(dòng)元 件(未圖示)，可沿著主架111長度方向的框架111A和111B滑動(dòng)。在各固定元件112上，沿著長度方向分別設(shè)置有多個(gè)永久磁鐵， 鄰接的永久磁鐵的磁極為相互翻轉(zhuǎn)的狀態(tài)。各可動(dòng)元件分別由電磁鐵 構(gòu)成，通過依次切換構(gòu)成各可動(dòng)元件的電磁鐵的磁極，各可動(dòng)元件分 別沿著各固定元件112滑動(dòng)。如圖38和圖39所示，通過連結(jié)板133而將上側(cè)導(dǎo)軌131和下側(cè) 導(dǎo)軌132各端面彼此連結(jié)在一起的切割裝置導(dǎo)向架130的兩端由支柱 128支承，該支柱128保持在引導(dǎo)座115的上表面上，在引導(dǎo)座115 上分別安裝有線性馬達(dá)的可動(dòng)元件。各可動(dòng)元件分別被同步地驅(qū)動(dòng)， 沿著各固定元件112滑動(dòng)。在架臺(tái)110的送出側(cè)上方，備有送出機(jī)械手240和基板送出裝置 用引導(dǎo)件181的基板送出裝置180配置在相對(duì)于切割裝置導(dǎo)向架130 為基板送出側(cè)，該送出機(jī)械手240送出從貼合母基板90上分?jǐn)喑龅母?顯示面板，該基板送出裝置引導(dǎo)件181是為了使送出機(jī)械手240可沿 著主架111長度方向的框架111A和111B正交的X方向移動(dòng)而架設(shè)的， 沿著分別設(shè)置在架臺(tái)IIO上表面上的導(dǎo)軌113，基板送出裝置用引導(dǎo)件 181的端部經(jīng)由支承部件182在線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)下滑動(dòng)。這種情況下的 線性馬達(dá)是分別安裝在基板送出裝置180上的可動(dòng)元件(未圖示)分別插入架臺(tái)110上分別設(shè)置的固定元件112內(nèi)。在基板送出裝置180的送出機(jī)械手240上設(shè)置有吸附從貼合母基 板90上分?jǐn)喑龅母黠@示面板的吸附部(未圖示)，在顯示面板被吸附 部吸附的狀態(tài)下，基板送出裝置180整體向基板送出側(cè)滑動(dòng)，從而分 斷后的各顯示面板從架臺(tái)IIO上送出。圖42 ( a )為表示基板送出裝置180的送出機(jī)械手240的結(jié)構(gòu)的示 意結(jié)構(gòu)圖。送出機(jī)械手240安裝在基板送出裝置用引導(dǎo)件181上，線著:板送出裝置用^導(dǎo);"I的方向(X方向,)自由移動(dòng)。_ 。在送出機(jī)械手240上備有兩個(gè)伺服馬達(dá)240a和240m，伺服馬達(dá) 240a與驅(qū)動(dòng)軸240b連結(jié)。第l滑輪240c和第2滑輪240e—體地安裝， 經(jīng)由各自的軸承安裝在驅(qū)動(dòng)軸240b上，成為相對(duì)于驅(qū)動(dòng)軸240b的旋 轉(zhuǎn)斷開的狀態(tài)。臂240f是其端部一體地安裝在驅(qū)動(dòng)軸240b上，臂240f 通過驅(qū)動(dòng)軸240b的旋轉(zhuǎn)而以驅(qū)動(dòng)軸240b為中心旋轉(zhuǎn)。而且，在臂240f 的前端部上可旋轉(zhuǎn)地支承有旋轉(zhuǎn)軸240g。旋轉(zhuǎn)軸240g貫通臂240f ， 在其一個(gè)端部上一體地安裝有第3滑輪240h。在第2滑輪240e和第3 滑輪240h之間例如繞掛有同步皮帶那樣的皮帶240i.另外，在伺服馬達(dá)240m的旋轉(zhuǎn)軸上安裝有第4滑輪240n，第4滑 輪240n和第1滑輪240c之間例如繞掛有同步皮帶那樣的皮帶240p。 這樣一來，伺服馬達(dá)240m的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由皮帶240p傳遞到第1滑輪240c 上，進(jìn)而經(jīng)由皮帶240i傳遞到笫3滑輪240h上，旋轉(zhuǎn)軸240g旋轉(zhuǎn)。在旋轉(zhuǎn)軸240g的另一個(gè)端部上一體地安裝有吸附墊安裝板240j 的中央部。在吸附墊安裝板240j的下表面上設(shè)置有吸附墊240k，通過 未圖示的吸引機(jī)構(gòu)吸附被本基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)IOO分?jǐn)嗪蟮幕?。這種結(jié)構(gòu)的送出機(jī)械手240通過組合地設(shè)定伺服馬達(dá)240a和240m 的旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)角度而使臂241f的移動(dòng)距離最小，能夠以水平狀態(tài) 將分?jǐn)嗪蟮幕宓某蚋淖兂筛鞣N角度的方向而向后一工序的裝置輸 送。另外，在分?jǐn)嗪蟮幕宓妮斔蜕希謹(jǐn)嗪蟮幕逋ㄟ^吸引而被吸 附墊保持，在送出機(jī)械手240整體通過升降機(jī)構(gòu)(未圖示)暫時(shí)上升 后，向下一工序的裝置輸送，送出機(jī)械手240再次通過升降機(jī)構(gòu)(未 圖示)下降，在下一工序的規(guī)定位置上放置成預(yù)定的狀態(tài)。以下，參照?qǐng)D42 (b)對(duì)采用逸種結(jié)構(gòu)的送出機(jī)械手240使分?jǐn)嗪?的基板的朝向改變例如90°的情況加以說明。當(dāng)安裝在吸附墊安裝板240j上的各吸附墊240k被吸附在分?jǐn)嗪?的基板93上時(shí)，送出機(jī)械手240整體通過升降機(jī)構(gòu)上升，伺服馬達(dá)240a 被驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)軸240b從基板側(cè)觀察時(shí)向與順時(shí)針方向相反的方向旋轉(zhuǎn) 90度。當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸240b旋轉(zhuǎn)90度時(shí)，臂240f以驅(qū)動(dòng)軸240b為中心向 從基板側(cè)觀察時(shí)與順時(shí)針的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向旋轉(zhuǎn)90度。這樣一來， 經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸240g可旋轉(zhuǎn)地支承在臂240f的前端部上的吸附墊安裝板 240j與臂240f —起以轉(zhuǎn)動(dòng)軸240b為中心向從基本側(cè)觀察時(shí)與順時(shí)針 的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)90度。在這種情況下，安裝在吸附墊安裝 板240j上的旋轉(zhuǎn)軸240g也以驅(qū)動(dòng)軸240b為中心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。此時(shí)，伺服馬達(dá)240m的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由皮帶240q傳遞到第1滑輪MOc 上，進(jìn)而經(jīng)由皮帶240i傳遞到第3滑輪240h上，旋轉(zhuǎn)軸MOg向順時(shí) 針的旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)180度。因此，在吸附墊安裝板240j以驅(qū)動(dòng)軸240d 為中心向從基板側(cè)觀察時(shí)與順時(shí)針的旋轉(zhuǎn)方向相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)90度的 期間，以旋轉(zhuǎn)軸240g為中心向從基板一側(cè)觀察時(shí)順時(shí)針的旋轉(zhuǎn)方向自 旋轉(zhuǎn)180度。其結(jié)果，由各吸附墊240k吸附的分?jǐn)嗪蟮幕?3如圖 42 (b)所示， 一邊使其旋轉(zhuǎn)中心位置移動(dòng)一邊以比較小空間向從基板 一側(cè)觀察時(shí)順時(shí)針的旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)90度?；逯С醒b置120的第l基板支承部120A和第2基板支承部120B 例如圖38所示，分別備有可在與滑動(dòng)裝置導(dǎo)向架130的移動(dòng)方向相同 的方向上移動(dòng)的5個(gè)第1基板支承單元121A和第2基板支承單元121B。 各第1基板支承單元121A和各第2基板支承單元121B分別以沿著相 對(duì)于主架111長度方向的框架111A和111B平行的方向(Y方向)的直 線狀配置在切割裝置導(dǎo)向架130的基板送入側(cè)和基板送出側(cè)。圖42為設(shè)置在第1基板支承部120A上的一個(gè)第1基板支承單元 121A的側(cè)視圖。第l基板支承單元121A在設(shè)置在架臺(tái)110的上表面上 的一對(duì)導(dǎo)軌113的每一個(gè)移動(dòng)單元上保持的引導(dǎo)座115的上表面上設(shè) 置有支柱145，在其支柱145的上方與沿著主架111的框架111A和111B 的Y方向平行地設(shè)置有支承部件143,在各自的支承部件143上沿著與 主架111的框架111A和111B正交的X方向架設(shè)的兩根單元安裝部件 141和142上安裝有接合部件146和147。46第1基板支承單元121A隔開規(guī)定的間隔配置數(shù)臺(tái)(在本實(shí)施例的 說明中為5臺(tái))，與切割裝置導(dǎo)向架130 —起向沿著主架111的框架 111A和111B的Y方向移動(dòng)。第l基板支承單元121A具有沿著與主架111平行的方向(Y方向) 直線狀延伸的支承主體部121a，在支承主體部121a的各端部上分別安 裝有例如對(duì)同步皮帶121e進(jìn)行導(dǎo)向的同步滑輪121c和121d。同步皮 帶121e使驅(qū)動(dòng)用同步滑輪121d在后述的離合器與驅(qū)動(dòng)軸連結(jié)而旋轉(zhuǎn) 時(shí)環(huán)繞移動(dòng)。采用圖44、圖45和圖46對(duì)使這種結(jié)構(gòu)的第1基板支承單元121A 的同步皮帶121e移動(dòng)的機(jī)構(gòu)加以說明。圖44為從切割裝置導(dǎo)向架130 一側(cè)觀察設(shè)置在第l基板支承部120A上的多個(gè)(5臺(tái))第l基板支承 單元121A時(shí)的主視圖，圖45為離合器單元210的示意結(jié)構(gòu)圖，圖46 為離合器單元210的側(cè)視圖。如圖44所示，第1基板支承單元121A的支承主體部121a上備有 的各自的驅(qū)動(dòng)用同步滑輪121b結(jié)合在主架111上與長度方向的框架 111A和111B正交的X方向平行地i更置的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸149上。這種旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動(dòng)軸149的兩端向離合器單元210上連接，通過與離合器單元210 內(nèi)的離合器的驅(qū)動(dòng)軸的連結(jié)狀態(tài)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸149或是旋轉(zhuǎn)或是不旋 轉(zhuǎn)。即，在離合器單元內(nèi)的離合器與驅(qū)動(dòng)軸222連結(jié)時(shí)，驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸 149旋轉(zhuǎn)，在與驅(qū)動(dòng)軸22分離時(shí)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸149不旋轉(zhuǎn)。而且，在主架111上長度方向的框架111A和111B的下表面上， 沿著框架111A和111B的長度方向安裝有使離合器單元210的小齒輪 211旋轉(zhuǎn)的齒條llla。離合器單元210的小齒輪ni結(jié)合在軸"3的一端上，而且，在 軸223的另一端上結(jié)合有同步皮帶219用的同步滑輪212。在驅(qū)動(dòng)軸222的一端上結(jié)合有同步滑輪215，同步皮帶219經(jīng)由兩 個(gè)空轉(zhuǎn)輪213和214繞掛在同步滑輪212和同步滑輪215之間，軸223 的旋轉(zhuǎn)被傳遞到驅(qū)動(dòng)軸222。在驅(qū)動(dòng)軸222的一個(gè)端部上例如安裝有氣動(dòng)離合器那樣的離合器 216，通過向離合器216內(nèi)送入壓縮空氣，驅(qū)動(dòng)軸222和傳動(dòng)軸224結(jié) 合，當(dāng)壓縮空氣的送入中斷、離合器216內(nèi)的空氣壓力恢復(fù)到大氣壓 的狀態(tài)時(shí)，驅(qū)動(dòng)軸222和從動(dòng)軸224的結(jié)合被切斷。同步滑輪217結(jié)合在從動(dòng)軸224的不與離合器216結(jié)合一側(cè)的端 部上，同步皮帶2H繞掛在該同步滑輪217和結(jié)合有第1基板支承單 元121A的支承主體部121a上備有的各自的驅(qū)動(dòng)用同步滑輪121b的旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸149的一個(gè)端部的同步滑輪218之間。如圖44所示，在主架111長度方向的框架111B —側(cè)也備有使設(shè) 置在第l基板支承部120A上的第l基板支承單元121A的驅(qū)動(dòng)用同步 滑輪121b旋轉(zhuǎn)、使同步皮帶121e移動(dòng)的機(jī)構(gòu)(離合器單元210)。如上所述，支承5個(gè)第1基板支承單元121A的框架111A —側(cè)的 支柱145和框架111B —側(cè)的支柱145保持在引導(dǎo)座115上，連結(jié)成與 保持對(duì)切割裝置導(dǎo)向架130的兩端進(jìn)行支承的支柱128的引導(dǎo)座115 一體地移動(dòng)。由于在保持支柱128的引導(dǎo)座115上安裝有線性馬達(dá)的 可動(dòng)元件(未圖示)，所以通過線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)，切割裝置導(dǎo)向架130 向基板送入側(cè)移動(dòng)，同時(shí)第l基板支承部120A的5臺(tái)第l基板支承單 元121A向基板送入側(cè)移動(dòng)。在切割裝置導(dǎo)向架130移動(dòng)時(shí)，與沿著框架111A和111B安裝的 各自的齒條llla嚙合的框架111A—側(cè)的離合器單元210的小齒輪211 以及框架111B—側(cè)的小齒輪211旋轉(zhuǎn)。另外，為了使第1基板支承單元121A的驅(qū)動(dòng)用同步滑輪121b旋 轉(zhuǎn)、既可以使同步皮帶121e移動(dòng)，也可以使框架111A和框架111B雙 方的離合器與各自的驅(qū)動(dòng)軸222連結(jié)，還可以使框架111A和框架111B 的某一個(gè)離合器與驅(qū)動(dòng)軸222連結(jié).基板支承裝置120的第2基板支承部120B例如備有可分別向與切 割裝置導(dǎo)向架130的移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)的5個(gè)笫2基板支承單 元121B。該第2基板支承單元121B的結(jié)構(gòu)與第1基板支承裝置121A 相同，相對(duì)于切割裝置導(dǎo)向架130對(duì)稱其Y方向的安裝方向相反地支 承在框架111A —側(cè)的支柱145和框架111B —側(cè)的框架145上，各自 的支柱保持在引導(dǎo)座115上。支承5個(gè)第1基板支承單元121A的框架111A —側(cè)的支柱145和 框架111B—側(cè)的支柱145保持在引導(dǎo)座115上，支承5個(gè)笫2基板支 承單元121B的框架111A —側(cè)支柱145和框架111B —側(cè)的支柱145保 持在引導(dǎo)座115上，另外，連結(jié)成與保持對(duì)切割裝置導(dǎo)向架130的兩 端進(jìn)行支承的支柱128的引導(dǎo)座115 —體地移動(dòng)。由于保持支承切割裝置導(dǎo)向架130的兩端的支柱128的引導(dǎo)座上安裝有線性馬達(dá)的可動(dòng) 元件(未圖示)，所以，通過線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)，切割裝置導(dǎo)向架130 向基板送入側(cè)移動(dòng)，同時(shí)第l基板支承部120A的5臺(tái)第l基板支承單 元121A和第2基板支承部120B的5臺(tái)第2基板支承單元121B向基板 送入側(cè)移動(dòng)。第2基板支承部120B的框架111A —側(cè)和框架111B —側(cè)上備有與 第1基板支承部120A同樣的離合器單元210，在切割裝置導(dǎo)向架130 移動(dòng)時(shí)，與沿著框架111A和111B安裝的各個(gè)齒條llla嚙合的框架 111A —側(cè)的離合器單元210的小齒輪211和框架111B —側(cè)的小齒輪 211旋轉(zhuǎn)。而且，為了使第2基板支承單元121B的驅(qū)動(dòng)用同步滑輪121b旋 轉(zhuǎn)，使同步皮帶121e移動(dòng)，既可以是框架111A和框架111B雙方的離 合器與各自的驅(qū)動(dòng)軸222連結(jié)，也可以使框架111A和框架111B的某 一個(gè)離合器與驅(qū)動(dòng)軸222連結(jié)。如圖38所示，在架臺(tái)110的基板送出側(cè)的上方，用于使切割加工 后未完全分?jǐn)嗟馁N合母基板90為完全分?jǐn)酄顟B(tài)的蒸氣單元部260配置 在第2基板支承部120B的基板送出側(cè)、基板送出裝置180的基板送入 側(cè)。蒸氣單元部260是上側(cè)蒸氣蒸氣單元安裝桿262和下側(cè)蒸氣單元 安裝桿263沿著與框架111A和框架111B正交的X方向安裝在框架111A 一側(cè)的支柱264和框架111B —側(cè)的支柱264上，所述上側(cè)蒸氣單元安 裝桿262用于安裝向貼合母基板90的上側(cè)母基板上噴射蒸氣的多個(gè)蒸 氣單元261，所述下側(cè)蒸氣單元安裝桿263用于安裝向貼合母基板90 的下側(cè)母基板上噴射蒸氣的多個(gè)蒸氣單元261?？蚣?11A和111B—側(cè)各自的支柱264在線性馬達(dá)的作用下沿著 分別設(shè)置在架臺(tái)110的上表面上的導(dǎo)桿113滑動(dòng)，這種情況下的線性 馬達(dá)是分別安裝在蒸氣單元部260上的線性馬達(dá)的可動(dòng)元件(未圖示) 分別插入架臺(tái)110的上表面上分別設(shè)置的線性馬達(dá)固定元件112內(nèi)。圖47為從基板送入側(cè)觀察蒸氣單元部260時(shí)的主要部分的主視 圖。6個(gè)蒸氣單元部261安裝在上側(cè)蒸氣單元安裝桿262上，6個(gè)蒸氣 單元部261相對(duì)于上側(cè)的6個(gè)蒸氣單元261隔開間隙GA地安裝在下側(cè) 蒸氣安裝桿263上。另外，間隙GA調(diào)整成在蒸氣單元部260向基板送入側(cè)移動(dòng)時(shí)，貼合母基板90通過該間隙GA。圖48為表示蒸氣單元261的結(jié)構(gòu)的局部側(cè)面剖視圖。蒸氣單元261 是基本上整體由鋁材質(zhì)構(gòu)成，在垂直方向上埋入多根加熱器261a。當(dāng) 通過自動(dòng)操作而開閉的開閉閥(未圖示)打開時(shí)，水從供水口 261b流 入蒸氣單元261內(nèi)，被加熱器261a加熱，供應(yīng)的水氣化而成為蒸氣。 該蒸氣通過導(dǎo)通孔261c從噴出口 261d向母基板的表面噴射。而且，在上側(cè)蒸氣單元安裝桿262的送出側(cè)上備有氣刀265，用于 在向貼合母基板90的上表面噴射了蒸氣后，除去殘存在貼合母基板90 的表面上的水分。另外，在下側(cè)蒸氣單元安裝桿263上也備有與安裝在上側(cè)蒸氣單 元安裝桿262上的相同的蒸氣單元261和氣刀265。貼合母基板90放置在第l基板支承部120A上，當(dāng)貼合母基板90 被定位后，定位后的貼合母基板90由夾緊裝置150保持，同時(shí)由各第 1基板支承單元121A的同步皮帶221e支承。在這種狀態(tài)下，首先，第l基板支承部120A和笫2基板支承部120B 的4個(gè)離合器單元210的離合器216結(jié)合在驅(qū)動(dòng)軸222上后，通過設(shè) 置在切割裝置導(dǎo)向架130上的上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)?裝置170開始貼合母基板90的分?jǐn)?，隨著切割裝置導(dǎo)向架130向基板 送入側(cè)移動(dòng)，第l基板支承部120A向基板送入側(cè)滑動(dòng)，進(jìn)而第2基板 支承部120B向基板送入側(cè)滑動(dòng)。在切割裝置導(dǎo)向架130向基板送入側(cè) 移動(dòng)中，第1基板支承部120A的第1基板支承單元121A的同步皮帶 121e和第2基板支承部120B的第2基板支承單元121B的同步皮帶 121e以與切割裝置導(dǎo)向架130的移動(dòng)速度相同的速度環(huán)繞移動(dòng)，使貼 合母基板90向基板送出側(cè)方向移動(dòng)，成為分?jǐn)嘀型镜馁N合母基板90 由第1基板支承部120A的第l基板支承單元121A的同步皮帶lHe和 第2基板支承部120B的第2基板支承單元121B的同步皮帶121e支承 的狀態(tài)。但是，由于在切割裝置導(dǎo)向架130的移動(dòng)中，笫l基板支承部120A 的第l基板支承單元121A的同步皮帶121e和第2基板支承部UOB的 第2基板支承單元121B的同步皮帶1He使貼合母基板90以與切割裝 置導(dǎo)向架130的移動(dòng)速度相同的速度向與切割裝置導(dǎo)向架130的移動(dòng) 方向相反的方向移動(dòng)，所以實(shí)際上貼合母基板90不移動(dòng)，在保持在夾緊裝置150上的狀態(tài)下，笫l基板支承部120A的第1基板支承單元121A 的同步皮帶121e和第2基板支承部120B的第2基板支承單元121B的 同步皮帶121e不會(huì)滑動(dòng)接觸地支承在貼合母基板90上。在貼合母基板90的分?jǐn)嘟Y(jié)束后的狀態(tài)下，貼合母基板90由第2 基板支承部120B的所有第2基板支承單元121B的同步皮帶121e支承。通過第1基板支承單元121B的同步皮帶121e，在貼合母基板90 被支承的狀態(tài)下，蒸氣單元部260向基板送入側(cè)移動(dòng)，將蒸氣噴射在 刻有劃痕線的貼合母基板90的正反面整體上，通過熱應(yīng)力使垂直裂紋 伸展，將貼合母基板90完全分?jǐn)啵瑫r(shí)通過氣刀265除去噴射蒸氣后 的貼合母基板90的正反面上殘留的水分。之后，通過從第2基板支承部120B的所有第2基板支承單元121B 的同步皮帶121e上的貼合母基板90分?jǐn)喑龅乃酗@示面板被基板送 出裝置180的上側(cè)機(jī)械手240送出，分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90'(端材) 得到支承。而且，基板送出裝置180和蒸氣單元部260向基板送出側(cè)的端部 移動(dòng)。之后，切割裝置導(dǎo)向架130、笫2基板支承部120B和第l基板支 承部120A向基板送出側(cè)滑動(dòng)。此時(shí)，第1基板支承單元121A的同步 皮帶121e和笫2基板支承部120B的第2基板支承單元121B的同步皮 帶121e以使貼合母基板90以與切割裝置導(dǎo)向架130的移動(dòng)速度相同 的速度向基板送入方向移動(dòng)的方式環(huán)繞移動(dòng)。因此，第1基板支承單元121A的同步皮帶121e和笫2基板支承 部120B的第2基板支承單元121B的同步皮帶121e從分?jǐn)嗪蟮馁N合母 基板90，的下表面不會(huì)滑動(dòng)接觸地依次成為非接觸狀態(tài)，各同步皮帶 121e對(duì)分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，的支承依次解除。而且，分?jǐn)嗪蟮馁N 合母基板90'(端材)由夾緊裝置150進(jìn)行的保持被解除，分?jǐn)嗪蟮?貼合母基板90，(端材)落到下方。在這種情況下，落到下方的貼合 母基板90，(端材或碎屑)被以傾斜狀態(tài)配置的移動(dòng)部導(dǎo)引而收放在 碎屑收放箱內(nèi)。在架臺(tái)110上設(shè)置有用于對(duì)支承在第1基板支承部120A上的貼合 母基板90進(jìn)行定位的定位裝置(未圖示)。定位裝置例如是沿著主架 111的框架111B、以及沿著相對(duì)于其框架111B正交的方向分別隔開規(guī)定的間隔設(shè)置有多個(gè)定位銷(未圖示)。而且，相對(duì)于沿著框架111B 配置的定位銷，設(shè)置有推壓與貼合母基板90上的各定位銷對(duì)置的側(cè)緣 的推桿(未圖示)，同時(shí)相對(duì)于沿著與框架111B正交的方向配置的定 位銷，設(shè)置有推壓貼合母基板90上的對(duì)置的側(cè)緣的推桿(未圖示)。而且，例如在與本基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)分別地備有被本發(fā)明的基板分?jǐn)?系統(tǒng)輸送前實(shí)施貼合母基板90的定位的定位裝置的情況下，能夠省略 本基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)內(nèi)的定位裝置。而且，本基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)內(nèi)的定位裝置并不僅限于上述定位銷和推 桿，只要是能夠使貼合母基板90在基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)內(nèi)的位置為一定的裝 置即可。另外，在架臺(tái)110的上方設(shè)置有支承在第l基板支承部120A上、 夾緊被各定位銷推壓而定位的貼合母基板90的夾緊裝置150。例如， 夾緊裝置150如圖39所示，在主架111的框架111B上，為了夾緊定 位后的貼合母基板90上沿著其框架111B的側(cè)緣部而具有在長度方向 上隔開一定的間隔安裝的多個(gè)夾具151，以及為了夾緊定位后的貼合母 基板90上沿著基板送入側(cè)的側(cè)緣部而沿著與各主架111正交的方向隔 開一定的間隔配置的多個(gè)夾具151。圖49和圖50表示設(shè)置在主架111的框架111B上的多個(gè)夾具151， 為用于說明其動(dòng)作的立體圖。各夾具151為相同的結(jié)構(gòu)，具有安裝在 主架111的框架111B上的殼體151a，以及在該殼體151a上可從垂直 狀態(tài)轉(zhuǎn)動(dòng)到水平狀態(tài)地分別安裝的上下一對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)臂部151b。各轉(zhuǎn)動(dòng)臂 部151b能夠以各自的一個(gè)端部為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，成為各自的轉(zhuǎn)動(dòng)中心的端 部為彼此接近的狀態(tài)。位于上側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)臂部151b的前端部在垂直的狀 態(tài)下如圖49所示位于轉(zhuǎn)動(dòng)中心的上方，位于下側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)臂部151b的 前端部位在垂直狀態(tài)下位于轉(zhuǎn)動(dòng)中心的下方。而且，通過各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部 151b分別在貼合母基板90—側(cè)以90度的范圍轉(zhuǎn)動(dòng)，各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部151b 成為相互對(duì)置的水平狀態(tài)。在各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部151b的前端部上分別安裝有分別抵接在貼合母基板 92的上表面和下表面上的夾緊部151c。各夾緊部151c分別由彈性體 構(gòu)成。而且，各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部151b分別一體地從垂直狀態(tài)轉(zhuǎn)動(dòng)到水平狀態(tài)， 并且從水平狀態(tài)轉(zhuǎn)動(dòng)到垂直狀態(tài)。而且，當(dāng)各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部"lb轉(zhuǎn)動(dòng)到水 平狀態(tài)時(shí)，通過分別設(shè)置在各轉(zhuǎn)動(dòng)臂部151b的前端部上的夾緊部151c，如圖50所示將貼合母基板90夾緊。沿著與主架111的框架111B正交的方向配置的各夾具151也分別 為相同的結(jié)構(gòu)。這些夾具151也被一體地驅(qū)動(dòng)。貼合母基板90在相互 正交的各側(cè)緣部分別被多個(gè)夾具151夾緊的狀態(tài)時(shí)，所有的夾具151 向下方沉入，由第l基板支承部120A的同步皮帶121e支承。而且，對(duì)上述夾緊裝置150的配置是將保持貼合母基板90的夾緊 裝置150設(shè)在與主架111的框架111A和框架111B正交方向的基板送 入側(cè)的情況進(jìn)行了說明，但即使在夾緊裝置150僅設(shè)在框架111B上的 情況下，也能夠不損傷基板地良好保持貼合母基板90。雖然示出了上述的夾緊裝置150和夾具151的結(jié)構(gòu)應(yīng)用于本發(fā)明 的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中的一例。但并不僅限于此。即，只要是把持和保持 貼合母基板90上的側(cè)緣部的結(jié)構(gòu)即可。而且，在例如基板的尺寸較小 的情況下，能夠通過夾緊基板的側(cè)緣部的一個(gè)部位保持基板，不會(huì)在 基板上產(chǎn)生不良情況地分?jǐn)嗷?。在切割裝置導(dǎo)向架130上的上側(cè)導(dǎo)軌131上，如圖40所示，安裝 有上部基板分?jǐn)嘌b置160,而且，在下側(cè)導(dǎo)軌132上，如圖41所示， 安裝有與上部基板分?jǐn)嘌b置160的結(jié)構(gòu)相同、上下翻轉(zhuǎn)狀態(tài)的下部基 板分?jǐn)嘌b置170。上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170如上 所述，分別通過線性馬達(dá)沿著上側(cè)導(dǎo)軌131和下側(cè)導(dǎo)軌132滑動(dòng)。例如，在上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170上，對(duì) 貼合母基板90的上部玻璃基板進(jìn)行切割的刀輪162a旋轉(zhuǎn)自如地安裝 在刀架162b上，另外，刀架162b相對(duì)于由夾緊裝置150保持的貼合 母基板90的表面以垂直方向?yàn)檩S自由旋轉(zhuǎn)地安裝在刀頭162c上。而 且，刀頭162c通過未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著相對(duì)于貼合母基板90的表 面垂直方向自由移動(dòng)，通過未圖示的施力機(jī)構(gòu)在刀輪162a上施加適當(dāng) 的荷重。作為保持在刀架162b上的刀輪162a，例如特開平9-188534號(hào)公 報(bào)所公開的那樣，采用具有寬度方向的中央部成鈍角的V字型突出的 刀刃，在其刀刃上，沿著周向以規(guī)定的間距形成有規(guī)定高度的突起的 刀輪。設(shè)置在下側(cè)導(dǎo)軌132上的下部基板分?jǐn)嘌b置170的結(jié)構(gòu)與上部基 板分?jǐn)嘌b置160相同，在上部基板分?jǐn)嘌b置160上下翻轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，其刀輪16h(參照?qǐng)D41)配置成與上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a 相對(duì)置。上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a通過上述的施力機(jī)構(gòu)和刀頭 162c的移動(dòng)機(jī)構(gòu)壓接在貼合母基板90的表面上，下部基板分?jǐn)嘌b置 170的刀輪162a也通過上述的施力機(jī)構(gòu)和刀頭162c的移動(dòng)機(jī)構(gòu)壓接在 貼合母基板90的反面上。而且，通過使上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部 基板分?jǐn)嘌b置170同時(shí)向相同的方向移動(dòng)，貼合母基板90被分?jǐn)?。這種刀輪162a最好自由旋轉(zhuǎn)地支承在采用了 WO 03/011777中公 開的伺服馬達(dá)的刀頭165上。作為采用了伺服馬達(dá)的刀頭165的一例，圖51表示刀頭165的側(cè) 視圖，圖52中表示其主要部分的主視圖。在一對(duì)側(cè)壁165a之間以倒 立狀態(tài)保持有伺服馬達(dá)165b，在其側(cè)壁165a的下部，通過支軸165d 自由轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝有從一側(cè)觀察時(shí)為L字型的刀架保持件165c。在其刀 架保持件165c的前方(圖52中右方)安裝有刀架162b,經(jīng)由軸165e 支承刀輪162a,使其可自由旋轉(zhuǎn)。在伺服馬達(dá)165b的旋轉(zhuǎn)軸和支軸 165d上，相互嚙合地安裝有直傘齒輪165f。這樣一來，通過伺服馬達(dá) 165b的正反向旋轉(zhuǎn)，刀架保持件165c以支軸165d為支點(diǎn)進(jìn)行俯仰動(dòng) 作，刀輪162a上下移動(dòng)。這種刀頭165自身裝備在上部基板分?jǐn)嘌b置 160和下部基板分?jǐn)嘌b置170上。圖53為表示采用了伺服馬達(dá)的刀頭另一例的主視圖，伺服馬達(dá) 165b的旋轉(zhuǎn)軸直接連結(jié)在刀架保持件165c上。圖51和圖53的刀頭通過由位置控制使伺服馬達(dá)旋轉(zhuǎn)而使刀輪 162a升降來定位。在使刀頭向水平方向移動(dòng)，在貼合母基板90上形成 劃痕線的動(dòng)作中，預(yù)先由伺服馬達(dá)設(shè)定的刀輪162a的位置偏離時(shí)，這 些刀頭限制返回其設(shè)定位置地動(dòng)作的旋轉(zhuǎn)力矩，將相對(duì)于脆性材料基 板的劃痕線壓力傳遞到刀輪162a上。即，伺服馬達(dá)165b在控制刀輪 162a的垂直方向的位置的同時(shí)成為相對(duì)于刀輪162a的施力機(jī)構(gòu)。在采用備有上述的伺服馬達(dá)的刀頭對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切割時(shí)， 由于與刀輪162a承受的阻力的變動(dòng)產(chǎn)生的切割壓力的變化瞬時(shí)對(duì)應(yīng)地 修正伺服馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)力矩，可實(shí)施穩(wěn)定的切割，能夠形成品質(zhì)優(yōu)良的 劃痕線。另外，備有使對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切割的金剛石筆刀具或刀輪等54成的向貼合母基板90上的推壓力周期地 變化的機(jī)構(gòu)的刀頭也有效地適用于本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的母基板的 分?jǐn)?。上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170并不僅限于上述 的結(jié)構(gòu)。即，只要是對(duì)基板的正反面進(jìn)行加工，使基板分?jǐn)嗟慕Y(jié)構(gòu)的 裝置即可。例如，上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170可以是采 用激光，鉆石輪劃片、切削片，切刃，金剛石刀具等使母基板分?jǐn)嗟?裝置。在母基板為鋼板等金屬基板，木板，塑料基板，以及陶瓷基板， 玻璃基板，半導(dǎo)體基板等脆性材料基板的情況下，例如使用采用了激 光，鉆石輪劃片、切削片，切刃，金剛石刀具等分?jǐn)嗄富宓幕宸?斷裝置。另外，在分?jǐn)鄬⒁粚?duì)母基板貼合而成的貼合母基板，將不同的母 基板組合并貼合而成的貼合母基板，將多個(gè)母基板彼此組合并疊層而 成的基板的情況下，也使用與上迷的分?jǐn)嗄富宓难b置相同的基板分 斷裝置。而且，也可以在上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170 上配備輔助基板的分?jǐn)嗟姆謹(jǐn)噍o助機(jī)構(gòu)。作為分?jǐn)噍o助機(jī)構(gòu)的一例， 例如可列舉出使輥等推壓在基板上，或向基板噴射壓縮空氣，對(duì)基板 照射激光，以及向基板噴射熱風(fēng)鈍加溫(加熱)基板的機(jī)構(gòu)。另外，在上述的說明中，雖然對(duì)上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基 板分?jǐn)嘌b置170為相同結(jié)構(gòu)的情況進(jìn)行了說明，但也可以是因基板的 分?jǐn)喾绞交蚧宓姆謹(jǐn)鄺l件而結(jié)構(gòu)不同的裝置。關(guān)于這種結(jié)構(gòu)的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作，以分?jǐn)鄬⒋笮偷牟ＡО遒N 合而成的貼合基板的的情況的一例為主進(jìn)行說明。在將大型的玻璃基板相互貼合而成的貼合母基板90分?jǐn)喑啥鄠€(gè)顯 示面板90a (參照?qǐng)D55)時(shí)，首先，如圖54所示，從基板送入側(cè)的端 部通過輸送機(jī)械手等送入基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，將貼合母基板90以水平狀態(tài) 放置在笫1基板支承部120A的所以笫1基板支承單元121A的同步皮 帶121e上。當(dāng)成為這種狀態(tài)時(shí)，貼合母基板90被未圖示的推桿推壓，抵接在 沿著主架111的框架111B配置的未圖示的定位銷上，并且被未圖示的推桿推壓，抵接在沿著與其框架111B正交的方向配置的未圖示的定位 銷上。這樣一來，貼合母基板90凈皮定位在基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)上的架臺(tái)110 內(nèi)的規(guī)定位置。之后，如圖54所示，通過夾緊裝置150的各夾具151，貼合母基 板90沿著主架111的框架111B的側(cè)緣部分別被夾緊，并且通過在基 板送入側(cè)與框架111B正交地配置的各夾具151，位于基板送入側(cè)的貼 合母基板90的側(cè)緣部被夾緊。當(dāng)貼合母基板90相互正交的側(cè)緣部分別被夾緊裝置150夾緊時(shí)， 由于夾緊貼合母基板90的各夾具151因貼合母基板9G的自重而基本 上同時(shí)沉入，貼合母基板90成為由所有的第1基板支承單元121A的 同步皮帶121e輔助支承的狀態(tài)。當(dāng)成為這種狀態(tài)時(shí)，在第1基板支承部120A和第2基板支承部 120B的4個(gè)離合器單元210的離合器216結(jié)合在驅(qū)動(dòng)軸222上后，切 割裝置導(dǎo)向架130向基板送入側(cè)滑動(dòng)，成為由夾緊裝置150夾緊在水 平狀態(tài)的貼合母基板90上接近的側(cè)緣部上的規(guī)定位置。而且，切割裝 置導(dǎo)向架130上設(shè)置的第1光學(xué)裝置138和第2光學(xué)裝置139從各自 的待機(jī)位置沿著切割裝置導(dǎo)向架130移動(dòng)，從而對(duì)分別設(shè)置在貼合母 基板90上的第1校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)和第2校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像。通過切割裝置導(dǎo)向架130滑動(dòng)，第l基板支承部120A滑動(dòng)到基板 送入側(cè)，第2基板支承部120B向基板送入側(cè)滑動(dòng)，并且第1基板支承 部120A的第l基板支承單元121A的同步皮帶121e和第2基板支承部 120B的第2基板支承單元121B的同步皮帶121e以與切割裝置導(dǎo)向架 130的移動(dòng)速度相同的速度使貼合母基板90向與切割裝置導(dǎo)向架130 的移動(dòng)方向相反的方向移動(dòng)，從而在貼合每基板90保持在夾緊裝置 150上的狀態(tài)下，笫1基板支承部120A的第l基板支承單元121A的同 步皮帶121e和第2基板支承部120B的第2基板支承單元U1B的同步 皮帶121e不會(huì)滑動(dòng)接觸地支承在貼合母基板90上。然后，基于第1校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)和第2校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的攝像結(jié)果，由未圖示 的演算處理裝置通過演算求出由夾緊裝置150支承在水平狀態(tài)的貼合 母基板90沿著切割裝置導(dǎo)向架130的方向上的傾角，分?jǐn)嚅_始位置和 分?jǐn)嘟Y(jié)束位置，基于其演算結(jié)果，切割裝置導(dǎo)向架130也與上部基板 分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170 —起移動(dòng)，分?jǐn)噘N合母基板90(將其稱為直線插入的切割或者分?jǐn)?。在這種情況下，如圖55所示，通過使分別與貼合母基板90的正 面和反面對(duì)置的刀輪162a分別壓接在各正面和反面上滾動(dòng)，在貼合母 基板90的正面和反面上形成劃痕線。對(duì)于貼合母基板90而言，例如為了在沿著上側(cè)導(dǎo)軌131和下側(cè)導(dǎo) 軌132的列方向上將兩個(gè)面板基板90a分?jǐn)喑蓛闪?，從貼合母基板90 上分?jǐn)喑?個(gè)面板基板90a，沿著面板基板90a的側(cè)緣，分別使上部基 板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170的刀輪162a壓接地滾動(dòng)，在這種情況下，通過上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和下部基 板分?jǐn)嘌b置170的刀輪162a，在各玻璃基板上的各刀輪162a滾動(dòng)接觸 的部分上分別生成垂直裂紋，形成劃痕線。而且，在各刀輪162a的刀 刃上，由于在外周棱線上以規(guī)定的間距分別形成有突起部，所以在各 玻璃基板上，沿著厚度方向形成深達(dá)玻璃基板的厚度的約90%的垂直 裂紋。而且，備有使對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切割的金剛石筆刀具或刀輪等 切割刀具形成的向貼合母基板90上的推壓力周期地變化(振動(dòng))的機(jī)斷。作為對(duì)貼合母基板90的正反面進(jìn)行切割的方法，如圖56所示， 通常采用的現(xiàn)有的方法是，在沿著作為貼合母基板90的短邊方向的縱 向的切割預(yù)定線S1~S4，順序地形成了劃痕線后，沿著作為長邊方向 的橫向的切割預(yù)定線S5至S8順序地形成劃痕線。而且，除了上述的切割方法之外，在本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中也 能夠很好地實(shí)施圖57中所示的切割方法。圖57中，從一張貼合母基 板90形成四張面板基板90a。貼合母基板90為長方形，四張面板基板90a是沿著貼合母基板90 的長度方向形成兩張面板基板90a，同時(shí)沿著與長度方向正交的寬度方 向形成兩張面板基板90a。各面板基板90a是在與鄰接的面板基板90a 隔開適當(dāng)間隔的狀態(tài)下，而且與沿著貼合母基板90的長度方向的各側(cè) 緣和沿著寬度方向的各側(cè)緣分別隔開適當(dāng)間隔的狀態(tài)下形成的。通過使上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和下部基板分?jǐn)嘌b置 170的刀輪162a分別對(duì)置，并且壓接滾動(dòng)，按照每張面板基板90a，在貼合母基板90的正反面上依次形成遍及全周的劃痕線。在這種情況下，首先，相對(duì)于切割對(duì)象的面板基板90a，沿著貼合 母基板90的長度方向的一條直線狀的切割預(yù)定線Sl形成劃痕線。即， 使刀頭162c的刀輪162a沿著該切割預(yù)定線Sl壓接在貼合母基板90 的正反面上滾動(dòng)。此時(shí)，在圖58中，刀輪162a形成的切割開始點(diǎn)位于貼合母基板 90上的位置(內(nèi)切的位置)，但也可以位于沿著位于切割預(yù)定線Sl的 貼合母基板90的端面外側(cè)附近的位置(外切的位置)。當(dāng)沿著切割預(yù)定線Sl形成遍及厚度方向整體的垂直裂紋形成的劃 痕線時(shí)，通過同時(shí)使切割裝置導(dǎo)向架130向Y方向、使上部基板分?jǐn)?裝置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170向X方向移動(dòng)，刀輪162a形成半徑 為lmm左右的圓形軌跡地繞垂直軸轉(zhuǎn)向270度(圖58的角部A)。在刀輪162a轉(zhuǎn)向移動(dòng)中，由于刀輪162a相對(duì)于貼合母基板90的 壓接力降低，所以在貼合母基板90上不形成深的垂直裂紋。貼合母基 板90的板厚為0. 7mm時(shí)，在刀輪162a轉(zhuǎn)向移動(dòng)中，貼合母基板90上 形成的垂直裂紋的深度為100Mm~ 200 pm左右。如圖56所示，在通過刀輪162a進(jìn)行交叉切割時(shí)，貼合母基板90 容易在沿著第1方向切割，并沿著第2方向切割時(shí)形成的交叉劃痕線 的交點(diǎn)產(chǎn)生缺損。這種缺損是在已沿著第1方向進(jìn)行了切割后，由于在貼合母基板 90上形成基本上達(dá)到其板厚的垂直裂紋，在沿著第2方向的切割中刀 輪162a達(dá)到第1方向的劃痕線附近時(shí)，貼合母基板90在第1劃痕線 的前側(cè)沉入，在第1方向的劃痕線和笫2方向的劃痕線的交叉部，設(shè) 置在沿著第1方向的劃痕線的玻璃基板上時(shí)產(chǎn)生的。在圖57所示的切割方法中，使刀輪162a轉(zhuǎn)向，降低相對(duì)于貼合 母基板90的壓接力，與已形成的沿著切割預(yù)定線S的劃痕線交叉，在 劃痕線交叉前，貼合母基板90的一部分不會(huì)沉入，能夠防止劃痕線交 叉時(shí)貼合母基板90產(chǎn)生缺損。在刀輪162a的行進(jìn)方向轉(zhuǎn)向270度，刀輪162a成為沿著與切割 預(yù)定線Sl正交的面板基板90a的寬度方向的直線狀切割預(yù)定線S2的 狀態(tài)時(shí)，刀輪162a沿著切割預(yù)定線S2壓接滾動(dòng)。這樣一來，沿著切 割預(yù)定線S2形成遍及厚度方向整體的垂直裂紋形成的劃痕線。58之后，同樣地，使刀輪162a不離開貼合母基板90的正反面地在 角部B形成半徑為lmm左右的圓形軌跡，并且向與切割預(yù)定線S2正交 的方向轉(zhuǎn)向270度，成為沿著切割預(yù)定線S3的狀態(tài)，沿著切割預(yù)定線 S3形成遍及厚度方向整體的垂直裂紋形成的劃痕線。在此之后，同樣 地，使刀輪162a不離開貼合母基板90的正反面地在角部C形成半徑 為lmm左右的圓形軌跡，并且向與切割預(yù)定線S3正交的方向轉(zhuǎn)向270 度，成為沿著切割預(yù)定線S4的狀態(tài)，沿著切割預(yù)定線S4，在貼合母基 板90的正反面上形成遍及厚度方向整體的垂直裂紋形成的劃痕線，這樣一來，成為在面板基板90a的周圍形成了 4條直線狀劃痕線 形成的封閉曲線的狀態(tài)。之后，例如為了在貼合母基板90的長度方向 上形成鄰接的面板基板90a，同樣地，在其面板基板90a的周圍，遍及 全周地形成4條直線狀劃痕線形成的封閉曲線，進(jìn)而，相對(duì)于其余的 一對(duì)面板基板90a的每一個(gè)，依次遍及全周地形成4條直線狀劃痕線 形成的的封閉曲線。另外，除了上述的切割方法之外，在本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中， 也能夠良好地實(shí)施圖58所示的切割方法，圖58中，從一張貼合母基 板90形成四張面板基板90a。在圖58所示的切割方法中，以與上述同樣的方法形成沿著面板基 板90a上的相互正交的切割預(yù)定線Sl和S2的劃痕線。在沿著切割預(yù) 定線Sl形成劃痕線的情況下，使刀輪162a位于貼合母基板90的端面 外側(cè)附近，從此處開始連續(xù)地形成沿著切割預(yù)定線Sl的劃痕線。在切割開始之初，刀輪162a設(shè)置在貼合母基板90的正反面上時(shí) 產(chǎn)生的貼合母基板90的缺損不會(huì)影響成為制品的面板基板90a,而且，在角部A，形成圓形軌跡，并且向與切割預(yù)定線Sl正交的 方向轉(zhuǎn)向270度，成為沿著切割預(yù)定線S2的狀態(tài)，沿著切割預(yù)定線S2形成基本上遍及厚度方向整體的垂直裂紋形成的劃痕線。之后，在使刀輪162暫時(shí)離開貼合母基板90的正反面后，依次形 成沿著與切割預(yù)定線Sl正交方向的切割預(yù)定線S4和S3的劃痕線。在 這種情況下，在切割開始之初，刀輪162a設(shè)置在貼合母基板90的正 反面上時(shí)產(chǎn)生的貼合母基板90的缺損也不影響成為制品的面板基板 90a。這樣一來，成為在面板基板90a的周圍形成了 4條直線狀劃痕線的狀態(tài)。之后，例如為了在貼合母基板90的長度方向上形成鄰接的面 板基板90a，同樣地，在其面板基板90a的周圍，遍及全周地形成4條 直線狀劃痕線，進(jìn)而，相對(duì)于其余的一對(duì)面板基板90a的每一個(gè)，依 次遍及全周地形成4條直線狀的劃痕線形成的封閉曲線。在以上述的切割方法在貼合母基板上形成了劃痕線后，如圖59所 示，通過第2基板支承單元121B的同步皮帶121e,形成了劃痕線95 的貼合母基板90得到支承的狀態(tài)下，蒸氣單元部260向基板送入側(cè)移 動(dòng)，向刻有劃痕線的貼合母基板90的正反面整體噴射蒸氣，將貼合母 基板90完全分?jǐn)啵瑫r(shí)通過氣刀265除去殘存在噴射了蒸氣后的貼合 母基板90的正反面上的水分。通過向刻有劃痕線的貼合母基板90的正反面整體噴射蒸氣，由刀 輪162a形成的劃痕線因貼合母基板90的正反面部分被加熱而體積膨 脹，垂直裂紋從貼合母基板90上下的母基板的表面向貼合面一側(cè)伸展， 貼合母基板90被完全分?jǐn)唷Ｖ?，如圖59所示，從第2基板支承部120B的所有第2基板支 承單元121B的同步皮帶121e上的貼合母基板90分?jǐn)喑龅乃忻姘寤?板90由基板送出裝置180的送出機(jī)械手240送出，分?jǐn)嗪蟮馁N合母基 板90，(端材)得到支承。而且，基板送出裝置180和蒸氣單元部260向基板送入側(cè)的端部 移動(dòng)'之后，如圖60所示，切割裝置導(dǎo)向架130，第2基板支承部120B 和第l基板支承部120A向基板送出側(cè)滑動(dòng)。此時(shí)，第l基板支承單元 121A的同步皮帶121e和第2基板支承部120B的第2基板支承單元 121B的同步皮帶121e環(huán)繞移動(dòng)，4吏貼合母基板90以與切割裝置導(dǎo)向 架130的移動(dòng)速度相同的速度向基板送入方向移動(dòng)。因此，第1基板支承單元121A的同步皮帶121e和第2基板支承 部120B的基板支承單元121B的同步皮帶121e不會(huì)與分?jǐn)嗪蟮馁N合母 基板90'的下表面滑動(dòng)接觸地依次成為非接觸狀態(tài)，各同步皮帶121e 對(duì)分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，的支承被依次解除。而且，分?jǐn)嗪蟮馁N合 母基板90'(端材)被夾緊裝置150的保持解除，分?jǐn)嗪蟮馁N合母基 板90，(端材)落到下方。在這種情況下，落到下方的分?jǐn)嗪蟮馁N合 母基板90，(端材和碎屑)被以傾斜狀態(tài)配置的引導(dǎo)板導(dǎo)引而收放在碎屑收放箱、內(nèi)。另外，通過在切割裝置導(dǎo)向架130的上部基板分?jǐn)嘌b置160和下 部基板分?jǐn)嘌b置170的切割方法中采用以下說明的切割方法，能夠省 略蒸氣單元部260的貼合母基板的分?jǐn)喙ば?。在這種情況下，如圖61所示，刀輪162a沿著貼合母基板90的上 部母基板91和下部母基板92的分?jǐn)囝A(yù)定線壓接在母基板91和92上 并滾動(dòng)，對(duì)母基板91和92進(jìn)行切割。這樣一來，沿著母基板91和92 各自的厚度方向的垂直裂紋Vm沿著分?jǐn)囝A(yù)定線依次形成，形成主劃痕 線MS。垂直裂紋Vm形成為從母基板91和92的表面達(dá)到母基板91和 92各自的厚度的80%以上，優(yōu)選地是達(dá)到90%以上。之后，在通過分?jǐn)嗄富?1和92得到的面板基板的區(qū)域之外， 相對(duì)于主劃痕線MS隔開0. 5 ~ 1. Omm左右的間隔，使刀輪162a沿著主 劃痕線MS壓接在母基板91和92上滾動(dòng)，從而對(duì)母基板91和92進(jìn)行 切割。這樣一來，沿著主劃痕線MS依次形成沿著母基板91和92的厚 度方向的垂直裂紋Vs，形成輔助劃痕線SS。此時(shí)，刀輪162a壓接在母基板91和91上滾動(dòng)，其刀刃部咬入母 基板91和92的表面，在母基板91和92的表面部分上施加壓縮力， 在相對(duì)于已形成的主劃痕線MS上的垂直裂紋VM的表面部分上作用有 壓縮力。在這種情況下，形成主劃痕線MS的垂直裂紋Vm形成為深達(dá) 母基板91和92各自的厚度的80%以上，母基板91和92的表面部分 被壓縮，由于主劃痕線MS的垂直裂紋Vm成為母基板91和92的正面 部分上的間隙被壓縮的狀態(tài)，擴(kuò)大底面部分的間隔的狀態(tài)，所以垂直 裂紋Vm向母基板91和92的貼合面伸展。垂直裂紋Vm達(dá)到母基板91 和92的貼合面，在主劃痕線MS的整體上，成為垂直裂紋Vm達(dá)到母基 板91和92的貼合面的狀態(tài)，從而貼合母基板90沿著主劃痕線MS被 分?jǐn)?。輔助劃痕線SS優(yōu)選地是相對(duì)于主劃痕線MS隔開0. 5mm ~ 1. 0mm左 右的間隔形成。在輔助劃痕線SS相對(duì)于主劃痕線MS的間隔小于0. 5mm 的情況下，相對(duì)于形成主劃痕線MS的垂直裂紋的正面?zhèn)炔糠肿饔糜写?的壓縮力，有可能在垂直裂紋Vm的正面?zhèn)炔糠稚袭a(chǎn)生缺損等。相反， 當(dāng)其間隔大于l.Omm時(shí)，作用在主劃痕線MS的垂直裂紋Vm上的正面 側(cè)部分的壓縮力不充分，垂直裂紋Vm有可能不到母基板91和92的貼合面。如上所述，通過以規(guī)定的間隔形成主劃痕線MS和輔助劃痕線SS 雙重的劃痕線，從貼合母基板90上分?jǐn)喑龆鄠€(gè)顯示面板。圖62為說明采用這種主劃痕線MS和輔助劃痕線SS雙重的劃痕線 分?jǐn)噘N合母基板90的面板基板90a的切割方式的附圖。使上部基板分 斷裝置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170各自的刀輪162a為沿著貼合母基 板90上的基板送出側(cè)的兩個(gè)面板基板90a的基板送出側(cè)的側(cè)緣的狀 態(tài)，雙重的劃痕線(主劃痕線MS和輔助劃痕線SS)沿著兩個(gè)面板基板 90a的基板送出側(cè)的側(cè)緣形成。之后，沿著貼合母基板90上的基板送出側(cè)的兩個(gè)面板基板90a上 的基板送入側(cè)的各側(cè)緣形成主劃痕線MS2和輔助劃痕線SS2。當(dāng)成為貼 合母基板90上的基板送出側(cè)的兩個(gè)面板基板90a上的基板送出側(cè)和基 板送入側(cè)的各側(cè)緣部被分?jǐn)嗟臓顟B(tài)時(shí)，切割裝置導(dǎo)向架130向基板送 出側(cè)厚度，使各刀輪162a位于貼合母基板90的基板送出側(cè)的上緣部 上。而且，上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170沿著上側(cè) 導(dǎo)軌131和下側(cè)導(dǎo)軌132厚度，使上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板 分?jǐn)嘌b置170的刀輪162a位于接近主架111的框架111A的基板送出 側(cè)的面板基板90a上的接近其主架111的側(cè)緣的延長線上。而且，沿 著其側(cè)緣的延長線形成雙重的劃痕線(主劃痕線MS3和輔助劃痕線 SS3)，成為接近主架111的框架111A的基板送出側(cè)的面板基板上接 近其框架111A的側(cè)緣被分?jǐn)嗟臓顟B(tài)。以后，同樣地，通過與框架111A平行地分別形成雙重的劃痕線(主 劃痕線MS4 ~ MS6和輔助劃痕線SS4 ~ SS6 )，分別分?jǐn)辔挥诨逅统鰝?cè) 的各面板基板90a的沿著框架111A的方向上的側(cè)緣。之后，對(duì)于沿著上側(cè)導(dǎo)軌131和下側(cè)導(dǎo)軌132的其他兩列的每個(gè) 面板基板90a來說，也沿著面板基板90a的側(cè)緣形成雙重的劃痕線(主 劃痕線MS7~MS12和輔助劃痕線SS7~SS12)，從而各面板基板90a 的側(cè)緣被分?jǐn)?。在上述的說明中，以分別單獨(dú)地形成雙重的劃痕線的情況為例進(jìn) 行了說明，但并不僅限于這種方法。即，只要是沿著各面板基板90a 的側(cè)緣形成雙重的劃痕線即可，例如，可以是由一條劃痕線在各面板 基板90a的側(cè)緣上形成雙重的劃痕線。62圖63為說明采用主劃痕線MS和輔助劃痕線SS雙重的劃痕線，從 貼合母基板90上分?jǐn)喑雒姘寤?0a的切割方式的俯視圖。在該例中， 貼合母基板90的母基板91和92沿著第1~第8分?jǐn)囝A(yù)定線D1-D8依 次凈皮分?jǐn)啵瑥亩瞥?行x2列的4個(gè)面板基板90a。第1分?jǐn)囝A(yù)定線D1與第l行的兩個(gè)面板基板90a上沿著行方向(橫 向)的側(cè)緣相對(duì)應(yīng)地相對(duì)貼合母基板90的沿著行方向的一個(gè)側(cè)緣設(shè)有 一定的間隔。第2分?jǐn)囝A(yù)定線D2對(duì)應(yīng)于第l行的2個(gè)面板基板90a上 接近第2行的面板基板90a的側(cè)緣。第3分?jǐn)囝A(yù)定線D3與沿著第2行 的兩個(gè)面板基板90a上接近第1行的面板基板90a的側(cè)緣相對(duì)應(yīng)地與 第2分?jǐn)囝A(yù)定線D2隔開2-4邁m的間隔。第4分?jǐn)囝A(yù)定線D4與笫2行 的兩個(gè)面板基板90a上沿著行方向(橫向)的側(cè)緣相對(duì)應(yīng)地相對(duì)貼合 母基板90上沿著行方向的另 一個(gè)側(cè)緣設(shè)有一定的間隔。笫5分?jǐn)囝A(yù)定線D5與第l行的兩個(gè)面板基板90a上沿著列方向(縱 向)的側(cè)緣相對(duì)應(yīng)地相對(duì)貼合母基板90的沿著列方向的一個(gè)側(cè)緣設(shè)有 一定的間隔。第6分?jǐn)囝A(yù)定線D6對(duì)應(yīng)于第l列的2個(gè)面板基板90a上 接近第2列的面板基板90a的側(cè)緣。第7分?jǐn)囝A(yù)定線D7與沿著第2列 的兩個(gè)面板基板90a上接近第1列的面板基板90a的側(cè)緣相對(duì)應(yīng)地與 第6分?jǐn)囝A(yù)定線D6隔開2-4mm的間隔。笫8分?jǐn)囝A(yù)定線D8與第2行 的兩個(gè)面板基板90a上沿著列方向(縱向)的側(cè)緣相對(duì)應(yīng)地相對(duì)貼合 母基板90的沿著列方向的另 一個(gè)側(cè)緣設(shè)有一定的間隔。在分?jǐn)噙@種貼合母基板90時(shí)，首先，相對(duì)于貼合母基板90，使刀 輪162a沿著第1 ~第4分?jǐn)囝A(yù)定線Dl ~ D4依次在壓接狀態(tài)下滾動(dòng)。這 樣一來，分別形成從貼合母基板90上下的母基板91和92的表面深達(dá) 母基板91和92各自的厚度的90%以上的垂直裂紋形成的第1~第4 主劃痕線MS13~MS16。當(dāng)成為這種狀態(tài)時(shí)，使刀輪162沿著第5分?jǐn)囝A(yù)定線D在壓接狀 態(tài)下滾動(dòng)。這樣一來，沿著第5分?jǐn)囝A(yù)定線D5形成第5主劃痕線MS17。以后，同樣地，使刀輪162a沿著第6 ~第8分?jǐn)囝A(yù)定線D6 ~ D8依 次在壓接狀態(tài)下滾動(dòng)，沿著笫6~笫8分?jǐn)囝A(yù)定線 D6 D8依次分別 形成第6~第8主劃痕線MS18-MS20。部上，相對(duì)于第1主劃痕線MS13隔開0. 5 1.0mm左右的間隔，使刀 輪162a在壓接狀態(tài)下滾動(dòng)，從而沿著第1主劃痕線MS13形成第1輔 助劃痕線SS13。這樣一來，第1主劃痕線MS13上的垂直裂紋向貼合母 基板90的母基板91和92的貼合面伸展，達(dá)到母基板91和92的貼合 面。由于該作用在笫1主劃痕線MS13整體上產(chǎn)生，所以貼合母基板90 沿著第1主劃痕線MS13被分?jǐn)唷Ｈ缓?，在相?duì)于第2主劃痕線MS14與面板基板90a相反一側(cè)的區(qū) 域上，相對(duì)于第2主劃痕線MS14隔開0. 5 1.0mm左右的間隔，通過 刀輪162a沿著第2主劃痕線MS14形成第2輔助劃痕線SS14。這樣一 來，第2主劃痕線MS14上的垂直裂紋伸展到從貼合母基板90的母基 板91和92的表面達(dá)到貼合母基板90的母基板91和92的貼合面，由 于在第2主劃痕線MS14的整體上垂直裂紋達(dá)到母基板91和92的貼合 面上，所以貼合母基板90沿著第2主劃痕線MS14被分?jǐn)?。通過沿著第3主劃痕線MS15和第4主劃痕線MS16分別在與面板 基板90相反一側(cè)上形成第3輔助劃痕線SS15和第4輔助劃痕線SS16, 貼合母基板90依次沿著第3主劃痕線MS15和第4主劃痕線MS16被分 斷。之后，通過沿著第5主劃痕線MS17 笫8主劃痕線MS20，在與面 板基板90a—側(cè)相反一側(cè)，分別在第1主劃痕線MS13和第2主劃痕線 MS14之間、笫3主劃痕線MS15和笫4主劃痕線MS16之間形成第5輔 助劃痕線SS17 ~第8輔助劃痕線SS20，貼合母基板90沿著第5主劃 痕線MS17 ~第8主劃痕線MS20被分?jǐn)?，除去不要的部分而得?個(gè)面 板基板90a。另外，在這種情況下，在貼合母基板90的端面之間、即從貼合母 基板90的一個(gè)端面形成到對(duì)置的另一個(gè)端面的分?jǐn)囝A(yù)定線D1~D8的 整體上形成有第1~第8主劃痕線MS13~MS20，而且，從貼合母基板 90的端面或者被分?jǐn)嗟囊粋€(gè)分?jǐn)嗝娴綄?duì)置的另一個(gè)端面或者另一個(gè)分 斷面之間，分別形成有第1~第8輔助劃痕線SS13 SS20。這樣，并不限于在貼合母基板90的端面之間形成的分?jǐn)囝A(yù)定線 D1~D8的整體上形成第1~第8主劃痕線MS13 MS20，在從貼合母基 板90的一個(gè)端面到對(duì)置的另一個(gè)端面，分別形成第1~第4輔助劃痕 線SS13-SS16,從貼合母基板90的一個(gè)分?jǐn)嗝娴綄?duì)置的另一個(gè)分?jǐn)嗝?，分別形成第5~第8輔助劃痕線、SS17-SS20的方法。也可以如圖 64所示，使從母玻璃基板10的一個(gè)端面隔開0. 2~0. 5mm左右的適當(dāng) 間隔的位置為第1~笫8主劃痕線MS13~MS20的開始位置，同樣地， 使相對(duì)于另一個(gè)端面0. 2~0. 5mm左右前側(cè)的位置為第1~第8主劃痕 線MS13 MS20的終點(diǎn)位置。在這種情況下，當(dāng)為了形成第1~第8主劃痕線MS13 MS20而使 刀輪162a分別壓接在貼合母基板90的母基板91和92上滾動(dòng)，實(shí)施 切割時(shí)，由于垂直裂紋相對(duì)于切割開始位置向切割方向的前后方向伸 展，所以形成的第1~第8主劃痕線MS13~MS20達(dá)到貼合母基板90 的母基板91和92的一個(gè)端面。同樣地，即使第1~第8主劃痕線MS13 MS20的切割結(jié)束位置在 貼合母基板90的母基板91和92的另一個(gè)端面的前側(cè)，由于母基板91 和92的垂直裂紋向切割方向伸展，所以形成的第1~第8主劃痕線 MS13 MS20達(dá)到母基板91和92的另一個(gè)端面。這樣一來，第1 ~第8輔助劃痕線SS13 ~ SS20也無需分別在從母 基板91和92的一個(gè)端部或者被分?jǐn)嗟囊粋€(gè)分?jǐn)嗝娴綄?duì)置的另一個(gè)端 面或者分?jǐn)嗝嬷g形成。可以如圖64所示，使從貼合母基板90的母 基板91和92的一個(gè)端面或者被分?jǐn)嗟囊粋€(gè)分?jǐn)嗝娓糸_0. 2 ~ 0. 5,左 右的適當(dāng)間隔的位置為第1~第8輔助劃痕線SS13 SS20的開始位置， 同樣地，使相對(duì)于另一個(gè)端面或者分?jǐn)嗝?.2第0. 5mm左右的前側(cè)位 置為笫1~第8輔助劃痕線SS13 SS20的終點(diǎn)位置。另外，還可以從貼合母基板的母基板91和92的一個(gè)端面或者一 個(gè)分?jǐn)嗝娴侥富?1和92的另一個(gè)端面或者分?jǐn)嗝嫘纬傻?~第8主 劃痕線MS13-MS20和第1~笫8輔助劃痕線SS13-SS20的任一種，從 與貼合母基板90的母基板91和92的一個(gè)端面或者一個(gè)分?jǐn)嗝孢m當(dāng)分 離的位置到另一個(gè)端面或者母基板91和92的另一個(gè)分?jǐn)嗝媲皞?cè)形成 第1~第8主劃痕線MS13 MS20和第1~笫8輔助劃痕線SS13~SS20 的另一種。圖65為說明從貼合母基板90上分?jǐn)喑雒姘寤?0a的其他切割 方式的俯視圖。在這種方法中，通過刀輪162a，沿著貼合母基板90 上橫向的第1和第2分?jǐn)囝A(yù)定線Dl和D2,分別由從貼合母基板90的 母基板91和92的正面深達(dá)母基板91和92各自的厚度的90%以上的垂直裂紋形成第l和第2主劃痕線MS13和MS14。之后，在第l和第2 主劃痕線MS13HE 14之間的區(qū)域，通過刀輪162a沿著縱向的第5分?jǐn)?預(yù)定線D5形成第5主劃痕線MS17，并且相對(duì)于該第5主劃痕線MS17 隔開0.5-1.Omm左右的間隔，在與面板基板90a—側(cè)相反的一側(cè)上形 成第5輔助劃痕線SS17。在這種情況下，第5主劃痕線MS17和第5輔助劃痕線MS17分別 與已形成的第1和第2主劃痕線MS13和MS14交叉，為了以一次切割 連續(xù)地形成第5主劃痕線MS17和第5輔助劃痕線SS17，第5主劃痕線 MS17越過第2主劃痕線MS14后，翻轉(zhuǎn)180度，形成第5輔助劃痕線 SS17。以后，同樣地，在第l和第2主劃痕線MS13和MS14之間的區(qū)域， 通過刀輪162a沿著第6分?jǐn)囝A(yù)定線D6形成笫6主劃痕線MS18，并且 翻轉(zhuǎn)而連續(xù)地在與面板基板90a —側(cè)相反的一側(cè)上形成第6輔助劃痕 線SS18，進(jìn)而同樣地依次形成第7主劃痕線MS19和笫7輔助劃痕線 SS19,第8主劃痕線MS20和第8輔助劃痕線SS20。由于第5至第8主 劃痕線MS17 MS20和第5至笫8輔助劃痕線SS17 SS20通過第1和 第2主劃痕線MS13和MS14，分別形成第l和第2主劃痕線MS13和MS14 的垂直裂紋在第1和第2主劃痕線MS13和MS14的整體上可靠地達(dá)到 貼合母基板90的母基板91和92的貼合面。因此，貼合母基板90可 靠地沿著第1和第2主劃痕線MS13和MS14分?jǐn)?，得到一?duì)面板基板 90a。在該時(shí)刻，分?jǐn)喑梢粚?duì)面板基板90a之前，貼合母基板90的未分 斷的區(qū)域?yàn)榈?基板部分90c。然后，如圖65(b)所示，使刀輪162a沿著貼合母基板90上橫向 的第3和第4分?jǐn)囝A(yù)定線D3和D4壓接在由笫2主劃痕線MS14分?jǐn)嗟?第2基板部分90c上滾動(dòng)，分別形成從貼合母基板90的母基板91和 92的表面深達(dá)母基板91和92各自的厚度的90%以上的垂直裂紋形成 的第3和第4主劃痕線MS15和MS16。之后，在第3和第4主劃痕線 MS15和MS16之間的區(qū)域，分別與笫3和第4主劃痕線MS15和MS16 交叉地，在面板基板90a的外側(cè)依次形成沿著縱向的第9分?jǐn)囝A(yù)定線 D9的第9主劃痕線MS21和笫5輔助劃痕線SS21，沿著第10分?jǐn)囝A(yù)定 線D10的笫10主劃痕線MS22和第10輔助劃痕線SS22,沿著第11分?jǐn)囝A(yù)定線Dll的第11主劃痕線MS23和第ll輔助劃痕線SS23，以及沿 著的第12分?jǐn)囝A(yù)定線D12的第12主劃痕線MS24和第12輔助劃痕線 'SS24。這樣一來，第2基板部分90c被分?jǐn)?，分?jǐn)喑鲆粚?duì)面板基板90a。另外，第5~第12各輔助劃痕線SS21-SS24不必與第1和笫3主 劃痕線MS13和MS15交叉，例如，可如圖66所示，卩吏相對(duì)于第1和笫 3主劃痕線MS13和MS15前側(cè)0. 2~ 0. 5mm左右的位置為第5 ~第12各 輔助劃痕線SS17~SS24的終點(diǎn)位置。在這種情況下，形成第5~第12 各輔助劃痕線SS17~SS24的垂直裂紋也向切割方向伸展。而且，成為 第5~第12各主劃痕線MS17 MS24在各主劃痕線MS17~MS24的整體 上被分?jǐn)嗟臓顟B(tài)。這樣，在使劃痕線彼此交叉而分?jǐn)嗷宓那闆r下，如圖67所示， 在貼合母基板90上分別沿著第1~笫4各分?jǐn)囝A(yù)定線D1 D4形成了主 劃痕線MS13 MS16之后，為了與第1主劃痕線MS13和笫4主劃痕線 MS16分別交叉，以一次切割連續(xù)地形成主劃痕線和輔助劃痕線的方式， 在越過了第4主劃痕線MS16后，翻轉(zhuǎn)180度，連續(xù)地形成第5主劃痕 線MS17和第5輔助劃痕線SS17，第6主劃痕線MS18和第5輔助劃痕 線SS18，第7主劃痕線MS19和第7輔助劃痕線SS19，以及第8主劃 痕線MS20和第8輔助劃痕線SS20。圖68為說明采用主劃痕線MS和輔助劃痕線SS雙重的劃痕線從貼 合母基板90上分?jǐn)喑鲲@示面板90a的切割方式的示意俯視圖。首先， 通過圖57所示的切割方法，相對(duì)于面板基板90a形成沿著切割預(yù)定線 S1-S4的4條劃痕線(以下，將遍及面板基板90a全周的4條直線狀 劃痕線作為主劃痕線DS1)。之后，相對(duì)于該主劃痕線DS1，在面板基 板90a的外側(cè)隔開0. 5mm~ lmm左右的間隔，與主劃痕線DS1平行地形 成4條直線狀副劃痕線DS2。這樣，當(dāng)相對(duì)于主劃痕線DS1隔開0. 5mm~ lmm左右的間隔形成副 劃痕線DS2時(shí)，在副劃痕線DS2形成時(shí)，在貼合母基板90的正面上沿 著與切割方向的形成方向正交的水平方向施加應(yīng)力，在已形成的、形成主劃痕線DS1的垂直裂紋的表面部分上作用有壓縮力。這樣，當(dāng)在 形成主劃痕線DS1的垂直裂紋的表面部分上作用有壓縮力時(shí)，在垂直 裂紋的底部上，沿著擴(kuò)大垂直裂紋的寬度的方向作用有反作用力。這 樣一來，垂直裂紋向貼合母基板90的厚度方向伸展，垂直裂紋達(dá)到貼合母基板90的母基板91和92的貼合面。另外，在這種情況下，也可以如圖69所示，在形成了主劃痕線DS1 之后，不使刀輪162a離開貼合母基板90的正反面地與主劃痕線DS1 連續(xù)地形成副劃痕線DS2。另外，如圖58所示，在沿著切割預(yù)定線Sl和S2形成了劃痕線之 后，沿著切割預(yù)定線S4和S2形成劃痕線的情況下，也可以如圖70所 示，在形成了主劃痕線DS1之后形成副劃痕線DS2。而且，作為分?jǐn)嗷宓姆椒ǎ缟纤?，以在將基板為脆性材?基板的一種的玻璃基板貼合而成的貼合母基板上形成雙重的劃痕線的 方法為例進(jìn)行了說明。但并不僅限于此，在基板為鋼板等金屬基板、 木板、塑料基板、以及陶瓷基板、玻璃基板、半導(dǎo)體基板等脆性材料 基板的情況下，例如使用采用激光、鉆石輪劃片、切削片、切刃、金 剛石刀具等基板的分?jǐn)喾椒?。另外，基板除了母基板之外，包括將母基板彼此組合而并貼合而 成的貼合基板，將不同的母基板組合并貼合而成的貼合基板，以及將 母基板組合并疊層的基板。 (實(shí)施方式3)圖71為表示本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)其他實(shí)施方式的一例的整體示 意立體圖，圖72為其基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的俯視圖，圖73為其基板分?jǐn)嘞?統(tǒng)的側(cè)視圖。另外，在本發(fā)明中，r基板」包括要分?jǐn)喑啥鄠€(gè)基板的 母基板，而且包括鋼板的金屬基板，木板，塑料基板以及陶瓷基板， 半導(dǎo)體基板，玻璃基板等脆性材料基板等單板。另外，并不僅限于這 種單板，也包括將一對(duì)基板彼此貼合而成的貼合基板，將一對(duì)基板彼 此疊層的疊層基板。本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)例如是在制造一對(duì)玻璃基板相互貼合而成 的液晶顯示裝置的面板基板(顯示面板用貼合基板)時(shí)，通過該基板 分?jǐn)嘞到y(tǒng)，將一對(duì)母玻璃基板相互貼合而成的貼合母基板90分?jǐn)喑啥?張面板基板(顯示面板用貼合基板)。本實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)300備有定位單元部320，切割單元 部340。升降輸送部360，蒸氣裂片單元部380，基板輸送單元部400， 面板翻轉(zhuǎn)單元部420，以及面板端子分離部440。在本實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)300中，將配置定位單元部320的一側(cè)作為基板送入側(cè)，將配置有面板端子分離部440的一側(cè)作為基 板送出側(cè)進(jìn)行以下的說明。而且，在本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)300中， 基板送出的方向(基板的流動(dòng)方向)為從基板送入側(cè)朝向基板送出側(cè) 的+Y方向。而且，該基板送出的方向?yàn)橄鄬?duì)于切割單元部340的切割 裝置導(dǎo)向架342以水平狀態(tài)正交的方向，切割裝置導(dǎo)向架342沿著X 方向i殳置。
以將貼合母基板90作為作為基板進(jìn)行分?jǐn)嗟那闆r為例進(jìn)行以下的 說明。首先，通過前道工序的輸送裝置(未圖示)將貼合母基板90向 定位單元部320送入。之后，定位單元部320將貼合母基板90放置在 切割單元部340的第1基板支承部341A上，將貼合母基板90定位在 第l基板支承部341A上。
定位單元部320如圖74所示，備有經(jīng)由支柱328在Y方向上沿著 架臺(tái)330的一個(gè)側(cè)緣在架臺(tái)330的上方延伸的導(dǎo)桿326，以及與導(dǎo)桿 326平行地沿著架臺(tái)330的另一個(gè)側(cè)緣延伸的導(dǎo)桿327。而且，在導(dǎo)桿 326和導(dǎo)桿327之間的架臺(tái)330的基板送入側(cè)，備有在架臺(tái)330的上方 經(jīng)由支柱328沿著X方向延伸的導(dǎo)桿325。
在導(dǎo)桿325和導(dǎo)桿326上分別設(shè)置有在對(duì)貼合母基板90進(jìn)行定位 時(shí)作為基準(zhǔn)的多個(gè)基準(zhǔn)輥323，在導(dǎo)桿327上備有在對(duì)貼合母基板90 進(jìn)行定位時(shí)將貼合母基板90向?qū)U326上備有的基準(zhǔn)輥323推入的多 個(gè)推桿324。
在架臺(tái)330的上方，在導(dǎo)桿326和導(dǎo)桿327之間，以規(guī)定的間隔 設(shè)置多個(gè)吸引墊座321，這些吸引墊座321由設(shè)置于架臺(tái)330的導(dǎo)桿 326 —側(cè)的上表面上的升降裝置322和設(shè)置在架臺(tái)330的導(dǎo)桿327 —側(cè) 的上表面上的升降裝置322保持。
在吸引墊座321上備有多個(gè)吸引座321a，這些吸引座321a從前道 工序的輸送裝置(未圖示)上接收貼合母基板90，通過未圖示的吸引 裝置吸引貼合母基板90而將其吸附。
切割單元部340的第1基板支承部341A向基板送入側(cè)移動(dòng)，成為 在定位單元部320的位置待機(jī)的狀態(tài)，在該待機(jī)狀態(tài)的第1基板支承 部341A中，通過升降裝置322，保持著貼合母基板90的多個(gè)吸引墊座 321沉入，將貼合母基板90放置在第l基板支承部341A上。
切割單元部340是從實(shí)施方式2的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)100中去掉了基板送出裝置180和蒸氣單元部260，其他的機(jī)械結(jié)構(gòu)與實(shí)施例l相同。
切割單元部340的切割裝置導(dǎo)向架432與第1基板支承部341A和 第2基板支承部341B結(jié)合在一起，隨著切割裝置導(dǎo)向架342向Y方向 的移動(dòng)，同時(shí)，第1基板支承部341A和第2基板支承部341B向與切 割裝置導(dǎo)向架342相同的方向移動(dòng)。
在第1基板支承部341A和笫2基板支承部341B上分別備有多個(gè) 第1基板支承單元344A和第2基板支承單元344B，分別可向切割裝置 導(dǎo)向架342的移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)。各第l基板支承單元344A和 各第2基板支承單元344B分別構(gòu)成沿著相對(duì)于框架343A和框架343B 平行的方向(Y方向)的直線狀。
設(shè)置在第1基板支承部341A上的一個(gè)第1基板支承單元344A與 實(shí)施方式2的圖43中所示的第1基板支承單元121A相同，第1基板 支承單元344A上備有的同步皮帶在第1基板支承部341A上備有的齒 條與驅(qū)動(dòng)軸連結(jié)時(shí)環(huán)繞移動(dòng)。
第l基板支承單元344A隔開規(guī)定的間隔設(shè)置有多個(gè)，與切割裝置 導(dǎo)向架342 —起沿著^醫(yī)架343A和343B向Y方向移動(dòng)。
使這種結(jié)構(gòu)的笫1基板支承單元344A的同步皮帶環(huán)繞移動(dòng)的機(jī)構(gòu) 與實(shí)施方式2的圖44至圖46相同，在圖44中，框架111A和框架111B 分別為本實(shí)施方式3中的框架343A和343B。
如圖44所示，備有使設(shè)置在第1基板支承部341A上的多個(gè)第1 基板支承單元344A的驅(qū)動(dòng)用同步滑輪旋轉(zhuǎn)，使同步皮帶環(huán)繞移動(dòng)的離 合器配備在框架434A和343B —側(cè)。
如圖73所示，支承第1基板支承單元344A的框架343A —側(cè)的支 柱345和框架343B —側(cè)的支柱345保持在引導(dǎo)座347上，由于在保持 支承切割裝置導(dǎo)向架342的兩端的支柱346的引導(dǎo)座347上安裝有線 性馬達(dá)的可動(dòng)元件(未圖示)，所以通過線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)，切割裝置 導(dǎo)向架342向基板送入側(cè)移動(dòng)，同時(shí)第l基板支承部341A的多個(gè)第1 基板支承單元344A向基板送入側(cè)移動(dòng)。
在移動(dòng)裝置導(dǎo)向架342移動(dòng)時(shí)，與和圖45同樣地安裝的各個(gè)齒條 嚙合的框架343A —側(cè)的離合器單元的小齒輪和框架343B —側(cè)的小齒 輪旋轉(zhuǎn)。
為了使第l基板支承單元344A的驅(qū)動(dòng)用同步滑輪旋轉(zhuǎn)，使同步皮帶旋轉(zhuǎn)，既可以使框架343A和框架343B雙方的離合器與傳遞小齒輪 的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸連結(jié)，也可以使框架343A或框架343B的某一個(gè)離合 器與傳遞小齒輪的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸連結(jié)。
第2基板支承部341B備有多個(gè)可向與切割裝置導(dǎo)向架342的移動(dòng) 方向相同的方向移動(dòng)的第2基板支承單元344B。這種第2基板支承單 元344B的結(jié)構(gòu)與第l基板支承單元344A相同，相對(duì)于切割裝置導(dǎo)向 架342對(duì)稱，Y方向的安裝方向相反，由框架343A—側(cè)的支柱345和 框架343B —側(cè)的支柱345支承，各自的支柱保持在引導(dǎo)座347上。
由于在保持支承切割裝置導(dǎo)向架342的兩端的支柱346的引導(dǎo)座 347上安裝有線性馬達(dá)的可動(dòng)元件(未圖示)，所以通過線性馬達(dá)的驅(qū) 動(dòng)，切割裝置導(dǎo)向架342向基板送入側(cè)移動(dòng)，同時(shí)第2基板支承部341B 的多個(gè)第2基板支承單元344B向基板送入側(cè)移動(dòng)。
在第2基板支承部341B的框架343A —側(cè)和框架343B —側(cè)上備有 與第l基板支承部341A相同的離合器單元，在切割裝置導(dǎo)向架342移 動(dòng)時(shí)，與沿著框架343A和343B安裝的各自的齒條嚙合的框架343A — 側(cè)的離合器單元的小齒輪與框架343B —側(cè)的離合器單元的小齒輪旋 轉(zhuǎn)，
為了使第2基板支承單元344B的驅(qū)動(dòng)用同步滑輪旋轉(zhuǎn)，使同步皮 帶旋轉(zhuǎn)，既可以使框架343A —側(cè)和框架343B —側(cè)雙方的離合器與傳 遞小齒輪的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸連結(jié)，也可以使框架343A或者框架343B的 某一個(gè)的離合器與傳遞小齒輪的旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸連結(jié)。
另外，在架臺(tái)350的上方設(shè)置有夾緊支承在第l基板支承部341A 上的貼合母基板90的夾緊裝置351。例如，夾緊裝置351如圖71所示， 備有為了夾緊貼合母基板90上沿著框架343B的側(cè)緣部而隔開一定的 間隔安裝在框架343B上的多個(gè)夾緊裝置351，以及為了夾緊貼合母基 板90上的基板送入側(cè)的側(cè)緣部而沿著與框架343B正交的方向隔開一 定的間隔配置的多個(gè)夾緊裝置351。
由于各夾緊裝置351的動(dòng)作和實(shí)施方式2的圖49和圖50中所說 明的動(dòng)作相同，所以在此省略其動(dòng)作的說明。
而且，夾緊裝置351的配置并不僅限于在框架343B和與框架343B 正交的方向上的基板送入側(cè)備有保持貼合母基板90的夾緊裝置351的 情況，即使是僅在框架343B上備有夾緊裝置351的情況下，貼合母基板90也不受損傷地得到保持。
上述的夾緊裝置351示出了用于本發(fā)明的基板分?jǐn)嘌b置中的一例， 但并不僅限于此。即，只要是把持或者保持貼合母基板90上的側(cè)緣部 的結(jié)構(gòu)即可。而且，例如在基板尺寸較小的情況下，通過夾緊基板的 側(cè)緣部的一個(gè)部位保持基板，能夠不在基板上產(chǎn)生不良情況地分?jǐn)嗷?板。
在切割裝置導(dǎo)向架342上的上側(cè)導(dǎo)軌352上安裝有實(shí)施方式2的 圖40所示的上部基板分?jǐn)嘌b置160，而且，在下側(cè)導(dǎo)軌354上安裝有 結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式2的圖41所示的上部基板分?jǐn)嘌b置160相同、上下翻 轉(zhuǎn)狀態(tài)的下部基板分?jǐn)嘌b置170。上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分 斷裝置170分別通過線性馬達(dá)沿著上側(cè)導(dǎo)軌352和下側(cè)導(dǎo)軌353滑動(dòng)。
例如，在上部基板分?jǐn)嘌b置160以及下部基板分?jǐn)嘌b置170上， 與實(shí)施方式2的圖40和圖41所示相同的、對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切割 的刀輪162a旋轉(zhuǎn)自如地安裝在刀架162b上，另外，刀架162b以相對(duì) 于由夾緊裝置351保持的貼合母基板90的正反面垂直的方向?yàn)檩S旋轉(zhuǎn) 自如地安裝在刀頭162c上。而且，刀頭162c通過未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 沿著相對(duì)于貼合母基板90的正反面垂直的方向自由移動(dòng)，在刀輪162a 上，通過未圖示的施力機(jī)構(gòu)施加適當(dāng)?shù)暮芍亍?br> 作為保持在刀架162b上的刀輪162a,例如象特開平9-188534號(hào) 公報(bào)所示，采用具有寬度方向的中央部成鈍角的V字型突出的刀刃， 在其刀刃上，沿著刀刃棱線以規(guī)定的間距形成有規(guī)定高度的突起的刀 輪。
設(shè)置在下側(cè)導(dǎo)軌353上的下部基板分?jǐn)嘌b置170的結(jié)構(gòu)與上部基 板分?jǐn)嘌b置160相同，在將上部基板分?jǐn)嘌b置160上下翻轉(zhuǎn)的狀態(tài)下， 其刀輪162a(參照?qǐng)D41)配置成與上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a 對(duì)置。
上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a通過上述的施力機(jī)構(gòu)和刀頭 162c的移動(dòng)機(jī)構(gòu)壓接在貼合母基板90的正面上，下部基板分?jǐn)嘌b置 170的刀輪162a也通過上述的施力機(jī)構(gòu)和刀頭162c的移動(dòng)機(jī)構(gòu)壓接在 貼合母基板90的背面上，通過使上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分 斷裝置170同時(shí)、同向地移動(dòng)，將貼合母基板90分?jǐn)唷?br> 這種刀輪162a最好是旋轉(zhuǎn)自如地支承在采用了 WO 03/011777中公開的伺服馬達(dá)的刀頭165上。
作為采用了伺服馬達(dá)的刀頭165的一例，圖51示出刀頭165的側(cè) 視圖，圖52示出其主要部分的主視圖。伺服馬達(dá)165b以倒立狀態(tài)保 持在一對(duì)側(cè)壁165a之間，在其側(cè)壁165a的下部，通過支軸165d轉(zhuǎn)動(dòng) 自如地設(shè)置有從側(cè)面觀察為L字型的刀架保持件165c。在其刀架保持 件165c的前方(圖52中的右方)，安裝有經(jīng)由軸165e旋轉(zhuǎn)自如地保 持刀輪162a的刀架162b。在伺服馬達(dá)165b的旋轉(zhuǎn)軸和支軸165d上相 互嚙合地安裝有正傘齒輪165f。這樣一來，通過伺服馬達(dá)165b的正反 向旋轉(zhuǎn)，刀架保持件165c以支軸165d為支點(diǎn)進(jìn)行俯仰動(dòng)作，刀輪162a 上下移動(dòng)。這種刀頭165自身裝備在上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基 板分?jǐn)嘌b置170上。
圖53為表示采用了伺服馬達(dá)的刀頭其他例子的主視圖，將伺服馬 達(dá)165d的旋轉(zhuǎn)軸直接連結(jié)在刀架保持件165c上。
圖51和圖53的刀頭通過對(duì)伺服馬達(dá)進(jìn)行位置控制而旋轉(zhuǎn)，使刀 輪162a升降而定位。在使刀頭向水平方向移動(dòng)，在貼合母基板90上 形成劃痕線的切割動(dòng)作中，預(yù)先由伺服馬達(dá)65b設(shè)定的刀輪162a的位 置偏離時(shí)，限制返回其設(shè)定位置地動(dòng)作的旋轉(zhuǎn)力矩，將相對(duì)于脆性材 料基板的切割壓力傳遞到刀輪162a上。即，伺服馬達(dá)165b控制刀輪 162a垂直方向的位置，同時(shí)成為相對(duì)于刀輪162a的施力機(jī)構(gòu)。
在通過采用備有上述的伺服馬達(dá)的刀頭，對(duì)貼合母基板9 0進(jìn)行切 割時(shí)，與刀輪承受的阻力的變動(dòng)產(chǎn)生的切割壓力的變化瞬時(shí)對(duì)應(yīng)，伺 服馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)力矩被修正，所以可實(shí)施穩(wěn)定的切割，能夠形成高品質(zhì) 的劃痕線。
另外，備有使對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切割的金剛石筆刀具或刀輪切 割刀具等切割刀具振動(dòng)，使切割刀具產(chǎn)生的對(duì)貼合母基板90的推壓力
板的分?jǐn)唷?br> 另外，上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170并不僅限 于上述的結(jié)構(gòu)。即，只要是對(duì)基板的正反面進(jìn)行加工，使基板分?jǐn)嗟?裝置即可。
例如，上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170可以是采 用激光、鉆石輪劃片、切削片、切刃，金剛石刀具等使基板分?jǐn)嗟难b置。
在母基板為鋼板等金屬基板、木板、塑料基板、以及陶瓷基板、 玻璃基板、半導(dǎo)體基板等脆性材料基板的情況下，例如使用采用激光、 鉆石輪劃片、切削片、切刃、金剛石刀具等分?jǐn)嗝姘寤宓那懈钛b置。
另外，在分?jǐn)嘁粚?duì)母基板貼合而成的貼合母基板、不同的母基板 組合在一起貼合而成貼合母基板、多個(gè)母基板彼此組合并疊層的基板 的情況下，使用與上述分?jǐn)嗄富宓难b置相同的基板分?jǐn)嘌b置。
而且，也可以在上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170 上備有輔助基板的分?jǐn)嗟姆謹(jǐn)噍o助機(jī)構(gòu)。作為分?jǐn)噍o助機(jī)構(gòu)，例如可 列舉出使輥等推壓在基板上，朝向基板噴射壓縮空氣或噴射熱風(fēng)等加 溫(加熱)基板的機(jī)構(gòu)。
另外，在上述的說明中，對(duì)上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分 斷裝置170為相同結(jié)構(gòu)的情況進(jìn)行了說明，但也可以因基板的分?jǐn)喾?式或基板的分?jǐn)鄺l件而是不同結(jié)構(gòu)的裝置。
升降輸送部360是在通過切割單元部340的切割裝置導(dǎo)向架342 的上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170對(duì)貼合母基板90進(jìn) 行了切割后，夾緊裝置351對(duì)貼合母基板90的夾緊(保持)被解除， 將放置在第2基板支承部341B的多個(gè)第2基板支承單元344B上的切 割加工后的貼合母基板90向蒸氣裂片單元部380輸送的裝置。
圖75為升降輸送部360的俯視圖，圖76為構(gòu)成升降輸送部360 的第3基板支承單元361的側(cè)視圖。
笫3基板支承單元361具有沿著與框架343A和框架343B平行的 方向(Y方向)直線狀延伸的支承主體部361a，在支承主體部361a的 各端部上分別安裝有例如導(dǎo)引同步皮帶361e的同步滑輪361c和361d。 驅(qū)動(dòng)用同步滑輪361b與通過皮帶368傳遞旋轉(zhuǎn)馬達(dá)367的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn) 軸連結(jié)，使同步皮帶361e環(huán)繞移動(dòng)。
多個(gè)第3基板支承單元361隔開規(guī)定的間隔配置在升降輸送部360 上，為了在其間隔中插入切割單元部340的第2基板支承部341B的多 個(gè)第2基板支承單元344B，多個(gè)第3基板支承單元361經(jīng)由支柱365 保持在保持框架362上。
在框架343A —側(cè)和框架343B —側(cè)的保持框架362各自的框架 362a的中夾部上備有氣缸366，這些氣缸366的主體分別接合在保持框架362各自的框架362a上。而且，在保持框、架362各自的沖匡架362a 的兩端側(cè)上分別備有引導(dǎo)軸364，分別插入架臺(tái)370的上表面上裝備的 線性引導(dǎo)件363中。
在通過切割單元部340的切割裝置導(dǎo)向架342的上部基板分?jǐn)嘌b 置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170對(duì)貼合母基板90進(jìn)行了切割之后，夾 緊裝置351對(duì)貼合母基板90的夾緊(保持)被解除，放置在第2基板 支承部341B的多個(gè)第2基板支承單元344上的切割加工后的貼合母基 板90通過氣缸366的驅(qū)動(dòng)放置在多個(gè)第3基板支承單元361上，沿著 垂直方向向上方(+Z方向)的規(guī)定位置移動(dòng)后，旋轉(zhuǎn)馬達(dá)367旋轉(zhuǎn)， 同步皮帶361e移動(dòng)，從而向蒸氣裂片單元部380輸送。
除了蒸氣裂片單元部380不向Y方向移動(dòng)而是固定的之外，其結(jié) 構(gòu)與實(shí)施方式2的圖47所示的正確單元部260相同。
蒸氣裂片單元部380是上側(cè)蒸氣單元安裝桿381和下側(cè)蒸氣單元 安裝桿382與切割裝置導(dǎo)向架342平行地沿著X方向安裝在支柱383 上，所述上側(cè)蒸氣單元安裝桿381用于安裝向貼合母基板90的上側(cè)的 母基板91噴射蒸氣的多個(gè)蒸氣單元384，所述下側(cè)蒸氣單元安裝桿382 用于安裝向貼合母基板90的下側(cè)的母基板92噴射蒸氣的多個(gè)蒸氣單 元384。
切割單元部340的框架343A和343B —側(cè)各自的支柱383分別接 合在架臺(tái)370的上表面上。而且，在蒸氣裂片單元部380的基板送出 側(cè)上備有帶式輸送機(jī)385，所述帶式輸送機(jī)385是在從蒸氣單元384 向貼合母基板90的正反面噴射了蒸氣后，支承并輸送完全被分?jǐn)嗟馁N 合母基板90的例如帶狀的皮帶環(huán)繞移動(dòng)。
另外，蒸氣裂片單元部380的基板送出側(cè)上裝備的帶式輸送機(jī)385 的環(huán)繞移動(dòng)速度設(shè)定成與升降輸送部360的多個(gè)第3基板支承單元361 的同步皮帶361e的環(huán)繞移動(dòng)速度基本上相同地同步移動(dòng)。
蒸氣裂片單元部380具有與實(shí)施方式2的圖47所示的蒸氣單元部 260相同的結(jié)構(gòu)，多個(gè)蒸氣單元384安裝在上側(cè)蒸氣單元安裝桿381 上，多個(gè)蒸氣單元384相對(duì)于上側(cè)的多個(gè)蒸氣單元安裝桿384隔開間 隙GA地安裝在下側(cè)蒸氣單元安裝桿382上。另外，間隙GA被調(diào)整成 貼合母基板90通過該間隙GA。
蒸氣單元384的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式2的圖48所示的蒸氣單元261相同，蒸氣單元384是整尿基本上由鋁材質(zhì)構(gòu)成，在垂直方向上埋入多 根加熱器261a，當(dāng)通過自動(dòng)操作而開閉的開閉閥(未圖示)打開時(shí)， 水從供水口 261b流入蒸氣單元384內(nèi)，被加熱器261a加熱，供應(yīng)的 水氣化而成為蒸氣。該蒸氣通過導(dǎo)通孔261c從噴出口 261d向母基板 的正面噴射。
而且，在上側(cè)蒸氣單元安裝桿381的基板送出側(cè)備有氣刀386，用 于在向母基板90的上表面噴射了蒸氣之后除去殘存在母基板90的表 面上的水分。
另外，在下側(cè)蒸氣單元安裝桿382上也備有與安裝在上側(cè)蒸氣單 元安裝桿382上相同的蒸氣單元384和氣刀386。
放置在第2基板支承單元上的切割后的貼合母基板90被放置在第 3基板支承單元361上，沿著垂直方向向上方(+Z方向)的規(guī)定位置 移動(dòng)后，通過以與多個(gè)第3基板支承單元361的同步皮帶361e的環(huán)繞 移動(dòng)速度相同的環(huán)繞移動(dòng)速度使蒸氣裂片單元部380的基板送出側(cè)裝 備的同步皮帶385移動(dòng)，切割后的貼合母基板90通過蒸氣裂片單元部 280而被分?jǐn)喑擅姘寤錙a，成為支承在帶式輸送機(jī)385上的狀態(tài)。
基板輸送單元部400是通過蒸氣裂片單元部380而分?jǐn)噘N合母基 板90，裝上由帶式輸送機(jī)385支承的狀態(tài)的移動(dòng)中和停止中的面板基 板90a，并放置在面板翻轉(zhuǎn)單元部420的翻轉(zhuǎn)輸送機(jī)械手421的面板保 持部422上的裝置。
在架臺(tái)370和基板輸送單元部的架臺(tái)430的上方架設(shè)有基板送出 裝置用引導(dǎo)件401，用于使送出從貼合母基板90上分?jǐn)喑龅拿姘寤?的送出機(jī)械手410可沿著與基板的流動(dòng)方向的Y方向正交的蒸氣裂片 單元部380以及與切割裝置導(dǎo)向架342平行的X方向移動(dòng)。基板送出 單元部400在架臺(tái)370和730的上表面上，沿著經(jīng)由支柱402分別設(shè) 置在框架343A—側(cè)和框架343B —側(cè)的引導(dǎo)件403，基板送出裝置用引 導(dǎo)件401的兩端部經(jīng)由支承部部404在線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)下滑動(dòng)。這種 情況下的線性馬達(dá)是分別設(shè)置在支承部部404上的可動(dòng)元件(未圖示) 分別插入各自的引導(dǎo)件403上分別設(shè)置的固定元件內(nèi)。
在送出機(jī)械手410上設(shè)置有吸引吸附從貼合母基板90上分?jǐn)喑龅?各面板基板90a的吸附部(未圖示)，在面板基板90a被吸附部吸附 的狀態(tài)下，送出機(jī)械手410向基板送出側(cè)滑動(dòng)，從而放置在面板輔助單元 部420的輔助輸送機(jī)械手421的面板保持部422上。
由于基板輸送單元部400的逸出機(jī)械手410的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式2 的圖42所示的送出機(jī)械手240相同，所以在此省略詳細(xì)說明。另外， 送出機(jī)械手410安裝在基板送出裝置用引導(dǎo)件401上，通過將線性馬 達(dá)或者伺服馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和直線引導(dǎo)件組合而成的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在沿 著基板送出裝置引導(dǎo)件401的方向(X方向)自由移動(dòng)。
另外，在送出機(jī)械手410進(jìn)行的從貼合母基板90上分?jǐn)喑龅拿姘?基板90a的輸送中，分?jǐn)嗪蟮拿姘寤?0a通過未圖示的吸引機(jī)構(gòu)的 吸引而被送出機(jī)械手410的吸附墊保持，在送出機(jī)械手410整體通過 升降機(jī)構(gòu)(未圖示)而暫時(shí)上升后，向下道工序的面板翻轉(zhuǎn)單元部420 的翻轉(zhuǎn)輸送機(jī)械手421輸送，輸送機(jī)械手410通過升降機(jī)構(gòu)(未圖示) 再次下降，以預(yù)定的狀態(tài)放置在下道工序的面板翻轉(zhuǎn)單元部420的翻 轉(zhuǎn)輸送機(jī)械手421的面板保持部422的規(guī)定位置上。
在面板翻轉(zhuǎn)單元部420上備有翻轉(zhuǎn)輸送機(jī)械手421，從基板輸送單 元部400的送出機(jī)械手410接收面板基板90a，將面板基板90a的正反 面翻轉(zhuǎn)，放置在面板端子分離部440的分離臺(tái)441上。
翻轉(zhuǎn)輸送機(jī)械手421的面板保持部422例如備有多個(gè)吸附墊，保 持成相對(duì)于翻轉(zhuǎn)輸送機(jī)械手421的機(jī)械手主體部423自由旋轉(zhuǎn)。
通過翻轉(zhuǎn)輸送機(jī)械手421而放置在面板端子分離部440的分離臺(tái) 441上的面板基板90a例如通過插入機(jī)械手(未圖示)、由如圖77所 示的設(shè)置在分離臺(tái)441的各側(cè)緣部附近的不要部分除去機(jī)構(gòu)4"從面 板基板90a上分離面板基板90a的不要部分99.
不要部分除去機(jī)構(gòu)442如圖77所示，分別具有相向的一對(duì)輥442b 的多個(gè)除去輥部442a沿著分離臺(tái)441的各側(cè)緣以規(guī)定的間距配置。設(shè) 置在各除去輥部442a上的相向的各輥442b向相互接近的方向受力， 在兩輥442b之間，通過插入機(jī)械手(未圖示)插入面板基板90a的上 側(cè)的基板不要部分99和面板基板90a下側(cè)的側(cè)緣部。各輥442b僅向 面板基板90a向各輥442b之間插入的方向旋轉(zhuǎn)，相向的一對(duì)輥442b 分別設(shè)定成旋轉(zhuǎn)方向相反地旋轉(zhuǎn)。
關(guān)于這種結(jié)構(gòu)的實(shí)施方式3的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作，主要說明分 斷大型的玻璃板貼合而成的貼合基板的情況的一例。
在將大型的玻璃基板相互貼合在一起而成的貼合母基板90分?jǐn)喑啥鄠€(gè)顯示面板90a (參照?qǐng)D55)時(shí)，實(shí)施方式3的定位單元部320的 多個(gè)吸引墊座321上裝備的多個(gè)吸引墊321a從前道工序的輸送裝置 (未圖示)接收并吸附貼合母基板90。
而且，切割單元部340第l基板支承部341A和第2基板支承部341B 的4個(gè)離合器解除與驅(qū)動(dòng)軸的結(jié)合，使環(huán)繞移動(dòng)各第1基板支承單元 344A和各第2基板支承單元344B的同步皮帶的同步滑輪不旋轉(zhuǎn)(在以 下的說明中，將成為該狀態(tài)稱為斷開離合器)。
在離合器斷開的狀態(tài)下，如圖78所示，第1基板支承部341A與 切割裝置導(dǎo)向架342和第2基板支承部341B—起向基板送入側(cè)移動(dòng)， 在定位單元部320待機(jī)。
然后，如圖79所示，在待機(jī)狀態(tài)下的第1基板支承部341A中， 通過升降裝置322，保持著貼合母基板90的多個(gè)吸引墊座321沉入， 解除多個(gè)相對(duì)于對(duì)貼合母基板的吸附狀態(tài)，貼合母基板90被放置在第 l基板支承部341A上。
這樣，在貼合母基板90為放置在第1基板支承部341A上的狀態(tài)， 第1基板支承部341A和第2基板支承部341B的4個(gè)離合器斷開的狀 態(tài)下，第l基板支承部341A與切割裝置導(dǎo)向架342和第2基板支承部 341B —起向基板送入側(cè)稍稍移動(dòng)，使貼合母基板90的基板送入側(cè)的側(cè) 緣抵接在定位單元部320的導(dǎo)桿325上裝備的多個(gè)基準(zhǔn)輥323上。
在使貼合母基板90的基板送入側(cè)的側(cè)緣抵接在定位單元部320的 導(dǎo)桿325上裝備的多個(gè)基準(zhǔn)輥323上之后，定位單元部320的導(dǎo)桿327 的推桿324將貼合母基板90向?qū)U326的基準(zhǔn)輥323推入，使貼合母 基板90的導(dǎo)桿326 —側(cè)的側(cè)緣和導(dǎo)桿326上裝備的基準(zhǔn)輥323抵接， 從而將貼合母基板90定位在切割單元部340的第1基板支承部341A 內(nèi)。
之后，在定位單元部320的導(dǎo)桿327的推桿324將貼合母基板9 線導(dǎo)桿326的基準(zhǔn)輥323推入的狀態(tài)被解除，使笫1基板支承部341A 和第2基板支承部341B的4個(gè)離合器斷開的狀態(tài)下，第l基板支承部 341A與切割裝置導(dǎo)向架342和笫2基板支承部341B —起移動(dòng)，并且在 向貼合母基板90被夾緊裝置351保持的位置移動(dòng)后，貼合母基板90 的側(cè)緣部被切割裝置351切割。
由于當(dāng)貼合母基板90相互正交的各側(cè)緣部被切割裝置351切割
78時(shí)，夾緊貼合母基板90的側(cè)緣部的各夾具在貼合母基板90的自重作 用下基本上同時(shí)沉入，成為貼合母基板90被所有的第l基板支承單元 344A的同步皮帶輔助支承的狀態(tài)。
如圖80所示，當(dāng)成為貼合母基板90相互正交的各側(cè)緣部分別被 夾緊裝置351夾緊，支承在第l基板支承單元344A上的狀態(tài)時(shí)，切割 單元部340的第1基板支承部341A和第2基板支承部341B的4個(gè)離 合器與驅(qū)動(dòng)軸結(jié)合，使環(huán)繞移動(dòng)各第1基板支承單元344A和各第2基 板支承單元344B的各同步皮帶的同步滑輪旋轉(zhuǎn)(在以下的說明中，將 成為這種狀態(tài)稱為離合器接通)。
在第1基板支承部341A和第2基板支承部341B的4個(gè)離合器單 元的離合器接通后，切割裝置導(dǎo)向架342向基板送入側(cè)滑動(dòng)，成為由 夾緊裝置351夾緊在水平狀態(tài)的貼合母基板90上的基板送出側(cè)的側(cè)緣 部上規(guī)定位置。而且，通過設(shè)置在切割裝置導(dǎo)向架342上的笫1光學(xué) 裝置和第2光學(xué)裝置從各自的待機(jī)位置沿著切割裝置導(dǎo)向架342移動(dòng)， 對(duì)分別設(shè)置在貼合母基板90上的第1校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)和第2校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝 像。
由于切割裝置導(dǎo)向架342滑動(dòng)，第l基板支承部341A向基板送入 側(cè)滑動(dòng)，第2基板支承部341B向基板送入側(cè)滑動(dòng)，同時(shí)笫l基板支承 部341A的第l基板支承單元344A的同步皮帶和第2基板支承部341B 的第2基板支承單元344B的同步皮帶以與切割裝置導(dǎo)向架342的移動(dòng) 速度相同的速度使貼合母基板90向與切割裝置導(dǎo)向架342的移動(dòng)方向 相反的方向移動(dòng)，所以在貼合母基板90不移動(dòng)，保持在夾緊裝置351 上的狀態(tài)下，貼合母基板90成為不會(huì)滑動(dòng)接觸地支承在第l基板支承 部341A的第1基板支承單元344A的同步皮帶和第2基板支承部341B 的第2基板支承單元344B的同步皮帶上的狀態(tài)。
然后，基于第1校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)和第2校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的攝像結(jié)果，通過未圖 示的演算處理裝置，根據(jù)演算求出由夾緊裝置351支承在水平狀態(tài)下 的貼合母基板90相對(duì)于沿著切割裝置導(dǎo)向架342的方向的傾角、分?jǐn)?開始位置以及分?jǐn)嘟Y(jié)束位置，基于其演算結(jié)果，使切割裝置導(dǎo)向架342 也與上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170 —起移動(dòng)，分?jǐn)?貼合母基板90 (將其稱為直線插入的切割或者分?jǐn)?。
在這種情況下，通過使分別與貼合母基板90的正面和反面對(duì)置的刀輪162a分別壓接在各正面和反面上滾動(dòng)，在貼備母基板90的正面 和反面上形成劃痕線95。
圖81為表示為了使上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和下部基 板分?jǐn)嘌b置170的刀輪162a分別壓接滾動(dòng)，從貼合母基板90上分?jǐn)?出4張面板基板，在結(jié)束了在4張面板基板90a的側(cè)緣部上形成劃痕 線95時(shí)，第2基板支承部341B支承貼合母基板90的狀態(tài)。
貼合母基板90例如圖81所示，為了在沿著上側(cè)導(dǎo)軌352和下側(cè) 導(dǎo)軌353的列方向上以兩列分?jǐn)鄡蓚€(gè)顯示面板90a，從貼合母基板90 上分?jǐn)喑?個(gè)顯示面板90a，使上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和 下部基板分?jǐn)嘌b置170的刀輪162a分別沿著顯示面板90a的側(cè)緣壓接 滾動(dòng)。
在這種情況下，通過上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和下部基 板分?jǐn)嘌b置170的刀輪162a，在各玻璃基板上的各刀輪162a的滾動(dòng)接 觸部分上分別生成垂直裂紋，形成劃痕線95。而且，由于在各刀輪162a 的刀刃上，沿著周向以規(guī)定的間距分別形成有突起部，所以在各玻璃 基板上沿著厚度方向形成深達(dá)玻璃基板的厚度的約90%的垂直裂紋。
而且，備有使對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切割的金剛石筆刀具或刀輪等 切割刀具振動(dòng)，使切割刀具產(chǎn)生的對(duì)貼合母基板90的推壓力周期變化 的機(jī)構(gòu)的刀頭也有效地適用于本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的母基板的分 斷。
當(dāng)貼合母基板90正反面的切割加工結(jié)束，成為圖81所示的狀態(tài) 時(shí)，夾緊裝置351對(duì)貼合母基板90的夾緊(保持)被解除，貼合母基 板90放置在第2基板支承部241上，同時(shí)第2基板支承部241B的4 個(gè)離合器單元的離合器斷開.
之后，如圖82所示，放置了切割后的貼合母基板90的笫2基板 支承部341B與第1基板支承部341A和切割裝置導(dǎo)向架342 —起向基 板送出側(cè)移動(dòng)，移動(dòng)到插入升降輸送部360上以規(guī)定的間隔配置的多 個(gè)第2基板支承單元361的間隔中的位置。
另外，為了使上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和下部基板分?jǐn)?裝置170的刀輪162a分別壓接滾動(dòng)，從貼合母基板90上分?jǐn)喑?張 面板基板，作為在4張面板基板90a的側(cè)緣部上形成劃痕線的方法， 與圖81所示不同的實(shí)施方式2的圖56至圖58所示的切割方法也能夠有效地適用于本實(shí)施方式3的l板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中。
多個(gè)第3基板支承單元361隔開規(guī)定的間隔配置在升降輸送部360 上，為了在其間隔中插入切割單元部340的第2基板支承部341A的多 個(gè)第2基板支承單元344B,多個(gè)第3基板支承單元361如圖76所示經(jīng) 由支柱365保持在保持架362上，如圖83所示，多個(gè)第3基板支承單 元361配置成接收切割后的貼合母基板90的同步皮帶361e的面位于 第2基板支承單元344B的切割后的貼合母基板90所放置的面之下。
在貼合母基板90由切割單元部340的切割裝置導(dǎo)向架342的上部 基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170切割后，夾緊裝置351對(duì) 貼合母基板90的夾緊(保持)被解除，放置在第2基板支承部241B 的多個(gè)第2基板支承單元244B上的切割加工后的貼合母基板90在氣 缸366的驅(qū)動(dòng)下載放在多個(gè)第3基板支承單元361上，沿著垂直方向 向上方(+Z方向)的規(guī)定位置移動(dòng)后，旋轉(zhuǎn)馬達(dá)367旋轉(zhuǎn)，同步皮帶 361e移動(dòng)，向蒸氣裂片單元部380輸送。
在蒸氣裂片單元部380上，上側(cè)蒸氣單元安裝桿381和下側(cè)蒸氣 單元安裝桿382沿著與切割裝置導(dǎo)向架342平行的X方向安裝在支柱 383上，所述上側(cè)蒸氣單元安裝桿381用于安裝向貼合母基板90的上 側(cè)母基板91噴射蒸氣的多個(gè)蒸氣單元384，所述下側(cè)蒸氣單元安裝桿 382用于安裝向貼合母基板的下側(cè)母基板92噴射蒸氣的多個(gè)蒸氣單元 384。
蒸氣裂片單元部380的基板送出側(cè)上裝備的帶式輸送機(jī)382的環(huán) 繞移動(dòng)速度設(shè)定成與升降輸送部360的多個(gè)第3基板支承單元361的 同步皮帶361e的環(huán)繞移動(dòng)速度基本上相同，使其同步地移動(dòng)，切割后 的貼合母基板90通過蒸氣裂片單元部380。
而且，在上側(cè)蒸氣單元安裝桿381的基板送出側(cè)備有氣刀386，在 下側(cè)蒸氣單元安裝桿382上也備有與安裝在上側(cè)蒸氣單元安裝桿382 上的相同的蒸氣單元384和氣刀386，在蒸氣噴射到貼合母基板90上 后，將殘存在貼合母基板90的正反面上的水分完全除去。
在貼合母基板90放置在多個(gè)第3基板支承單元361上，并沿著垂 直方向向上方(+Z方向)的規(guī)定位置移動(dòng)后，以與多個(gè)第3基板支承 單元361的同步皮帶361e的環(huán)繞移動(dòng)速度基本上相同的速度移動(dòng)到蒸 氣裂片單元部的基板送出側(cè)裝備的帶式輸送機(jī)385，通過蒸氣裂片單元部380。知割后的貼合母基板90通過蒸氣裂片單元部380，貼合母基 板90被分?jǐn)?，成為支承在帶式輸送機(jī)385上的狀態(tài)。
貼合母基板90通過蒸氣裂片單元部380而被分?jǐn)喑啥鄠€(gè)面板基板 90a，成為支承在帶式輸送機(jī)385上的狀態(tài)的移動(dòng)中或停止中的面板基 板90a由送出機(jī)械手410裝上，放置在面板翻轉(zhuǎn)單元部420的翻轉(zhuǎn)輸 送機(jī)械手421的面板保持部422上。
面板翻轉(zhuǎn)單元部420的翻轉(zhuǎn)輸送機(jī)械手421從基板輸送單元部的 輸送機(jī)械手410上接收面板基板90a，將面板基板90a的正反面翻轉(zhuǎn)， 放置在面板端子分離部440的分離臺(tái)441上。
通過翻轉(zhuǎn)輸送機(jī)械手421放置在面板端子分離部440的分離臺(tái)441 上的面板基板90a例如通過插入機(jī)械手(未圖示)，由圖77所示的設(shè) 置在分離臺(tái)441的個(gè)側(cè)緣部附近的不要部分除去機(jī)構(gòu)442從面板基板 92a上除去面板基板90a的不要部分99。
另外，通過在切割裝置導(dǎo)向架342的上部基板分?jǐn)嘌b置160和下 部基板分?jǐn)嘌b置170進(jìn)行的切割方法中采用實(shí)施方式2的圖61至圖70 所示的切割方法，能夠省略蒸氣裂片單元部380進(jìn)行的貼合母基板90 的分?jǐn)喙ば颉?br> 而且，作為分?jǐn)嗷宓姆椒?，如上所述，?duì)在將母基板為脆性材 料基板的一種的玻璃基板貼合在一起而成的母基板上形成雙重的劃痕 線的方法為例進(jìn)行了說明，但并不僅限于此。在母基板為鋼板等金屬 基板、木板、塑料基板、以及陶乾基板，玻璃基板、半導(dǎo)體基板、脆 性材料基板的情況下，使用例如采用了激光、鉆石輪劃片、切削片、 切刃、金剛石筆刀具等的母基板分?jǐn)喾椒ā?br> 另外，基板除了母基板之外，也包括將母基板彼此組合并貼合而 成的貼合基板，組合不同的母基板并貼合而成的貼合基板，組合母基
板并疊層的基板。 (實(shí)施方式4)
圖84為表示本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)其他實(shí)施方式的一例的整體示 意立體圖。另外，在本發(fā)明中，r基板」包括分?jǐn)喑啥鄠€(gè)基板的母基 板，而且也包括鋼板等金屬基板、木板、塑料基板以及陶瓷基板、半 導(dǎo)體基板、玻璃基板等脆性材料基板等單板。另外，并不僅限于這種 單板，還包括將一對(duì)基板彼此貼合在一起的貼合基板、使一對(duì)基板彼此疊層的疊層基板。
本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)例如是在制造一對(duì)玻璃基板相互貼合而成 的液晶顯示裝置的面板基板(顯示面板用貼合基板)時(shí)，通過該基板
分?jǐn)嘞到y(tǒng)，將一對(duì)母玻璃基板相互貼合而成的貼合母基板90分?jǐn)喑啥?張面板基板(顯示面板用貼合基板)。
本實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)500除了將實(shí)施方式2的第2基板 分?jǐn)嘞到y(tǒng)100中的基板支承裝置120替換成實(shí)施方式4的基板支承裝 置520，多個(gè)支承皮帶550張掛在本實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中之外， 其他結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式2相同，所以在圖84中對(duì)于與實(shí)施方式2相同的
部件賦予相同的附圖標(biāo)記，省略其詳細(xì)說明。
在本實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)500中，將配置第1基板支承部 520A的一側(cè)作為基板送入側(cè)，將配置有基板送出裝置180的一側(cè)作為 基板送出側(cè)進(jìn)行以下的說明。而且，在本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)500中， 基板送出的方向(基板的流動(dòng)方向)為從基板送入側(cè)朝向基板送出側(cè) 的+Y方向。而且，該基板送出的方向?yàn)橄鄬?duì)于切割裝置導(dǎo)向架130以 水平狀態(tài)正交的方向，切割裝置導(dǎo)向架130沿著X方向設(shè)置。
基板支承裝置520的第l基板支承部520A和第2基板支承部520B 例如分別備有可分別向與切割裝置導(dǎo)向架130的移動(dòng)方向相同的方向 移動(dòng)的5個(gè)第1基板支承單元521A和第2基板支承單元521B，各第1 基板支承單元521A和各第2基板支承單元521B分別構(gòu)成沿著相對(duì)于 主架111的長度方向的框架111A和111B平行的方向(Y方向)的直線 狀。
圖86為設(shè)置在第1基板支承部520A上的一個(gè)第基板支承單元 521A的立體圖。第1基板支承單元521A具有沿著與主架111平行的方 向(Y方向)直線狀延伸的支承主體部521a，在支承主體部521a的上 部備有導(dǎo)引支承皮帶550的皮帶承受部521b,在支承主體部521a的基 板送出側(cè)的端部上分別安裝有滑輪521c和521d。而且，在支承主體部 521a的下部中央部上備有氣缸5Uh，氣缸5Hh的缸桿與吸引板5He 接合。另外，在支承主體部521a的下部兩端部上備有線性引導(dǎo)件521f， 分別插入線性引導(dǎo)件521f中的軸521g的一個(gè)端部分別與吸引板521e 接合。
吸引板521e通過氣缸521h的驅(qū)動(dòng)向支承帶550的上方位置移動(dòng)，接收由未圖示的輸送機(jī)構(gòu)向從前道工序輸送的貼合母基板90，通過未圖示的吸引機(jī)構(gòu)吸引貼合母基板90進(jìn)行吸附，放置在第l基板支承單元521A的支承帶550上。
另外，氣缸521h為兩級(jí)氣缸的結(jié)構(gòu)，通過未圖示的電磁閥控制壓縮空氣向氣缸內(nèi)的投入方式，從而使吸引板521e有選擇地為圖85所示的支承帶550下方的最下級(jí)位置，接收貼合母基板90的最上級(jí)位置，以及將貼合母基板90放置在支承帶55 0上的中級(jí)位置。
支柱145設(shè)置在引導(dǎo)座115的上表面上，該引導(dǎo)座115保持在架臺(tái)110的上表面上設(shè)置的導(dǎo)軌113各自的移動(dòng)單元上，在其支柱145的上方，與沿著主架111的框架111A和111B的Y方向平行地設(shè)置有支承部件143。支承主體部121a經(jīng)由接合部件146和47安裝在兩根單元安裝部件41和42上，該單元安裝部件在各自的支承部機(jī)143上沿著與框主架111的框架111A和111B正交的X方向架設(shè)。
圖85為說明第1基板支承單元521A與切割裝置導(dǎo)向架130和第2基板支承單元521B—起向基板送入側(cè)移動(dòng)的樣子的附圖。如圖86(a)所示，連接在基板送入側(cè)的主架111上的支承帶550支承在第1基板支承單元521A的皮帶承受部521b上，繞掛在第1基板支承單元521A的滑輪521c和521d上后，繞掛在笫l基板支承單元52U下方的滑輪551、笫2基板支承單元521B下方的滑輪552上，之后繞掛在笫2基板支承單元521B的滑輪521d和521c上，支承在第2基板支承單元521B的皮帶承受部521d上，然后連接在基板送出側(cè)的主架111上而張緊。
由于支承第1基板支承單元521A的框架111A —側(cè)的支柱145和框架111B —側(cè)的支柱145保持在引導(dǎo)座114上，保持支承切割裝置導(dǎo)向架130的兩端的支柱128的引導(dǎo)座115上安裝有線性馬達(dá)的可動(dòng)元件(未圖示)，所以通過線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)，切割裝置導(dǎo)向架130向基板送入側(cè)移動(dòng)，同時(shí)第1基板支承部520A的5臺(tái)第1基板支承單元521A向基板送入側(cè)移動(dòng)。
第1基板支承單元521A隔開規(guī)定的間隔配置數(shù)臺(tái)(在本實(shí)施例的說明中為5臺(tái))，與切割裝置導(dǎo)向架130—起線沿著主架111的框架111A和111B的Y方向移動(dòng)。
基板支承裝置520的第2基板支承部52OB例如備有可分別向與切割裝置導(dǎo)向架130的移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)的5個(gè)第2基板支承單
84元521B。該第2基板支承單元521B的結(jié)構(gòu)是從第1基板k承單元521A中除去了使吸附板521e和吸附板521e升降的氣缸521h,線性引導(dǎo)件521f，軸521g，以相對(duì)于切割裝置導(dǎo)向架130對(duì)稱，Y方向的安裝方向相反的方式，支承在框架111A —側(cè)的支柱145和框架111B —側(cè)的支柱145上，各自的支柱保持在引導(dǎo)座115上。
由于在保持支承切割裝置導(dǎo)向架130的兩端的支柱128的引導(dǎo)座115上安裝有線性馬達(dá)的可動(dòng)元件(未圖示)，所以通過線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)，切割裝置導(dǎo)向架130向基板送入側(cè)移動(dòng)，同時(shí)第2基板支承部520B的5臺(tái)第2基板支承單元521B向基板送入側(cè)移動(dòng)。
如圖86 (b)所示，當(dāng)?shù)趌基板支承單元521A與切割裝置導(dǎo)向架130和第2基板支承單元521B—起向基板送入側(cè)移動(dòng)時(shí)，第2基板支承單元521A的支承帶550向切割裝置導(dǎo)向架130的下方沉入，成為笫2基板支承單元521B的支承帶550從切割裝置導(dǎo)向架130的下方浮現(xiàn)在笫2基板支承單元521B的皮帶承受部521b上的狀態(tài)。
而且，當(dāng)?shù)?基板支承單元521B與切割裝置導(dǎo)向架130和第l基板支承單元521A —起向基板送出側(cè)移動(dòng)時(shí)，第2基板支承單元521B的支承帶550向切割裝置導(dǎo)向架130的下方沉入，成為第1基板支承單元521A的支承帶550從切割裝置導(dǎo)向架130的下方浮現(xiàn)在第1基板支承單元521A的皮帶承受部521b上的狀態(tài)。
關(guān)于這種結(jié)構(gòu)的實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作，主要說明分?jǐn)啻笮偷牟ＡО遒N合而成的貼合基板時(shí)的一例。
在將大型的玻璃基板相互貼合而成的貼合母基板90分?jǐn)喑啥鄠€(gè)面板基板90a (參照?qǐng)D88)時(shí)，首先，如圖87所示，從基板送入側(cè)的端部，通過輸送機(jī)械手等送入基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中，以水平狀態(tài)將貼合母基板90放置在笫l基板支承部520A的所有第l基板支承單元521A的支承帶550上。
當(dāng)成為這種狀態(tài)時(shí)，貼合母基板90與實(shí)施方式2同樣地由未圖示的推桿推壓，抵接在沿著主架111的框架111B配置的未圖示的定位銷上，并由未圖示的推桿推壓，抵接在沿著與其框架111B正交的方向配置的未圖示的定位銷上。這樣一來，貼合母基板90被定位在基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中的架臺(tái)110內(nèi)的規(guī)定位置。
之后，如圖87所示，通過夾緊裝置150的各夾具151,貼合母基板90沿著主架111的框架111B的、側(cè)緣部分別被夾緊，同時(shí)通過與框架111B正交地配置在基板送入側(cè)的夾緊裝置150的各夾具151，位于基板送入側(cè)的貼合母基板90的側(cè)緣部被夾緊。
由于當(dāng)貼合母基板90相互正交的各側(cè)緣部分別被夾緊裝置150夾緊時(shí)，夾著貼合母基板90的側(cè)緣部的各夾具151在貼合母基板90的自重作用下基本上同時(shí);充入，所以成為貼合母基板90由所有第l基板支承單元521A的支承帶550輔助支承的狀態(tài)。
當(dāng)成這種狀態(tài)時(shí)，切割裝置導(dǎo)向架130向基板送入側(cè)滑動(dòng)，成為由夾緊裝置150夾緊在水平狀態(tài)的貼合母基板90上的基板送出側(cè)的側(cè)緣部上規(guī)定位置。而且，通過設(shè)置在切割裝置導(dǎo)向架130上的第1光學(xué)裝置138和第2光學(xué)裝置139從各自的待機(jī)位置沿著切割裝置導(dǎo)向架130移動(dòng)，對(duì)分別設(shè)置在貼合母基板90上的第l校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)和第2校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)進(jìn)行攝像。
通過切割裝置導(dǎo)向架130滑動(dòng)，第l基板支承部520A滑動(dòng)到基板送入側(cè)的端部，第2基板支承部52 0B向基板送入側(cè)滑動(dòng)。此時(shí)，由于第1基板支承單元521A的切割裝置導(dǎo)向架130 —側(cè)的支承帶550向切割裝置導(dǎo)向架130的下方沉入，第2基板支承單元5HB的支承帶550從切割裝置導(dǎo)向架130的下方浮現(xiàn)在第2基板支承單元521B的皮帶承受部521b上，所以支承帶550不與貼合母基板90的下表面滑動(dòng)接觸。
然后，基于第1校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)和第2校準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的攝像結(jié)果，通過未圖示的演算處理裝置，由演算求出被夾緊裝置150支承在水平狀態(tài)的貼合母基板90相對(duì)于沿著切割裝置導(dǎo)向架130的方向的傾角，分?jǐn)嚅_始位置，以及分?jǐn)嘟Y(jié)束位置，基于其演算結(jié)果，切割裝置導(dǎo)向架130也與上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170 —起移動(dòng)，分?jǐn)噘N合母基板90 (將其稱為直線插入的切割或者分?jǐn)?。
在這種情況下，如圖88所示，通過使分別與貼合母基板90的正面和反面對(duì)置的刀輪162a分別壓接在各正面和反面上滾動(dòng)，在貼合母基板90的正面和反面上形成劃痕線95。
貼合母基板90例如為了在沿著上側(cè)導(dǎo)軌131和下側(cè)導(dǎo)軌132的列方向上以兩列分?jǐn)鄡蓚€(gè)面板基板90a，從貼合母基板90上分?jǐn)喑?個(gè)面板基板90a，使上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和下部基板分?jǐn)嘌b置170的刀輪162a分別沿著面板基板90a的側(cè)緣壓接滾動(dòng)。在這種情;兄下，通過上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和下部基板分?jǐn)嘌b置170的刀輪162a,在各玻璃基板上的各刀輪162a的滾動(dòng)接觸部分上分別生成垂直裂紋，形成劃痕線95。而且，由于在各刀輪162a的刀刃上，在刀刃的外周棱線上以規(guī)定的間距分別形成有突起部，所以在各玻璃基板上沿著厚度方向形成深達(dá)玻璃基板的厚度的約90%的垂直裂紋。
而且，備有使對(duì)貼合母基板90進(jìn)行切割的金剛石筆刀具或刀輪等切割刀具振動(dòng)，使切割刀具產(chǎn)生的對(duì)貼合母基板90的推壓力周期變化的機(jī)構(gòu)的刀頭也有效地適用于本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的母基板的分?jǐn)唷?br> 另外，為了使上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和下部基板分?jǐn)嘌b置170的刀輪162a分別壓接地滾動(dòng)，從貼合母基板90上分?jǐn)喑?張面板基板90a，作為在4張面板基板90a的側(cè)緣部上形成劃痕線的切割方法，與圖81所示不同的實(shí)施方式2的圖56至圖58所示的切割方法也可以優(yōu)效地應(yīng)用于本實(shí)施方式的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中。
另外，在上部基板分?jǐn)嘌b置160的刀輪162a和下部基板分?jǐn)嘌b置170進(jìn)行的切割中，第l基板支承部520A的所有第1基板支承單元521A和第2基板支承部520B的所有第2基板支承單元521B向基板送入側(cè)和基板送出側(cè)移動(dòng)，但當(dāng)向基板逸入側(cè)移動(dòng)時(shí)，成為第1基板支承單元521A的切割裝置導(dǎo)向架130 —側(cè)的支承帶550向切割裝置導(dǎo)向架130的下方沉入，第2基板支承單元521B的支承帶550從切割裝置導(dǎo)向架130的下方浮現(xiàn)在第2基板支承單元521B的皮帶承受部521b上的狀態(tài)，當(dāng)向基板送出側(cè)移動(dòng)時(shí)，成為第2基板支承單元521B的支承帶550向切割裝置導(dǎo)向架130的下方沉入，笫1基板支承單元"1A的支承帶550從切割裝置導(dǎo)向架130的下方浮現(xiàn)在第1基板支承單元521A的皮帶承受部521b上的狀態(tài)，所以支承帶550不會(huì)與貼合母基板90的下表面滑動(dòng)接觸。
在通過上述的切割方法在貼合母基板上形成了劃痕線之后，如圖89所示，通過第2基板支承單元521B的支承帶550,在形成了劃痕線95的貼合母基板得到支承的狀態(tài)下，蒸氣單元部260向基板送入側(cè)移動(dòng)，向刻有劃痕線的貼合母基板90的正反面整體上噴射蒸氣，使貼合母基板90完全分?jǐn)啵瑫r(shí)用氣刀265除去噴射了蒸氣后殘存在貼合母基板90的正反面上的水分。
通過向刻有劃痕線的貼合母基板90的正反面整體上噴射蒸氣，由刀輪162a形成的劃痕線因母玻璃基板1的表面部分被加熱而體積膨脹，從而垂直裂紋向母基板的厚度方向伸展，貼合母基板90被完全分?jǐn)唷?br> 之后，如圖89所示，第2基板支承部520B的所有第2基板支承單元521B的支承帶950上的從貼合基板90上分?jǐn)喑龅乃酗@示面板90a由基板送出裝置180的送出機(jī)械手240送出，分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，(端材)得到支承。
基板送出裝置180和蒸氣單元部260向基板送出側(cè)的端部移動(dòng)。
之后，如圖90所示，切割裝置導(dǎo)向架130、笫2基板支承部520B和第l基板支承部520A向基板送出側(cè)滑動(dòng)。此時(shí)，由于第2基板支承單元521B的切割裝置導(dǎo)向架130 —側(cè)的支承帶550向切割裝置導(dǎo)向架130的下方沉入，第1基板支承單元521A的支承帶550從切割裝置導(dǎo)向架130的下方浮現(xiàn)在第1基板支承單元521A的皮帶承受部521b上，所以被分?jǐn)嗟馁N合母基板90，的下表面不會(huì)與支承帶550滑動(dòng)接觸。
因此，第1基板支承單元521A的支承帶550和第2基板支承部520B的第2基板支承單元521B的支承帶不會(huì)從分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，(端材)的下表面滑動(dòng)接觸，依次成為非接觸狀態(tài)，支承帶550對(duì)分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，(端材)的支承依次被解除。而且，分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，(端材)被夾緊裝置150的保持被解除，分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，(端材)落到下方。在這種情況下，落到下方的分?jǐn)嗪蟮馁N合母基板90，(端材和碎屑)被以傾斜狀態(tài)配置的引導(dǎo)板導(dǎo)引而收放在碎屑收放箱內(nèi)。
另外，通過在切割裝置導(dǎo)向架130的上部基板分?jǐn)嘌b置160和下部基板分?jǐn)嘌b置170進(jìn)行的切割方法中采用實(shí)施方式2的圖61至圖70所示的切割方法，能夠省略蒸氣單元部260進(jìn)行的貼合母基板90的分?jǐn)喙ば颉?br> 而且，作為分?jǐn)嗷宓姆椒?，如上所述，?duì)在將母基板為脆性材料基板的一種的玻璃基板貼合在一起而成的母基板上形成雙重的劃痕線的方法為例進(jìn)行了說明，但并不僅限于此。在母基板為鋼板等金屬基板、'木板、塑料基板、以及陶瓷基板，玻璃基板、半導(dǎo)體基板拽脆性材料基板的情況下，使用例如采用了激光、鉆石輪劃片、切削片、切刃、金剛石筆刀具等的母基板分?jǐn)喾椒ā?br> 另外，基板除了母基板之外，也包括將母基板彼此組合并貼合而成的貼合基板，組合不同的母基板并貼合而成的貼合基板，組合母基板并疊層的基板。
(實(shí)施方式4 )
圖91所示的基板制造裝置901是將對(duì)分?jǐn)嗪蟮幕宥嗣娌窟M(jìn)行倒角的基板倒角系統(tǒng)700連接在本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)1、 100、 300以及500的某一臺(tái)基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)中的裝置。
另外，圖92所示的基板制造裝置902和903是將對(duì)分?jǐn)嗪蟮幕宓某叽绾推湔疵嬉约岸嗣娌康臓顩r等進(jìn)行檢查、或者對(duì)其基板的性
能進(jìn)行檢查的檢查系統(tǒng)800組裝在上述的基板制造裝置901中的裝置。另外，關(guān)于上述的實(shí)施方式2至實(shí)施方式4的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的動(dòng)作的說明，以分?jǐn)嗖ＡЩ遒N合而成的母基板的情況作為 一 例進(jìn)行了說明，但并不僅限于此。例如，也包括為了提高分?jǐn)嗟幕宓姆N類或構(gòu)成基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的各裝置的性能而實(shí)施與上述的說明不同的動(dòng)作的情況。
在至此為止的實(shí)施方式1至4的說明中，主要對(duì)將玻璃基板相互
明，但適用于本發(fā)^的基板并不僅限于此。、 '
在適用于本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)的基板中，包括母基板包含鋼板等金屬基板，木板，塑料基板，陶瓷基板或半導(dǎo)體基板以及玻璃基板等的脆性材料基板，另外，還包括母基板貼合而成的貼合基板，不同的母基板貼合而成的貼合基板，母基板彼此組合并疊層的基板。
而且，在FPD (平面顯示器)中使用的PDP (等離子顯示器)，液晶顯示面板，反射型投影儀面板，透過型投影儀面板，有機(jī)EL元件面板，F(xiàn)ED (現(xiàn)場發(fā)射顯示器)等母基板作為脆性材料基板彼此貼合而成的貼合脆性材料基板的分?jǐn)嘀?，也能夠適用本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)。工業(yè)上的可利用性
本發(fā)明的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)如上所述，由夾緊裝置保持基板，由根據(jù)分?jǐn)鄬?dǎo)向架的移動(dòng)而滑動(dòng)的基板支承裝置支承，以一次的基板設(shè)置可從基板的正反面一側(cè)同時(shí)進(jìn)行正交的兩個(gè)方向的分?jǐn)嗉庸?，因此，本系統(tǒng)的整體緊湊，而且能夠高效率地分?jǐn)喔鞣N基板,
權(quán)利要求
1.一種基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其特征是，包括一對(duì)切割裝置，分別從基板的上表面一側(cè)和下表面一側(cè)對(duì)該基板進(jìn)行切割；和一對(duì)切割裝置導(dǎo)向架，分別支承該一對(duì)切割裝置；上述一對(duì)切割裝置分別具有能夠沿著切割裝置導(dǎo)向架往返移動(dòng)、并分別作為劃痕線形成組件的刀輪和將該刀輪推壓在上述基板上的刀頭，還具有蒸氣單元部，向形成有劃痕線的上述基板的正反面噴射蒸氣。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其特征是，上述刀輪為盤 裝，在其外周上形成有刀刃，在該刀刃上以規(guī)定的間距形成有多個(gè)突 起。
3. 如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其特征是，在上述蒸氣單 元部上設(shè)置有基板干燥機(jī)構(gòu)，對(duì)基板的正反面進(jìn)行干燥。
4. 如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘞到y(tǒng)，其特征是，具有基板送出 裝置，取出由上述蒸氣單元部分?jǐn)嗪蟮幕濉?br> 全文摘要
為了夾緊送入中空長方體狀的架臺(tái)(10)內(nèi)的母基板的至少一個(gè)部位而在架臺(tái)(10)上安裝有夾緊裝置(50)，從由夾緊裝置(50)夾緊的母基板的上表面和下表面分?jǐn)喔髯缘哪富宓囊粚?duì)基板分?jǐn)嘌b置設(shè)置在切割裝置導(dǎo)向架(30)上，切割裝置導(dǎo)向架(30)可沿著中空長方體的架臺(tái)的一個(gè)邊往返移動(dòng)，安裝成一對(duì)基板分?jǐn)嘌b置可沿著與其移動(dòng)方向正交的方向移動(dòng)。被夾緊裝置夾緊的母基板由基板支承裝置(20)支承。
文檔編號(hào)B28D1/22GK101596719SQ20091014598
公開日2009年12月9日 申請(qǐng)日期2003年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月22日
發(fā)明者岡島康智, 吉本和宏, 大島幸雄, 大成弘行, 西尾仁孝 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司