專利名稱：基板的輸送涂布裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一邊將玻璃基板等基板浮起而輸送一邊在基板上表面涂 布涂布液的裝置。
背景技術(shù)：
作為在玻璃基板的表面涂布抗蝕劑等涂布液的裝置，有如下類型的裝置即，將玻璃基板吸附固定在工作臺上， 一邊在該玻璃基板上方移 動狹縫噴嘴一邊從狹縫噴嘴向玻璃基板上表面簾狀地供給涂布液的類 型的裝置及將狹縫噴嘴固定，而在其下方移動玻璃基板的類型的裝置。在專利文獻1中公開了沿著將基板浮起而輸送的輸送方向設(shè)置有基 板搬入部、涂布處理部和基板搬出部的輸送涂布裝置。該輸送涂布裝置 在噴出空氣而將基板浮起的載臺(工作臺)的兩側(cè)可移動地配置由吸附 墊構(gòu)成的基板輸送機構(gòu)，以吸附了基板的兩側(cè)的狀態(tài)進行輸送。在專利文獻2中提出了下述的裝置作為一邊將基板浮起而輸送一邊 將涂布液涂布在基板上表面的裝置，即，設(shè)置第一基板輸送部和第二基 板輸送部，通過第一輸送部將基板從基板輸送部輸送至涂布處理部，通 過涂布處理部在用第一基板輸送部和第二基板輸送部保持了基板的兩 側(cè)的狀態(tài)下進行涂布，在涂布結(jié)束后，第一基板輸送部返回至初始的位 置，利用笫二基板輸送部將涂布后的基板從涂布處理部輸送至基板搬出部。專利文獻l:日本特開2005 - 243670號^S才艮 專利文獻2:日本特開2006 - 237482號7>才艮在專利文獻l中，在載臺(工作臺)的兩側(cè)可移動地配置有由吸附 墊等構(gòu)成的基板輸送機構(gòu)，但是為了通過左右的基板輸送機構(gòu)保持玻璃 基板的兩側(cè)，然后進在專利文獻2中，在進行涂布處理時，其是通過左右的輸送機構(gòu)保 持玻璃基板的兩側(cè)的構(gòu)造，因此也發(fā)生與上述同樣的問題。另外，在專利文獻2中，涂布處理中是與專利文獻l同樣地，左右 的全部輸送機構(gòu)都吸附玻璃基板，因此輸送機構(gòu)不能獨自地移動，例如 不能進行向與玻璃基板的移動方向的反方向移動而返回至開始位置的 移動。為此不能縮短生產(chǎn)間隔時間。發(fā)明內(nèi)容為了解決上述i果題，本發(fā)明涉及的一種g的輸送涂布裝置，該輸送 涂布裝置是沿著基板的輸送方向而連續(xù)地配置了M搬入部、涂布處理部 和a搬出部的M的輸送涂布裝置，跨過上述基板輸送部、涂布處理 部和基板搬出部的全部而配置有工作臺，該工作臺在上表面形成了用于 將基板浮起的空氣噴出孔，將僅保持浮起了的基板的一側(cè)而輸送的輸送 機構(gòu)，在上述工作臺的兩側(cè)可分別獨立移動地配設(shè)，各輸送機構(gòu)將一片 基板經(jīng)過上述基板搬入部、涂布處理部和基板搬出部連續(xù)地輸送而不向 另外的輸送機構(gòu)交接。其可以構(gòu)成為，在上述涂布處理部上，且在與基tl的輸送方向相正交 的方向配設(shè)有兩才M&立控制的狹縫噴嘴。由此，可以通過一臺涂布裝置交 替地或者連續(xù)涂布不同的涂布液。另外， 一種輸送涂布方法，該輸送涂布方法-使用了上述涂布裝置，在 左右的移動機構(gòu)中的一個移動機構(gòu)保持基板的一側(cè)而進行涂布處理的期 間，將另一個移動機構(gòu)避開與正被涂布處理的1^的干擾，同時向與M 的輸送方向的反方向移動而返回開始位置。根據(jù)本發(fā)明，由于在涂布時只保持USL的一側(cè)，因此不產(chǎn)生如專利文左右的輸送機構(gòu)的同時的偏差所引起的a的歪斜。另外，兩側(cè)的輸送機構(gòu)可以分別獨立移動且由于各輸送機構(gòu)將一片基 板經(jīng)過基板搬入部、涂布處理部和基板搬出部進行輸送，從而可以大幅 度地縮短生產(chǎn)間隔時間。


圖l是本發(fā)明涉及的基板的輸送涂布裝置的俯視圖。圖2是該輸送涂布裝置的正視圖。圖3是該輸送涂布裝置的側(cè)視圖。圖4的(a) ~ (c)是說明涂布方法的俯視圖。圖5是表示輸送^I的返回工序的側(cè)視圖。圖6是表示噴嘴移動至待機位置的狀態(tài)的正視圖。圖7是表示輸送涂布裝置的其它狀態(tài)的俯視圖。圖8是表示輸送涂布方法的其它狀態(tài)的俯視圖。符號說明1、 5、 6…工作臺；2、 7…升降機構(gòu)；3、 8…銷；4…校準 裝置；11、 12…軌道；13、 14…輸送機構(gòu)；13a、 14a…吸附墊；16...門型 框；17…狹縫噴嘴；18…管理裝置；19…移動機構(gòu)；Sl…基板搬入部； S2…涂布處理部；S3…基板搬出部；Wl、 W2、 W3…基板。
具體實施方式
以下，基于附圖對本發(fā)明的最佳實施例進行說明。圖1是本發(fā)明涉 及的基板的輸送涂布裝置的俯視圖，圖2是該輸送涂布裝置的正視圖，圖 3是該輸送涂布裝置的側(cè)視圖。輸送涂布裝置，沿著基板的輸送方向連續(xù)配置有基板搬入部Sl、涂 布處理部S2及基板搬出部S3。在基板搬入部Sl上設(shè)置有在上表面形 成了用于將基板浮起的空氣噴出孔的工作臺1，并且在該工作臺l的下 方設(shè)置有用于將基板交接至工作臺1的升降機構(gòu)2。該升降機構(gòu)2具備 貫穿工作臺1而前端突出到工作臺l上方的銷3。此外，銷3為雖然貫 穿工作臺l但不會從貫穿部漏空氣的構(gòu)造。另外，在工作臺l的側(cè)部設(shè) 置有基板的校準裝置4。另外，在涂布處理部S2上設(shè)置有上表面形成了用于將基板浮起的 空氣噴出孔的工作臺5。在該工作臺5上除了形成空氣噴出孔以外還形成有空氣吸引孔。在上述工作臺1中基板的浮起量為50~300nm，然而 為了提高在涂布處理部S2中基板W的平坦度，因而浮起量取為50jim 以下。為此，通過不只是均勻地形成空氣噴出孔，還均勻地形成空隙吸 引孔，來取得噴出和吸引的平衡，而基板的浮起量在5(^m以下而處于 一定。在基板搬出部S3上也設(shè)置上表面形成了用于使基板浮起的空氣噴 出孔的有工作臺6，在該工作臺6的下方設(shè)置有升降機構(gòu)7，用于進一 步將基板從工作臺6抬起而交接至下一道工序。該升降機構(gòu)7也具備銷 8。在上述基板搬入部Sl、涂布處理部S2和基板搬出部S3的工作臺1、 5、 6的兩側(cè)設(shè)置有軌道11、 12,在該軌道11上可移動地接合有輸送機 構(gòu)13，在該軌道12上可移動地接合有輸送機構(gòu)14。上述輸送機構(gòu)13、14通過線性電動機在軌道上以非接觸狀態(tài)進行移 動，并且具備保持基板的側(cè)邊下表面的吸附墊13a、 14a。該吸附墊13a、 14a能夠調(diào)整高度位置，如下所述的那樣為了在空載狀態(tài)下返回時，避 開與處理中的基板W的干擾，以下降了的狀態(tài)返回。另外，在涂布處理部S2上以跨過工作臺5的方式可升降地配置有 門型框16。將狹縫噴嘴17以下端噴出口與基板的輸送方向相正交的方 式安裝于該門型框16。另外，在涂布處理部S2上以跨過工作臺5的方式設(shè)置有管理裝置 18，用于進行狹縫噴嘴17的下端噴出口的管理。該管理裝置18具備清 洗部，其用于進行狹縫噴嘴17的下端噴出口的清洗；和預(yù)先分配部等。安裝了狹縫噴嘴17的門型框16與管理裝置18的關(guān)系是，門型框 16位于比管理裝置18更靠外側(cè)。而且，門型框16通過裝有滾珠螺桿等 的移動機構(gòu)19,可移動至俯視下與管理裝置18重合的位置。以下，對涂布方法的一例進行說明，該涂布方法使用了由以上的構(gòu) 造形成的輸送涂布裝置。首先，從圖1的狀態(tài)、即用輸送機構(gòu)14的墊14a保持處理后的基 板Wl,用輸送機構(gòu)13的墊13a保持了未處理的基板W2的狀態(tài)開始，如圖4(a)所示，輸送機構(gòu)13、 14向圖中右側(cè)移動，把處理后的基板 Wl向交接位置浮起而輸送，將未處理的基板W2向涂布處理部S2浮起 而輸送。其次，如圖4(a)所示，載利用涂布處理部S2向未處理的基板W2 表面涂布涂布液的期間，輸送機構(gòu)14返回至校準裝置，保持下一個未 處理的基板W3。此外，為了避開輸送機構(gòu)14在返回時與處理中的基板 W2的干擾，輸送機構(gòu)14如圖5所示以墊14a下降了的狀態(tài)運行。接著，如圖4(b)所示，輸送機構(gòu)13將涂布處理完畢了的基板W2 輸送至基板搬出部S3,輸送機構(gòu)14將未處理的基板W3輸送至涂布處 理部S2的工序。此后，如圖4(c)所示，輸送機構(gòu)13、 14向圖中右側(cè) 移動，處理后的基板W2向交接位置浮起而輸送，未處理的基板W3向 涂布處理部S2浮起而輸送。通過重復(fù)以上的操作，連續(xù)向基板W的表面涂布涂布液。另外，每 涂布一次，或者在規(guī)定次數(shù)的涂布之后，進行狹縫噴嘴17的下端噴出 口的管理例如清洗和預(yù)先分配。在這種情況下，如圖6所示，將門型框16上升而使狹縫噴嘴17的 下端噴出口的位置高于管理裝置18的上表面，在該狀態(tài)下通過移動機 構(gòu)19將門型框16移動至俯視下與管理裝置18重合的位置，此后，將 門型框16下降，將狹縫噴嘴17的下端噴出口浸漬于清洗液等中。圖7是表示輸送涂布裝置的其它狀態(tài)的俯視圖，該實施例在與基敗的 輸送方向相正交的方向?qū)ⅹ毩⒖刂频膬刹鹏蕺M縫噴嘴17配置于涂布處理部 S2,此外，也與各種狹縫噴嘴17相對應(yīng)而設(shè)置管理裝置18。這樣，通過配置兩根狹縫噴嘴17，可以從各噴嘴噴出不同的涂布液， 另外在噴出同樣的涂布液的情況下，由于在從一個狹縫噴嘴進行噴出的 期間可以向另 一個狹縫噴嘴的泵內(nèi)儲存涂布液，因此可以大幅度地縮短 生產(chǎn)間隔時間。相對于代替使用兩根狹縫噴嘴17而使用一根噴嘴設(shè)置兩個泵，也可 以在使用 一個泵噴出的期間，向另 一個泵只填充定量的涂布液。圖8是表示輸送涂布方法的其它狀態(tài)的俯視圖。在該實施例中，通過輸送機構(gòu)13、 14能夠同時輸^7涂布各種尺寸的較小的基板，提高處理效 率和裝置的通用性。
權(quán)利要求
1.一種基板的輸送涂布裝置，其沿著基板的輸送方向而連續(xù)地配置了基板搬入部、涂布處理部和基板搬出部，其特征在于，跨過上述基板輸送部、涂布處理部和基板搬出部的全部而配置有工作臺，該工作臺在上表面形成了用于將基板浮起的空氣噴出孔，將僅保持浮起了的基板的一側(cè)而輸送的輸送機構(gòu)，在上述工作臺的兩側(cè)可分別獨立移動地配設(shè)，各輸送機構(gòu)將一片基板經(jīng)過上述基板搬入部、涂布處理部和基板搬出部連續(xù)地輸送而不向另外的輸送機構(gòu)交接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板的輸送涂布裝置，其特征在于， 在上述涂布處理部上除了形成有空氣噴出孔以外，還形成有空氣吸引孔。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板的輸送涂布裝置，其特征在于， 在上述涂布處理部上，且在與基仗的輸送方向相正交的方向配i殳有兩根獨立控制的狹縫噴嘴。
4. 一種基板的輸送涂布方法，該輸送涂布方法使用了權(quán)利要求1 至3所述的輸送涂布裝置，其特征在于，在左右的移動機構(gòu)中的一個移動機構(gòu)保持基板的一側(cè)而進行涂布處 理的期間，將另一個移動機構(gòu)避開與正被涂布處理的基板的干擾，同時向 與a的輸送方向的反方向移動而返回開始位置。
全文摘要
本發(fā)明提供基板的輸送涂布裝置。從用輸送機構(gòu)(14)的墊保持處理后的基板(W1)，用輸送機構(gòu)(13)的墊保持了未處理的基板(W2)的狀態(tài)，輸送機構(gòu)向圖中右側(cè)移動，處理后的基板(W1)向交接位置浮起輸送，未處理的基板(W2)向涂布處理部浮起輸送。在涂布處理部向未處理的基板(W2)表面涂布涂布液期間，輸送機構(gòu)(14)返回校準裝置，保持下一未處理的基板(W3)。輸送機構(gòu)(13)將完成了涂布處理的基板(W2)輸送至基板搬出部，輸送機構(gòu)(14)將未處理的基板(W3)輸送至涂布處理部的工序。輸送機構(gòu)向圖中右側(cè)移動，處理后的基板(W2)向交接位置浮起輸送，未處理的基板(W3)向涂布處理部浮起輸送。
文檔編號C03C17/00GK101254495SQ20081000639
公開日2008年9月3日 申請日期2008年2月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月2日
發(fā)明者升芳明, 清水昭宏 申請人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會社