一種硅片清洗裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種硅片清洗裝置，旨在解決現(xiàn)有的硅片清洗裝置清洗硅片效率低的問題，包括花籃、清洗裝置，花籃包括內(nèi)圓管和外圓管，內(nèi)圓管上設(shè)有外卡槽，外圓管上設(shè)有內(nèi)卡槽，內(nèi)圓管底部和外圓管的底部之間固連有桿；內(nèi)圓管上開設(shè)有內(nèi)通槽；外圓管上開設(shè)有外通槽；清洗裝置包括圓板、中心圓管；中心圓管外側(cè)壁上環(huán)繞有中心圓管噴頭；圓板上設(shè)有圓板噴頭，每個圓板噴頭上端均連有一個穿設(shè)在圓板上的水管連接頭。本實用新型中設(shè)有環(huán)形的花籃，圓板噴頭可以從上端對硅片進(jìn)行沖洗，中心圓管噴頭可以從內(nèi)圓管中心孔中向外對硅片進(jìn)行清洗，清洗時的工作效率高，而且環(huán)形的花籃不存在死角，容易清洗，而且清洗的干凈。
【專利說明】一種硅片清洗裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種硅片清洗裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]目前的硅片清洗裝置中采用的花籃為方形，通過花籃上方的噴頭對花籃中的硅片進(jìn)行清洗，但是現(xiàn)有的硅片清洗裝置清洗硅片時的速度較慢，工作效率低；由于方形的花籃存在很多死角，很難清洗干凈。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型提供了一種硅片清洗裝置，旨在解決現(xiàn)有的硅片清洗裝置清洗硅片效率低的問題。
[0004]為了解決以上技術(shù)問題，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):一種硅片清洗裝置，包括用于放置硅片的花籃、用于清洗硅片的清洗裝置，所述花籃包括同軸的內(nèi)圓管和外圓管，所述內(nèi)圓管的外側(cè)壁上設(shè)有外卡槽，所述外圓管的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有與外卡槽一一對應(yīng)且與外卡槽配合放置硅片的內(nèi)卡槽，所述內(nèi)圓管底部和外圓管的底部之間固連有桿；所述內(nèi)圓管上開設(shè)有用于連通外卡槽與內(nèi)圓管內(nèi)部且與外卡槽一一對應(yīng)的內(nèi)通槽，每個外卡槽頂部均與內(nèi)圓管的上端相通，每個外卡槽的底部均不與內(nèi)圓管底端相通；所述外圓管上開設(shè)有用于連通內(nèi)卡槽與外圓管外部且與內(nèi)卡槽--對應(yīng)的外通槽，每個內(nèi)卡槽頂部均與外圓管的上端相通，每個內(nèi)卡槽的底部均不與外圓管的底端相通；所述清洗裝置包括設(shè)置在花籃上方的圓板、穿設(shè)在圓板中心上且下端封閉的中心圓管；中心圓管外側(cè)壁上位于圓板下方的部分環(huán)繞有中心圓管噴頭；所述圓板上設(shè)有一圈向下噴淋的圓板噴頭，所述圓板噴頭位于內(nèi)圓管和外圓管之間部分的正上方，每個圓板噴頭上端均連有一個穿設(shè)在圓板上的水管連接頭。
[0005]進(jìn)一步，還包括用于夾持花籃且可旋轉(zhuǎn)的三爪卡盤；通過旋轉(zhuǎn)可以將臟物甩出，清洗完后，也有利于硅片的干燥。
[0006]進(jìn)一步,所述桿有三個且均布在內(nèi)圓管和外圓管之間；多于三個時，浪費(fèi)材料；少于三個時，內(nèi)圓管和外圓管連接時的牢固性較差。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比本實用新型的優(yōu)點(diǎn)是:本實用新型中設(shè)有環(huán)形的花籃，圓板噴頭可以從上端對硅片進(jìn)行沖洗，中心圓管噴頭可以從內(nèi)圓管中心孔中向外對硅片進(jìn)行清洗，清洗時的工作效率高，而且環(huán)形的花籃不存在死角，容易清洗，而且清洗的干凈。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明:
[0009]圖1為本實用新型的爆炸圖；
[0010]圖2為本實用新型中清洗裝置底面朝上時的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖3為本實用新型中花籃的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0012]參閱圖1、圖2和圖3，一種硅片清洗裝置，包括用于放置硅片的花籃2、用于清洗硅片的清洗裝置3，所述花籃2包括同軸的內(nèi)圓管21和外圓管22，所述內(nèi)圓管21的外側(cè)壁上設(shè)有外卡槽211，所述外圓管22的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有與外卡槽211——對應(yīng)且與外卡槽211配合放置娃片的內(nèi)卡槽221,—個娃片卡接在兩個對應(yīng)的外卡槽211和內(nèi)卡槽221之間；所述內(nèi)圓管21底部和外圓管22的底部之間固連有桿23 ;所述內(nèi)圓管21上開設(shè)有用于連通外卡槽211與內(nèi)圓管21內(nèi)部且與外卡槽211 —一對應(yīng)的內(nèi)通槽212，每個外卡槽211頂部均與內(nèi)圓管21的上端相通，每個外卡槽211的底部均不與內(nèi)圓管21底端相通；所述外圓管22上開設(shè)有用于連通內(nèi)卡槽221與外圓管22外部且與內(nèi)卡槽221——對應(yīng)的外通槽222，每個內(nèi)卡槽221頂部均與外圓管22的上端相通，每個內(nèi)卡槽221的底部均不與外圓管22的底端相通；所述清洗裝置3包括設(shè)置在花籃2上方的圓板31、穿設(shè)在圓板31中心上且下端封閉的中心圓管32 ;中心圓管32外側(cè)壁上位于圓板31下方的部分環(huán)繞有中心圓管噴頭
34;所述圓板31上設(shè)有一圈向下噴淋的圓板噴頭33，所述圓板噴頭33位于內(nèi)圓管21和外圓管之間部分的正上方，每個圓板噴頭33上端均連有一個穿設(shè)在圓板31上的水管連接頭
35;所述中心圓管32和連接頭35均與水管相連。
[0013]使用時，用三爪卡盤I將花籃2固定住，然后將清洗裝置3中的中心圓管32插入到內(nèi)圓管21的中心孔內(nèi)，然后使圓板噴頭33和中心圓管噴頭34噴水,在噴水過程中定期使三角卡盤I帶動花籃2旋轉(zhuǎn)，可以將臟物甩出；當(dāng)沖洗完后，旋轉(zhuǎn)三角卡盤1，可以甩出硅片上的殘留水分，有利于后序硅片的快速干燥；然后取下花籃。
[0014]本實用新型中設(shè)有環(huán)形的花籃，圓板噴頭可以從上端對硅片進(jìn)行沖洗，中心圓管噴頭可以從內(nèi)圓管中心孔中向外對硅片進(jìn)行清洗，清洗時的工作效率高，而且環(huán)形的花籃不存在死角，容易清洗，而且清洗的干凈；三爪卡盤可以進(jìn)一步提高除去硅片表面臟污的效率，而且有利于后續(xù)的干燥。
[0015]以上所述僅為本實用新型的具體實施例，但本實用新型的技術(shù)特征并不局限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型的領(lǐng)域內(nèi)，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實用新型的專利范圍之中。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片清洗裝置，包括用于放置硅片的花籃(2)、用于清洗硅片的清洗裝置(3)，其特征是:所述花籃(2)包括同軸的內(nèi)圓管(21)和外圓管(22)，所述內(nèi)圓管(21)的外側(cè)壁上設(shè)有外卡槽(211)，所述外圓管(22)的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有與外卡槽(211) —一對應(yīng)且與外卡槽(211)配合放置硅片的內(nèi)卡槽(221)，所述內(nèi)圓管(21)底部和外圓管(22)的底部之間固連有桿(23)； 所述內(nèi)圓管(21)上開設(shè)有用于連通外卡槽(211)與內(nèi)圓管(21)內(nèi)部且與外卡槽(211) —一對應(yīng)的內(nèi)通槽(212)，每個外卡槽(211)頂部均與內(nèi)圓管(21)的上端相通，每個外卡槽(211)的底部均不與內(nèi)圓管(21)底端相通； 所述外圓管(22)上開設(shè)有用于連通內(nèi)卡槽(221)與外圓管(22)外部且與內(nèi)卡槽(221) —一對應(yīng)的外通槽(222)，每個內(nèi)卡槽(221)頂部均與外圓管(22)的上端相通，每個內(nèi)卡槽(221)的底部均不與外圓管(22)的底端相通； 所述清洗裝置(3)包括設(shè)置在花籃(2)上方的圓板(31)、穿設(shè)在圓板(31)中心上且下端封閉的中心圓管(32);中心圓管(32)外側(cè)壁上位于圓板(31)下方的部分環(huán)繞有中心圓管噴頭(34);所述圓板(31)上設(shè)有一圈向下噴淋的圓板噴頭(33),所述圓板噴頭(33)位于內(nèi)圓管(21)和外圓管之間部分的正上方，每個圓板噴頭(33)上端均連有一個穿設(shè)在圓板(31)上的水管連接頭(35)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征是:還包括用于夾持花籃且可旋轉(zhuǎn)的三爪卡盤(I)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片清洗裝置，其特征是:所述桿(23)有三個且均布在內(nèi)圓管(21)和外圓管(22)之間。
【文檔編號】B08B3/02GK203983246SQ201420474286
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月21日
【發(fā)明者】陳小力, 王進(jìn)昌 申請人:浙江輝弘光電能源有限公司