一種用于硅片清洗機(jī)的上料裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅片清洗機(jī)，特別涉及一種用于硅片清洗機(jī)的上料裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗，微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面，目前的清洗機(jī)自動(dòng)化程度不高，需要人工放置片籃，費(fèi)工費(fèi)時(shí)，亟待提高硅片插片清洗過(guò)程中的自動(dòng)化水平，達(dá)到節(jié)省人力、提高效率的目的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種用于硅片清洗機(jī)的上料裝置，通過(guò)插片、上料、清洗技術(shù)進(jìn)行改進(jìn)，以提高硅片插片清洗過(guò)程中的自動(dòng)化水平，達(dá)到節(jié)省人力、提高效率的目的，具體技術(shù)方案是，一種用于硅片清洗機(jī)的上料裝置，包含機(jī)架、三級(jí)回流線、取料機(jī)構(gòu)、移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、出料機(jī)構(gòu)、觸摸屏、電控系統(tǒng)，其特征在于:三級(jí)回流線、取料機(jī)構(gòu)取水平分別固定在機(jī)架下方，移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固定在機(jī)架中部且在取料機(jī)構(gòu)上方，出料機(jī)構(gòu)在移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)后方且固定在后面機(jī)架上，觸摸屏固定在機(jī)架外側(cè)面，電控系統(tǒng)安裝在機(jī)架內(nèi)上方，所述的取料機(jī)構(gòu)包括提升氣缸、擺桿、翻轉(zhuǎn)籃橫板、提升氣缸連接塊、翻轉(zhuǎn)氣缸、寬型氣爪、單軸機(jī)器人、無(wú)桿氣缸、導(dǎo)軌，提升氣缸、擺桿、翻轉(zhuǎn)籃橫板、提升氣缸連接塊、翻轉(zhuǎn)氣缸構(gòu)成取料翻轉(zhuǎn)部分固定于機(jī)架底部，寬型氣爪、單軸機(jī)器人、無(wú)桿氣缸、導(dǎo)軌構(gòu)成取料運(yùn)送部分固定于取料翻轉(zhuǎn)部分上方，提升氣缸固定在提升氣缸連接塊上，翻轉(zhuǎn)氣缸一端連接在擺桿上，擺桿另一端連接在翻轉(zhuǎn)籃橫板上，導(dǎo)軌固定在機(jī)架上，無(wú)桿氣缸固定在導(dǎo)軌上方，單軸機(jī)器人固定在無(wú)桿氣缸上，寬型氣爪固定在單軸機(jī)器人下方;所述的移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)臺(tái)、耳環(huán)座墊塊、A拉桿氣缸、A擺桿、轉(zhuǎn)移籃、旋轉(zhuǎn)臺(tái)基板、固定軸、B拉桿氣缸、B擺桿，旋轉(zhuǎn)臺(tái)固定在固定軸上，旋轉(zhuǎn)臺(tái)的軸插于旋轉(zhuǎn)臺(tái)基板通孔內(nèi)可轉(zhuǎn)動(dòng)，耳環(huán)座墊塊固定在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，A拉桿氣缸一端與耳環(huán)座墊塊固定、另一端與A擺桿固定，A擺桿與轉(zhuǎn)移籃固定，轉(zhuǎn)移籃支撐在旋轉(zhuǎn)臺(tái)基板上表面，旋轉(zhuǎn)臺(tái)基板下表面固定B拉桿氣缸，B拉桿氣缸與B擺桿一端連接，B擺桿另一端與旋轉(zhuǎn)臺(tái)的軸外表面固定;所述的出料機(jī)構(gòu)包括、出料寬型氣爪、出料導(dǎo)軌、出料平移電缸、出料A單軸機(jī)器人、步進(jìn)馬達(dá)單軸機(jī)器人、出料B單軸機(jī)器人，出料寬型氣爪固定于步進(jìn)馬達(dá)單軸機(jī)器人上，步進(jìn)馬達(dá)單軸機(jī)器人固定于出料平移電缸上，出料平移電缸可在出料導(dǎo)軌上平移，出料A單軸機(jī)器人、出料B單軸機(jī)器人平行固定在機(jī)架內(nèi)后面，出料導(dǎo)軌置于料A單軸機(jī)器人、出料B單軸機(jī)器人上，可自由前后移動(dòng);所述的電控系統(tǒng)連接為觸摸屏與可編程控制器雙向連接，啟動(dòng)/停止/復(fù)位開(kāi)關(guān)、傳感器與可編程控制器單向連接，可編程控制器與傳送帶電機(jī)、電磁閥、三色報(bào)警燈單向連接，電磁閥與氣缸單向連接，五個(gè)驅(qū)動(dòng)器輸出端并接后與可編程控制器單向連接，可編程控制器與輸出端并接后連接，每個(gè)驅(qū)動(dòng)器與一個(gè)電機(jī)相連，觸摸屏與驅(qū)動(dòng)器輸出端雙向連接。
[0004]本實(shí)用新型有益效果是，提高上料速度，增加產(chǎn)能，降低了破片率，降低了污染，避免了人為添加的新污染。
【附圖說(shuō)明】
[0005]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)主視圖。
[0006]圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
[0007]圖3是本實(shí)用新型的取料機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)取料翻轉(zhuǎn)部分主視圖。
[0008]圖4是本實(shí)用新型的取料機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)取料運(yùn)送部分主視圖。
[0009]圖5是本實(shí)用新型的取料機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)取料翻轉(zhuǎn)部分A-A視圖。
[0010]圖6是本實(shí)用新型的取料機(jī)構(gòu)取料翻轉(zhuǎn)部分B-B結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0011 ]圖7是本實(shí)用新型的移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)主視圖。
[0012]圖8是本實(shí)用新型的移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
[0013]圖9是本實(shí)用新型的移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0014]圖10是本實(shí)用新型的出料機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)主視圖。
[0015]圖11是本實(shí)用新型的出料機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
[0016]圖12是本實(shí)用新型的出料機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0017]圖13是本實(shí)用新型的電路連接框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]如圖1、2所示，一種用于硅片清洗機(jī)的上料裝置，包含機(jī)架1、三級(jí)回流線2、取料機(jī)構(gòu)3、移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4、出料機(jī)構(gòu)5、觸摸屏6、電控系統(tǒng)7，其特征在于:三級(jí)回流線2、取料機(jī)構(gòu)3取水平分別固定在機(jī)架I下方，移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4固定在機(jī)架I中部且在取料機(jī)構(gòu)3上方，出料機(jī)構(gòu)5在移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4后方且固定在后面機(jī)架I上，觸摸屏6固定在機(jī)架I外側(cè)面，電控系統(tǒng)7安裝在機(jī)架I內(nèi)上方。其動(dòng)作步驟為:a.翻轉(zhuǎn)氣缸運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)翻轉(zhuǎn)籃基板翻轉(zhuǎn)90度，b.提升氣缸向上運(yùn)動(dòng)將翻轉(zhuǎn)籃基板提高，c.單軸機(jī)器人向下運(yùn)動(dòng)到指定位置，d.寬型氣爪抓取片籃，e.單軸機(jī)器人向上運(yùn)動(dòng)，f.無(wú)桿氣缸將片籃移動(dòng)到指定位置，g.松開(kāi)寬型氣爪將片籃放置在待料位。
[0019]如圖3、4、5、6所示，取料機(jī)構(gòu)3包括提升氣缸3-1、擺桿3_2、翻轉(zhuǎn)籃橫板3_3、提升氣缸連接塊3-4、翻轉(zhuǎn)氣缸3-5、寬型氣爪3-6、單軸機(jī)器人3-7、無(wú)桿氣缸3-8、導(dǎo)軌3_9，提升氣缸3-1)、擺桿3-2、翻轉(zhuǎn)籃橫板3-3、提升氣缸連接塊3-4、翻轉(zhuǎn)氣缸3_5構(gòu)成取料翻轉(zhuǎn)部分固定于機(jī)架I底部，寬型氣爪3-6、單軸機(jī)器人3-7、無(wú)桿氣缸3-8、導(dǎo)軌3-9構(gòu)成取料運(yùn)送部分固定于取料翻轉(zhuǎn)部分上方，提升氣缸3-1固定在提升氣缸連接塊3-4上，翻轉(zhuǎn)氣缸3-5—端連接在擺桿3-2上，擺桿3-2另一端連接在翻轉(zhuǎn)籃橫板3-3上，導(dǎo)軌3-9固定在機(jī)架I上，無(wú)桿氣缸3-8固定在導(dǎo)軌3-9上方，單軸機(jī)器人3-9固定在無(wú)桿氣缸3-8上，寬型氣爪3_6固定在單軸機(jī)器人3-7下方;其動(dòng)作步驟為:a.翻轉(zhuǎn)氣缸3-5運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)翻轉(zhuǎn)籃橫板3-3翻轉(zhuǎn)90度，b.提升氣缸3-1向上運(yùn)動(dòng)將翻轉(zhuǎn)籃橫板3-3提高，c.單軸機(jī)器人3-7向下運(yùn)動(dòng)到指定位置，d.寬型氣爪3-6抓取片籃，e.單軸機(jī)器人3-7向上運(yùn)動(dòng)，f.無(wú)桿氣缸3-8將片籃移動(dòng)到指定位置，g.松開(kāi)寬型氣爪3-6將片籃放置在待料位(即平移機(jī)構(gòu)初始位置)，當(dāng)空片籃在待料位上時(shí)，插片機(jī)向空片籃中放置硅片。當(dāng)達(dá)到片藍(lán)最大可容納數(shù)量時(shí)，插片機(jī)停止工作，移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)開(kāi)始工作。
[0020]如圖7、8、9所示，所述的移轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4包括旋轉(zhuǎn)臺(tái)4-1、耳環(huán)座墊塊4-2、A拉桿氣缸4-
3、A擺桿4-4、轉(zhuǎn)移籃4-5、旋轉(zhuǎn)臺(tái)基板4-6、、固定軸4_7、B拉