技術(shù)編號：1471778
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型提供了一種硅片清洗裝置，旨在解決現(xiàn)有的硅片清洗裝置清洗硅片效率低的問題，包括花籃、清洗裝置，花籃包括內(nèi)圓管和外圓管，內(nèi)圓管上設(shè)有外卡槽，外圓管上設(shè)有內(nèi)卡槽，內(nèi)圓管底部和外圓管的底部之間固連有桿；內(nèi)圓管上開設(shè)有內(nèi)通槽；外圓管上開設(shè)有外通槽；清洗裝置包括圓板、中心圓管；中心圓管外側(cè)壁上環(huán)繞有中心圓管噴頭；圓板上設(shè)有圓板噴頭，每個圓板噴頭上端均連有一個穿設(shè)在圓板上的水管連接頭。本實用新型中設(shè)有環(huán)形的花籃，圓板噴頭可以從上端對硅片進行沖洗，中心圓管噴頭可...
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