一種硅片清洗設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種清洗設(shè)備，尤其涉及一種硅片清洗設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在硅片生產(chǎn)中清洗硅片時(shí)，硅片清洗機(jī)前段通常會(huì)放置I個(gè)水槽用來(lái)放置不銹鋼清洗籃，在硅片清洗機(jī)前段與該水槽中間放置一上料臺(tái)。在清洗過(guò)程中，通過(guò)人工將盛滿(mǎn)硅片片盒的不銹鋼清洗籃放入上料臺(tái)，等待機(jī)械手吊走進(jìn)入清洗機(jī)槽中。此種工序裝置存在明顯不足，在將硅片放入不銹鋼清洗籃中后，還需要人工將不銹鋼清洗籃從水槽放置到上料臺(tái)上，浪費(fèi)了人力。另外，放置上料臺(tái)后，硅片表面的水會(huì)逐漸流失，如若員工放置過(guò)早，會(huì)造成硅片接觸空氣，產(chǎn)生氧化等化學(xué)物理作用，導(dǎo)致后續(xù)清洗不良。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型實(shí)施例所要解決的問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有工序中需要人工將不銹鋼清洗籃從水槽放置到上料臺(tái)上，造成人力浪費(fèi)的問(wèn)題，并且還容易導(dǎo)致清洗效果不良，提出了一種硅片清洗設(shè)備。
[0004]為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種硅片清洗設(shè)備，該硅片清洗設(shè)備包括:清洗機(jī)；放置硅片的水槽，與所述清洗機(jī)連接；將所述硅片由所述水槽轉(zhuǎn)移至所述清洗機(jī)的機(jī)械手臂，所述機(jī)械手臂設(shè)置于所述清洗機(jī)或所述水槽上，或與所述清洗機(jī)以及所述水槽間隔設(shè)置。
[0005]其中，硅片清洗設(shè)備進(jìn)一步包括塑料片盒，塑料片盒設(shè)置于水槽中，用于承裝硅片，機(jī)械手臂移動(dòng)塑料片盒從而移動(dòng)硅片。
[0006]其中，硅片清洗設(shè)備進(jìn)一步包括不銹鋼清洗籃，不銹鋼清洗籃設(shè)置于水槽中，用于承裝塑料片盒，機(jī)械手臂移動(dòng)不銹鋼清洗籃從而移動(dòng)塑料片盒。
[0007]其中，清洗機(jī)包括依次設(shè)置的純水清洗槽、加清洗劑清洗槽、純水漂洗槽和烘干隧道，純水清洗槽遠(yuǎn)離加清洗劑清洗槽的一端連接水槽。
[0008]其中，純水清洗槽包括依次設(shè)置的第一純水清洗槽和第二純水清洗槽；加清洗劑清洗槽包括依次設(shè)置的第一加清洗劑清洗槽和第二加清洗劑清洗槽；純水漂洗槽包括依次設(shè)置的第一純水漂洗槽、第二純水漂洗槽和第三純水漂洗槽；第一純水清洗槽連接水槽，第二純水清洗槽連接第一加清洗劑清洗槽，第二加清洗劑清洗槽連接第一純水漂洗槽，第三純水漂洗槽連接烘干隧道。
[0009]實(shí)施本實(shí)用新型實(shí)施例，具有如下有益效果:本實(shí)用新型的硅片清洗設(shè)備將水槽與清洗機(jī)連接，使其與清洗機(jī)成為一體，讓機(jī)械手臂直接從水槽中將硅片移動(dòng)至清洗機(jī)中，免去了人工操作，節(jié)約了人力；并且，還可以防止硅片在清洗之前接觸空氣，從而使清洗效果更好。
【附圖說(shuō)明】
[0010]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0011]圖1是本實(shí)用新型提供的硅片清洗設(shè)備的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0013]請(qǐng)參見(jiàn)圖1，圖1是本實(shí)用新型提供的硅片清洗設(shè)備的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。在本實(shí)施例中，硅片清洗設(shè)備包括機(jī)械手臂10、水槽20、不銹鋼清洗籃21、塑料片盒22以及清洗機(jī)30。
[0014]機(jī)械手臂10用于將硅片由水槽20轉(zhuǎn)移至清洗機(jī)30。在本實(shí)施例中，機(jī)械手臂10包括移動(dòng)軌道11、手臂支架12以及抓取機(jī)械手13。移動(dòng)軌道11間隔于清洗機(jī)30以及水槽20設(shè)置，手臂支架12 —端與移動(dòng)軌道11移動(dòng)連接，另一端連接機(jī)械手13。機(jī)械手13負(fù)責(zé)進(jìn)行抓取，手臂支架12與移動(dòng)軌道11相配合，從而移動(dòng)機(jī)械手13。因此，在本實(shí)施例中，機(jī)械手臂10間隔于清洗機(jī)30以及水槽20設(shè)置。在其它實(shí)施例中，機(jī)械手臂10還可設(shè)置于清洗機(jī)30上或者水槽20上，但本實(shí)施例中的實(shí)施方式較為優(yōu)選。
[0015]清洗機(jī)30包括依次連接的純水洗槽31、加清洗劑清洗槽32、純水漂洗槽33和烘干隧道34。純水洗槽31包括依次連接的第一純水洗槽311和第二純水洗槽312，加清洗劑清洗槽32包括依次連接的第一加清洗劑清洗槽321和第二加清洗劑清洗槽322，純水漂洗槽33包括依次連接的第一純水漂洗槽331、第二純水漂洗槽332和第三純水漂洗槽333。第一純水洗槽311連接水槽20，第二純水洗槽312連接第一加清洗劑清洗槽321，第二加清洗劑清洗槽322連接第一純水漂洗槽331，第三純水漂洗槽333連接烘干隧道34。
[0016]在本實(shí)施例中，將裝有硅片的塑料片盒22放置在不銹鋼清洗籃21中，再將不銹鋼清洗籃21放置在水槽20中。水槽20中可同時(shí)放置3個(gè)不銹鋼清洗籃21，以保障了清洗的循環(huán)進(jìn)行。在其它實(shí)施例中，塑料片盒22的容量、不銹鋼清洗籃21的容量以及水槽20的容量可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)節(jié)。清洗硅片時(shí)，機(jī)械手臂10直接從水槽20中取走不銹鋼清洗籃21，放入純水洗槽31中清洗。清洗完畢后，機(jī)械手臂10再將不銹鋼清洗藍(lán)21依次放入加清洗劑清洗槽32和純水漂洗槽33中進(jìn)行清洗，最后放入烘干隧道34中烘干。
[0017]在其它實(shí)施例中，可以不設(shè)置不銹鋼清洗籃21與塑料片盒22，直接將硅片放置于水槽20中，用機(jī)械手臂10進(jìn)行抓取?；騼H設(shè)置塑料片盒22，機(jī)械手臂10對(duì)塑料片盒22進(jìn)行抓取。
[0018]實(shí)施本實(shí)用新型實(shí)施例，具有如下有益效果:本實(shí)用新型的硅片清洗設(shè)備將水槽與清洗機(jī)連接，使其與清洗機(jī)成為一體，讓機(jī)械手臂直接從水槽中將硅片移動(dòng)至清洗機(jī)中，免去了人工操作，節(jié)約了人力；并且，還可以防止硅片在清洗之前接觸空氣，從而使清洗效果更好。
[0019]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片清洗設(shè)備，其特征在于，所述硅片清洗設(shè)備包括: 清洗機(jī)； 放置硅片的水槽，與所述清洗機(jī)連接； 將所述硅片由所述水槽轉(zhuǎn)移至所述清洗機(jī)的機(jī)械手臂，所述機(jī)械手臂設(shè)置于所述清洗機(jī)或所述水槽上，或與所述清洗機(jī)以及所述水槽間隔設(shè)置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片清洗設(shè)備，其特征在于，所述硅片清洗設(shè)備進(jìn)一步包括塑料片盒，所述塑料片盒設(shè)置于所述水槽中，用于承裝所述硅片，所述機(jī)械手臂移動(dòng)所述塑料片盒從而移動(dòng)所述硅片。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述硅片清洗設(shè)備，其特征在于，所述硅片清洗設(shè)備進(jìn)一步包括不銹鋼清洗籃，所述不銹鋼清洗籃設(shè)置于所述水槽中，用于承裝所述塑料片盒，所述機(jī)械手臂移動(dòng)所述不銹鋼清洗籃從而移動(dòng)所述塑料片盒。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片清洗設(shè)備，其特征在于，所述清洗機(jī)包括依次設(shè)置的純水清洗槽、加清洗劑清洗槽、純水漂洗槽和烘干隧道，所述純水清洗槽遠(yuǎn)離所述加清洗劑清洗槽的一端連接所述水槽。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述硅片清洗設(shè)備，其特征在于，所述純水清洗槽包括依次設(shè)置的第一純水清洗槽和第二純水清洗槽；所述加清洗劑清洗槽包括依次設(shè)置的第一加清洗劑清洗槽和第二加清洗劑清洗槽；所述純水漂洗槽包括依次設(shè)置的第一純水漂洗槽、第二純水漂洗槽和第三純水漂洗槽；所述第一純水清洗槽連接所述水槽，所述第二純水清洗槽連接所述第一加清洗劑清洗槽，所述第二加清洗劑清洗槽連接所述第一純水漂洗槽，所述第三純水漂洗槽連接所述烘干隧道。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種硅片清洗設(shè)備，該硅片清洗設(shè)備包括清洗機(jī)；放置硅片的水槽，與清洗機(jī)連接；將硅片由水槽轉(zhuǎn)移至清洗機(jī)的機(jī)械手臂，機(jī)械手臂設(shè)置于清洗機(jī)或水槽上，或與清洗機(jī)以及水槽間隔設(shè)置。實(shí)施本實(shí)用新型實(shí)施例，具有如下有益效果：本實(shí)用新型的硅片清洗設(shè)備將水槽與清洗機(jī)連接，使其與清洗機(jī)成為一體，讓機(jī)械手臂直接從水槽中將硅片移動(dòng)至清洗機(jī)中，免去了人工操作，節(jié)約了人力；并且，還可以防止硅片在清洗之前接觸空氣，從而使清洗效果更好。
【IPC分類(lèi)】B08B3/08, B08B13/00, B08B3/04
【公開(kāi)號(hào)】CN204638624
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520251385
【發(fā)明人】洪育林, 張震, 安冠宇, 李文文, 劉凱
【申請(qǐng)人】武漢宜田科技發(fā)展有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月16日
【申請(qǐng)日】2015年4月23日