一種用于硅片清洗的組合式裝載片盒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于硅單晶片的生產(chǎn)領(lǐng)域，具體的說是一種用于硅片清洗的組合式裝載片盒。
【背景技術(shù)】
[0002]硅單晶片為圓片形狀，尺寸從直徑上分為4英寸、5英寸、6英寸及更大尺寸，它在化學機械拋光之后，要使用清洗機對其表面進行清洗，去除硅片表面拋光用蠟、顆粒污染、金屬離子等雜質(zhì)。由于大尺寸拋光娃片使用無片盒清洗或單片清洗方式，和4英寸、5英寸、6英寸硅拋光片槽式清洗設(shè)備有很大區(qū)別，本實用新型技術(shù)只涉及4英寸、5英寸、6英寸硅片的清洗加工。
[0003]硅拋光片在清洗機中需要經(jīng)過一系列化學液槽的清洗達到去除顆粒、雜質(zhì)的目的，清洗時是被裝載在一種耐酸堿腐蝕的特氟龍材料的片盒內(nèi)，這種片盒兩側(cè)各具有25個槽位，硅片豎立放置在槽內(nèi)，每一個片盒可以裝滿25片硅片，硅片互相之間分隔開一定距離，每種尺寸的硅片都有其相對應(yīng)的裝載片盒。由于拋光硅片清洗后表面要達到亞微米級潔凈度質(zhì)量指標，而手動操作設(shè)備會引入操作人員對硅片表面的污染，所以拋光片清洗使用的是全自動拋光片清洗機，大幅度減少了人員的操作。
[0004]全自動拋光片清洗機通常由多個化學液清洗槽和幾個純水淋洗槽組成，最終由一臺干燥器完成硅片的干燥。每個槽子和干燥器通過設(shè)備內(nèi)置程序設(shè)定有處理時間，當某槽清洗時間到達設(shè)定的時間，清洗機依靠機械臂夾具自動夾取裝載硅片的片盒，放入到下一個槽進行清洗，如此依次完成硅片在不同清洗槽中的移動。
[0005]每個清洗槽子同時容納一組兩盒硅片，每個機械臂有兩個夾具，當夾具閉合，則夾住片盒向左右兩邊突出的上外沿下側(cè)，機械臂上升提起片盒，使片盒掛在機械臂的夾具上。當機械臂完成將片盒放置到下一個清洗槽底部的擱板上，夾具打開，松開片盒。不同尺寸片盒的外沿寬度和外沿高度有差別，設(shè)備通過氣缸的行程來控制機械臂夾具下降的程度和開合、閉合的寬度，但由于氣缸的行程控制的限制，設(shè)備生產(chǎn)廠家的設(shè)計只能使機械臂夾取兩種不同尺寸的硅片裝載片盒，即同一臺清洗機只能實現(xiàn)兩種尺寸硅片清洗的兼容，無法做到4英寸、5英寸、6英寸三種尺寸硅片同時清洗的兼容性，為清洗另一種尺寸硅片，通常的做法是另外購置一臺硅片清洗機，而清洗機的購置費用及日后運行成本都是昂貴的。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]為解決現(xiàn)有技術(shù)中的清洗機只能實現(xiàn)兩種尺寸硅片的清洗兼容導致的需額外購置硅片清洗機的問題，本實用新型提供了一種用于硅片清洗的組合式裝載片盒，通過該組合式裝載片盒，實現(xiàn)了在原有清洗機硬件條件不變的情況下對4英寸、5英寸和6英寸三種尺寸硅片清洗的兼容性。
[0007]本實用新型為解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為:一種用于硅片清洗的組合式裝載片盒，由外套片盒和內(nèi)置片盒構(gòu)成，且內(nèi)置片盒以可拆卸方式嵌套在外套片盒內(nèi)，其中，外套片盒上部和底部分別設(shè)有外沿I和底腳，且外沿I和底腳的尺寸與現(xiàn)有5英寸特氟龍片盒尺寸相同，外套片盒的中部設(shè)置有加強筋，所述內(nèi)置片盒內(nèi)設(shè)置有裝載4英寸硅片的卡槽。
[0008]所述外套片盒內(nèi)部的上側(cè)壁設(shè)置有卡臺，下部為向內(nèi)傾斜的梯形，所述內(nèi)置片盒的下部為與外套片盒下部匹配的梯形，內(nèi)置片盒的頂部設(shè)置有卡在卡臺上的外沿II。
[0009]本實用新型中，為了保證耐酸堿腐蝕，外套片盒使用特氟龍材料制成，在需要清洗4英寸硅片時，操作人員將盛有4英寸硅片的內(nèi)置片盒從上往下放進外套片盒中，然后將外套片盒放置在清洗機發(fā)送臺上，然后按5英寸發(fā)送按鍵，機械臂得到指令，按照夾取5英寸片盒的動作即可方便實現(xiàn)對外套片盒的自動夾取、傳遞工作，完成清洗后，操作人員可以方便地將內(nèi)置片盒從外套片盒中取出。
[0010]有益效果:本實用新型通過在外套片盒內(nèi)設(shè)置內(nèi)置片盒，將4英寸硅片裝載在內(nèi)置片盒內(nèi)實現(xiàn)了清洗機對三種尺寸硅片的兼容，擴展了設(shè)備的兼容性，制作簡單，使用方便，避免了額外購置清洗機來清洗不同尺寸硅片導致的成本提升。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本實用新型的側(cè)視圖；
[0013]附圖標記:1、外套片盒，101、外沿I，102、底腳，103、加強筋，104、卡臺，2、內(nèi)置片盒，201、外沿II。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本實用新型進行進一步的闡述。
[0015]如附圖1和2所示，一種用于硅片清洗的組合式裝載片盒，由外套片盒I和內(nèi)置片盒2構(gòu)成，且內(nèi)置片盒2以可拆卸方式嵌套在外套片盒I內(nèi)，其中，外套片盒I上部和底部分別設(shè)有外沿I 101和底腳102，且外沿I 101和底腳102的尺寸與現(xiàn)有5英寸特氟龍片盒尺寸相同，外套片盒I的中部設(shè)置有加強筋103，其內(nèi)部的上側(cè)壁設(shè)置有卡臺104，下部為向內(nèi)傾斜的梯形，所述內(nèi)置片盒2內(nèi)設(shè)置有裝載4英寸硅片的卡槽，且內(nèi)置片盒2的下部為與外套片盒I下部匹配的梯形，以使兩者能夠完美嵌合，內(nèi)置片盒2的頂部設(shè)置有卡在卡臺104上的外沿II 201。
[0016]需要清洗4英寸硅片時，將4英寸硅片裝載在內(nèi)置片盒2內(nèi)，然后再將內(nèi)置片盒2嵌套于外套片盒I內(nèi)即可，實現(xiàn)了在不改變清洗機機械臂結(jié)構(gòu)的條件下，實現(xiàn)機械臂自動對片盒的取放，使用完成后方便拆卸和更換。
[0017]以上所列舉的技術(shù)方案和實施方式并非是限制，與本實用新型所列舉的技術(shù)方案和實施方式等同或者效果相同方案都在本實用新型所保護的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于硅片清洗的組合式裝載片盒，其特征在于:由外套片盒(I)和內(nèi)置片盒(2)構(gòu)成，且內(nèi)置片盒(2)以可拆卸方式嵌套在外套片盒(I)內(nèi)，其中，外套片盒(I)上部和底部分別設(shè)有外沿I (101)和底腳(102)，且外沿I (101)和底腳(102)的尺寸與現(xiàn)有5英寸特氟龍片盒尺寸相同，外套片盒(I)的中部設(shè)置有加強筋(103)，所述內(nèi)置片盒(2)內(nèi)設(shè)置有裝載4英寸娃片的卡槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片清洗的組合式裝載片盒，其特征在于:所述外套片盒(I)內(nèi)部的上側(cè)壁設(shè)置有卡臺(104)，下部為向內(nèi)傾斜的梯形，所述內(nèi)置片盒(2)的下部為與外套片盒(I)下部匹配的梯形，內(nèi)置片盒(2)的頂部設(shè)置有卡在卡臺(104)上的外沿II (201)。
【專利摘要】一種用于硅片清洗的組合式裝載片盒，屬于硅單晶片的生產(chǎn)領(lǐng)域，由外套片盒和裝載4英寸硅片的內(nèi)置片盒構(gòu)成，且內(nèi)置片盒以可拆卸方式嵌套在外套片盒內(nèi)。本實用新型通過在外套片盒內(nèi)設(shè)置內(nèi)置片盒，將4英寸硅片裝載在內(nèi)置片盒內(nèi)實現(xiàn)了清洗機對4英寸硅片的兼容，實現(xiàn)了清洗機對三種尺寸硅片的兼容，制作簡單，使用方便，避免了額外購置清洗機來清洗不同尺寸硅片導致的成本提升。
【IPC分類】B08B13-00, H01L21-67, H01L21-673
【公開號】CN204596762
【申請?zhí)枴緾N201520250092
【發(fā)明人】熊誠雷, 邵奇, 吳躍峰
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年8月26日
【申請日】2015年4月23日