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玻璃層疊體及其制造方法、以及帶有機(jī)硅樹(shù)脂層的支撐基材的制作方法_3

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氫原子)的摩爾比(烯基的摩爾數(shù)/氫甲硅烷基的摩爾數(shù))為 1/1 ~1/0. 8〇
[0096] 作為氫甲硅烷基化催化劑,優(yōu)選使用鉑族金屬類催化劑。作為鉑族金屬類催化劑, 可以列舉鉑類、鈀類、銠類等催化劑,從經(jīng)濟(jì)性、反應(yīng)性方面考慮,特別優(yōu)選使用鉑類催化 劑。作為鉑族金屬類催化劑,可以使用公知的鉑族金屬類催化劑。具體而言,可以列舉鉑微 粉、鉬黑、氯亞鉑酸、氯鉑酸等氯鉑酸、四氯化鉑、氯鉑酸的醇化合物、醛化合物、或鉑的烯烴 絡(luò)合物、烯基硅氧烷絡(luò)合物、羰基絡(luò)合物等。
[0097] 作為氫甲硅烷基化催化劑的使用量,相對(duì)于有機(jī)聚硅氧烷A與有機(jī)聚硅氧烷B的 合計(jì)質(zhì)量100質(zhì)量份,優(yōu)選為〇. 1~20質(zhì)量份,更優(yōu)選為1~10質(zhì)量份。作為鉑成分,相 對(duì)于有機(jī)聚硅氧烷A與有機(jī)聚硅氧烷B的合計(jì)質(zhì)量100質(zhì)量份,優(yōu)選為2~400ppm,更優(yōu)選 為 2 ~300ppm。
[0098] 可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的重量平均分子量沒(méi)有特別限制,但從操作性優(yōu)良,并且 成膜性也優(yōu)良,在高溫處理?xiàng)l件下的有機(jī)硅樹(shù)脂的分解被進(jìn)一步抑制的方面考慮,基 于GPC(凝膠滲透色譜法)測(cè)定的按聚苯乙烯換算的重量平均分子量?jī)?yōu)選為1,000~ 5, 000, 000,更優(yōu)選為 2, 000 ~3, 000, 000。
[0099] 可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的粘度優(yōu)選為10~5000mPa *s,更優(yōu)選為15~3000mPa *s。 需要說(shuō)明的是,在本說(shuō)明書(shū)中,在沒(méi)有特別規(guī)定的情況下,粘度是在25°C下測(cè)定時(shí)的值。 [0100] 在本發(fā)明中的固化性有機(jī)硅樹(shù)脂組合物中,出于調(diào)節(jié)催化劑活性的目的優(yōu)選進(jìn)一 步將具有抑制催化劑活性的作用的活性抑制劑(也稱為反應(yīng)抑制劑、阻滯劑等的化合物) 與催化劑并用。作為活性抑制劑,可以列舉例如:各種有機(jī)氮化合物、有機(jī)磷化合物、炔類化 合物、肟化合物、有機(jī)氯化合物等。作為炔類化合物,具體而言,可以列舉1-乙炔基-1-環(huán) 己醇、3, 5-二甲基-1-己炔-3-醇、4-乙基-1-辛炔-3-醇等。根據(jù)需要,在不損害本發(fā)明 的效果的范圍內(nèi),可以還含有各種二氧化硅、碳酸鈣、氧化鐵等無(wú)機(jī)填料等。另外,作為耐熱 性提高劑,可以含有金屬氧化物等金屬化合物。
[0101] 另外,己烷、庚烷、辛烷、甲苯、二甲苯等有機(jī)溶劑、水等分散介質(zhì)雖然為不構(gòu)成固 化有機(jī)硅樹(shù)脂的成分,但出于提高為了涂布固化性有機(jī)硅樹(shù)脂組合物的操作性等目的,可 以在本發(fā)明中的固化性有機(jī)硅樹(shù)脂組合物中配合并使用。
[0102] 有機(jī)硅樹(shù)脂層14中可以含有硅油。通過(guò)在有機(jī)硅樹(shù)脂層中含有硅油,也可以將通 過(guò)納米壓痕法測(cè)定的有機(jī)硅樹(shù)脂層的彈性模量控制為規(guī)定的值。硅油與上述可交聯(lián)有機(jī)聚 硅氧烷不同,不與可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷反應(yīng),為不具有交聯(lián)性的非交聯(lián)性(非反應(yīng)性)的有 機(jī)聚硅氧烷。
[0103] 硅油的種類沒(méi)有特別限定,可以例示二甲基聚硅氧烷、甲基苯基聚硅氧烷、二苯基 聚硅氧烷等直鏈硅油;在直鏈硅油的側(cè)鏈或末端引入了聚醚基、鹵素基等的改性硅油。
[0104] 需要說(shuō)明的是,作為硅油的具體市售的商品名或型號(hào),作為具有芳香族基團(tuán)(例 如苯基)的硅油,可以列舉KTSF433(邁圖高新材料日本合同會(huì)社制)、KF-50、KF-53、 KF-54(信越化學(xué)工業(yè)公司制)、SH550 (東麗道康寧公司制)等。
[0105] 作為不具有芳香族基團(tuán)的硅油,可以列舉SH200(東麗道康寧公司制)、 KNS-330(信越化學(xué)公司制)等。
[0106] 硅油的粘度沒(méi)有特別限制,從在有機(jī)硅樹(shù)脂層14表面容易滲出、玻璃基板16的剝 離性更優(yōu)良的方面以及剝離后的玻璃基板16的透明性更優(yōu)良的方面考慮,優(yōu)選為100~ 6000mm2/s,更優(yōu)選為 100 ~3000mm2/s,進(jìn)一步優(yōu)選為 125 ~1000 mmVs。
[0107] 有機(jī)硅樹(shù)脂層14中的硅油的含有比例沒(méi)有特別限制,從玻璃基板16的剝離性優(yōu) 良、并且剝離后的玻璃基板的透明性更優(yōu)良的方面考慮,相對(duì)于有機(jī)硅樹(shù)脂100質(zhì)量份,優(yōu) 選為6~20質(zhì)量份,更優(yōu)選為6~15質(zhì)量份,進(jìn)一步優(yōu)選為8~15質(zhì)量份。
[0108] [玻璃層疊體及其制造方法]
[0109] 本發(fā)明的玻璃層疊體10如上所述是支撐基材12與玻璃基板16和在它們之間存 在有機(jī)硅樹(shù)脂層14的層疊體。
[0110] 本發(fā)明的玻璃層疊體10的制造方法沒(méi)有特別限制,可以采用公知的方法。例如, 優(yōu)選在支撐基材12上固定化有機(jī)硅樹(shù)脂層14后的帶有機(jī)硅樹(shù)脂層的支撐基材18的有機(jī) 硅樹(shù)脂層14上層疊玻璃基板16的方法。其中,為了得到剝離強(qiáng)度(X)高于剝離強(qiáng)度(y) 的層疊體,優(yōu)選在支撐基材12表面上使規(guī)定的可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷交聯(lián)固化而形成有機(jī) 硅樹(shù)脂層14的方法。即,在支撐基材12的表面形成含有可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的層,在支撐 基材12表面上使可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷交聯(lián)而形成有機(jī)硅樹(shù)脂層14(交聯(lián)有機(jī)硅樹(shù)脂),然 后,在有機(jī)硅樹(shù)脂層14的有機(jī)硅樹(shù)脂面層疊玻璃基板16,從而制造玻璃層疊體10的方法。 另外,通過(guò)在支撐基材12表面上使規(guī)定的可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷交聯(lián)固化,也可以將基于納 米壓痕法的彈性模量控制在規(guī)定的范圍內(nèi)。
[0111] 認(rèn)為使可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷在支撐基材12表面固化時(shí),通過(guò)固化反應(yīng)時(shí)與支撐 基材12表面的相互作用而膠粘,有機(jī)硅樹(shù)脂與支撐基材12表面的剝離強(qiáng)度提高。因此,即 使玻璃基板16和支撐基材12包含相同的材質(zhì),也可以對(duì)有機(jī)硅樹(shù)脂層14與兩者間的剝離 強(qiáng)度設(shè)置差。
[0112] 以下,將在支撐基材12的表面形成包含可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的層、在支撐基材12 表面上使可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷交聯(lián)而形成有機(jī)硅樹(shù)脂層14的工序稱為樹(shù)脂層形成工序; 將在有機(jī)硅樹(shù)脂層14的有機(jī)硅樹(shù)脂面層疊玻璃基板16而得到玻璃層疊體10的工序稱為 層疊工序,對(duì)各工序的步驟進(jìn)行詳細(xì)敘述。
[0113] (樹(shù)脂層形成工序)
[0114] 在樹(shù)脂層形成工序中,在支撐基材12的表面形成包含可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的層, 并在支撐基材12表面上使可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷交聯(lián)而形成有機(jī)硅樹(shù)脂層14。
[0115] 為了在支撐基材12上形成含有可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的層,優(yōu)選:使用將可交聯(lián)有 機(jī)聚硅氧烷溶解于溶劑中而得到的涂布用組合物,在支撐基材12上涂布該組合物而形成 溶液的層,然后除去溶劑而得到含有可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的層。通過(guò)調(diào)節(jié)組合物中的可交 聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的濃度等,可以控制含有可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的層的厚度。
[0116] 作為溶劑,只要是在操作環(huán)境下能夠容易地溶解可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷且能夠容 易揮發(fā)除去的溶劑,就沒(méi)有特別限定。具體而言,可以例示例如:乙酸丁酯、庚烷、2-庚酮、 1-甲氧基-2-丙醇乙酸酯、甲苯、二甲苯、THF、氯仿等。
[0117] 在支撐基材12表面上涂布含有可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的組合物的方法沒(méi)有特別限 定,可以使用公知的方法??梢粤信e例如:噴涂法、口模式涂布法、旋涂法、浸涂法、輥涂法、 刮棒涂布法、絲網(wǎng)印刷法、凹版涂布法等。
[0118] 之后,根據(jù)需要,可以實(shí)施用于除去溶劑的干燥處理。干燥處理的方法沒(méi)有特別限 制,可以列舉例如在減壓條件下除去溶劑的方法、在不進(jìn)行可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的固化這 樣的溫度下加熱的方法等。
[0119] 然后,使支撐基材12上的可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷交聯(lián),從而形成有機(jī)硅樹(shù)脂層14。 更具體而言,如圖2 (A)所示,在該工序中在支撐基材12的至少單面的表面上形成有機(jī)硅樹(shù) 脂層14。
[0120] 固化(交聯(lián))的方法如上所述可以根據(jù)可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的交聯(lián)方式而適當(dāng)選 擇最合適的方法,可以列舉例如加熱處理、曝光處理。其中,可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷通過(guò)氫甲 硅烷基化反應(yīng)、縮合反應(yīng)、自由基反應(yīng)而交聯(lián)時(shí),從得到對(duì)玻璃基板16的粘附性和耐熱性 優(yōu)良的有機(jī)硅樹(shù)脂方面考慮,優(yōu)選通過(guò)熱固化制造有機(jī)硅樹(shù)脂層14。
[0121] 以下,對(duì)熱固化的方式進(jìn)行詳細(xì)敘述。
[0122] 使可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷熱固化的溫度條件在能夠提高有機(jī)硅樹(shù)脂層14的耐熱 性、將與玻璃基板16層疊后的剝離強(qiáng)度(y)如上所述控制的范圍內(nèi)沒(méi)有特別限制,但優(yōu)選 為150~300°C,更優(yōu)選為180~250°C。另外,加熱時(shí)間通常優(yōu)選為10~120分鐘,更優(yōu) 選為30~60分鐘。熱固化的溫度過(guò)低時(shí),耐熱性、有機(jī)硅樹(shù)脂層14的平坦性降低,另一方 面,溫度過(guò)高時(shí),剝離強(qiáng)度(y)變得過(guò)低,無(wú)論如何都有玻璃基板16與有機(jī)硅樹(shù)脂層14的 粘附性變?nèi)醯那闆r。
[0123] 需要說(shuō)明的是,可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷可以在進(jìn)行預(yù)固化后進(jìn)行后固化(主固化) 而使其固化。通過(guò)進(jìn)行預(yù)固化,可以得到耐熱性更優(yōu)良的有機(jī)硅樹(shù)脂層14。預(yù)固化優(yōu)選緊 接著溶劑的除去進(jìn)行,此時(shí)從層除去溶劑而形成含有可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷和硅油的層的工 序和進(jìn)行預(yù)固化的工序沒(méi)有特別區(qū)別。
[0124] (層疊工序)
[0125] 層疊工序是在通過(guò)上述的樹(shù)脂層形成工序得到的有機(jī)硅樹(shù)脂層14的有機(jī)硅樹(shù)脂 面上層疊玻璃基板16,從而得到依次具備支撐基材12、有機(jī)硅樹(shù)脂層14和玻璃基板16的 玻璃層疊體10的工序。更具體而言,如圖2(B)所示,將與有機(jī)硅樹(shù)脂層14的支撐基材12 側(cè)相反側(cè)的表面(有機(jī)硅樹(shù)脂層的第1主面)14a和具有第1主面16a和第2主面16b的 玻璃基板16的第1主面16a作為層疊面,將有機(jī)硅樹(shù)脂層14與玻璃基板16層疊,從而得 到玻璃層疊體10。
[0126] 將玻璃基板16層疊在有機(jī)硅樹(shù)脂層14上的方法沒(méi)有特別限制,可以采用公知的 方法。
[0127] 可以列舉例如在常壓環(huán)境下在有機(jī)硅樹(shù)脂層14的表面上重疊玻璃基板16的方 法。需要說(shuō)明的是,根據(jù)需要,可以在有機(jī)硅樹(shù)脂層14的表面上重疊玻璃基板16后,使用 輥、壓機(jī)使玻璃基板16與有機(jī)硅樹(shù)脂層14壓接。通過(guò)利用輥或壓機(jī)的壓接,可以較容易地 除去在有機(jī)硅樹(shù)脂層14與玻璃基板16之間混入的氣泡,因此優(yōu)選。
[0128] 通過(guò)真空層壓法、真空壓制法進(jìn)行壓接時(shí),可以抑制氣泡的混入、確保良好的粘 附,因此優(yōu)選。通過(guò)在真空下壓接,即使在殘留微小的氣泡的情況下,也存在不會(huì)由加熱引 起氣泡生長(zhǎng)、不易導(dǎo)致玻璃基板16的歪曲缺陷的優(yōu)點(diǎn)。
[0129] 在層疊玻璃基板16時(shí),優(yōu)選將與有機(jī)硅樹(shù)脂層14接觸的玻璃基板16的表面充分 清洗,在潔凈度高的環(huán)境中進(jìn)行層疊。潔凈度越高,則玻璃基板16的平坦性越良好,因此優(yōu) 選。
[0130] 需要說(shuō)明的是,在層疊玻璃基板16后,根據(jù)需要可以進(jìn)行預(yù)退火處理(加熱處 理)。通過(guò)進(jìn)行該預(yù)退火處理,層疊后的玻璃基板16對(duì)有機(jī)硅樹(shù)脂層14的粘附性提高,可 以得到適當(dāng)?shù)膭冸x強(qiáng)度(y),在后述的構(gòu)件形成工序時(shí)不易產(chǎn)生電子器件用構(gòu)件的位置偏 移等,電子器件的生產(chǎn)率提高。
[0131] 預(yù)退火處理的條件可以根據(jù)所使用的有機(jī)硅樹(shù)脂層14的種類而適當(dāng)選擇最適合 的條件,但從使玻璃基板16與有機(jī)硅樹(shù)脂層14之間的剝離強(qiáng)度(y)更適當(dāng)?shù)姆矫婵紤],優(yōu) 選在300°C以上(優(yōu)選為300~400°C )進(jìn)行5分鐘以上(優(yōu)選為5~30分鐘)加熱處理。
[0132] 需要說(shuō)明的是,有機(jī)硅樹(shù)脂層14的形成不限于上述方法。
[0133] 例如,使用對(duì)有機(jī)硅樹(shù)脂表面的粘附性比玻璃基板16高的材質(zhì)的支撐基材12時(shí), 可以將可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷在任何可剝離表面上固化而制造有機(jī)硅樹(shù)脂的膜,使該膜存在 于玻璃基板16與支撐基材12之間并同時(shí)進(jìn)行層疊。
[0134] 另外,由可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧烷的固化產(chǎn)生的膠粘性對(duì)玻璃基板16充分低且該膠 粘性對(duì)支撐基材12充分高時(shí),可以在玻璃基板16與支撐基材12之間使可交聯(lián)有機(jī)聚硅氧 烷固化而形成有機(jī)硅樹(shù)脂層14。
[0135] 此外,即使在支撐基材12包含與玻璃基板16同樣的玻璃材料的情況下,也可以通 過(guò)實(shí)施提高支撐基材12表面的膠粘性的處理而提高對(duì)有機(jī)硅樹(shù)脂層14的剝離強(qiáng)度。可以 例示例如硅烷偶聯(lián)劑等化學(xué)地使固定力提高的化學(xué)方法(底涂處理)、火焰處理等使表面 活性基團(tuán)增加的物理方法、噴砂處理等通過(guò)使表面的粗糙度增加而使連接(引〇扣扣*9 ) 增加的機(jī)械處理方法等。
[0136] (玻璃層疊體)
[0137] 本發(fā)明的玻璃層疊體10可以在各種用途中使用,可以列舉例如:制造后述的顯示 裝置用面板、PV、薄膜二次電池、在表面形成有電路的半導(dǎo)體晶片等的電子部件的用途等。 需要說(shuō)明的是,在該用途中,多數(shù)情況下將玻璃層疊體10暴露在高溫條件(例如360°c以 上)下(例如1小時(shí)以上)。
[0138] 此處,顯示裝置用面板包括IXD、OLED、電子紙、等離子體顯示面板、場(chǎng)發(fā)射面板、量 子點(diǎn)LED面板、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))快門(mén)式面板等。
[0139] [帶構(gòu)件的玻璃基板及其制造方法]
[0140] 在本發(fā)明中,使用上述的層疊體,制造包含玻璃基板和電子器件用構(gòu)件的帶構(gòu)件 的玻璃基板(帶電子器件用構(gòu)件的玻璃基板)。
[0141] 該帶構(gòu)件的玻璃基板的制造方法沒(méi)有特別限定,但從電子器件的
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