1.一種取下貼合裝置，適于將一第一基板自一第二基板取下，或?qū)⒃摰谝换遒N合至該第二基板，該取下貼合裝置包含有：
載臺(tái)，用于固定該第一基板；
可撓性固定件，用于固定該第二基板；以及
支撐元件，連接該載臺(tái)及該可撓性固定件，且該載臺(tái)及該可撓性固定件間隔一距離，其中，該載臺(tái)、該可撓性固定件與該支撐元件之間共同形成一第一可變壓腔室，該第一可變壓腔室具有一第一進(jìn)出氣口。
2.如權(quán)利要求1所述的取下貼合裝置，其中該載臺(tái)具有多個(gè)吸氣口，用以吸附該第一基板。
3.如權(quán)利要求1所述的取下貼合裝置，還包含至少一預(yù)剝離元件，用以于該第一基板與該第二基板之間產(chǎn)生一預(yù)裂口。
4.如權(quán)利要求3所述的取下貼合裝置，其中該至少一預(yù)剝離元件為一高壓噴嘴。
5.如權(quán)利要求3所述的取下貼合裝置，其中該至少一預(yù)剝離元件包含有吸盤及連動(dòng)桿，該連動(dòng)桿連接于該支撐元件，而該吸盤可活動(dòng)地設(shè)置于該連動(dòng)桿上。
6.如權(quán)利要求3所述的取下貼合裝置，其中該至少一預(yù)剝離元件包含有驅(qū)動(dòng)件與楔型鏟頭，該楔型鏟頭可活動(dòng)地設(shè)置于該驅(qū)動(dòng)件。
7.如權(quán)利要求1所述的取下貼合裝置，其中該支撐元件包含多個(gè)側(cè)墻部及一上蓋部，該些側(cè)墻部介于該上蓋部與該載臺(tái)之間，該可撓性固定件固定于該些側(cè)墻部，且該上蓋部與該可撓性固定件之間保持一距離。
8.如權(quán)利要求7所述的取下貼合裝置，其中該支撐元件的該上蓋部具有至少一第二進(jìn)出氣口，令該上蓋部與該可撓性固定件之間形成一第二可變壓腔室。
9.如權(quán)利要求7所述的取下貼合裝置，還包括限位件及軌道件，該軌道件固定于該上蓋部，該限位件可滑動(dòng)地位于該軌道件上，以限制該第二基板的撓曲曲率。
10.如權(quán)利要求7所述的取下貼合裝置，還包括位移監(jiān)控模塊，用以監(jiān)控該可撓性固定件與該上蓋部之間的距離變化。
11.如權(quán)利要求7所述的取下貼合裝置，還包含多個(gè)吸附件，固定于該支撐元件的該上蓋部，且介于該上蓋部與該可撓性固定件之間，該支撐元件的該上蓋部具有多個(gè)第二進(jìn)出氣口，對(duì)應(yīng)于該些吸附件，并以氣壓改變?cè)撔┪郊拈L度。
12.如權(quán)利要求1所述的取下貼合裝置，還包括至少一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，連接于該支撐元件與該載臺(tái)之間，以調(diào)整該載臺(tái)與該可撓性固定件之間的該距離。
13.如權(quán)利要求1所述的取下貼合裝置，其中該支撐元件包含多個(gè)側(cè)墻部及一上蓋部，該些側(cè)墻部介于該上蓋部與該載臺(tái)之間，該可撓性固定件介于該上蓋部與該載臺(tái)之間，且該可撓性固定件的一側(cè)面貼附于該上蓋部，而相對(duì)的另一側(cè)面用以固定該第二基板。
14.如權(quán)利要求13所述的取下貼合裝置，其中該可撓性固定件具有多個(gè)可變壓隔間，該上蓋部具有多個(gè)第二進(jìn)出氣口，分別對(duì)應(yīng)于該些可變壓隔間。
15.如權(quán)利要求1所述的取下貼合裝置，還包括由多個(gè)硬件與多個(gè)軟件交錯(cuò)相連的一撓曲限位組件，固定于該可撓性固定件上，用以限制該可撓性固定件于一撓曲軸向撓曲變形。
16.如權(quán)利要求1所述的取下貼合裝置，還包括多個(gè)軸件與多個(gè)連接件交錯(cuò)相連的一撓曲限位組件，固定于該可撓性固定件上，該些軸件可樞轉(zhuǎn)的連接于該些連接件，用以限制該可撓性固定件于一撓曲軸向撓曲變形。
17.一種取下方法，用以將一第一基板自一第二基板取下，其取下方法包含有：
提供如權(quán)利要求1所述的取下貼合裝置；
將該第一基板固定于該載臺(tái)，將該第二基板固定于該可撓性固定件；
增加該第一可變壓腔室內(nèi)的一第一內(nèi)壓，令該可撓性固定件朝遠(yuǎn)離該載板的方向撓曲，以分離該第一基板與該第二基板。
18.如權(quán)利要求17所述的取下方法，其中該支撐元件包含一側(cè)墻部及一上蓋部，該上蓋部經(jīng)由該側(cè)墻部連接于該載臺(tái)，該上蓋部與該可撓性固定件共同形成一第二可變壓腔室，該第二可變壓腔室具有一第二內(nèi)壓，且該第一內(nèi)壓大于該第二內(nèi)壓。
19.一種貼合方法，用以將一第一基板貼合至一第二基板，其貼合方法包含有：
提供如權(quán)利要求1所述的取下貼合裝置；
將該第一基板固定于該載臺(tái)，將該第二基板固定于該可撓性固定件；
降低該第一可變壓腔室內(nèi)的一第一內(nèi)壓，令該可撓性固定件朝接近該載板的方向撓曲，以將該第二基板貼合至該第一基板。
20.如權(quán)利要求19所述的貼合方法，其中該支撐元件包含一側(cè)墻部及一上蓋部，該上蓋部經(jīng)由該側(cè)墻部連接于該載臺(tái)，該上蓋部與該可撓性固定件共同形成一第二可變壓腔室，該第二可變壓腔室具有一第二內(nèi)壓，且該第一內(nèi)壓小于該第二內(nèi)壓。