本發(fā)明涉及一種取下貼合裝置及應(yīng)用此裝置的取下方法與貼合方法，特別是涉及一種適于將基板自另一基板上取下，或?qū)⒒遒N合至另一基板的裝置及應(yīng)用此裝置的方法。

背景技術(shù)：

在軟性電子元件工業(yè)中，元件的制備主要采取片對(duì)片(sheet to sheet)的方法制作。在完成制作工藝步驟后，必須面臨的問(wèn)題是如何順利的將最終產(chǎn)品需要的基板取下，此外，取下的基板常常需要貼合保護(hù)膜或功能性薄膜，但在貼合的作業(yè)中，很容易遇到取下的基板因內(nèi)應(yīng)力而變形，導(dǎo)致貼合不均勻的問(wèn)題。

一種作法為通過(guò)一軟性件吸附于其中一欲取下的基板上，其軟性件具有多個(gè)可變壓隔間，可通過(guò)對(duì)這些可變壓隔間抽氣的方式使軟性件產(chǎn)生撓曲變形。由此，固定于軟性件上的基板會(huì)受軟性件的變形而被拉起。此種方式雖然能將基板分離，但由于基板的內(nèi)應(yīng)力，基板取下后易翹曲變形，導(dǎo)致后續(xù)的保護(hù)膜貼合困難，此外，若基板間的附著力大，基板容易因受力過(guò)大而造成基板損傷，甚至，造成基板破裂的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種取下貼合裝置，用于在取下或貼合基板的作業(yè)中，解決因受力過(guò)大而產(chǎn)生基板損傷問(wèn)題，進(jìn)而有助于提升取下的基板良率。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明所公開(kāi)的取下貼合裝置，適于將一第一基板自一第二基板取下，或?qū)⒌谝换遒N合至第二基板。取下貼合裝置包含有一載臺(tái)、一可撓性固定件及一支撐元件。載臺(tái)用于固定第一基板?？蓳闲怨潭糜诠潭ǖ诙?。支撐元件連接載臺(tái)及可撓性固定件，且載臺(tái)及可撓性固定件 間隔一距離。載臺(tái)、可撓性固定件與支撐元件之間共同形成一第一可變壓腔室。第一可變壓腔室具有一第一進(jìn)出氣口。

本發(fā)明所公開(kāi)的取下方法，用以將一第一基板自一第二基板取下，其取下方法包含有以下步驟，提供如前所述的取下貼合裝置，將第一基板固定于載臺(tái)，將第二基板固定于可撓性固定件，增加第一可變壓腔室內(nèi)的一第一內(nèi)壓，令可撓性固定件朝遠(yuǎn)離載板的方向撓曲，以分離第一基板與第二基板。

本發(fā)明所公開(kāi)的貼合方法，用以將一第一基板貼合至一第二基板，其貼合方法包含有以下步驟，提供如前所述的取下貼合裝置，將第一基板固定于載臺(tái)，將第二基板固定于可撓性固定件，降低第一可變壓腔室內(nèi)的一第一內(nèi)壓，令可撓性固定件朝接近載板的方向撓曲，以將第二基板貼合至第一基板。

本發(fā)明所公開(kāi)的取下貼合裝置及其方法，通過(guò)調(diào)整第一可變壓腔室內(nèi)的氣體壓力以讓可撓性固定件的相對(duì)二側(cè)產(chǎn)生壓力差，使得可撓性固定件與基板可一并地?fù)锨?，以進(jìn)行取下或貼合的作業(yè)。

以上的關(guān)于本發(fā)明實(shí)施例內(nèi)容的說(shuō)明及以下的實(shí)施方式的說(shuō)明用以示范與解釋本發(fā)明的精神與原理，并且提供本發(fā)明的權(quán)利要求更進(jìn)一步的解釋。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的第一實(shí)施例的取下貼合裝置于將第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖；

圖2為本發(fā)明的第一實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖3為本發(fā)明的第一實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板貼合至第一基板的過(guò)程的示意圖；

圖4為本發(fā)明的第二實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖5A為本發(fā)明的第三實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖；

圖5B為本發(fā)明的第三實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖6為本發(fā)明的第四實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下 前的過(guò)程的示意圖；

圖7A為本發(fā)明的第五實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖；

圖7B為本發(fā)明的第五實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前預(yù)先產(chǎn)生預(yù)裂口的示意圖；

圖8A為本發(fā)明的第六實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖；

圖8B為本發(fā)明的第六實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖9A～圖9E為本發(fā)明的第六實(shí)施例的取下貼合裝置中第一內(nèi)壓與第二內(nèi)壓的時(shí)序圖；

圖10為本發(fā)明的第七實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖11為本發(fā)明的第八實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖12為本發(fā)明的第九實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前預(yù)先產(chǎn)生預(yù)裂口的示意圖；

圖13A～圖13B為本發(fā)明的第十實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖14為本發(fā)明的第十一實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖15為本發(fā)明的第十二實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖16A為本發(fā)明的第十三實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖16B為本發(fā)明的圖16A中限位件的局部放大示意圖；

圖17A為本發(fā)明的第十四實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖；

圖17B為本發(fā)明的圖17A中撓曲限位組件的上視圖；

圖17C為本發(fā)明的第十四實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖17D為本發(fā)明的圖17C的局部放大圖；

圖18A為本發(fā)明的第十五實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖18B為本發(fā)明的圖18A的局部放大圖；

圖19為本發(fā)明的第十六實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖；

圖20A為本發(fā)明的第十七實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的示意圖；

圖20B為本發(fā)明的第十七實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

符號(hào)說(shuō)明

91 第一基板

92 第二基板

100、200、300、400、500、600、700、800、900、1000、1100、1200a、1200b、1300、1400、1500、1600 取下貼合裝置

110、210、310、410、510、610、710、810、910、1010、1110、1210、1310、1410、1510、1610 載臺(tái)

110a、210a、310a、410a、510a、610a、710a、810a、910a、1010a、1110a、1210a、1310a、1410a、1510a、1610a 第一進(jìn)出氣口

110b、210b、310b、410b、510b、610b、710b、810b、910b、1010b、1110b、1210b、1310b、1410b、1510b、1610b 吸氣口

120、220、320、420、520、620、720、820、920、1020、1120、1220、1320、1420、1520、1620 支撐元件

121、221、321、421、521、621、721、821、921、1021、1121、1221、1321、1421、1521、1621 側(cè)墻部

130、230、330、430、530、630、730、830、930、1030、1130、1230、1330、1430、1530、1630 可撓性固定件

140、240、340、440、540、640、740、840、940、1040、1040、1240、1340、1440、1540、1640 第一可變壓腔室

250 多孔性材料層

325、425、525、625、725、825、925、1025、1125、1225、1325、1425、 1525、1625 上蓋部

450、560、950 預(yù)剝離元件

550、650、750、1250、1350、1450、1550 第二可變壓腔室

525a、625a、725a、825a、1225a、1325a、1425a、1521a、1625a 第二進(jìn)出氣口

561 連動(dòng)桿

563 吸盤(pán)

760、860 吸附件

951 驅(qū)動(dòng)件

953 楔型鏟頭

1050 高度調(diào)整機(jī)構(gòu)

1023 底部

1060 環(huán)狀密封件

1261 軌道件

1263、1265 限位件

1265a 貼合面

1265a1 凹面

1265a2 凸面

1360、1460 撓曲限位組件

1360a 硬件

1360b 軟件

1460a 軸件

1460b 連接件

1560 位移監(jiān)控模塊

1561 位移監(jiān)控器

1563 可撓式導(dǎo)電板

1631 可變壓隔間

P1 第一內(nèi)壓

P2 第二內(nèi)壓

P3 內(nèi)壓

d1～d4 距離

T0～T4 時(shí)間點(diǎn)

具體實(shí)施方式

以下在實(shí)施方式中詳細(xì)敘述本發(fā)明的內(nèi)容，此內(nèi)容足以使任何熟悉相關(guān)技術(shù)者了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，且根據(jù)本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容、權(quán)利要求及附圖，任何熟悉相關(guān)技術(shù)者可輕易地理解本發(fā)明的技術(shù)。以下的實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的觀點(diǎn)，但非以任何觀點(diǎn)限制本發(fā)明的范疇。

請(qǐng)參照?qǐng)D1，為根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的取下貼合裝置于將第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖。圖1繪示了一種取下貼合裝置100，適用于將一第一基板91自一第二基板92取下，或?qū)⒌谝换?1貼合至第二基板92，但本發(fā)明并非以此為限。舉例來(lái)說(shuō)，在第一基板91與第二基板92位置相對(duì)調(diào)的其他實(shí)施例中，則可以理解為適用于將第二基板92自第一基板91取下，或?qū)⒌诙?1貼合至第一基板91。這里所指的第一基板91與第二基板92可以但不限于保護(hù)膜層、軟性面板層或玻璃材料層(板)。

在本實(shí)施例中，取下貼合裝置100包含有一載臺(tái)110、一支撐元件120及一可撓性固定件130。支撐元件120連接載臺(tái)110與可撓性固定件130。具體來(lái)說(shuō)，支撐元件120包含有多個(gè)側(cè)墻部121，彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)110上。可撓性固定件130的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件120的側(cè)墻部121上，且與載臺(tái)110間隔一距離d1。這里所述的可撓性固定件130可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈性變形能力或可撓曲的材質(zhì)所構(gòu)成。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，載臺(tái)110、支撐元件120的側(cè)墻部121及可撓性固定件130之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室140。第一可變壓腔室140具有一第一進(jìn)出氣口110a，第一進(jìn)出氣口110a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)。壓力調(diào)節(jié)裝置可經(jīng)由對(duì)第一進(jìn)出氣口110a進(jìn)氣或抽氣的方式來(lái)改變第一可變壓腔室140的第一內(nèi)壓P1。在本實(shí)施例中，第一進(jìn)出氣口110a形成于載臺(tái)110上，但本發(fā)明并非以第一進(jìn)出氣口110a的位置為限，只要是可將第一可變壓腔室140連通于壓力調(diào)節(jié)裝置的設(shè)計(jì)，均屬于本發(fā)明的范疇。例如，在其他實(shí)施例中，第一進(jìn)出氣口110a也可以形成于支撐元件120上。

更進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，在本實(shí)施例中，第一基板91可以為軟性面板層，且被疊設(shè)于載臺(tái)110上。載臺(tái)110上具有多個(gè)吸氣口110b，第一基板91對(duì)應(yīng)這些吸氣口110b而設(shè)置于載臺(tái)110上。吸氣口110b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié) 裝置，或連接于另一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，可對(duì)吸氣口110b抽氣以在吸氣口110b處產(chǎn)生吸引氣流，即對(duì)吸氣口110b提供負(fù)壓。由此，第一基板91可經(jīng)由這些吸氣口110b處的吸引氣流而被吸附固定于載臺(tái)110上。而第二基板92可以為玻璃材料層(板)，且可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件130上。但可理解的是，上述第一基板91與第二基板92的固定方式并非用以限制本發(fā)明，只要可將第一基板91與第二基板92分別穩(wěn)固設(shè)置于載臺(tái)110與可撓性固定件130的設(shè)計(jì)，均屬于本發(fā)明的范疇。舉例來(lái)說(shuō)，在其他實(shí)施例中，第一基板91與第二基板92也可以是均以粘合的方式分別固定于載臺(tái)110與可撓性固定件130上?；蛘?，在其他實(shí)施例中，可撓性固定件130也可以具有類似于前述載臺(tái)110上的吸氣口110b的設(shè)計(jì)，并可經(jīng)由外接壓力調(diào)節(jié)裝置來(lái)直接吸附第二基板92。此外，在其他實(shí)施例中，第一基板91也可以為玻璃材料層(板)，而第二基板92也可以為軟性面板層，本發(fā)明并非以此為限。

接著，將介紹應(yīng)用上述取下貼合裝置100來(lái)進(jìn)行取下作業(yè)的步驟。請(qǐng)參閱圖2，其是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

首先，通過(guò)上述壓力調(diào)節(jié)裝置對(duì)第一進(jìn)出氣口110a進(jìn)氣的方式以來(lái)增加第一可變壓腔室140內(nèi)的第一內(nèi)壓P1，并將第一內(nèi)壓P1升壓至大于環(huán)境壓力的程度，即使得第一內(nèi)壓P1大于第一可變壓腔室140之外的外界壓力(例如，大氣壓力)，用于使得第一可變壓腔室140與外界環(huán)境之間產(chǎn)生壓力差。在此情況下，第二基板92與可撓性固定件130會(huì)一并地受壓力差的作用而向上撓曲，使得第二基板92與第一基板91相剝離。同時(shí)，在將第二基板92自第一基板91上取下的過(guò)程中，第一基板91與第二基板92相剝離的表面承受氣體壓力，即第一基板91的分離面受到均勻的向下氣體壓力，抵銷部分第一基板91受第二基板92向上牽引的應(yīng)力，可降低第一基板91的總應(yīng)力。由此，有助于改善傳統(tǒng)作法中基板于取下過(guò)程易因應(yīng)力過(guò)大而產(chǎn)生基板損傷的問(wèn)題。此外，依據(jù)模擬實(shí)驗(yàn)的結(jié)果，當(dāng)本實(shí)施例的第一可變壓腔室140的第一內(nèi)壓P1升壓至20倍大氣壓力時(shí)所完成的取下制作工藝，其基板上的應(yīng)力相較于現(xiàn)有技術(shù)的取下方式可至少降低20％以上。

接著，將介紹應(yīng)用上述取下貼合裝置100來(lái)進(jìn)行貼合作業(yè)的步驟。請(qǐng)參閱圖3，其為根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板貼合至第 一基板的過(guò)程的示意圖。

與前述取下作業(yè)不同的是，在貼合作業(yè)中，在第一基板91與第二基板92相分離的狀態(tài)下，將第一基板91固定于載板110，而將第二基板92固定于可撓性固定件130。接著，通過(guò)上述壓力調(diào)節(jié)裝置對(duì)第一進(jìn)出氣口110a抽氣，以降低第一可變壓腔室140內(nèi)的第一內(nèi)壓P1，并將第一內(nèi)壓P1降壓至小于環(huán)境壓力的程度，即使得第一可變壓腔室140與外界環(huán)境之間產(chǎn)生壓力差，第二基板92與可撓性固定件130會(huì)一并地受壓力差的作用而向下?lián)锨?，以將第二基?2貼合至第一基板91上。

接著，以下將介紹本發(fā)明中同樣可適用于將第一基板91自第二基板92取下，或?qū)⒌谝换?1貼合至第二基板92的取下貼合裝置的其他實(shí)施態(tài)樣。需要聲明的是，以下實(shí)施例中關(guān)于第一基板91與第二基板92的敘述與第一實(shí)施例相同，請(qǐng)容不再贅述。此外，若無(wú)特別說(shuō)明，以下實(shí)施例中關(guān)于取下作業(yè)與貼合作業(yè)的步驟大致上類似于第一實(shí)施例所描述。

舉例來(lái)說(shuō)，請(qǐng)參閱圖4，其為根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的過(guò)程的示意圖。

圖4繪示了一種取下貼合裝置200，其結(jié)構(gòu)大致上與第一實(shí)施例所述的取下貼合裝置100相似，其包含有一載臺(tái)210、一支撐元件220、一可撓性固定件230。支撐元件220包含有多個(gè)側(cè)墻部221，彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)210上?？蓳闲怨潭?30的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件220的側(cè)墻部221上，且與載臺(tái)210間隔一距離d1。這里所述的可撓性固定件230可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)210、支撐元件220的側(cè)墻部221與可撓性固定件230之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室240。第一可變壓腔室240具有位于載臺(tái)210上的一第一進(jìn)出氣口210a，第一進(jìn)出氣口210a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室240的第一內(nèi)壓P1。載臺(tái)210上具有多個(gè)吸氣口210b，連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，用以在吸氣口210b處產(chǎn)生吸引氣流。第一基板91介于可撓性固定件230與載板210之間，而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件230上。

本實(shí)施例與第一實(shí)施例的主要差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置200還可包含有一多孔性材料層250，疊設(shè)置于載臺(tái)210上，而第一基板91疊設(shè)于多孔性材料層250上，即多孔性材料層250介于載臺(tái)210與可撓性固定件 230之間。這里所述的多孔性材料層250可以但不限于由泡棉等具有多孔隙的材質(zhì)所構(gòu)成。詳細(xì)來(lái)說(shuō)，多孔性材料層250對(duì)應(yīng)于多個(gè)吸氣口210b而設(shè)置于載臺(tái)210上，吸氣口210b處所產(chǎn)生的吸引氣流可通過(guò)流經(jīng)多孔性材料層250上多孔隙的結(jié)構(gòu)而被平均分散于第一基板91的表面。由此，第一基板91可經(jīng)由多孔性材料層250被穩(wěn)固的吸附于多孔性材料層250上。更詳細(xì)來(lái)說(shuō)，由于多孔性材料層250孔隙的尺寸遠(yuǎn)小于吸氣口210b的尺寸，且數(shù)量遠(yuǎn)大于吸氣口210b的數(shù)量，因此，吸氣口210b的吸引氣流可被均勻分散以布滿于第一基板91的表面，可避免吸引氣流吸附于第一基板92表面時(shí)產(chǎn)生應(yīng)力集中的問(wèn)題。

另外，在本實(shí)施例或其他實(shí)施例中，為了匹配第一基板91的尺寸外形，部分的多孔性材料層250可經(jīng)由圖案化加工程序而被遮蓋住，以避免多孔性材料層250上的吸引氣流自未被第一基板91覆蓋的部分流逝，而降低了對(duì)第一基板91的吸附力。

接著，請(qǐng)參閱圖5A～圖5B，圖5A為根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖，而圖5B為根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

圖5A繪示了一種取下貼合裝置300，其結(jié)構(gòu)大致上與第一實(shí)施例所述的取下貼合裝置100相似，其包含有一載臺(tái)310、一支撐元件320及一可撓性固定件330。支撐元件320包含有多個(gè)側(cè)墻部321，彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)310上?？蓳闲怨潭?30的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件320的側(cè)墻部321上，且與載臺(tái)310保持一距離d1。這里所述的可撓性固定件330可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)310、支撐元件320的側(cè)墻部321及可撓性固定件330之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室340。第一可變壓腔室340具有位于載臺(tái)310上的一第一進(jìn)出氣口310a，第一進(jìn)出氣口310a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室340的第一內(nèi)壓P1。載臺(tái)310上具有多個(gè)吸氣口310b，這些吸氣口310b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口310b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)310上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件230上。

本實(shí)施例與第一實(shí)施例的主要差異在于，取下貼合裝置300中的支撐元件320除了包含有多個(gè)側(cè)墻部321之外，還可包含有一上蓋部325。具體來(lái) 說(shuō)，上蓋部325設(shè)置于側(cè)墻部321上與載臺(tái)310相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部321介于上蓋部325與載臺(tái)310之間。此外，上蓋部325與可撓性固定件330保持一距離d2。如圖5B所示可看出，在取下作業(yè)中，通過(guò)上蓋部325的設(shè)置，可限制可撓性固定件330向上的撓曲變形量，以避免可撓性固定件330因過(guò)度撓曲，而使得貼附于其上的第二基板92因撓曲過(guò)度而發(fā)生彎曲碎裂的情形。

接著，請(qǐng)參閱圖6，其為根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的過(guò)程的示意圖。

圖6繪示了一種取下貼合裝置400，其結(jié)構(gòu)大致上與第三實(shí)施例所述的取下貼合裝置300相似，其包含有一載臺(tái)410、一支撐元件420及一可撓性固定件430。支撐元件420包含有多個(gè)側(cè)墻部421及一上蓋部425。側(cè)墻部421彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)410上，而上蓋部425設(shè)置于側(cè)墻部421上與載臺(tái)410相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部421介于上蓋部425與載臺(tái)410之間?？蓳闲怨潭?30的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件420的側(cè)墻部421上，且與載臺(tái)410間隔一距離d1。而上蓋部425與可撓性固定件430保持一距離d2。但于本實(shí)施例中，上蓋部425為選用，使用者可據(jù)實(shí)際需求而設(shè)置。這里所述的可撓性固定件430可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)410、支撐元件420的側(cè)墻部421及可撓性固定件430之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室440。第一可變壓腔室440具有位于載臺(tái)410上的一第一進(jìn)出氣口410a，第一進(jìn)出氣口410a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室440的第一內(nèi)壓P1。

載臺(tái)410上具有多個(gè)吸氣口410b，這些吸氣口410b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口410b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)410上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件430上。

本實(shí)施例與第三實(shí)施例的主要差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置400還可包含有一預(yù)剝離元件450，設(shè)置于側(cè)墻部421上。這里所述的預(yù)剝離元件450可為一個(gè)高壓噴嘴?？赏ㄟ^(guò)將高壓噴嘴450外接一氣體產(chǎn)生裝置(未繪示)的方式對(duì)第一可變壓腔室440產(chǎn)生一具沖擊力的氣體流。由此，使用者可在進(jìn)行取下作業(yè)前，預(yù)先以高壓噴嘴450施加具沖擊力的氣體流于第一 基板91與第二基板92相貼合處邊緣，以于該貼合處產(chǎn)生一預(yù)裂口97。由此，有助于后續(xù)進(jìn)行取下作業(yè)時(shí)，第二基板92可從預(yù)裂口97處開(kāi)始剝離而更快的自第一基板91上被取下。

接著，請(qǐng)參閱圖7A～圖7B，圖7A為根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖，而圖7B為根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前預(yù)先產(chǎn)生預(yù)裂口的示意圖。

圖7A繪示了一種取下貼合裝置500，其結(jié)構(gòu)大致上與第四實(shí)施例所述的取下貼合裝置400相似，其包含有一載臺(tái)510、一支撐元件520、一可撓性固定件530及一預(yù)剝離元件560。支撐元件520包含有多個(gè)側(cè)墻部521及一上蓋部525。側(cè)墻部521彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)510上，而上蓋部525設(shè)置于側(cè)墻部521上與載臺(tái)510相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部521介于上蓋部525與載臺(tái)510之間。可撓性固定件530的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件520的側(cè)墻部521上，且分別與載臺(tái)510及上蓋部525保持一距離d1與一距離d2。預(yù)剝離元件560設(shè)置于支撐元件520上。這里所述的可撓性固定件530可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)510、支撐元件520的側(cè)墻部521及可撓性固定件530之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室540。上蓋部525與可撓性固定件530之間可共同圍繞形成一第二可變壓腔室550。第一可變壓腔室540具有位于載臺(tái)510上的一第一進(jìn)出氣口510a，第二可變壓腔室550可具有位于上蓋部525上的一第二進(jìn)出氣口525a。第一進(jìn)出氣口510a與第二進(jìn)出氣口525a均可連接于壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室540的第一內(nèi)壓P1與第二可變壓腔室550的第二內(nèi)壓P2。但于本實(shí)施例中，第二進(jìn)出氣口525a為選用，使用者可據(jù)實(shí)際需求而設(shè)置。載臺(tái)510上具有多個(gè)吸氣口510b，這些吸氣口510b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，用以將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)510上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件530上。

本實(shí)施例與第四實(shí)施例的主要差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置500的預(yù)剝離元件560包含有一連動(dòng)桿561及一吸盤(pán)563。具體來(lái)說(shuō)，連動(dòng)桿561其中一端可活動(dòng)地設(shè)置于上蓋部525，吸盤(pán)563連接于連動(dòng)桿561，并吸附于可撓性固定件530上。由此，如圖7B所示，在進(jìn)行取下作業(yè)前，可預(yù)先 以連動(dòng)桿561連動(dòng)吸盤(pán)563而向上運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)可撓性固定件530連動(dòng)第二基板92的一側(cè)向上翹曲，用于在第二基板92與第一基板91之間產(chǎn)生一預(yù)裂口97。由此，在進(jìn)行取下作業(yè)時(shí)，第二基板92可從預(yù)裂口97處開(kāi)始脫離第一基板91而更快的自第一基板91上被取下。

但可理解的是，只要可讓連動(dòng)桿561連動(dòng)吸盤(pán)563以使可撓性固定件530撓曲變形，預(yù)剝離元件560的位置并非以本實(shí)施例為限。舉例來(lái)說(shuō)，在其他實(shí)施例中，預(yù)剝離元件560的連動(dòng)桿561也可選擇設(shè)置于側(cè)墻部521上。

接著，請(qǐng)參閱圖8A～圖8B，圖8A為根據(jù)本發(fā)明的第六實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖，而圖8B為根據(jù)本發(fā)明的第六實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。而圖9A～圖9E為根據(jù)本發(fā)明的第六實(shí)施例的取下貼合裝置中第一內(nèi)壓與第二內(nèi)壓的時(shí)序圖。

圖8A繪示了一種取下貼合裝置600，其結(jié)構(gòu)大致上與第三實(shí)施例所述的取下貼合裝置300相似，其包含有一載臺(tái)610、一支撐元件620及一可撓性固定件630。支撐元件620包含有多個(gè)側(cè)墻部621及一上蓋部625。側(cè)墻部621彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)610上，而上蓋部625設(shè)置于側(cè)墻部621上與載臺(tái)610相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部621介于上蓋部625與載臺(tái)610之間。可撓性固定件630的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件620的側(cè)墻部621上，且分別與載臺(tái)610及上蓋部625保持一距離d1與一距離d2。這里所述的可撓性固定件630可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)610、支撐元件620的側(cè)墻部621及可撓性固定件630之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室640。第一可變壓腔室640具有位于載臺(tái)610上的一第一進(jìn)出氣口610a。第一進(jìn)出氣口610a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室640的第一內(nèi)壓P1。載臺(tái)610上具有多個(gè)吸氣口610b，這些吸氣口610b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口610b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)610上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件630上。

本實(shí)施例與第一實(shí)施例的主要差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置600中，上蓋部625與可撓性固定件630之間可共同圍繞形成一第二可變壓腔室650。第二可變壓腔室650具有位于上蓋部625的一第二進(jìn)出氣口625a，第 二進(jìn)出氣口625a可連接于壓力調(diào)節(jié)裝置，用以改變第二可變壓腔室650的第二內(nèi)壓P2。

接著，將以取下貼合裝置600應(yīng)用于取下作業(yè)為例來(lái)說(shuō)明，如圖8B所示，與前述實(shí)施例不同的是，本實(shí)施例的取下貼合裝置600還可通過(guò)對(duì)第二進(jìn)出氣口625a進(jìn)氣或抽氣的方式以來(lái)調(diào)整第二可變壓腔室650內(nèi)的第二內(nèi)壓P2，用于精確的配置推抵于可撓性固定件630相對(duì)兩側(cè)的氣體壓力，以有效的掌控可撓性固定件630的撓曲變形，進(jìn)而有助于掌控取下作業(yè)或貼合作業(yè)的進(jìn)行。舉例來(lái)說(shuō)，在進(jìn)行取下作業(yè)時(shí)，可經(jīng)由降低第二內(nèi)壓P2的方式，將第二基板92維持于向上抬起的狀態(tài)，避免第二基板92自第一基板91取下的部分掉落回第一基板91上，以提高取下作業(yè)的成功率。

更詳細(xì)的說(shuō)，如圖9A～圖9E所示，其為本實(shí)施例的取下貼合裝置600在進(jìn)行取下作業(yè)模擬實(shí)驗(yàn)后所繪示的內(nèi)壓時(shí)序圖。

首先，如圖9A所示，自時(shí)間點(diǎn)T0至?xí)r間點(diǎn)T1的過(guò)程中，第一內(nèi)壓P1與第二內(nèi)壓P2會(huì)先被同時(shí)升壓，即同時(shí)增加第一可變壓腔室640與第二可變壓腔室650的壓力。在時(shí)間點(diǎn)T1后，第一內(nèi)壓P1即轉(zhuǎn)為緩慢升壓的模式直到取下作業(yè)完成，而第二內(nèi)壓P2也轉(zhuǎn)為緩慢升壓的模式，但到了時(shí)間點(diǎn)T2時(shí)，第二內(nèi)壓P2會(huì)大幅度的降壓。此時(shí)，第一內(nèi)壓P1與第二內(nèi)壓P2間會(huì)突然地產(chǎn)生一壓力差，到時(shí)間點(diǎn)T3時(shí)，第二內(nèi)壓P1降壓的幅度才較趨于緩和，使得兩者間的壓力差以較緩和的速度增加，以持續(xù)地將第二基板92自第一基板91取下。

接著，如圖9B所示，其在時(shí)間點(diǎn)T0至?xí)r間點(diǎn)T1的過(guò)程中關(guān)于第一內(nèi)壓P1與第二內(nèi)壓P2的控制方式大致上與圖9A相似，差異僅在于，時(shí)間點(diǎn)T1后，第二內(nèi)壓P2則轉(zhuǎn)換為緩慢升壓的模式直到取下作業(yè)完成，而第一內(nèi)壓P1會(huì)與第二內(nèi)壓P2一同自時(shí)間點(diǎn)T1緩慢升壓至?xí)r間點(diǎn)T2后而突然的驟升，直到時(shí)間點(diǎn)T3才趨于緩和。

接著，如圖9C所示，其關(guān)于第一內(nèi)壓P1的控制方式，以及在時(shí)間點(diǎn)T0至?xí)r間點(diǎn)T2過(guò)程中對(duì)于第二內(nèi)壓P2的控制方式大致上與圖9A相似，差異僅在于，在時(shí)間點(diǎn)T2與時(shí)間點(diǎn)T3的過(guò)程中，第二內(nèi)壓P2會(huì)經(jīng)由多種較為劇烈的壓力變化，直到時(shí)間點(diǎn)T3后才趨于緩和。且到了時(shí)間點(diǎn)T3后，第二內(nèi)壓P2會(huì)轉(zhuǎn)為緩慢升壓的模式，但升壓的幅度略為高于第一內(nèi)壓P1的升壓幅度，用于逐漸地減小兩者之間的壓力差。

接著，如圖9D所示，與前述時(shí)序圖的差異在于，自時(shí)間點(diǎn)T0，第一內(nèi)壓P1與第二內(nèi)壓P2會(huì)先被同時(shí)升壓，第二內(nèi)壓P2的升壓幅度較小且僅持續(xù)至?xí)r間點(diǎn)T1，自時(shí)間點(diǎn)T1后，第二內(nèi)壓P2則會(huì)調(diào)整為緩慢升壓的模式直到取下作業(yè)完成。而第一內(nèi)壓P1的升壓幅度較大且持續(xù)至?xí)r間點(diǎn)T2，直到時(shí)間點(diǎn)T2后才趨于緩和，可理解的是，第一內(nèi)壓P1與第二內(nèi)壓P2之間自作業(yè)開(kāi)始即產(chǎn)生壓力差。接著，在時(shí)間點(diǎn)T3時(shí)第一內(nèi)壓P1驟降，以降低兩者間的壓力差，直到時(shí)間點(diǎn)T4時(shí)，第一內(nèi)壓P1調(diào)整為與第二內(nèi)壓P2相同的升壓幅度。

接著，如圖9E所示，其對(duì)于第一內(nèi)壓P1的控制方式大致上與圖9D相似，差異僅在于，自開(kāi)始取下作業(yè)，雖然第一內(nèi)壓P1與第二內(nèi)壓P2會(huì)被同時(shí)升壓，但第二內(nèi)壓P2的升壓幅度較大，即第二內(nèi)壓P2會(huì)大于第一內(nèi)壓P1，有助于在兩基板開(kāi)始相分離前穩(wěn)固第二基板92的位置。

接著，請(qǐng)參閱圖10，其為根據(jù)本發(fā)明的第七實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

圖10繪示了一種取下貼合裝置700，其結(jié)構(gòu)大致上與第六實(shí)施例所述的取下貼合裝置600相似，其包含有一載臺(tái)710、一支撐元件720及一可撓性固定件730。支撐元件720包含有多個(gè)側(cè)墻部721及一上蓋部725。側(cè)墻部721彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)710上，而上蓋部725設(shè)置于側(cè)墻部721上與載臺(tái)710相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部721介于上蓋部725與載臺(tái)710之間。可撓性固定件730的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件720的側(cè)墻部721上，且分別與載臺(tái)710及上蓋部725保持一距離d1與一距離d2。這里所述的可撓性固定件730可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)710、支撐元件720的側(cè)墻部721及可撓性固定件730之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室740，上蓋部725與可撓性固定件730之間可共同圍繞形成一第二可變壓腔室750。第一可變壓腔室740具有位于載臺(tái)710上的一第一進(jìn)出氣口710a，第二可變壓腔室750可具有位于上蓋部725上的一第二進(jìn)出氣口725a。第一進(jìn)出氣口710a與第二進(jìn)出氣口725a均可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室740的第一內(nèi)壓P1與第二可變壓腔室750的第二內(nèi)壓P2。但于本實(shí)施例中，第二進(jìn)出氣口725a為選用，使用者可據(jù)實(shí)際需求而設(shè)置。載臺(tái)710上具有多個(gè)吸氣口710b，這些 吸氣口710b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口710b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)710上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件730上。

本實(shí)施例與第六實(shí)施例的主要差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置700還可包含有多個(gè)吸附件760，固定于支撐元件720的上蓋部725，且介于上蓋部725與可撓性固定件730之間。這里所述的吸附件760可以但不限于吸盤(pán)。由此，在取下作業(yè)進(jìn)行的過(guò)程中，可撓性固定件730可被吸附件760吸附，使得固定于可撓性固定件730上的第二基板92自第一基板91上取下后不會(huì)掉落回第一基板91，以提高取下作業(yè)的成功率。

接著，請(qǐng)參閱圖11，為根據(jù)本發(fā)明的第八實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

圖11繪示了一種取下貼合裝置800，其結(jié)構(gòu)大致上與第七實(shí)施例所述的取下貼合裝置700相似，其包含有一載臺(tái)810、一支撐元件820、一可撓性固定件830及多個(gè)吸附件860。支撐元件820包含有多個(gè)側(cè)墻部821及一上蓋部825。側(cè)墻部821彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)810上，而上蓋部825設(shè)置于側(cè)墻部821上與載臺(tái)810相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部821介于上蓋部825與載臺(tái)810之間。可撓性固定件830的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件820的側(cè)墻部821上，且分別與載臺(tái)810及上蓋部825保持一距離d1與一距離d2。吸附件860固定于支撐元件820的上蓋部825，并介于上蓋部825與可撓性固定件830之間，吸附元件860可由彈性材料制成，或由可隨氣壓改變長(zhǎng)度的結(jié)構(gòu)構(gòu)成，如類似手風(fēng)琴的伸縮結(jié)構(gòu)，并可排列成二維陣列。這里所述的可撓性固定件830可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。而這里所述的吸附件860可以但不限于吸盤(pán)。

載臺(tái)810、支撐元件820的側(cè)墻部821及可撓性固定件830之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室840。第一可變壓腔室840具有位于載臺(tái)810上的一第一進(jìn)出氣口810a，第一進(jìn)出氣口810a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室840的第一內(nèi)壓P1。載臺(tái)810上具有多個(gè)吸氣口810b，這些吸氣口810b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口810b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)810上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件830上。

本實(shí)施例與第七實(shí)施例的主要差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置800 的上蓋部825還具有多個(gè)第二進(jìn)出氣口825a，這些第二進(jìn)出氣口825a分別對(duì)應(yīng)且連通于前述的吸附件860。此外，第二進(jìn)出氣口825a可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，壓力調(diào)節(jié)裝置可對(duì)第二進(jìn)出氣口825a進(jìn)氣或抽氣，以分別控制吸附件860的吸附力，由于吸附件860由彈性材料或由可隨氣壓改變長(zhǎng)度的結(jié)構(gòu)構(gòu)成，當(dāng)壓力調(diào)節(jié)裝置使吸附件860內(nèi)部壓力下降時(shí)，可同時(shí)使吸附件860縮短。因此，在進(jìn)行取下作業(yè)或貼合作業(yè)時(shí)，壓力調(diào)節(jié)裝置可以有時(shí)序性的方式分別對(duì)第二進(jìn)出氣口825a進(jìn)氣或抽氣，用于依序改變這些吸附件860的長(zhǎng)度。即，以依序調(diào)整吸附件860的長(zhǎng)度的方式來(lái)控制可撓性固定件830的撓曲，用于精確的掌控取下作業(yè)或貼合作業(yè)的進(jìn)行。

接著，請(qǐng)參閱圖12，其為根據(jù)本發(fā)明的第九實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前預(yù)先產(chǎn)生預(yù)裂口的示意圖。

圖12繪示了一種取下貼合裝置900，其結(jié)構(gòu)大致上與第四實(shí)施例所述的取下貼合裝置400相似，其包含有一載臺(tái)910、一支撐元件920、一可撓性固定件930及一預(yù)剝離元件950。支撐元件920包含有多個(gè)側(cè)墻部921及一上蓋部925。側(cè)墻部921彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)910上，而上蓋部925設(shè)置于側(cè)墻部921上與載臺(tái)910相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部921介于上蓋部925與載臺(tái)910之間。可撓性固定件930的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件920的側(cè)墻部921上，且分別與載臺(tái)910及上蓋部925保持一距離d1與一距離d2。但于本實(shí)施例中，上蓋部925為選用，使用者可據(jù)實(shí)際需求而設(shè)置。預(yù)剝離元件950設(shè)置于支撐元件920上。這里所述的可撓性固定件930可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)910、支撐元件920的側(cè)墻部921及可撓性固定件930之間共同形成一第一可變壓腔室940。第一可變壓腔室940具有一第一進(jìn)出氣口910a，第一進(jìn)出氣口910a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室940的第一內(nèi)壓P1。載臺(tái)910上具有多個(gè)吸氣口910b，這些吸氣口910b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口910b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)910上。而第二基板92可以但不限于以粘著劑粘著固定于可撓性固定件930上。

本實(shí)施例與第四實(shí)施例的主要差異在于，在本實(shí)施例的取下貼合裝置900的預(yù)剝離元件950包含有一驅(qū)動(dòng)件951及一楔型鏟頭953。具體來(lái)說(shuō)，驅(qū)動(dòng)件951設(shè)置于支撐元件920的側(cè)墻部921上，楔型鏟頭953可活動(dòng)地設(shè) 至于驅(qū)動(dòng)件951，楔型鏟頭953可通過(guò)驅(qū)動(dòng)件951的推動(dòng)而自側(cè)墻部921朝第一可變壓腔室940內(nèi)部的方向突進(jìn)。由此，可在進(jìn)行取下作業(yè)前，預(yù)先以楔型鏟頭953對(duì)準(zhǔn)于第一基板91與第二基板92相貼合處邊緣，并通過(guò)楔型鏟頭953的突進(jìn)而在第一基板91與第二基板92相貼合處產(chǎn)生一預(yù)裂口97。由此，有助于后續(xù)進(jìn)行取下作業(yè)時(shí)，第二基板92可從預(yù)裂口97處開(kāi)始剝離而更快的自第一基板91上被取下有助于后續(xù)取下作業(yè)的進(jìn)行。

接著，請(qǐng)參閱圖13A～圖13B，其為根據(jù)本發(fā)明的第十實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

圖13A繪示了一種取下貼合裝置1000，其包含有一載臺(tái)1010、一支撐元件1020、一可撓性固定件1030及一高度調(diào)整機(jī)構(gòu)1050。支撐元件1020連接載臺(tái)1010與可撓性固定件1030，而高度調(diào)整機(jī)構(gòu)1050連接于支撐元件1020與載臺(tái)1010之間。具體來(lái)說(shuō)，支撐元件1020包含有多個(gè)側(cè)墻部1021、多個(gè)底部1023及一上蓋部1025，側(cè)墻部1021彼此相連且環(huán)繞豎立于底部1023上，而上蓋部1025設(shè)置于側(cè)墻部1021上與底部1023相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部1021介于上蓋部1025與底部1023之間。但于本實(shí)施例中，上蓋部1025為選用，使用者可據(jù)實(shí)際需求而設(shè)置。載臺(tái)1010連接于側(cè)墻部1021之間，并與底部1023保持一距離d3?？蓳闲怨潭?030的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件1020的側(cè)墻部1021上，且分別與上蓋1025及載臺(tái)1010間隔一距離d2與一距離d4。高度調(diào)整機(jī)構(gòu)1050可活動(dòng)地連接于底部1023與載臺(tái)1010之間，用于調(diào)整載臺(tái)1010與底部1023之間的距離d3，進(jìn)而可調(diào)整可撓性固定件1030與載臺(tái)1010的間隔的距離d4。這里所述的可撓性固定件1030可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。而高度調(diào)整機(jī)構(gòu)1050可以但不限于螺絲。

載臺(tái)1010、支撐元件1020的側(cè)墻部1021及可撓性固定件1030之間共同形成一第一可變壓腔室1040。第一可變壓腔室1040具有位于載臺(tái)1010上的一第一進(jìn)出氣口1010a，第一進(jìn)出氣口1010a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室1040的第一內(nèi)壓P1。載臺(tái)1010上具有多個(gè)吸氣口1010b，可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，用以產(chǎn)生吸引氣流。

通過(guò)上述高度調(diào)整機(jī)構(gòu)1050可調(diào)整可撓性固定件1030與載臺(tái)1010的間隔的距離d4的設(shè)計(jì)，第一可變壓腔室1040的容積可依據(jù)待作業(yè)的基板所堆疊的高度不同而進(jìn)行調(diào)整。如圖13A所示，取下貼合裝置1000可以容置 有第一基板91、第二基板92與一第三基板93所推疊貼合的三層板結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施例中，第一基板91與第三基板可以為玻璃材料層(板)，而第二基板92可以為軟性面板層。第一基板91可被吸附固定于載臺(tái)1010上，而第三基板93可被粘貼固定于可撓性固定件1030上

或者，如圖13B所示，通過(guò)高度調(diào)整機(jī)構(gòu)1050將可撓性固定件1030與載臺(tái)1010的間隔的距離d4調(diào)小，以配合容置第一基板91與第二基板92所堆疊貼合的二層板結(jié)構(gòu)。由此可知，通過(guò)高度調(diào)整機(jī)構(gòu)1050的設(shè)置，取下貼合裝置1000可對(duì)不同堆疊高度的基板進(jìn)行取下作業(yè)。

除此之外，在本實(shí)施例中，取下貼合裝置1000還包含有一環(huán)狀密封件1060，設(shè)置于底部1023與載臺(tái)1010之間。這里所述的環(huán)狀密封件1060可以但不限于以橡膠等具有彈性變形能力的材質(zhì)所構(gòu)成。具體來(lái)說(shuō)，環(huán)狀密封件1060常態(tài)地被抵壓于底部1023與載臺(tái)1010之間。由此，在進(jìn)行取下作業(yè)時(shí)，可確保在第一可變壓腔室1040內(nèi)的氣體不會(huì)從載臺(tái)1010與支撐元件1020之間的縫隙溢散至外界環(huán)境，在進(jìn)行貼合作業(yè)時(shí)，可確保外界環(huán)境的氣體不會(huì)從載臺(tái)1010與支撐元件1020之間的縫隙進(jìn)入第一可變壓腔室1040。

接著，請(qǐng)參閱圖14，其為根據(jù)本發(fā)明的第十一實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

圖14繪示了一種取下貼合裝置1100，其結(jié)構(gòu)大致上與第三實(shí)施例所述的取下貼合裝置300相似，其包含有一載臺(tái)1110、一支撐元件1120及一可撓性固定件1130。支撐元件1120包含有多個(gè)側(cè)墻部1121及一上蓋部1125。側(cè)墻部1121彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)1110上，而上蓋部1125設(shè)置于側(cè)墻部1121上與載臺(tái)1110相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部1121介于上蓋部1125與載臺(tái)110之間?？蓳闲怨潭?130介于上蓋部1125與載臺(tái)1110之間。這里所述的可撓性固定件1130可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)1110、支撐元件1120及可撓性固定件1130之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室1140。第一可變壓腔室1140具有位于載臺(tái)1110上的一第一進(jìn)出氣口1110a，第一進(jìn)出氣口1110a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室1140的第一內(nèi)壓P1。載臺(tái)1110上具有多個(gè)吸氣口1110b，這些吸氣口1110b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口1110b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)1110上。而第二基 板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件1130上。

本實(shí)施例與第三實(shí)施例的差異處在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置1100的可撓性固定件1130一側(cè)面粘貼固定于上蓋部1125，而相對(duì)的另一側(cè)面則用于固定第二基板92，即，可撓性固定件1130被夾持于上蓋1125與第二基板92之間。因此，在取下作業(yè)時(shí)，第二基板92會(huì)向上撓曲而壓縮可撓性固定件1130，在此情況下，由于可撓性固定件1130可被壓縮的程度有限，可限制第二基板92向上撓曲的變形量，以避免第二基板92因過(guò)度撓曲而發(fā)生彎曲碎裂的情形發(fā)生。

接著，請(qǐng)參閱圖15，圖15為根據(jù)本發(fā)明的第十二實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

圖15繪示了一種取下貼合裝置1200a，其結(jié)構(gòu)大致上與第六實(shí)施例所述的取下貼合裝置600相似，其包含有一載臺(tái)1210、一支撐元件1220及一可撓性固定件1230。支撐元件1220包含有多個(gè)側(cè)墻部1221及一上蓋部1225。側(cè)墻部1221彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)1210上，而上蓋部1225設(shè)置于側(cè)墻部1221上與載臺(tái)1210相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部1221介于上蓋部1225與載臺(tái)1210之間?？蓳闲怨潭?230的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件1220的側(cè)墻部1221上，且分別與載臺(tái)1210及上蓋部1225保持一距離d1與一距離d2。這里所述的可撓性固定件1230可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)1210、支撐元件1220的側(cè)墻部1221及可撓性固定件1230之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室1240，上蓋部1225與可撓性固定件1230之間共同圍繞形成一第二可變壓腔室1250。第一可變壓腔室1240具有位于載臺(tái)1210上的一第一進(jìn)出氣口1210a，第二可變壓腔室1250可具有位于上蓋部1225上的一第二進(jìn)出氣口1225a。第一進(jìn)出氣口1210a與第二進(jìn)出氣口1225a均可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室1240的第一內(nèi)壓P1與第二可變壓腔室1250的第二內(nèi)壓P2。但于本實(shí)施例中，第二進(jìn)出氣口1225a為選用，使用者可據(jù)實(shí)際需求而設(shè)置。載臺(tái)1210上具有多個(gè)吸氣口1210b，這些吸氣口1210b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口1210b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)1210上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件1230上。

本實(shí)施例與第六實(shí)施例的主要差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置 1200a還可包含有一軌道件1261及一限位件1263。具體來(lái)說(shuō)，軌道件1261固定于上蓋部1225，而限位件1263一端上裝設(shè)有滾輪，而相對(duì)的另一端則可滑動(dòng)地設(shè)置于軌道件1261上，可理解的是，軌道件1261可限制限位件1263于單一軸向上滑動(dòng)。由此，當(dāng)進(jìn)行取下作業(yè)時(shí)，雖然可撓性固定件1230的撓曲變形可推動(dòng)限位件1263的滾輪而驅(qū)使限位件1263于軌道件1261上滑動(dòng)，但可撓性固定件1230會(huì)受限位件1263僅能于單一軸向上滑動(dòng)的限制，因此，固定于可撓性固定件1230上的第二基板92僅能沿著單一軸向方向被取下。此外，在取下作業(yè)中，由于限位件1263設(shè)置有滾輪，可有效地控制可撓性固定件1230的撓曲曲率，進(jìn)而可控制固定于可撓性固定件1230上的第二基板92的撓曲曲率，避免第二基板92因過(guò)度彎曲而碎裂的情形發(fā)生。類似的，在進(jìn)行貼合作業(yè)時(shí)，通過(guò)軌道件1261及限位件1263的設(shè)置，可限制第二基板92僅沿單一軸向的方向貼合至第一基板91。

可理解的是，限位件1263的設(shè)計(jì)并非以上述實(shí)施例為限，只要有助于在取下作業(yè)或貼合作業(yè)時(shí)得以有效控制第二基板92的撓曲曲率的設(shè)計(jì)，均屬于本發(fā)明的范疇。舉例來(lái)說(shuō)，請(qǐng)一并參閱圖16A～圖16B，圖16為根據(jù)本發(fā)明的第十三實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖，而圖16B為根據(jù)本發(fā)明的圖16A中限位件的局部放大示意圖。

第十三實(shí)施例提出了一種取下貼合裝置1200b。需聲明的是，本實(shí)施例的取下貼合裝置1200b的結(jié)構(gòu)大致上相似于第十二實(shí)施例的取下貼合裝置1200a，其差異僅在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置1200b的限位件1265可為一凸塊，且具有一貼合面1265a。具體來(lái)說(shuō)，貼合面1265a由彼此相連的一凹面1265a1與一凸面1265a2所組成，凹面1265a1相較于凸面1265a2更遠(yuǎn)離載板1210。當(dāng)進(jìn)行取下作業(yè)時(shí)，撓曲變形的可撓性固定件1230會(huì)匹配于限位件1265的凹面1265a1與凸面1265a2所構(gòu)成的形狀，用于限制可撓性固定件1230于的適當(dāng)?shù)膿锨?，進(jìn)而可將固定于可撓性固定件1230的第二基板92的撓曲曲率控制于一適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)。

接著，請(qǐng)參閱圖17A～圖17D，圖17A為根據(jù)本發(fā)明的第十四實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的剖面示意圖，圖17B為根據(jù)本發(fā)明的圖17A中撓曲限位組件的上視圖，圖17C為根據(jù)本發(fā)明的第十四實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖，而圖17D為根據(jù)本發(fā)明的圖17C的局部放大圖。

圖17A繪示了一種取下貼合裝置1300，其結(jié)構(gòu)大致上與第六實(shí)施例所述的取下貼合裝置600相似，其包含有一載臺(tái)1310、一支撐元件1320及一可撓性固定件1330。支撐元件1320包含有多個(gè)側(cè)墻部1321及一上蓋部1325。側(cè)墻部1321彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)1310上，而上蓋部1325設(shè)置于側(cè)墻部1321上與載臺(tái)1310相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部1321介于上蓋部1325與載臺(tái)1310之間?？蓳闲怨潭?330的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件1320的側(cè)墻部1321上，且分別與載臺(tái)1310及上蓋部1325保持一距離d1與一距離d2。但于本實(shí)施例中，上蓋部1325為選用，使用者可據(jù)實(shí)際需求而設(shè)置。這里所述的可撓性固定件1330可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)1310、支撐元件1320的側(cè)墻部1321及可撓性固定件1330之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室1340，而上蓋部1325與可撓性固定件1330之間可共同圍繞形成一第二可變壓腔室1350。第一可變壓腔室1340具有位于載臺(tái)1310上的一第一進(jìn)出氣口1310a，第二可變壓腔室1350可具有位于上蓋部1325上的一第二進(jìn)出氣口1325a。第一進(jìn)出氣口1310a與第二進(jìn)出氣口1325a均可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室1340的第一內(nèi)壓P1與第二可變壓腔室1350的第二內(nèi)壓P2。但于本實(shí)施例中，第二進(jìn)出氣口1325a為選用，使用者可據(jù)實(shí)際需求而設(shè)置。載臺(tái)1310上具有多個(gè)吸氣口1310b，這些吸氣口1310b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口1310b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)1310上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件1330上。

本實(shí)施例與第六實(shí)施例的主要差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置1300還可包含有一撓曲限位組件1360，固定于可撓性固定件1330上。具體的說(shuō)，如圖17B所示，撓曲限位組件1360由多個(gè)硬件1360a與多個(gè)軟件1360b交錯(cuò)相連所組成，各硬件1360a與各軟件1360b的延伸方向水平于Z軸。此外，硬件1360a可為剛性材質(zhì)所組成，具有不可撓曲的特性，而軟件1360b為軟性材質(zhì)所組成，具有可撓曲的特性。由此，撓曲限位組件1360僅能沿著相同的撓曲軸向(例如，Z軸方向)撓曲變形。接著，如圖17C～圖17D所示，當(dāng)應(yīng)用上述取下貼合裝置1300以進(jìn)行取下作業(yè)時(shí)，可撓性固定件1330會(huì)受到撓曲限位組件1360的限制而僅能在相同的撓曲軸向上撓曲變形，因此，固 定于第二基板92也會(huì)受到同樣的限制而僅能于相同的撓曲軸向撓曲，由此，可避免第二基板92在取下的過(guò)程中同時(shí)以多軸撓曲軸向撓曲，而產(chǎn)生應(yīng)力過(guò)大的問(wèn)題。

可理解的是，撓曲限位組件1360的設(shè)計(jì)并非以上述實(shí)施例為限，只要有助于限制基板于相同的撓曲軸向撓曲，均屬于本發(fā)明的范疇。舉例來(lái)說(shuō)，請(qǐng)一并參閱圖18A～圖18B，圖18A為根據(jù)本發(fā)明的第十五實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖，而圖18B為根據(jù)本發(fā)明的圖18A的局部放大圖。

第十五實(shí)施例提出了一種取下貼合裝置1400。需聲明的是，本實(shí)施例的取下貼合裝置1400的結(jié)構(gòu)大致上相似于第十四實(shí)施例的取下貼合裝置1300，其差異僅在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置1400的撓曲限位組件1460由多個(gè)軸件1460a與多個(gè)連接件1460b交錯(cuò)相連所組成，每一軸件1460a可樞轉(zhuǎn)的連接于二連接件1460b之間。

接著，請(qǐng)參閱圖19，為根據(jù)本發(fā)明的第十六實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

圖19繪示了一種取下貼合裝置1500，其結(jié)構(gòu)大致上與第六實(shí)施例所述的取下貼合裝置600相似，其包含有一載臺(tái)1510、一支撐元件1520及一可撓性固定件1530。支撐元件1520包含有多個(gè)側(cè)墻部1521及一上蓋部1525。側(cè)墻部1521彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)1510上，而上蓋部1525設(shè)置于側(cè)墻部1521上與載臺(tái)1510相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部1521介于上蓋部1525與載臺(tái)1510之間。可撓性固定件1530的相對(duì)兩側(cè)連接于支撐元件1520的側(cè)墻部1521上，且分別與載臺(tái)1510及上蓋部1525保持一距離d1與一距離d2。這里所述的可撓性固定件1530可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)1510、支撐元件1520的側(cè)墻部1521及可撓性固定件1530之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室1540，而上蓋部1525與可撓性固定件1530之間共同圍繞形成一第二可變壓腔室1550。第一可變壓腔室1540可具有位于載臺(tái)1510上的一第一進(jìn)出氣口1510a，第二可變壓腔室1550可具有位一第二進(jìn)出氣口1521a。第一進(jìn)出氣口1510a與第二進(jìn)出氣口1521a均可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，用以改變第一可變壓腔室1540的第一內(nèi)壓P1與第二可變壓腔室1550的第二內(nèi)壓P2。載臺(tái)1510上具有多個(gè)吸氣口 1510b，這些吸氣口1510b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口1510b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)1510上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件1530上。

本實(shí)施例與第六實(shí)施例的主要差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置1500中，第二進(jìn)出氣口1521a位于側(cè)墻部1521。除此之外，取下貼合裝置1500還可包含有一位移監(jiān)控模塊1560，其包含有一位移監(jiān)控器1561及二可撓式導(dǎo)電板1563a與1563b。具體來(lái)說(shuō)，位移監(jiān)控器1561設(shè)置于上蓋部1525上，可撓式導(dǎo)電板1563a、1563b位于第一可變壓腔室1540內(nèi)，可撓式導(dǎo)電板1563a設(shè)置于上蓋部1525，而可撓式導(dǎo)電板1563b設(shè)置于可撓性固定件1530。位移監(jiān)控器1561可用來(lái)偵測(cè)二可撓式導(dǎo)電板1563a與1563b之間的距離變化所產(chǎn)生的電容值變化。詳細(xì)來(lái)說(shuō)，在取下作業(yè)或貼合作業(yè)時(shí)，設(shè)置于可撓性固定件1530上的可撓式導(dǎo)電板1563b會(huì)隨著可撓性固定件1530的撓曲而變形，二可撓式導(dǎo)電板1563a與1563b之間的距離d5會(huì)隨著可撓性固定件1530的撓曲而改變，進(jìn)而產(chǎn)生了電容值的變化，而位移監(jiān)控器1561可通過(guò)偵測(cè)該電容值的變化而計(jì)算出實(shí)際上距離d5的變化，由此，可用來(lái)監(jiān)測(cè)取下作業(yè)或貼合作業(yè)的情況。

接著，請(qǐng)參閱圖20A～圖20B，圖20A為根據(jù)本發(fā)明的第十七實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下前的示意圖，而圖20B為根據(jù)本發(fā)明的第十七實(shí)施例的取下貼合裝置中第二基板自第一基板取下的過(guò)程的示意圖。

圖20A繪示了一種取下貼合裝置1600，其結(jié)構(gòu)大致上與第十一實(shí)施例所述的取下貼合裝置1100相似，其包含有一載臺(tái)1610、一支撐元件1620及一可撓性固定件1630。支撐元件1620包含有多個(gè)側(cè)墻部1621及一上蓋部1625。側(cè)墻部1621彼此相連且環(huán)繞豎立于載臺(tái)1610上，而上蓋部1625設(shè)置于側(cè)墻部1621上與載臺(tái)1610相對(duì)的一側(cè)，即側(cè)墻部1621介于上蓋部1625與載臺(tái)1610之間?？蓳闲怨潭?630設(shè)置于上蓋部1625，且介于上蓋部1625與載臺(tái)1610之間。這里所述的可撓性固定件1630可以但不限于以橡膠或硅膠等具有彈變形能力或撓曲性的材質(zhì)所構(gòu)成。

載臺(tái)1610、支撐元件1620及可撓性固定件1630之間共同圍繞形成一第一可變壓腔室1640。第一可變壓腔室1640具有位于載臺(tái)1610上的一第一進(jìn)出氣口1610a，第一進(jìn)出氣口1610a可連接于一壓力調(diào)節(jié)裝置(未繪示)，可 用以改變第一可變壓腔室1640的第一內(nèi)壓P1。載臺(tái)310上具有多個(gè)吸氣口1610b，這些吸氣口1610b可連接于前述的壓力調(diào)節(jié)裝置，以通過(guò)對(duì)這些吸氣口1610b抽氣的方式將第一基板91穩(wěn)固的吸附于載臺(tái)1610上。而第二基板92可以但不限于以粘合的方式固定于可撓性固定件1630上。

本實(shí)施例與第十一實(shí)施例的差異在于，本實(shí)施例的取下貼合裝置1600的可撓性固定件1630可具有多個(gè)可變壓隔間1631。除此之外，上蓋部1625還可具有多個(gè)第二進(jìn)出氣口1625a，分別對(duì)應(yīng)于可撓性固定件1630的多個(gè)可變壓隔間1631。詳細(xì)來(lái)說(shuō)，這些第二進(jìn)出氣口1625a可連接于壓力調(diào)節(jié)裝置，壓力調(diào)節(jié)裝置可經(jīng)由這些第二進(jìn)出氣口1625a進(jìn)氣或抽氣的方式分別改變可撓性固定件1630中這些可變壓隔間1631的內(nèi)壓P3。如圖20B所示，在進(jìn)行取下作業(yè)或貼合作業(yè)時(shí)，壓力調(diào)節(jié)裝置可以有時(shí)序性地對(duì)第二進(jìn)出氣口1625a進(jìn)氣或抽氣，而依序改變這些可變壓隔間1631的內(nèi)壓P3，由此，可精確的控制可撓性固定件1630相對(duì)兩側(cè)的氣體壓力，進(jìn)而能精確的控制可撓性固定件1630的撓曲，而能有效地掌控取下作業(yè)或貼合作業(yè)的進(jìn)行。

綜合以上所述，本發(fā)明實(shí)施例的取下貼合裝置及應(yīng)用其的取下方法與貼合方法，通過(guò)調(diào)整第一可變壓腔室內(nèi)的氣體壓力以讓可撓性固定件的相對(duì)二側(cè)產(chǎn)生壓力差，以使得可撓性固定件與基板可一并地?fù)锨?，以進(jìn)行取下或貼合的作業(yè)。