專利名稱：固體攝像裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有ニ維排列有產(chǎn)生對應(yīng)于各個(gè)入射光量的量的電荷的多個(gè)光電ニ極管的受光部的固體攝像裝置，特別是涉及能夠適宜用于口腔內(nèi)的X射線攝像的固體攝像裝置。
背景技術(shù)：
在專利文獻(xiàn)I中公開了謀求用于口腔內(nèi)的X射線攝像的固體攝像裝置。在這樣的用途中，應(yīng)該進(jìn)行攝像的X射線的入射期間極為短暫，因而固體攝像裝置不得不捕捉X射線入射時(shí)機(jī)來對該X射線進(jìn)行攝像。因此，為了對X射線圖像進(jìn)行攝像，專利文獻(xiàn)I所公開的 固體攝像裝置除了ニ維排列有包括光電ニ極管的像素部的攝像用受光部之外還具備用于檢測X射線入射的觸發(fā)(trigger)用光電ニ極管。而且，該固體攝像裝置通過監(jiān)視從觸發(fā)用光電ニ極管輸出的電信號(hào)來檢測X射線入射，之后，根據(jù)從攝像用受光部輸出的電信號(hào)取得X射線圖像。另外，作為固體攝像裝置的構(gòu)成具有APS (主動(dòng)式像素傳感器，Active PixelSensor)方式和PPS (被動(dòng)式像素傳感器，Passive Pixel Sensor)方式。專利文獻(xiàn)I所公開的固體攝像裝置為APS方式。APS方式的情況下的像素部包含產(chǎn)生對應(yīng)于入射光量的量的電荷的光電ニ極管、作為存儲(chǔ)該電荷的電荷存儲(chǔ)部的浮動(dòng) 擴(kuò)散(Floating ^Diffusion)區(qū)域、具有與浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域相電連接的柵極電極的放大用晶體三極管而構(gòu)成。APS方式的固體攝像裝置在受光部的多個(gè)像素部中以相同時(shí)機(jī)使光電ニ極管的接合容量部以及浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域放電，由光電ニ極管產(chǎn)生電荷，向浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域轉(zhuǎn)送該產(chǎn)生的電荷，從而能夠?qū)⒃撧D(zhuǎn)送了的電荷存儲(chǔ)于浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域。而且，該固體攝像裝置能夠在受光部的每行依次地從放大用晶體三極管將對應(yīng)于存儲(chǔ)于各個(gè)像素部的浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域的電荷的量的數(shù)據(jù)輸出。這樣的攝像動(dòng)作稱為全域快門(global shutter)方式。相對于此,在卷簾快門(rolling shutter)方式的攝像動(dòng)作中，光電ニ極管中的電荷產(chǎn)生、電荷存儲(chǔ)以及數(shù)據(jù)輸出在受光部的每行錯(cuò)開期間地依次進(jìn)行。在卷簾快門方式的攝像動(dòng)作中，由攝像獲得的各幀的圖像數(shù)據(jù)根據(jù)行而在不同的時(shí)刻獲得。在全域快門方式的攝像動(dòng)作中，由攝像獲得的各幀的圖像數(shù)據(jù)不管行如何均在相同的時(shí)刻獲得。因此，在如口腔內(nèi)的X射線攝像那樣應(yīng)該進(jìn)行攝像的光的入射期間極其短暫的情況下，優(yōu)選全域快門方式的攝像動(dòng)作?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特表2002-505002號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題然而，專利文獻(xiàn)I所公開的固體攝像裝置是通過監(jiān)視從觸發(fā)用光電ニ極管輸出的電信號(hào)從而檢測X射線入射的開始以及結(jié)束并在X射線入射的期間對入射到攝像用受光部的X射線進(jìn)行攝像的固體攝像裝置。但是，根據(jù)用途或者光入射模式，會(huì)有誤檢測光入射的開始或者結(jié)束的情況，在此情況下，固體攝像裝置不能夠?qū)嵤┱_的攝像。本發(fā)明是為了消除以上所述問題而完成的發(fā)明，其目的在于提供即使相對于各種各樣的用途或者光入射模式也能夠進(jìn)行正確的攝像的固體攝像裝置。解決課題的技術(shù)手段本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置，其特征在于，具備攝像用受光部，MXN個(gè)像素部P1,TP1,N被ニ維排列成M行N列；觸發(fā)(trigger)用受光部，包含產(chǎn)生對應(yīng)于入射光量的量的電荷的觸發(fā)用光電ニ極管；觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部，輸出對應(yīng)于由觸發(fā)用受光部所產(chǎn)生的電荷的量的觸發(fā)用數(shù)據(jù)；控制部，控制攝像用受光部的各個(gè)像素部Pm, n的動(dòng)作。其中，M，N為2以上的整數(shù)，m為I以上M以下的整數(shù)，n為I以上N以下的整數(shù)。 另外,各個(gè)像素部Pm, n,其特征在于,包含光電ニ極管，產(chǎn)生對應(yīng)于入射光量的量的電荷；第I電荷存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)由光電ニ極管所產(chǎn)生的電荷；第2電荷存儲(chǔ)部，被轉(zhuǎn)送有存儲(chǔ)于第I電荷存儲(chǔ)部的電荷；第I初始化部，對第I電荷存儲(chǔ)部的電荷存儲(chǔ)實(shí)施初始化；第2初始化部，對第2電荷存儲(chǔ)部的電荷存儲(chǔ)實(shí)施初始化；轉(zhuǎn)送部，將存儲(chǔ)于第I電荷存儲(chǔ)部的電荷轉(zhuǎn)送到第2電荷存儲(chǔ)部；輸出部，將對應(yīng)于存儲(chǔ)于第2電荷存儲(chǔ)部的電荷的量的像素?cái)?shù)據(jù)輸出到配線Ln。再有，控制部，其特征在干，(a)在從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從小于第I閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成超過第I閾值的狀態(tài)之后，在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值超過第I閾值的狀態(tài)持續(xù)一定時(shí)間T1以上的時(shí)候，判斷為光入射的開始，對于攝像用受光部的MXN個(gè)像素部P1，廣PM,N，結(jié)束由第I初始化部進(jìn)行的初始化動(dòng)作，并開始由第I電荷存儲(chǔ)部進(jìn)行的電荷存儲(chǔ)動(dòng)作；(b)在從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從超過第2閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成小于第2閾值的狀態(tài)之后，在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值不超過第2閾值的狀態(tài)持續(xù)一定時(shí)間T2以上的時(shí)候，判斷為光入射的結(jié)束，對于攝像用受光部的MXN個(gè)像素部P1，廣P ，進(jìn)行由轉(zhuǎn)送部進(jìn)行的電荷轉(zhuǎn)送動(dòng)作以及由輸出部進(jìn)行的數(shù)據(jù)輸出動(dòng)作。另外，在此，優(yōu)選T 2 > T 10發(fā)明的效果本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置即使相對于各種各樣的用途或者光入射模式也能夠?qū)嵤┱_的攝像。


圖I是表示本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的構(gòu)成的示意圖。圖2是表示包含于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的像素部Pm以及保持電路Hn各自的電路構(gòu)成的示意圖。圖3是表示包含于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的行選擇部30的電路構(gòu)成的示意圖。圖4是說明全域快門方式的示意圖。圖5是說明卷簾快門方式的示意圖。圖6是說明本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I中的快門方式的示意圖。
圖7是說明本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的動(dòng)作的時(shí)序圖。圖8是表示光入射模式的例子的示意圖。圖9是對由包含于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的控制部80進(jìn)行的光入射開始的判斷進(jìn)行說明的示意圖。圖10是表示本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I中的光入射開始的判斷與電荷存儲(chǔ)動(dòng)作開始的關(guān)系的示意圖。圖11是對由包含于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I中的控制部80進(jìn)行的光入射結(jié)束的判斷進(jìn)行說明的示意圖。圖12是對由包含于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I中的控制部80進(jìn)行的光入射結(jié)束的判斷進(jìn)行說明的示意圖。 圖13是表示本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I中的光入射結(jié)束的判斷與電荷存儲(chǔ)動(dòng)作結(jié)束及信號(hào)讀出的關(guān)系的示意圖。圖14是表示本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I中的光入射結(jié)束的判斷與電荷存儲(chǔ)動(dòng)作結(jié)束及信號(hào)讀出的關(guān)系的示意圖。圖15是表示光入射模式的例子的示意圖。圖16是說明本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的動(dòng)作的時(shí)序圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖，詳細(xì)地說明用于實(shí)施本發(fā)明的方式。還有，在附圖的說明中，將相同的符號(hào)標(biāo)注于相同的要素上，省略重復(fù)的說明。圖I是表示本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的構(gòu)成的示意圖。該圖所表示的固體攝像裝置I具備攝像用受光部10、觸發(fā)(trigger)用受光部20、行選擇部30、列選擇部40、保持部50、像素?cái)?shù)據(jù)輸出部60、觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70以及控制部80。還有，在該圖中，省略或者簡化了要素之間的配線。在這些要素當(dāng)中，至少攝像用受光部10以及觸發(fā)用受光部20被形成于共同的基板上。另外，在該基板上優(yōu)選還形成有行選擇部30、列選擇部40、保持部50、像素?cái)?shù)據(jù)輸出部60以及觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70。控制部80優(yōu)選被形成于該基板上，但是也可以與該基板分開設(shè)置。攝像用受光部10是用于對入射的光的圖像進(jìn)行攝像的構(gòu)件，包含被ニ維排列成M行N列的像素部P1，廣PM,N。像素部Pm, n位于第m行第n列。MXN個(gè)像素部P1,廣PM，N具有共同的構(gòu)成，并包含產(chǎn)生對應(yīng)于入射光量的量的電荷的光電ニ極管。還有，M, N為2以上的整數(shù)，m為I以上M以下的整數(shù)，n為I以上N以下的整數(shù)。觸發(fā)用受光部20是用于檢測光的入射的構(gòu)件，并包含產(chǎn)生對應(yīng)于入射光量的量的電荷的觸發(fā)用光電ニ極管。關(guān)于包含于觸發(fā)用受光部20的觸發(fā)用光電ニ極管的個(gè)數(shù)或者配置，可以是各種各樣的方式，但是為了高靈敏度地檢測光的入射而優(yōu)選以圍繞攝像用受光部10的形式設(shè)置觸發(fā)用光電ニ極管，另外，優(yōu)選受光面積大。觸發(fā)用受光部20如圖所示優(yōu)選包含圍繞攝像用受光部10設(shè)置的I個(gè)觸發(fā)用光電ニ極管，或者優(yōu)選包含設(shè)置于攝像用受光部10的周圍且互相并聯(lián)連接的多個(gè)觸發(fā)用光電ニ極管。還有，攝像用受光部10以及觸發(fā)用受光部20也可以被閃爍器覆蓋。在此情況下，固體攝像裝置I也能夠?qū)射線圖像進(jìn)行攝像。行選擇部30對于各個(gè)像素部Pm,n指示由光電ニ極管所產(chǎn)生的電荷的存儲(chǔ)，另夕卜，指示對應(yīng)于該電荷的量的像素?cái)?shù)據(jù)的輸出。行選擇部30包含M級(jí)移位寄存器(shiftregister)電路，由該移位寄存器電路的各級(jí)的輸出比特(output bit),能夠指定攝像用受光部10中的各行。保持部50包含具有共同的構(gòu)成的N個(gè)保持電路氏、。保持電路Hn由配線Ln而與攝像用受光部10中的第n列的M個(gè)像素部Pu PM，n相連接，從而輸入從其中的任意一個(gè)像素部Pm，n輸出的像素?cái)?shù)據(jù)，保持該輸入的像素?cái)?shù)據(jù)并輸出。保持電路Hn保持表示重疊有雜音成分的信號(hào)成分的像素?cái)?shù)據(jù)并且還能夠保持表示雜音成分的像素?cái)?shù)據(jù)。列選擇部40依次指定包含于保持部50的N個(gè)保持電路H^Hn,將由該指定的第n保持電路Hn保持的像素?cái)?shù)據(jù)輸出到像素?cái)?shù)據(jù)輸出部60。列選擇部40包含N級(jí)移位寄存器 電路，由該移位寄存器電路的各級(jí)的輸出比特，能夠依次指定N個(gè)保持電路氏、。像素?cái)?shù)據(jù)輸出部60包含差運(yùn)算電路61以及AD轉(zhuǎn)換電路62。差運(yùn)算電路61輸入從包含于保持部50的N個(gè)保持電路H1 Hn依次輸出的像素?cái)?shù)據(jù)(表示重疊有雜音成分的信號(hào)成分的像素?cái)?shù)據(jù)、表示雜音成分的像素?cái)?shù)據(jù))，并輸出對應(yīng)于它們的差的像素?cái)?shù)據(jù)(表示除去了雜音成分的信號(hào)成分的像素?cái)?shù)據(jù))。AD轉(zhuǎn)換電路62輸入從差運(yùn)算電路61輸出的像素?cái)?shù)據(jù)(模擬值)并進(jìn)行AD轉(zhuǎn)換，將像素?cái)?shù)據(jù)作為數(shù)字值Dout進(jìn)行輸出。觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70包含IV轉(zhuǎn)換電路71以及AD轉(zhuǎn)換電路72。IV轉(zhuǎn)換電路71輸入從觸發(fā)用受光部20輸出的電流信號(hào),并輸出對應(yīng)于該電流值的電壓值。AD轉(zhuǎn)換電路72輸入從IV轉(zhuǎn)換電路71輸出的電壓值(模擬值)并進(jìn)行AD轉(zhuǎn)換，將觸發(fā)用數(shù)據(jù)作為數(shù)字值進(jìn)行輸出?？刂撇?0通過行選擇部30控制攝像用受光部10的各個(gè)像素部Pm，n的動(dòng)作。另夕卜，控制部80還控制列選擇部40以及像素?cái)?shù)據(jù)輸出部60各自的動(dòng)作。控制部80根據(jù)從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)判斷光入射的開始以及結(jié)束，井根據(jù)該判斷結(jié)果進(jìn)行控制。圖2是表示包含于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的像素部Pm，n以及保持電路Hn各自的電路構(gòu)成的示意圖。還有，在該圖中，在MXN個(gè)像素部P1，廣PM，N當(dāng)中以像素部Pm,n為代表進(jìn)行表示，在N個(gè)保持電路H^Hn當(dāng)中以保持電路Hn為代表進(jìn)行表示。像素部P111, n是ー種APS (Active Pixel Sensor)方式的像素部，包含光電ニ極管PD以及4個(gè)晶體三極管Tf T4。如該圖所示，晶體三極管Tl、晶體三極管T2以及光電ニ極管依次串聯(lián)連接，基準(zhǔn)電壓Vbl被輸入到晶體三極管Tl的漏極(drain)端子，光電ニ極管的正極端子接地。晶體三極管T3以及晶體三極管T4被串聯(lián)連接，基準(zhǔn)電壓Vb2被輸入到晶體三極管T3的漏極端子，晶體三極管T4的源極(source)端子被連接于配線Ln。晶體三極管Tl與晶體三極管T2的連接點(diǎn)被連接于晶體三極管T3的柵極(gate)端子。另外，在配線Ln上連接有恒定電流源。從行選擇部30提供的reseUm)信號(hào)被輸入到晶體三極管Tl的柵極端子，從行選擇部30提供的trans (m)信號(hào)被輸入到晶體三極管T2的柵極端子，從行選擇部30提供的address (m)信號(hào)被輸入到晶體三極管T4的柵極端子。這些reset (m)信號(hào)、trans (m)信號(hào)以及address (m)信號(hào)對于第m行的N個(gè)像素部Pm，廣Pm，N被共同地輸入。
在reset (m)信號(hào)以及trans (m)信號(hào)為高電平的時(shí)候,光電ニ極管F1D的接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)放電，另外，電連接于晶體三極管T3的柵極端子的浮動(dòng) 擴(kuò)散(Floating .Diffusion)區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)放電。在放電后，reset (m)信號(hào)以及transCm)信號(hào)變成低電平，進(jìn)而如果address (m)信號(hào)成為高電平的話，則從像素部Pm, n向配線Ln輸出噪音成分。如果reset (m)信號(hào)成為低電平,trans (m)信號(hào)成為高電平的話,貝Ij存儲(chǔ)于光電ニ極管F1D的接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)的電荷被轉(zhuǎn)送到電連接于晶體三極管T3的柵極端子的浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)，如果address (m)信號(hào)成為高電平的話，則對應(yīng)于存儲(chǔ)于浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域的電荷的量的電壓值作為信號(hào)成分被輸出至配線Ln。即，晶體三極管Tl，T2作為通過成為開啟(ON)狀態(tài)從而對光電ニ極管的接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)進(jìn)行初始化的第I初始化部而起作用。晶體三極管Tl作為通過成為開啟(ON)狀態(tài)從而對浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)進(jìn)行初始化的第2初始化部而起作用。通過晶體三極管Tl成為關(guān)閉(OFF)狀態(tài)而晶體三極管T2成為開啟狀態(tài)，從而這些晶體三極管Tl，T2作為將存儲(chǔ)于光電ニ極管ro的接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)的電荷轉(zhuǎn)送到浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)的轉(zhuǎn)送部而起作用。晶體三 極管T4作為通過成為開啟狀態(tài)從而輸出對應(yīng)于存儲(chǔ)于浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)的電荷的量的像素?cái)?shù)據(jù)的輸出部而起作用。保持電路Hn包含2個(gè)容量元件C1, C2以及4個(gè)開關(guān)SW11、SW12、SW21、SW22。在該保持電路Hn中，開關(guān)SW11以及SW12被串聯(lián)連接并被設(shè)置于配線Ln與配線Hline_s之間，容量元件C1的一端被連接于開關(guān)SW11與開關(guān)SW12之間的連接點(diǎn)，容量元件C1的另一端接地。另夕卜，開關(guān)SW21以及SW22被串聯(lián)連接并被設(shè)置于配線Ln與配線Hline_n之間，容量元件C2的一端被連接于開關(guān)SW21與開關(guān)SW22之間的連接點(diǎn)，容量元件C2的另一端接地。在該保持電路Hn中，開關(guān)SW11對應(yīng)于從列選擇部40提供的set_s信號(hào)的電平進(jìn)行開閉。開關(guān)SW21對應(yīng)于從列選擇部40提供的set_n信號(hào)的電平進(jìn)行開閉。set_s信號(hào)以及set_n信號(hào)對于N個(gè)保持電路H1 Hn被共同地輸入。開關(guān)SW12, Sff22對應(yīng)于從列選擇部40提供的hshift (n)信號(hào)的電平進(jìn)行開閉。在該保持電路Hn中，在set_n信號(hào)從高電平轉(zhuǎn)變?yōu)榈碗娖角议_關(guān)SW21打開的時(shí)候，從像素部？_輸出至配線Ln的噪音成分從此之后作為電壓值out_n (n)被容量元件C2保持。在set_s信號(hào)從高電平轉(zhuǎn)變?yōu)榈碗娖角议_關(guān)SW11打開的時(shí)候，從像素部Pm，n輸出至配_Ln的信號(hào)成分從此之后作為電壓值out_s (n)被容量元件C1保持。然后，如果hshift(n)信號(hào)成為高電平的話，則開關(guān)SW12關(guān)閉，被容量元件C1保持的電壓值out_s (n)被輸出至配線Hline_s，另外，開關(guān)SW22關(guān)閉，被容量元件C2保持的電壓值out_n (n)被輸出至配線Hline_n。這些電壓值out_s (n)與電壓值out_n (n)之差表示對應(yīng)于由像素部Pm，n的光電ニ極管ro所產(chǎn)生的電荷的量的像素?cái)?shù)據(jù)。圖3是表示包含于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的行選擇部30的電路構(gòu)成的示意圖。行選擇部30包含具有共同的構(gòu)成的M個(gè)部分電路31^31m。各部分電路31m包含鎖存電路(latch circuit)32、N0R 電路 33、INV 電路 34、NAND 電路 35t、NAND 電路 35^NAND電路35a、INV電路36t、INV電路36r以及INV電路36a。M個(gè)部分電路31廣31m各自的鎖存電路32構(gòu)成級(jí)聯(lián)連接的M級(jí)移位寄存器。如果將僅一定期間成為高電平的D信號(hào)輸入到初級(jí)的部分電路31:的鎖存電路32的話，則從此之后從各部分電路31m的鎖存電路32輸出的shift (m)信號(hào)依次僅一定期間成為高電平。各部分電路31m的NOR電路33輸入從鎖存電路32輸出的shift (m)信號(hào)并且還輸入gsjnode信號(hào)。INV電路34邏輯翻轉(zhuǎn)從NOR電路33輸出的信號(hào)并將該邏輯翻轉(zhuǎn)信號(hào)作為enable (m)信號(hào)進(jìn)行輸出。即，各部分電路31m的NOR電路33以及INV電路34輸出表不shift (m)信號(hào)與gs_mode信號(hào)的邏輯和的enable (m)信號(hào)。各部分電路31m的NAND電路35t輸入從INV電路34輸出的enable (m)信號(hào)并且還輸入Vtrans信號(hào)。INV電路36t邏輯翻轉(zhuǎn)從NAND電路35t輸出的信號(hào)并將該邏輯翻轉(zhuǎn)信號(hào)作為trans (m)信號(hào)進(jìn)行輸出。即，各部分電路31m的NAND電路35t以及INV電路36t輸出表不enable (m)信號(hào)與Vtrans信號(hào)的邏輯積的trans (m)信號(hào)。各部分電路31m的NAND電路35r輸入從INV電路34輸出的enable (m)信號(hào)并且還輸入Vreset信號(hào)。INV電路36,邏輯翻轉(zhuǎn)從NAND電路35,輸出的信號(hào)并將該邏輯翻轉(zhuǎn)信號(hào)作為reset (m)信號(hào)進(jìn)行輸出。即，各部分電路31m的NAND電路35,以及INV電路36^ 輸出表不enable (m)信號(hào)與Vreset信號(hào)的邏輯積的reset (m)信號(hào)。各部分電路31m的NAND電路35a輸入從鎖存電路32輸出的shift (m)信號(hào)并且還輸入Vaddress信號(hào)。INV電路36a邏輯翻轉(zhuǎn)從NAND電路35a輸出的信號(hào)并將該邏輯翻轉(zhuǎn)信號(hào)作為address (m)信號(hào)進(jìn)行輸出。即，各部分電路31m的NAND電路35a以及INV電路36a輸出表不shift (m)信號(hào)與Vaddress信號(hào)的邏輯積的address (m)信號(hào)。gs_mode信號(hào)、Vtrans信號(hào)、Vreset信號(hào)以及Vaddress信號(hào)分別被共同地輸入到M個(gè)部分電路31^31m。另外，這些信號(hào)以及D信號(hào)從控制部80被提供給行選擇部30。在gs_mode信號(hào)為高電平的時(shí)候,從各部分電路31111輸出的trans (m)信號(hào)一直成為與Vtrans信號(hào)相同的電平，從各部分電路3Im輸出的reset (m)信號(hào)也一直成為與Vreset信號(hào)相同的電平。相對于此,在gs_mode信號(hào)為低電平的時(shí)候,對應(yīng)于從各部分電路31m的鎖存電路32輸出的shift (m)信號(hào)依次僅一定期間成為高電平,從各部分電路31111輸出的trans (m)信號(hào)依次僅一定期間成為與Vtrans信號(hào)相同的電平,從各部分電路31111輸出的reset (m)信號(hào)也依次僅一定期間成為與Vreset信號(hào)相同的電平。另外，不管gs_mode信號(hào)的電平,對應(yīng)于從各部分電路31m的鎖存電路32輸出的shift (m)信號(hào)依次僅一定期間成為高電平,從各部分電路31111輸出的address (m)信號(hào)依次僅一定期間成為與Vaddress信號(hào)相同的電平。因此，在gs_mode信號(hào)為高電平的時(shí)候，固體攝像裝置I關(guān)于提供給各行的trans(m)信號(hào)和reset (m)信號(hào)可以進(jìn)行與全域快門方式的攝像動(dòng)作相同的全像素同時(shí)的動(dòng)作。相對于此，在gsjnode信號(hào)為低電平的時(shí)候，固體攝像裝置I關(guān)于提供給各行的trans Cm)信號(hào)和reset (m)信號(hào)可以進(jìn)行與卷簾快門方式的攝像動(dòng)作相同的每行的動(dòng)作。另外，關(guān)于address (m)信號(hào),沒有區(qū)別。圖4是說明全域快門方式的示意圖。圖5是說明卷簾快門方式的示意圖。另外，圖6是說明本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I中的快門方式的示意圖。在這些圖中，表示向觸發(fā)用受光部20入射的光的強(qiáng)度，另外，表示根據(jù)從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測的光入射的開始的時(shí)機(jī)。另外，在這些圖中，關(guān)于攝像用受光部10中的各行，表示將電荷存儲(chǔ)于光電ニ極管ro的接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)期間、從晶體三極管T4輸出對應(yīng)于存儲(chǔ)于浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)的電荷的量的像素?cái)?shù)據(jù)的信號(hào)讀出期間。如圖4所示，在全域快門方式中，電荷存儲(chǔ)期間在攝像用受光部10的全部行中是共同的，信號(hào)讀出期間在攝像用受光部10的每行是不同的。相對于此，如圖5所示，在卷簾快門方式中，在攝像用受光部10的各行中接著電荷存儲(chǔ)期間而有信號(hào)讀出期間，這些期間在攝像用受光部10的每行是不同的。另ー方面，如圖6所示，在本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I中的快門方式中，電荷存儲(chǔ)期間的開始在攝像用受光部10的全部行中是共同的，但是電荷存儲(chǔ)期間的結(jié)束在攝像用受光部10的每行中是不同的，在攝像用受光部10的各行中接著電荷存儲(chǔ)期間而有信號(hào)讀出期間。本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I通過將gs_mode信號(hào)調(diào)整到高電平從而能夠在攝像用受光部10的全部行中使電荷存儲(chǔ)期間的開始共同，另外，通過將gs_mode信號(hào)調(diào)整到低電平從而能夠在每行依次進(jìn)行電荷存儲(chǔ)期間的結(jié)束以及信號(hào)讀出。
還有，在任意的快門方式中，攝像用受光部10的各行的信號(hào)讀出期間不互相重疊。另外，在任意的快門方式中，根據(jù)從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)檢測出光入射的開始的時(shí)機(jī)(圖中的箭頭)之后，開始攝像用受光部10的各行的電荷存儲(chǔ)期間。圖7是說明本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的動(dòng)作的時(shí)序圖。在該圖中，從上開始依次表示向觸發(fā)用受光部20的光入射強(qiáng)度、來自觸發(fā)用受光部20的輸出電流、由控制部80進(jìn)行的控制(待機(jī)、電荷存儲(chǔ)、信號(hào)讀出)、從控制部80提供給行選擇部30的電荷存儲(chǔ)期間信號(hào)、提供給第I行的各個(gè)像素部的reset (I)信號(hào)、trans (I)信號(hào)及address (I)信號(hào)、提供給第m行的各個(gè)像素部的reset (m)信號(hào)、trans (m)信號(hào)及address (m)信號(hào)、提供給第M行的各個(gè)像素部的reset (M)信號(hào)、trans (M)信號(hào)及address (M)信號(hào)、提供給行選擇部30的gsjnode信號(hào)、以及、從AD轉(zhuǎn)換電路62輸出的數(shù)字值Dout?？刂撇?0在向觸發(fā)用受光部20的光入射開始之前，使攝像用受光部10為待機(jī)狀態(tài)。即，控制部80將gsjnode信號(hào)作為高電平，井分別將從行選擇部30提供給所有的像素部Pm, i^々reset (m)信號(hào)以及trans (m)信號(hào)作為與Vreset、Vtrans相等的高電平,并將address (m)信號(hào)作為低電平。由此，在所有的像素部Pm,n中，晶體三極管Tl，T2均成為開啟狀態(tài)，光電ニ極管ro的接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)被持續(xù)初始化，另外，連接于晶體三極管T3的柵極端子的浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)也被持續(xù)初始化。控制部80如果判斷為向觸發(fā)用受光部20的光入射開始的話，則將攝像用受光部10作為電荷存儲(chǔ)期間。即，控制部將gsjnode信號(hào)依舊作為高電平，并將從行選擇部30提供給所有的像素部Pm, n的reset (m)信號(hào)依舊作為與Vreset相等的高電平,使trans (m)信號(hào)變化成與Vtrans相等的低電平,并將address (m)信號(hào)依舊作為低電平。由此,在所有的像素部Pm, n中同時(shí)地，晶體三極管T2成為關(guān)閉狀態(tài)，光電ニ極管ro的接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)的初始化動(dòng)作結(jié)束，由該接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)進(jìn)行的電荷存儲(chǔ)動(dòng)作開始。此時(shí)，連接于晶體三極管T3的柵極端子的浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)被持續(xù)初始化。之后，控制部80如果判斷為向觸發(fā)用受光部20的光入射結(jié)束的話，則將攝像用受光部10作為信號(hào)讀出期間。即，控制部80在使gsjnode信號(hào)變化成低電平之后，對于攝像用受光部10的各行依次地進(jìn)行信號(hào)讀出。在來自第m行的像素部Pm,n的信號(hào)讀出中，使從行選擇部30提供給像素部Pm, n的reset (m)信號(hào)變化成低電平并且使address (m)信號(hào)變化成高電平，之后，將trans (m)信號(hào)僅ー定期間作為高電平，再之后，使address (m)信號(hào)返回到低電平。由此，在第m行的像素部Pm,n中，晶體三極管Tl成為關(guān)閉狀態(tài)并且晶體三極管T4成為開啟狀態(tài)，之后，晶體三極管T2僅ー定期間成為開啟狀態(tài)，再之后，晶體三極管T4返回到關(guān)閉狀態(tài)。還有，在圖7的實(shí)施例中，使reset (m)信號(hào)變化成低電平的時(shí)機(jī)成為即將使address (m)信號(hào)變化成高電平之前,但也可以是自使trans (m)信號(hào)變化成低電平并開始存儲(chǔ)起，到使address (m)信號(hào)變化成高電平之間。這是由于，如果是進(jìn)行浮動(dòng) 擴(kuò)散(Floating .Diffusion)區(qū)域的電荷存儲(chǔ)的初始化的狀態(tài)的話，則與存儲(chǔ)電荷的情況相比較能夠無視由電流泄漏引起的雜音增加。另外，使gs_mode信號(hào)變化成低電平的時(shí)機(jī)可以為了在每行使reset (m)信號(hào)變化成低電平而設(shè)定為在第I行的reset (I)信號(hào)即將變化成低電平之前，也可以設(shè)定為在所有的像素部同時(shí)地使reset (m)變化成低電平之后。這也是由于與上述同樣的理由。在第m行的像素部Pm中，如果晶體三極管Tl，T2為關(guān)閉狀態(tài)而晶體三極管T4成 為開啟狀態(tài)的話，則連接于晶體三極管T3的柵極端子的浮動(dòng) 擴(kuò)散域(第2電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)的初始化動(dòng)作結(jié)束，從該像素部Pm，n向配線Ln輸出的數(shù)據(jù)(雜音成分)由保持電路Hn的容量元件C2作為電壓值out_n (n)被保持。之后，在第m行的像素部Pm,n中，如果晶體三極管Tl為關(guān)閉狀態(tài)而晶體三極管T2，T4成為開啟狀態(tài)的話，則存儲(chǔ)于光電ニ極管的接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)的電荷被轉(zhuǎn)送到浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)，對應(yīng)于存儲(chǔ)于浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)的電荷的量的像素?cái)?shù)據(jù)被輸出至配線Ln。此時(shí)，從該像素部？_^輸出至配線Ln的數(shù)據(jù)(重疊有雜音成分的信號(hào)成分)由保持電路Hn的容量元件C1作為電壓值out_s (n)被保持。而且，之后，對于各個(gè)保持電路Hn依次地，由容量元件C1保持的電壓值out_s (n)被輸出至配線Hline_s,由容量元件C2保持的電壓值out_n (n)被輸出至配線Hlinej!,對應(yīng)于這些電壓值out_s (n)與電壓值out_n (n)之差的數(shù)據(jù)(表示除去了雜音成分的信號(hào)成分的像素?cái)?shù)據(jù))被差運(yùn)算電路61求得。再有，從該差運(yùn)算電路61輸出的像素?cái)?shù)據(jù)(模擬值)由AD轉(zhuǎn)換電路62進(jìn)行D轉(zhuǎn)換，從而輸出對應(yīng)于該像素?cái)?shù)據(jù)的數(shù)字值Dn。該數(shù)字值Dn表不由像素部Pm，n的光電ニ極管F1D所產(chǎn)生的電荷的量?？刂撇?0在直至最終行完成了讀出之后，將攝像用受光部10作為待機(jī)狀態(tài)。SP，控制部80將gsjnode信號(hào)作為高電平，并將從行選擇部30提供給所有的像素部Pm, n的reset (m)信號(hào)以及trans (m)信號(hào)作為高電平,將address (m)信號(hào)作為低電平。由此，在所有的像素部Pm, n中，晶體三極管Tl，T2均成為開啟狀態(tài)，光電ニ極管ro的接合容量部(第I電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)被持續(xù)初始化，連接于晶體三極管T3的柵極端子的浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)的電荷存儲(chǔ)也被持續(xù)初始化。之后，重復(fù)上述動(dòng)作。如以上所述，本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I因?yàn)樵诠馊肷涞拈_始的時(shí)候在所有的像素部Pnbn中同時(shí)地開始電荷存儲(chǔ)動(dòng)作，并在光入射的結(jié)束之后對于各行依次地結(jié)束電荷存儲(chǔ)動(dòng)作并進(jìn)行信號(hào)讀出，所以能夠進(jìn)行相關(guān)雙采樣。另外，該固體攝像裝置I因?yàn)槟軌蛟诮Y(jié)束電荷存儲(chǔ)動(dòng)作之后立即進(jìn)行信號(hào)輸出，所以能夠縮短從將電荷轉(zhuǎn)送至浮動(dòng) 擴(kuò)散區(qū)域(第2電荷存儲(chǔ)部)到進(jìn)行信號(hào)讀出為止的時(shí)間。因此，固體攝像裝置I即使在應(yīng)該進(jìn)行攝像的光的入射期間極其短的情況下也能夠進(jìn)行高精度的攝像。接著，對由控制部80進(jìn)行的光入射的開始以及結(jié)束的判斷進(jìn)行說明。作為最簡單的方法，控制部80將從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從小于閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成超過閾值的狀態(tài)的時(shí)刻判斷為光入射開始時(shí)刻，另外，能夠?qū)⒂|發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從超過閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成小于閾值的狀態(tài)的時(shí)刻判斷為光入射結(jié)束時(shí)刻。但是，在該簡單的判斷方法中，在將噪音施加于從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的情況下或者在遍及一定期間脈沖性地反復(fù)進(jìn)行光入射的情況下，會(huì)有被誤判斷的情況。特別是在固體攝像裝置I用于口腔內(nèi)的X射線攝像的情況下，這樣的被誤判斷的可能性較大。例如，用于口腔內(nèi)的X射線攝像的固體攝像裝置因?yàn)槭潜銛y式器械，所以會(huì)有施加掉落等的沖擊的情況，另外，還會(huì)有患者咬到裝置主體或者電纜線的情況，從而會(huì)有由于這些主要原因而在觸發(fā)用數(shù)據(jù)瞬間性地參入噪音的情況。 另外，用于口腔內(nèi)的X射線攝像的固體攝像裝置還會(huì)有單發(fā)的X射線脈沖被入射的情況，另外，還會(huì)有遍及一定期間重復(fù)入射多個(gè)X射線脈沖的情況。圖8是表示光入射模式的例子的示意圖。相對于圖8 (a)、(b)所表示的光入射模式中僅I個(gè)脈沖的入射，圖8(C)、(d)所表不的光入射模式中遍及一定期間重復(fù)入射多個(gè)光脈沖。在圖8 (C)中，入射休止期間存在于某個(gè)光脈沖與下ー個(gè)光脈沖之間。在圖8 (d)中，接著某個(gè)光脈沖而立即入射下一個(gè)光脈沖。在圖8 (C)、Cd)所表示的光入射模式的情況下，如果將觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從超過閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成小于閾值的狀態(tài)的時(shí)刻判斷為光入射結(jié)束時(shí)刻并在各個(gè)像素部Pm,n中結(jié)束電荷存儲(chǔ)的話，則對于多個(gè)光脈沖中的第2光脈沖之后不能夠進(jìn)行攝像。以下進(jìn)行說明的由控制部80進(jìn)行的判斷方法是即使在噪音施加于從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的情況下或者在遍及一定期間脈沖性地重復(fù)光入射的情況下，也能夠正確地判斷光入射的開始以及結(jié)束的判斷方法。圖9是對由包含于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的控制部80進(jìn)行的光入射開始的判斷進(jìn)行說明的示意圖。如圖9所示，控制部80在從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從小于第I閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成超過第I閾值的狀態(tài)之后，在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值超過第I閾值的狀態(tài)持續(xù)一定時(shí)間T i以上的時(shí)候，判斷為光入射開始。而且，如圖10所示，控制部80如果判斷為光入射開始的話，則對于攝像用受光部10的各個(gè)像素部Pm,n同時(shí)地使其從待機(jī)狀態(tài)向電荷存儲(chǔ)動(dòng)作變化。另ー方面，控制部80即使在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從小于第I閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成超過第I閾值的狀態(tài)的情況下，如果之后觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值超過第I閾值的狀態(tài)所持續(xù)的時(shí)間小于一定時(shí)間T1的話，則也判斷為噪音被重疊于觸發(fā)用數(shù)據(jù)，不判斷為光入射開始。此時(shí)，控制部80對于攝像用受光部10的各個(gè)像素部Pm,n依舊設(shè)為待機(jī)狀態(tài)，持續(xù)對各個(gè)像素部Pm,n的光電ニ極管ro的接合容量部實(shí)施初始化。在此，時(shí)間T i被設(shè)定為大于重疊于從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的噪音的脈沖寬度的值，例如被設(shè)定為IOOii s以上。圖11以及圖12是對由包含于本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I中的控制部80進(jìn)行的光入射結(jié)束的判斷進(jìn)行說明的示意圖。如這些圖所示，控制部80在從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部70輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從超過第2閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成小于第2閾值的狀態(tài)之后，在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值沒有超過第2閾值的狀態(tài)持續(xù)時(shí)間T 2以上的時(shí)候，判斷為光入射結(jié)束。而且，如圖13所示，控制部80如果判斷為光入射結(jié)束的話，則對于攝像用受光部10的各行依次地結(jié)束電荷存儲(chǔ)動(dòng)作并進(jìn)行信號(hào)讀出動(dòng)作?；蛘?，如圖14所示，控制部80如果判斷為光入射結(jié)束的話，則也可以對于攝像用受光部10的各行同時(shí)地結(jié)束電荷存儲(chǔ)動(dòng)作，之后在每行依次地進(jìn)行信號(hào)讀出動(dòng)作。另ー方面，控制部80即使是在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從超過第2閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成小于第2閾值的狀態(tài)的情況下，也在之后的時(shí)間T2的期間，在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值超過第2閾值的時(shí)候，判斷為光入射還沒有結(jié)束。此時(shí)，控制部80對于攝像用受光部10的各個(gè)像素部Pm，n使電荷存儲(chǔ)動(dòng)作繼續(xù)。另外，時(shí)間T2對應(yīng)于光入射脈沖的重復(fù)周期而被適當(dāng)設(shè)定。例如，在光源(X射線源)被頻率50Hz或者60Hz的商用電源驅(qū)動(dòng)的情況下，從該光源射出并入射到固體攝像元件 I的光脈沖的模式如圖15所示。光脈沖的重復(fù)頻率如圖15 (a)所示是50Hz或者60Hz，另夕卜,如圖15 (b)所示成為加倍的頻率。如圖15 (a)所示，因?yàn)閺墓獾姆侨肷涞饺肷涞臅r(shí)間間隔最大為10ms，所以時(shí)間T 2優(yōu)選被設(shè)定為12. 5ms以上。圖16是說明本實(shí)施方式所涉及的固體攝像裝置I的動(dòng)作的時(shí)序圖。圖16是圖8(c)、(d)(圖15 (a)、(b))所表示的光入射模式的情況下的時(shí)序圖。在此情況下，控制部80在多個(gè)光脈沖中的最后的光脈沖的入射的結(jié)束之后，判斷為光入射結(jié)束，并將攝像用受光部10作為信號(hào)讀出期間。關(guān)于其它的動(dòng)作，與在圖7中進(jìn)行說明的內(nèi)容相同。由本發(fā)明得到的固體攝像裝置并不限定于上述實(shí)施方式以及構(gòu)成例，可以進(jìn)行各種各樣的變形。在由上述實(shí)施方式得到的固體攝像裝置中，使用具備以下所述構(gòu)件的構(gòu)成攝像用受光部，MXN個(gè)像素部被ニ維排列成M行N列；觸發(fā)用受光部，包含產(chǎn)生對應(yīng)于入射光量的量的電荷的觸發(fā)用光電ニ極管；觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部，輸出對應(yīng)于由觸發(fā)用受光部所產(chǎn)生的電荷的量的觸發(fā)用數(shù)據(jù)；控制部，控制攝像用受光部的各個(gè)像素部Pm，n的動(dòng)作。其中，M，N為2以上的整數(shù)，m為I以上M以下的整數(shù)，n為I以上N以下的整數(shù)。另外，各個(gè)像素部Pm，n包含產(chǎn)生對應(yīng)于入射光量的量的電荷的光電ニ極管、存儲(chǔ)由光電ニ極管所產(chǎn)生的電荷的第I電荷存儲(chǔ)部、被轉(zhuǎn)送有存儲(chǔ)于第I電荷存儲(chǔ)部的電荷的第2電荷存儲(chǔ)部、對第I電荷存儲(chǔ)部的電荷存儲(chǔ)進(jìn)行初始化的第I初始化部、對第2電荷存儲(chǔ)部的電荷存儲(chǔ)進(jìn)行初始化的第2初始化部、將存儲(chǔ)于第I電荷存儲(chǔ)部的電荷轉(zhuǎn)送到第2電荷存儲(chǔ)部的轉(zhuǎn)送部、將對應(yīng)于存儲(chǔ)于第2電荷存儲(chǔ)部的電荷的量的像素?cái)?shù)據(jù)輸出到配線Ln的輸出部。再有，控制部被構(gòu)成為，(a)在從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從小于第I閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成超過第I閾值的狀態(tài)之后，在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值超過第I閾值的狀態(tài)持續(xù)一定時(shí)間以上的時(shí)候，判斷為光入射的開始，對于攝像用受光部的MXN個(gè)像素部P1，廣P ，結(jié)束由第I初始化部進(jìn)行的初始化動(dòng)作，并開始由第I電荷存儲(chǔ)部進(jìn)行的電荷存儲(chǔ)動(dòng)作；(b)在從觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從超過第2閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成小于第2閾值的狀態(tài)之后，在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值不超過第2閾值的狀態(tài)持續(xù)時(shí)間T2以上的時(shí)候，判斷為光入射的結(jié)束，對于攝像用受光部的MXN個(gè)像素部P1，廣PM，N，結(jié)束由第2初始化部進(jìn)行的初始化動(dòng)作，并進(jìn)行由轉(zhuǎn)送部進(jìn)行的電荷轉(zhuǎn)送動(dòng)作以及由輸出部進(jìn)行的數(shù)據(jù)輸出動(dòng)作。另外，優(yōu)選T2 > T10上述構(gòu)成的固體攝像裝置優(yōu)選進(jìn)一步具備保持部，包含輸入從攝像用受光部的像素部Pm,n輸出的像素?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行保持的N個(gè)保持電路H1 Hn ;像素?cái)?shù)據(jù)輸出部，輸入被各個(gè)保持電路Hn保持并輸出的像素?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行運(yùn)算而輸出。在此情況下，各個(gè)保持電路Hn由配線Ln而與攝像用受光部中的第n列的M個(gè)像素部P1，ごPM，n相連接，輸入表示從像素部Pm，n輸出到配線Ln的雜音成分的像素?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行保持，并且輸入表示重疊有從像素部Pm,n輸出到配線Ln的雜音成分的信號(hào)成分的像素?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行保持，輸出所保持的2個(gè)像素?cái)?shù)據(jù)。另夕卜，像素?cái)?shù)據(jù)輸出部輸入由各個(gè)保持電路Hn保持并輸出的2個(gè)像素?cái)?shù)據(jù)，并輸出對應(yīng)于這2個(gè)像素?cái)?shù)據(jù)的差的像素?cái)?shù)據(jù)。另外，優(yōu)選一定時(shí)間T 2比一定時(shí)間T :大10倍以上。 產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明能夠作為即使相對于各種各樣的用途或者光入射模式也能夠進(jìn)行正確的攝像的固體攝像裝置進(jìn)行利用。符號(hào)的說明ト 固體攝像裝置、10…攝像用受光部、20 觸發(fā)用受光部、30 行選擇部、40 列選擇部、50保持部、60像素?cái)?shù)據(jù)輸出部、61差運(yùn)算電路、62-AD轉(zhuǎn)換電路、70觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部、71…IV轉(zhuǎn)換電路、72-AD轉(zhuǎn)換電路、80…控制部、P1，廣PM，N 像素部。
權(quán)利要求
1.ー種固體攝像裝置，其特征在干 具備攝像用受光部，MXN個(gè)像素部P1，廣PM，N被ニ維排列成M行N列；觸發(fā)用受光部，包含產(chǎn)生對應(yīng)于入射光量的量的電荷的觸發(fā)用光電ニ極管；觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部，輸出對應(yīng)于由所述觸發(fā)用受光部所產(chǎn)生的電荷的量的觸發(fā)用數(shù)據(jù)；控制部，控制所述攝像用受光部的各個(gè)像素部P1^n的動(dòng)作， 各個(gè)像素部Pm，n包含光電ニ極管，產(chǎn)生對應(yīng)于入射光量的量的電荷；第I電荷存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)由所述光電ニ極管所產(chǎn)生的電荷；第2電荷存儲(chǔ)部，被轉(zhuǎn)送有存儲(chǔ)于所述第I電荷存儲(chǔ)部的電荷；第I初始化部，對所述第I電荷存儲(chǔ)部的電荷存儲(chǔ)實(shí)施初始化；第2初始化部，對所述第2電荷存儲(chǔ)部的電荷存儲(chǔ)實(shí)施初始化；轉(zhuǎn)送部，將存儲(chǔ)于所述第I電荷存儲(chǔ)部的電荷轉(zhuǎn)送到所述第2電荷存儲(chǔ)部；輸出部，將對應(yīng)于存儲(chǔ)于所述第2電荷存儲(chǔ)部的電荷的量的像素?cái)?shù)據(jù)輸出到配線Ln， 所述控制部在從所述觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從小于第I閾值 的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成超過所述第I閾值的狀態(tài)之后，在所述觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值超過所述第I閾值的狀態(tài)持續(xù)一定時(shí)間T1以上的時(shí)候，判斷為光入射的開始，對于所述攝像用受光部的所述MXN個(gè)像素部P1，廣P ，結(jié)束由所述第I初始化部進(jìn)行的初始化動(dòng)作，并開始由所述第I電荷存儲(chǔ)部進(jìn)行的電荷存儲(chǔ)動(dòng)作， 所述控制部在從所述觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部輸出的觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值從超過第2閾值的狀態(tài)轉(zhuǎn)變成小于所述第2閾值的狀態(tài)之后，在所述觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值不超過所述第2閾值的狀態(tài)持續(xù)一定時(shí)間T2以上的時(shí)候，判斷為光入射的結(jié)束，對于所述攝像用受光部的所述MXN個(gè)像素部P1，廣PM，N，進(jìn)行由所述轉(zhuǎn)送部進(jìn)行的電荷轉(zhuǎn)送動(dòng)作以及由所述輸出部進(jìn)行的數(shù)據(jù)輸出動(dòng)作， 其中,M，N為2以上的整數(shù)，m為I以上M以下的整數(shù)，n為I以上N以下的整數(shù)，T2 >T 10
2.如權(quán)利要求I所述的固體攝像裝置，其特征在干 進(jìn)ー步具備保持部，包含輸入從所述攝像用受光部的像素部Pm, n輸出的像素?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行保持的N個(gè)保持電路H1 Hn ;像素?cái)?shù)據(jù)輸出部，輸入被各個(gè)保持電路Hn保持并輸出的像素?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行運(yùn)算而輸出， 各個(gè)保持電路Hn由配線Ln而與所述攝像用受光部中的第n列的M個(gè)像素部Pun PM，n相連接，輸入表示從像素部Pm, 輸出到配線Ln的雜音成分的像素?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行保持，并且輸入表示重疊有從像素部Pm,n輸出到配線Ln的雜音成分的信號(hào)成分的像素?cái)?shù)據(jù)并進(jìn)行保持，并輸出所保持的2個(gè)像素?cái)?shù)據(jù)， 所述像素?cái)?shù)據(jù)輸出部輸入由各個(gè)保持電路Hn保持并輸出的2個(gè)像素?cái)?shù)據(jù)，并輸出對應(yīng)于這2個(gè)像素?cái)?shù)據(jù)的差的像素?cái)?shù)據(jù)。
3.如權(quán)利要求I或者2所述的固體攝像裝置，其特征在于 所述一定時(shí)間T 2比所述一定時(shí)間Tェ大10倍以上。
全文摘要
固體攝像裝置(1)具備攝像用受光部(10)、觸發(fā)用受光部(20)、行選擇部(30)、列選擇部(40)、保持部(50)、像素?cái)?shù)據(jù)輸出部(60)、觸發(fā)用數(shù)據(jù)輸出部(70)以及控制部(80)?？刂撇?80)在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值轉(zhuǎn)變成超過第1閾值的狀態(tài)之后，在該狀態(tài)持續(xù)一定時(shí)間τ1以上的時(shí)候，判斷為光入射的開始，對于各個(gè)像素部開始電荷存儲(chǔ)動(dòng)作，并在觸發(fā)用數(shù)據(jù)的絕對值轉(zhuǎn)變成小于第2閾值的狀態(tài)之后，在該狀態(tài)持續(xù)一定時(shí)間τ2以上的時(shí)候，判斷為光入射的結(jié)束，對于各個(gè)像素部進(jìn)行電荷轉(zhuǎn)送動(dòng)作以及數(shù)據(jù)輸出動(dòng)作。由此，實(shí)現(xiàn)了即使相對于各種各樣的用途或者光入射模式也能夠進(jìn)行正確的攝像的固體攝像裝置。
文檔編號(hào)H04N5/32GK102859992SQ201180018730
公開日2013年1月2日 申請日期2011年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月14日
發(fā)明者井堀篤, 杉山行信, 中尾圭介 申請人:浜松光子學(xué)株式會(huì)社