本發(fā)明涉及柔性印刷層壓板的制造裝置和柔性印刷層壓板的制造方法。

背景技術(shù)：

在以聚酰亞胺為材質(zhì)的基材的兩面?zhèn)日迟N銅箔來制造柔性印刷層壓板的方法中，存在在基材的兩面?zhèn)扰渲勉~箔后，使用高溫的金屬輥進行熱層壓的方法。但是，在這樣的熱層壓中，金屬輥直接接觸銅箔。因此，存在因為附著在金屬輥表面上的異物等的影響而在銅箔表面上形成凹痕的情況。

針對這樣的問題，存在例如專利文獻1中公開的方法。在該方法中，以在銅箔上覆蓋有保護膜的狀態(tài)，使用高溫的金屬輥進行熱層壓。在該專利文獻1所公開的方法中，由于在銅箔與金屬輥之間存在保護膜，因而銅箔與金屬輥不會直接接觸。因此，能夠防止在銅箔上形成凹痕。然后，在熱層壓結(jié)束后，將不需要的保護膜從銅箔上剝離。

【現(xiàn)有技術(shù)文獻】

【專利文獻】

專利文獻1：國際公報WO2005/063467號

技術(shù)實現(xiàn)要素：

近年來，將由柔性印刷層壓板形成的柔性印刷電路板在電子設(shè)備等裝置的內(nèi)部折彎進行使用的情況越來越多。該情況下，要求銅箔即使折彎也不易被切斷或折斷。為此，設(shè)想采用通過控制銅的結(jié)晶組織而實現(xiàn)了高彎曲性的銅箔(以下，稱為“高彎曲體”)。但是，在使用這樣的高彎曲體的情況下，下述問題會變得明顯。

即，目前的銅箔的防銹處理采用鍍鋅和鉻酸鹽處理，但在這種情況下，上述保護膜與銅箔之間的粘合力過強。因此，在剝離保護膜時，會產(chǎn)生柔性印刷層壓板的外觀看似呈波浪狀、即被稱為“起伏(flapping)”的現(xiàn)象。其原因在于，在使用剝離輥從銅箔上剝離保護膜時，與保護膜緊密粘合的銅箔也會稍微追隨該保護膜。但是，當(dāng)在拉伸具有銅箔的柔性印刷層壓板的張力的作用下達到銅箔追隨保護膜的極限時，銅箔暫且在規(guī)定長度內(nèi)從保護膜上剝離。由于上述動作反復(fù)進行，因而在產(chǎn)品的外觀上形成起伏。

在此，存在將銅箔的防銹處理從采用鍍鋅和鉻酸鹽處理的防銹處理變更為以鍍鎳或鍍鈷為主的防銹處理的情況。該情況下，能夠減少剝離保護膜時的起伏。但是，在柔性印刷層壓板的制造工序中，通過以鍍鎳或鍍鈷為主的防銹處理而形成的防銹層的蝕刻性不佳、或者與干膜粘貼工序中的干膜的粘合性不佳。因此，呈難以變更為以鍍鎳或鍍鈷為主的防銹處理的狀態(tài)。

可是，若在采用鍍鋅和鉻酸鹽處理的防銹處理中形成上述起伏，則在產(chǎn)生起伏的部位上形成通孔等時的開孔位置精度變差。而且，最壞情況下，有可能產(chǎn)生開孔部位朝向焊盤(land)外側(cè)敞開、即破孔(hole breakout)這一不良情況。為了防止有可能引起上述不良情況的起伏，考慮到增大拉伸柔性印刷層壓板的張力。但是，該情況下，雖然起伏呈被消除的趨勢，但會導(dǎo)致殘留于柔性印刷層壓板上的殘留應(yīng)力變大。因此，存在柔性印刷層壓板的尺寸穩(wěn)定性變差這一問題。

本發(fā)明是基于上述情況而完成的，其目的在于提供一種能夠良好地消除起伏，且不會使柔性印刷層壓板中的殘留應(yīng)力增加的柔性印刷層壓板的制造裝置和柔性印刷層壓板的制造方法。

為了解決上述課題，本發(fā)明的第一觀點提供的柔性印刷層壓板的制造裝置的特征在于，具備：層壓機構(gòu)，其將銅箔配置于以聚酰亞胺作為材質(zhì)的基材的至少一個表面上，同時對基材與銅箔進行層壓，其中，該銅箔在銅箔層的表面上設(shè)有發(fā)揮防銹效果的防銹層；薄膜粘貼機構(gòu)，其在通過層壓機構(gòu)進行層壓的同時或者在該層壓之前，將保護膜配置在至少一層防銹層的、與銅箔層呈相反側(cè)的表面上，并在加熱至規(guī)定溫度的同時將保護膜粘貼在防銹層上；溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)，其按照使通過薄膜粘貼機構(gòu)生成的中間產(chǎn)物的溫度在40秒～80秒的適宜時間內(nèi)保持在200度～230度的適宜溫度范圍內(nèi)的方式調(diào)節(jié)溫度；以及剝離機構(gòu)，其用于從通過溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)調(diào)節(jié)溫度后的中間產(chǎn)物的防銹層上剝離保護膜。

另外，本發(fā)明的另一方面是在上述發(fā)明中，優(yōu)選層壓機構(gòu)具備一對層壓輥，該一對層壓輥在對基材和銅箔進行加壓的同時將基材和銅箔加熱至規(guī)定溫度，該層壓輥也兼作為薄膜粘貼機構(gòu)；溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)具備溫度調(diào)節(jié)輥、輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)以及控制機構(gòu)，其中，溫度調(diào)節(jié)輥在與中間產(chǎn)物接觸的同時對該中間產(chǎn)物的溫度進行調(diào)節(jié)；輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)通過對該溫度調(diào)節(jié)輥進行加熱或冷卻，從而調(diào)節(jié)該溫度調(diào)節(jié)輥的溫度；控制機構(gòu)按照使溫度調(diào)節(jié)輥的溫度達到適宜溫度的范圍內(nèi)、或者比該適宜溫度的范圍僅高出冗余溫度范圍的范圍內(nèi)的方式控制輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的動作，以使溫度調(diào)節(jié)輥與中間產(chǎn)物接觸時，使該中間產(chǎn)物變?yōu)檫m宜溫度的范圍內(nèi)的溫度。

進而，本發(fā)明的另一方面是在上述發(fā)明中，優(yōu)選溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)在用于將從溫度調(diào)節(jié)輥輸出的中間產(chǎn)物的溫度維持在適宜溫度范圍內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)區(qū)中，設(shè)有用于對中間產(chǎn)物進行加熱或冷卻的下游側(cè)溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)；控制機構(gòu)按照使中間產(chǎn)物變?yōu)檫m宜溫度范圍內(nèi)的溫度的方式控制下游側(cè)溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的動作。

另外，本發(fā)明的另一方面是在上述發(fā)明中，優(yōu)選剝離機構(gòu)具備用于從至少一層防銹層上剝離保護膜的剝離輥。

另外，本發(fā)明的第二觀點提供的柔性印刷層壓板的制造方法的特征在于，包括：層壓步驟：將銅箔配置于以聚酰亞胺作為材質(zhì)的基材的至少一個表面上，同時對基材與銅箔進行層壓，其中，該銅箔在銅箔層的表面上設(shè)有發(fā)揮防銹效果的防銹層；薄膜粘貼步驟：在層壓步驟中進行層壓的同時或者在該層壓之前，將保護膜配置在至少一層防銹層的、與銅箔層呈相反側(cè)的表面上，并在加熱至規(guī)定溫度的同時將保護膜粘貼在防銹層上；溫度調(diào)節(jié)步驟：按照使通過薄膜粘貼步驟生成的中間產(chǎn)物的溫度在40秒～80秒的適宜時間內(nèi)保持在200度～230度的適宜溫度范圍內(nèi)的方式調(diào)節(jié)溫度；以及剝離步驟：從在溫度調(diào)節(jié)步驟中調(diào)節(jié)溫度后的中間產(chǎn)物的防銹層上剝離保護膜。

(發(fā)明效果)

根據(jù)本發(fā)明，能夠良好地消除起伏，且不會使柔性印刷層壓板中的殘留應(yīng)力增加。

附圖說明

圖1是本發(fā)明一實施方式涉及的柔性印刷層壓板的制造裝置的概略示意圖。

圖2是表示本發(fā)明一實施方式涉及的柔性印刷層壓板的構(gòu)成的剖視圖。

圖3是表示制造圖2所示柔性印刷層壓板的過程中形成的中間產(chǎn)物、即粘貼有保護膜的層壓體的構(gòu)成的剖視圖。

圖4是表示將圖3中的A部分放大后的狀態(tài)的局部剖視圖。

圖5是用于說明在圖2所示的柔性印刷層壓板上產(chǎn)生起伏的原因的圖，且是表示柔性印刷層壓板從剝離輥與孔型軋輥之間通過時的狀態(tài)的圖。

圖6是表示柔性印刷層壓板的尺寸穩(wěn)定性的評價實驗結(jié)果的圖。

圖7是用于表示改變?nèi)嵝杂∷訅喊宓姆冷P層的材質(zhì)時起伏的狀態(tài)是否發(fā)生變化的圖表。

圖8是表示在圖1所示的柔性印刷層壓板的制造裝置中，層壓體通過溫度調(diào)節(jié)輥和溫度調(diào)節(jié)區(qū)時的保溫溫度、和對該保溫時間作出各種變化時的I-unit的值的圖。

圖9是表示圖8中的樣品3～樣品8分別通過柔性印刷層壓板的制造裝置時的溫度變化的情況的圖。

圖10是表示將直徑較小的剝離輥夾在孔型軋輥與支承輥之間的狀態(tài)的圖。

(符號說明)

10 柔性印刷層壓板的制造裝置

21 基材供給輥

22、23 銅箔供給輥

24、25 保護膜供給輥

26a、26b 層壓輥(對應(yīng)于層壓機構(gòu)、加熱機構(gòu)、薄膜粘貼機構(gòu))

27 溫度調(diào)節(jié)輥(對應(yīng)于溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的一部分)

28 溫度調(diào)節(jié)區(qū)(對應(yīng)于溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的一部分)

29 溫度調(diào)節(jié)裝置(對應(yīng)于溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的一部分、下游側(cè)溫度調(diào)節(jié)機構(gòu))

30 中間輥

31a 第一剝離輥31a(對應(yīng)于剝離機構(gòu))

31b 第一孔型軋輥

32a 第二剝離輥(對應(yīng)于剝離機構(gòu))

32b 第二孔型軋輥

33 支承輥

33a、33b 薄膜卷繞輥

34 層壓板卷繞輥

40 控制部(對應(yīng)于溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的一部分、控制機構(gòu))

50 柔性印刷層壓板

51 基材

51a 基材層

51b、51c 粘接層

52a、52b 銅箔

52c 防銹層

53a、53b 保護膜

54 層壓體(對應(yīng)于中間產(chǎn)物)

261 加熱器

271 輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)(對應(yīng)于溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的一部分)

具體實施方式

以下，根據(jù)附圖對本發(fā)明一實施方式涉及的柔性印刷層壓板50的制造裝置10進行說明。

<1.關(guān)于柔性印刷層壓板的制造裝置的概要>

圖1是柔性印刷層壓板50的制造裝置10(以下，稱為“制造裝置10”)的概略示意圖。該制造裝置10的主要構(gòu)成部件包括：供給輥21～25、一對層壓輥26a、26b、溫度調(diào)節(jié)輥27、溫度調(diào)節(jié)區(qū)28、溫度調(diào)節(jié)裝置29、中間輥30、第一剝離輥31a、第一孔型軋輥(pass roll)31b、第二剝離輥32a、第二孔型軋輥32b、薄膜卷繞輥33a、33b、層壓板卷繞輥34、控制上述構(gòu)成部件的動作的控制部40、以及用于測量溫度的溫度傳感器TS1～TS6。

該制造裝置10中被供給基材51、銅箔52a、52b以及保護膜53a、53b。并且，在制造裝置10中，在進行熱層壓后，從具有保護膜53a、53b的柔性印刷層壓板上剝離保護膜53a、53b。另外，該制造裝置10也被稱為“五軸熱層壓機”。

<2.關(guān)于柔性印刷層壓板的制造裝置的各部構(gòu)成>

以下，依次對制造裝置10的各部分的構(gòu)成進行說明。另外，在該制造裝置10的說明中，按照制造柔性印刷層壓板50時的輸送路徑進行說明。供給輥21～25用于供給被卷繞成卷狀的原材料。具體而言，基材供給輥21上呈卷狀地卷繞有基材51，銅箔供給輥22、23上呈卷狀地卷繞有銅箔52a、52b。另外，保護膜供給輥24、25上呈卷狀地卷繞有保護膜53a、53b。

并且，從上述基材供給輥21～25中引出的各種原材料(基材51、銅箔52a、52b、保護膜53a、53b)被供給至一對層壓輥26a、26b。

一對層壓輥26a、26b例如為金屬制成的輥，且是在被加熱至規(guī)定溫度的狀態(tài)下以規(guī)定的按壓力按壓從上游側(cè)供給的各種原材料、即進行所謂的熱層壓的部分。為此，通過例如安裝在軸部附近的護套式加熱器(sheath heater)等的加熱器261對一對層壓輥26a、26b進行加熱。通過利用該加熱器261進行加熱，從而以350度～400度的范圍內(nèi)的溫度對原材料進行熱層壓(對應(yīng)于層壓步驟)。

此時，不僅將銅箔52a、52b層壓在基材51上，而且將保護膜53a、53b粘貼在銅箔52a、52b上(對應(yīng)于薄膜粘貼步驟)。但是，該溫度可以根據(jù)層壓的狀態(tài)適當(dāng)?shù)剡M行改變。另外，一對層壓輥26a、26b對應(yīng)于加熱機構(gòu)且對應(yīng)于層壓機構(gòu)，另外還對應(yīng)于薄膜粘貼機構(gòu)。

另外，通過一對層壓輥26a、26b將各種原材料粘合成一個整體而形成的層壓體54(對應(yīng)于中間產(chǎn)物)被輸送至溫度調(diào)節(jié)輥27，并通過該溫度調(diào)節(jié)輥27而調(diào)節(jié)溫度(對應(yīng)于溫度調(diào)節(jié)步驟)。溫度調(diào)節(jié)輥27用于調(diào)節(jié)溫度，以在層壓體54到達下述第一剝離輥31a和第二剝離輥32a之前的期間內(nèi)，使層壓體54的溫度在適宜時間T內(nèi)維持為適宜溫度H內(nèi)的溫度。因此，在溫度調(diào)節(jié)輥27中，例如在軸部附近設(shè)有護套式加熱器等的加熱器、或者用于使水、油或者空氣等冷卻介質(zhì)流通而通過冷卻器(chiller)或組合冷卻機(unit cooler)等進行冷卻的管道等的輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271。

另外，輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271也可以設(shè)置在溫度調(diào)節(jié)輥27的軸部以外的其他位置處。另外，在溫度調(diào)節(jié)輥27中，除了輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271以外還可以設(shè)置輻射溫度計或熱電偶等用于測量溫度的測量機構(gòu)，也可以通過控制部40根據(jù)該測量機構(gòu)的測量而對輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271的動作進行反饋控制。另外，溫度調(diào)節(jié)輥27、輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271、下述溫度調(diào)節(jié)裝置29以及控制部40對應(yīng)于溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的一部分。

例如，在即將到達溫度調(diào)節(jié)輥27之前，層壓體54的溫度下降至250度～260度的情況下，通過控制部40對輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271的動作進行控制，將溫度調(diào)節(jié)輥27的溫度設(shè)置為比層壓體54的溫度高約10度左右的溫度。反之，在即將到達溫度調(diào)節(jié)輥27之前，層壓體54的溫度過高的情況下，將溫度調(diào)節(jié)輥27的溫度設(shè)置為低于適宜溫度H的下限溫度的溫度，由此使層壓體54的溫度降低。

從溫度調(diào)節(jié)輥27通過后的層壓體54接著通過溫度調(diào)節(jié)區(qū)28，在該溫度調(diào)節(jié)區(qū)28中也進行溫度調(diào)節(jié)(對應(yīng)于溫度調(diào)節(jié)步驟)。溫度調(diào)節(jié)區(qū)28中設(shè)有溫度調(diào)節(jié)裝置29，通過該溫度調(diào)節(jié)裝置29對層壓體54的溫度進行調(diào)節(jié)，以使其溫度變?yōu)檫m宜溫度。另外，在圖1中，溫度調(diào)節(jié)區(qū)28是由雙點劃線圍成的區(qū)域，但該雙點劃線僅表示溫度調(diào)節(jié)區(qū)28的區(qū)域狀況，并非表示殼體等的部件。但是，也可以在雙點劃線所示的部位處設(shè)置殼體。該溫度調(diào)節(jié)裝置29對層壓體54的溫度進行調(diào)節(jié)，以使層壓體54在到達第一剝離輥31a和第二剝離輥32a時，在適宜時間T內(nèi)保持為適于剝離保護膜53a、53b的適宜溫度H的狀態(tài)。另外，溫度調(diào)節(jié)裝置29對應(yīng)于下游側(cè)溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)。

例如，溫度調(diào)節(jié)裝置29可以具備如陶瓷加熱器這樣的加熱器，通過對層壓體54進行加熱而使層壓體54變?yōu)檫m宜溫度H，從而使層壓體54在到達第一剝離輥31a和第二剝離輥32a之前，在適宜時間T的范圍內(nèi)保持為該適宜溫度H范圍內(nèi)的溫度。另外，也可以與上述相反，通過溫度調(diào)節(jié)裝置29使層壓體54的溫度降低，而使層壓體54變?yōu)檫m宜溫度H，從而使層壓體54在到達第一剝離輥31a和第二剝離輥32a之前，在適宜時間T的范圍內(nèi)保持為該適宜溫度H范圍內(nèi)的溫度。

由此，層壓體54經(jīng)過中間輥30后到達第一剝離輥31a與第一孔型軋輥31b相對置的部位。另外，為了良好地剝離保護膜53a，第一剝離輥31a和第一孔型軋輥31b以適當(dāng)?shù)陌磯毫Π磯簩訅后w54。然后，通過使保護膜53a隨著第一剝離輥31a移動，從而將保護膜53a從銅箔52a上剝離(對應(yīng)于剝離步驟)。

另外，被剝離的保護膜53a被卷繞在薄膜卷繞輥33a上。

另外，保護膜53a被剝離后的層壓體54接著到達第二剝離輥32a與第二孔型軋輥32b相對置的部位。該第二剝離輥32a與第二孔型軋輥32b也以適當(dāng)?shù)陌磯毫Π磯簩訅后w54，以便良好地剝離保護膜53b。然后，通過使保護膜53b隨著第二剝離輥32a移動，從而將保護膜53b從銅箔52b上剝離(對應(yīng)于剝離步驟)。另外，被剝離的保護膜53b被卷繞在薄膜卷繞輥33b上。

另外，在以下的說明中，在統(tǒng)稱第一剝離輥31a和第二剝離輥32a的情況下，有時稱為剝離輥31a、32a，有時也將第一孔型軋輥31b和第二孔型軋輥32b統(tǒng)稱為孔型軋輥31b、32b。該剝離輥31a、32a對應(yīng)于剝離機構(gòu)，該剝離輥31a、32a可以采用例如橡膠輥，還可以采用以SUS304等為代表的金屬制成的輥。

由此，通過將保護膜53a、53b剝離，從而形成產(chǎn)品、即柔性印刷層壓板50，該柔性印刷層壓板50被卷繞在層壓板卷繞輥34上。

另外，薄膜卷繞輥33a、33b以及層壓板卷繞輥34通過電動機等未圖示的驅(qū)動機構(gòu)進行驅(qū)動，通過利用該驅(qū)動機構(gòu)進行驅(qū)動，從而施加用于卷繞保護膜53a、53b以及柔性印刷層壓板50的拉力。另外，控制部40對應(yīng)于控制機構(gòu)，該控制部40通過反饋控制等對于上述加熱器261、輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271、溫度調(diào)節(jié)裝置29的動作進行控制、以及在針對各種輥設(shè)有電動機等的驅(qū)動機構(gòu)時對該驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動進行控制。

另外，溫度傳感器TS1～TS6是用于測量輸送中的層壓體54的溫度的傳感器。這些溫度傳感器TS1～TS6中的溫度傳感器TS1在一對層壓輥26a、26b與溫度調(diào)節(jié)輥27之間測量層壓體54的溫度。溫度傳感器TS2用于測量從溫度調(diào)節(jié)輥27通過時(呈卷繞在溫度調(diào)節(jié)輥27上的狀態(tài))的層壓體54的溫度。溫度傳感器TS3用于在溫度調(diào)節(jié)輥27與溫度調(diào)節(jié)區(qū)28之間測量層壓體54的溫度。溫度傳感器TS4用于測量從溫度調(diào)節(jié)區(qū)28通過時的層壓體54的溫度。溫度傳感器TS5用于測量從中間輥30通過時(呈卷繞在中間輥30上的狀態(tài))的層壓體54的溫度。另外，溫度傳感器TS6用于在中間輥30與剝離輥31a(孔型軋輥31b)之間測量層壓體54的溫度。

在此，在圖1中，利用虛線表示現(xiàn)有制造裝置中的層壓體54的輸送路徑與本實施方式的層壓體54的輸送路徑的不同部分。若沿該虛線表示的輸送路徑輸送層壓體54，則成為在達到適宜時間T之前，層壓體54已到達剝離輥31a與第一孔型軋輥31b相對置的部位處的狀態(tài)。

<3.關(guān)于柔性印刷層壓板的構(gòu)成>

接著，對于通過上述制造裝置10制造的產(chǎn)品、即柔性印刷層壓板50的構(gòu)成進行說明。圖2是表示柔性印刷層壓板50的構(gòu)成的剖視圖。本實施方式的柔性印刷層壓板50具備基材51和銅箔52a、52b?；?1具有以例如熱固性的聚酰亞胺作為材質(zhì)的基材層51a，且在該基材層51a的兩面?zhèn)仍O(shè)有粘接層51b、51c。粘接層51b、51c的材質(zhì)例如為熱塑性聚酰亞胺，其玻化溫度(glass transition temperature)約為240度?；?1的整體厚度例如為9μm～25μm左右。

另外，關(guān)于基材51的材質(zhì)，只要具備撓性和絕緣性，則也可以采用聚酰亞胺以外的其他材質(zhì)。另外，除了熱塑性聚酰亞胺以外，粘接層51b、51c還可以采用諸如環(huán)氧類粘接材料或丙烯酸類粘接材料等其他的粘接材料。

圖3是表示柔性印刷層壓板50的制造過程中形成的中間產(chǎn)物、即粘貼有保護膜53a、53b的層壓體54的構(gòu)成的剖視圖。圖4是表示圖3中的A部的放大狀態(tài)的局部剖視圖。

在基材51的正反兩面上，通過上述粘接層51b、51c而粘接有銅箔52a、52b。銅箔52a、52b的厚度例如為6μm～18μm左右。另外，在銅箔52a、52b的光澤面(shine surface)和無光面(matte surface)上，分別設(shè)有通過對鋅鍍層進行鉻酸鹽處理而形成的防銹層52c。即，在銅箔52a、52b的銅箔層(省略符號)的兩面上設(shè)有防銹層52c。在構(gòu)成該防銹層52c的鋅鉻鍍層中，鋅的含量達一半以上。另外，圖4中示出了銅箔52a與保護膜53a之間的防銹層52c，而在銅箔52a與粘接層51b之間、銅箔52b與保護膜53b之間、以及銅箔52b與粘接層51c之間也存在同樣的防銹層52c。另外，通常會對銅箔52a、52b的無光面實施用于提高粘接可靠性的粗化處理和防銹處理，但是，無光面的防銹處理與光澤面的防銹處理的處理種類或處理量有時不同。

并且，在使用現(xiàn)有制造裝置制造上述構(gòu)成的柔性印刷層壓板50時，會產(chǎn)生柔性印刷層壓板50的外觀看似呈波浪狀的、被稱為“起伏”的現(xiàn)象。

圖5是用于說明柔性印刷層壓板50產(chǎn)生起伏的原因的圖，且是表示柔性印刷層壓板50從輥31a、32a與孔型軋輥31b、32b之間通過時的狀態(tài)的圖。如圖5所示，在從銅箔52a、52b上剝離保護膜53a、53b時，銅箔52a、52b并非立即與保護膜53a、53b分離，而是稍微隨著該保護膜53a、53b移動。但是，當(dāng)在拉伸柔性印刷層壓板50的卷繞張力的作用下，達到銅箔52a、52b隨著保護膜53a、53b移動的極限時，銅箔52a、52b在暫且隨著保護膜移動規(guī)定長度后從保護膜上剝離。因此，在銅箔52a、52b較薄且如高彎曲體那樣抗拉強度較低(低抗拉強度)的情況下，銅箔52a、52b會發(fā)生變形，因為該變形而導(dǎo)致柔性印刷層壓板50看似呈波浪狀。

在此，作為使用現(xiàn)有制造裝置解決上述柔性印刷層壓板50的起伏現(xiàn)象的方法，考慮到增大粘貼有保護膜53a、53b的層壓體54的卷繞張力。即，認(rèn)為只要增大施加于層壓體54上的卷繞張力，便可以減少柔性印刷層壓板50的外觀上的起伏。根據(jù)該觀點，將卷繞張力從目前的100N變?yōu)?00N進行實驗后發(fā)現(xiàn)，柔性印刷層壓板50的外觀上的起伏減少。

但是，在如上所述那樣增大卷繞張力的情況下，會產(chǎn)生如圖6所示的問題。圖6是表示柔性印刷層壓板50的尺寸穩(wěn)定性的評價實驗結(jié)果的圖。在圖6中，針對兩種厚度的柔性印刷層壓板50進行實驗。其中一種柔性印刷層壓板50的銅箔52a、52b的厚度為1/2oz(約17.5μm)，基材51的厚度為1mil(約25.4μm)(以下，將該厚度的柔性印刷層壓板50稱為樣品1)。另外，兩種厚度的柔性印刷層壓板50中的另一種柔性印刷層壓板50的銅箔52a、52b的厚度為1/3oz(約12μm)，基材51的厚度為1mil(約25.4μm)(以下，將該厚度的柔性印刷層壓板50稱為樣品2)。

在上述兩種柔性印刷層壓板50中，銅箔52a、53b的無光面的表面粗糙度Rz為0.8μm，抗拉強度為150MPa，斷裂伸長率為7％，楊氏模量為30GPa，彎曲半徑R＝2.5mm的彎曲特性為150萬次。進而，保護膜53a、53b的厚度為5mil(約125μm)。

另外，在圖6中，縱軸表示尺寸穩(wěn)定性(Dimensional Stability)。另外，橫軸中的MD表示柔性印刷層壓板50的長度方向(輸送方向(Machine Direction))，TD表示柔性印刷層壓板50的寬度方向(Transverse Direction)。

另外，在圖6所示的尺寸穩(wěn)定性的測量中，使用如下柔性印刷層壓板50的試樣(樣品1、2)進行測量。具體而言，在以規(guī)定的卷繞張力卷繞后，將柔性印刷層壓板50剪切成MD方向(輸送方向)的尺寸為200mm、TD方向(寬度方向)的尺寸為250mm。然后，在剪切后的柔性印刷層壓板50上，沿MD方向和TD方向分別以50mm的間隔形成直徑為1.0mm的貫通孔，從而得到試樣。然后，在20℃且RH(相對濕度)為65％的恒溫恒濕環(huán)境下放置24小時以上，然后測量各個貫通孔之間的距離。另外，該測量是使用Optical Gaging Products公司制造的測量裝置ZIP300進行測量。然后，對測量后的試樣進行蝕刻，并在完全除去兩面的銅箔后，再次在20℃且RH(相對濕度)為65％的恒溫恒濕環(huán)境下放置24小時以上。然后，與上述同樣地測量貫通孔之間的距離，并計算出其變化率。

另外，在該實驗中，針對樣品1進行了卷繞張力為400N和100N這兩種情況的實驗，針對樣品2進行了卷繞張力為400N、200N以及100N這三種情況的實驗。

從圖6明確可知，與卷繞張力為100N時相比，在卷繞張力為400N時，樣品1和樣品2尤其在長度方向上因為收縮而引起的尺寸變化率均較大，因而尺寸穩(wěn)定性不佳。因此，在使用柔性印刷層壓板50的后工序中進行圖案形成曝光時，有時蝕刻后的圖案的位置與該圖案形成曝光后的位置的偏差較大。該情況下，若根據(jù)圖案形成曝光的位置形成通孔，則會發(fā)生該通孔偏離焊盤、或者安裝時無法使位置對準(zhǔn)等情況，對于通孔的位置精度造成不良影響。因此，若為了減少柔性印刷層壓板50的外觀上的起伏而增大卷繞張力，則柔性印刷層壓板50的尺寸穩(wěn)定性變差，因而并不實用。

另外，在樣品2中，對于卷繞張力為200N時的情況與卷繞張力為100N時的情況比較后可知，在卷繞張力為100N時，MD方向(輸送方向；長度方向)和TD方向(寬度方向)兩個方向上的尺寸變化率都被控制在±0.05％的范圍內(nèi)。另一方面，在卷繞張力為200N時，MD方向(輸送方向；長度方向)上的尺寸變化率超過-0.10％，另外，TD方向(寬度方向)上的尺寸變化率也將近達到-0.10％。因此，卷繞張力為200N時的尺寸穩(wěn)定性也不佳。

因此，為了減少上述起伏，經(jīng)過各種研究并進行實驗后，得到如下獨到見解。

<4.保護膜的剝離性降低的原因的推斷>

首先，為了減少起伏，對于保護膜53a、53b的剝離性降低的原因進行了推斷。為此，使用非接觸式的激光位移計，對柔性印刷層壓板50的表面上的起伏進行了評價。此時，獲取了柔性印刷層壓板50的某寬度位置處的長度方向上的高度剖面圖(Height Profile)，并從該高度曲線圖的路徑長度計算出伸長量ΔL。此時，測量長度L設(shè)定為400mm。其結(jié)果如圖7所示。圖7是用于表示改變防銹層52c的材質(zhì)時起伏的狀態(tài)是否發(fā)生變化的圖表。在圖7中，縱軸的I-unit是起伏的評價指標(biāo)，該I-unit的值越大，則表示起伏越大。另外，該I-unit通過以下公式求出。

I-unit＝(ΔL/L)×10⁵

在此，L是在柔性印刷層壓板50的長度方向上保持起伏狀態(tài)下相互分離的兩點間的最短距離，ΔL是該兩點間的柔性印刷層壓板50的伸長量。

從圖7明確可知，在如上所述通過鍍鋅和鉻酸鹽處理而形成的防銹層52c中，I-unit的值較大，約為120。另一方面，在不設(shè)置防銹層52c的情況下，I-unit的值較小，不足60，另外，在防銹層52c由鎳鈷鍍層形成的情況下，I-unit的值最小，約為50。

由上述結(jié)果可知，在鍍層的成分中含有鋅的情況下，I-unit的值變大，在鍍層的成分中不含鋅的情況下，I-unit的值變小。另外，鋅的熔點為419.5度，接近于層壓時的溫度350度～400度，因此，推測可能是因為通過層壓時的加壓、加熱而使鉻酸鹽處理后的鋅鍍層中的鋅與保護膜53a、53b粘合。即，作為保護膜53a、53b的剝離性降低的原因，推測可能是因為防銹層52c的成分中的鋅與保護膜53a、53b粘合。

另外，從圖7的結(jié)果可知，也考慮到采用不設(shè)置防銹層52c的方法、或者利用鎳鈷鍍層形成防銹層52c的方法。但是，在不設(shè)置防銹層52c的情況下，會因為層壓時的加熱而導(dǎo)致防銹層52c氧化而發(fā)生變色。另外，在防銹層52c由鎳鈷鍍層形成的情況下，雖然能夠減少剝離保護膜53a、53b時產(chǎn)生的起伏，但會產(chǎn)生蝕刻時無法良好地除去鎳鈷鍍層等的不良現(xiàn)象。因此，對于通過鍍鋅和鉻酸鹽處理形成防銹層52c，同時通過其他方法控制防銹層52c的粘合力的情況進行了研究。

<5.用于提高保護膜的剝離性的溫度驗證(實驗)>

接著，對于為了提高保護膜53a、53b的剝離性而調(diào)整溫度條件的情況進行了研究。在該研究(實驗)中，使用切割成寬度為10mm的短片狀的層壓體54，并將該短片狀的層壓體54在回流爐中加熱至表1所示的規(guī)定溫度，并在表1所示的規(guī)定時間內(nèi)保持為該規(guī)定溫度，然后以將保護膜53b剝離后的狀態(tài)進行拉伸試驗(Ironing Test)。在此，在回流爐中，使用熱電偶測量保護膜53a、53b的表面溫度。

另外，關(guān)于進行拉伸試驗時的層壓體54，使用與上述圖6中的樣品相同條件的試樣，并如上所述將保護膜53b從該試樣上剝離。另外，將上述試樣進一步剪切成MD方向(輸送方向)的尺寸為10mm、TD方向(寬度方向)的尺寸為260mm，并利用烤箱或回流爐對剪切出的試樣(短片狀試樣)進行加熱。另外，在試樣的兩端側(cè)設(shè)置有鉛膜(1ead film)。

另外，此處所說的拉伸試驗是指：將上述短片狀試樣在拉伸用輥上卷繞180度，并以該狀態(tài)對短片狀試樣施加張力，同時使短片狀試樣往返運動，直至保護膜53a被剝離為止。此時，當(dāng)完成往返動作時算作一次，并對往返的次數(shù)進行計數(shù)。在該往返運動中，按照例如第一次往返運動中銅箔52a位于外周側(cè)，而第二次往返運動中銅箔52a位于內(nèi)周側(cè)的方式交替改變彎曲方向。此處的拉伸用輥的直徑為28mm，另外，往返運動的往返行程分別約為260mm。另外，在表1中，針對任意一個保溫溫度與任意一個保溫時間的交叉位置處的各單元格，分別進行三次拉伸試驗，并計算出其平均值。該拉伸試驗的結(jié)果如表1所示。

【表1】

從上述表1的結(jié)果可知，當(dāng)將層壓體54的溫度在40秒至80秒的期間內(nèi)保持為200度～230度時，拉伸試驗中的往返運動的次數(shù)較少。另外，當(dāng)適宜溫度H的維持時間低于40秒時，拉伸試驗中截止保護膜53a、53b剝離為止的往返運動的次數(shù)變多，另外，當(dāng)適宜溫度H的維持時間超過80秒時，如上所述拉伸試驗中的往返運動的次數(shù)也較少。

另外可知，當(dāng)以低于200度的溫度進行拉伸試驗時，截止保護膜53a、53b剝離為止的往返運動的次數(shù)變多，另外，當(dāng)以超過230度的溫度進行拉伸試驗時，截止保護膜53a、53b剝離為止的往返運動的次數(shù)也變多。

由此可知，適宜溫度H為200度～230度，另外，適宜時間T為40秒～80秒。并且，在將該拉伸試驗的結(jié)果反映在制造裝置10中制造柔性印刷層壓板50時，也得到同樣的結(jié)果。

另外，表2至表5中表示相對于表1另外追加進行的實驗的結(jié)果。在追加進行的實驗中，使用剪切成MD方向(輸送方向)的尺寸為10mm、TD方向(寬度方向)的尺寸為260mm的短片狀的層壓體54，并利用回流爐將該短片狀的層壓體54加熱至表2至表5中所示的規(guī)定溫度，且在表2至表5所示的規(guī)定時間內(nèi)保持為該規(guī)定溫度，然后以將保護膜53b剝離后的狀態(tài)進行拉伸試驗。并且，以在試樣的兩端側(cè)設(shè)置有鉛膜的狀態(tài)進行實驗。

另外，作為基材51的聚酰亞胺薄膜使用株式會社KANEKA制造的PIXEO BP FRS-142(1mil；約25.4μm)或者同樣由株式會社KANEKA制造的PIXEO BP FRS-522(厚度為1/2mil(約12.7μm))。另外，銅箔52a、52b使用JX金屬株式會社制造的壓延銅箔BHY-82F-HA(厚度為1/2oz(約17.5μm)或者1/3oz(約12μm))。另外，保護膜53a、53b使用株式會社KANEKA制造的APICAL 125NPI(厚度為5mil(125μm))。

另外，追加實驗中的拉伸用輥的直徑為28mm，將層壓體54在該拉伸用輥上卷繞180度后進行拉伸，從而使層壓體54的卷繞部分整體彎曲。另外，往返運動的往返行程分別約為260mm，另外，往返運動的速度為16m/min。另外，在表2至表5中，針對任意一個保溫溫度與任意一個保溫時間的交叉位置處的各單元格，分別進行三次拉伸試驗，并計算出其平均值。

在該拉伸試驗中，基材51的厚度為1mil(約25.4μm)、銅箔52a、52b的厚度為1/2oz(約17.5μm)時的實驗結(jié)果如表2所示。

【表2】

另外，在上述拉伸試驗中，基材51的厚度為1/2mil(約12.7μm)、銅箔52a、52b的厚度為1/2oz(約17.5μm)時的實驗結(jié)果如表3所示。

【表3】

另外，在上述拉伸試驗中，基材51的厚度為1mil(約25.4μm)、銅箔52a、52b的厚度為1/3oz(約12μm)時的實驗結(jié)果如表4所示。

【表4】

另外，在上述拉伸試驗中，基材51的厚度為1/2mil(約12.7μm)、銅箔52a、52b的厚度為1/3oz(約12μm)時的實驗結(jié)果如表5所示。

【表5】

從上述追加實驗的數(shù)據(jù)、即表2至表5的結(jié)果可知，在將層壓體54的溫度在40秒～80秒的期間內(nèi)保持為200度～230度時，任意厚度的層壓體54在拉伸試驗中的往返運動次數(shù)均較少。另外，當(dāng)適宜溫度H的維持時間低于40秒時，在拉伸試驗中截止保護膜53a、53b剝離為止的往返運動的次數(shù)變多，另外，當(dāng)適宜溫度H的維持時間超過80秒時，如上所述拉伸試驗中的往返運動的次數(shù)較少。

另外，當(dāng)以低于200度的溫度進行拉伸試驗時，截止保護膜53a、53b剝離為止的往返運動的次數(shù)變多，另外，當(dāng)以超過230度的溫度進行拉伸試驗時，截止保護膜53a、53b剝離為止的往返運動的次數(shù)也變多。

由此可知，適宜溫度H為200度～230度，另外，適宜時間T為40秒～80秒。并且，在將該拉伸試驗的結(jié)果反映在制造裝置10中制造柔性印刷層壓板50時，也得到同樣的結(jié)果。另外，制造裝置10中的進給速度與拉伸試驗時不同，另外，該進給速度也可以進行各種改變，該情況下也得到同樣的結(jié)果。

圖8是表示在制造裝置10中，對于從上述溫度調(diào)節(jié)輥27和溫度調(diào)節(jié)區(qū)28通過時的層壓體54的保溫溫度及其保溫時間進行各種變更時的I-unit值的圖。圖9是表示圖8中的樣品3～8分別從柔性印刷層壓板50的制造裝置10通過時的溫度變化情況的圖。另外，圖9中示出層壓時的時間(層壓體54仍位于一對層壓輥26a、26b之間的時間)為0秒，然后從溫度傳感器TS1～TS6通過時的溫度變化。并且，從圖9的圖表中計算出保溫時間。

另外，此時的層壓體54也采用與上述圖6中的樣品相同條件的試樣。另外，將各種原材料通過一對層壓輥26a、26b時的表面壓力設(shè)為10kN，進給速度設(shè)為1m/min，且以層壓體54達到380度的狀態(tài)進行層壓。另外，將第一剝離輥31a和第二剝離輥32a的直徑設(shè)為70mm。

在圖8中，測量了樣品3～樣品8的I-unit。在樣品3中，呈溫度調(diào)節(jié)輥27上的層壓體54的溫度為190度，且未設(shè)置溫度調(diào)節(jié)區(qū)28的構(gòu)成。另外，在到達第二剝離輥32a之前，將層壓體54的溫度保持為上述190度的保溫時間為21秒。在樣品4中，呈溫度調(diào)節(jié)輥27上的層壓體54的溫度為230度，且未設(shè)置溫度調(diào)節(jié)區(qū)28的構(gòu)成。另外，在到達第二剝離輥32a之前，將層壓體54的溫度保持為上述230度的保溫時間為21秒。

在樣品5中，溫度傳感器TS1處的層壓體54的溫度為230度，溫度調(diào)節(jié)輥27上的層壓體54的溫度為230度，溫度調(diào)節(jié)區(qū)28中的層壓體54的溫度為200度，且從溫度傳感器TS1到達溫度調(diào)節(jié)區(qū)28的出口為止的保溫時間為60秒。另外，圖9的樣品5以其在溫度調(diào)節(jié)區(qū)28內(nèi)的溫度進行保溫，其溫度在溫度調(diào)節(jié)區(qū)28內(nèi)保持不變。另一方面，樣品5的溫度在離開溫度調(diào)節(jié)區(qū)28后朝向溫度傳感器TS6逐漸降低。因此，樣品5呈其溫度從不存在溫度傳感器的溫度調(diào)節(jié)區(qū)28的出口附近開始朝向溫度傳感器TS6逐漸降低的狀態(tài)。

在樣品6中，溫度調(diào)節(jié)輥27上的層壓體54的溫度為230度，溫度調(diào)節(jié)區(qū)28中的層壓體54的溫度為230度，另外，到達第二剝離輥32a為止的保溫時間為45秒。另外，在樣品7中，溫度調(diào)節(jié)輥27上的層壓體54的溫度為230度，溫度調(diào)節(jié)區(qū)28中的層壓體54的溫度為250度，且到達第二剝離輥32a為止的保溫時間為45秒。在樣品8中，溫度調(diào)節(jié)輥27上的層壓體54的溫度為250度，溫度調(diào)節(jié)區(qū)28中的層壓體54的溫度為250度，且到達第二剝離輥32a為止的保溫時間為45秒。

從上述圖8中的結(jié)果明確可知，在樣品5的情況下，I-unit的值非常小，約為40左右。同樣地，在樣品6的情況下，I-unit的值也非常小，將近40左右。

相對于此，在樣品3的情況下，I-unit的值約為135，另外，在樣品4的情況下，I-unit的值約為120，在樣品7的情況下，I-unit的值約為70，在樣品8的情況下，I-unit的值約為75。由此可知，在樣品5和樣品6的情況下，能夠最大限度地減少柔性印刷層壓板50的起伏，保護膜53a、53b的剝離性得到改善。

從上述表1～表5、圖8及圖9的結(jié)果可知，通過賦予如下熱史(Thermal history)、即在40秒～80秒的適宜時間T的范圍內(nèi)保持為200度～230度的適宜溫度H，能夠改善保護膜53a、53b的剝離性。

在此，關(guān)于在賦予如下熱史、即在40秒～80秒的適宜時間T的范圍內(nèi)保持為200度～230度的適宜溫度H時能夠改善保護膜53a、53b的剝離性的原因并不明確，但推測如下。即，在通過一對層壓輥26a、26b如熱層壓那樣在高溫、高壓下粘接時，如上所述，防銹層52c的成分中的鋅與保護膜53a、53b粘合。

相對于此，在層壓后以成為適宜溫度H的狀態(tài)在適宜時間T的期間內(nèi)對柔性印刷層壓板50進行保溫的情況下，使層壓時的粘合力減弱的作用力發(fā)揮作用，而在以低于適宜溫度H的溫度進行保溫時，保持熱壓接后的狀態(tài)不變，粘合力并未減弱，反之，在以高于適宜溫度H的溫度進行保溫時，通過防銹層52c的擴散等而再粘合的作用力變強。因此，在賦予如下熱史、即層壓后以成為適宜溫度H的狀態(tài)在適宜時間T的期間內(nèi)對柔性印刷層壓板50進行保溫的情況下，上述減弱粘合力的作用力與引起再粘合的作用力達到平衡狀態(tài)。

<6.用于提高保護膜的剝離性的剝離輥的驗證(實驗)>

另外，不同于上述通過調(diào)整溫度條件而提高保護膜53a的剝離性的情況，對于剝離輥31a、32a進行了驗證。具體而言，對于通過改變剝離輥31a、32a的直徑能否提高保護膜53a的剝離性進行了實驗。

在該實驗中，與上述表1至表5的情況同樣地，使用剪切成MD方向(輸送方向)的尺寸為10mm、TD方向(寬度方向)的尺寸為260mm的短片狀的層壓體54，且采用材質(zhì)為SUS304的金屬制成的拉伸用輥進行了拉伸試驗，但并未特別對該層壓體54進行加熱等的溫度調(diào)節(jié)。另外，針對各種直徑的拉伸用輥分別進行三次拉伸試驗，并計算出截止保護膜53a剝離為止的往返運動的平均值。

另外，進行拉伸試驗時的層壓體54使用與上述表1相同條件的試樣。另外，進行拉伸試驗時的計數(shù)方法等也與上述表1的情況相同。該拉伸試驗的結(jié)果如表6所示。

【表6】

從該表6的結(jié)果可知，當(dāng)拉伸用輥的直徑為7mm時，平均往返運動一次時保護膜53a剝離。另外，當(dāng)拉伸用輥的直徑為10mm時，平均往返運動1.3次時保護膜53a剝離。同樣地，當(dāng)拉伸用輥的直徑為12mm時，平均往返運動三次時保護膜53a剝離。

另外，當(dāng)拉伸用輥的直徑分別為20mm、28mm時，分別平均往返運動超過三次時保護膜53a剝離。

從該實驗結(jié)果可知，當(dāng)將拉伸用輥的直徑設(shè)為10mm以下時，保護膜53a的剝離性大幅提高。另外，當(dāng)將拉伸用輥的直徑設(shè)為12mm時，平均往返運動三次時保護膜53a剝離，與直徑超過12mm時相比，剝離性提高。但是，通過將拉伸用輥的直徑從12mm縮小2mm至10mm，保護膜53a的剝離性大幅提高。

由此可知，當(dāng)將剝離輥31a、32a的直徑設(shè)為10mm以下時，能夠大幅提高保護膜53a的剝離性。

在此，當(dāng)剝離輥31a、32a的直徑變小時，存在該剝離輥31a、32a的剛性降低而容易彎曲這一問題。因此，也可以如圖10所示那樣進行構(gòu)成。圖10是表示將由例如SUS304等的金屬制成且直徑小的剝離輥31a、32a夾在孔型軋輥31b、32b與支承輥33之間的狀態(tài)的圖。如該圖10所示，通過將直徑小且剛性低的剝離輥31a、32a夾在孔型軋輥31b、32b與支承輥33之間，能夠防止剝離輥31a、32a易于彎曲的情況。

<7.關(guān)于效果>

如上那樣構(gòu)成的制造裝置10具備一對層壓輥26a、26b，該一對層壓輥26a、26b在將設(shè)有防銹層52c的銅箔52a、52b配置于基材51的兩面上的同時，對基材51與銅箔52a、52b進行層壓，另外，通過該一對層壓輥26a、26b將保護膜53a、53b配置在銅箔52a、52b的表面上，并在加熱至規(guī)定溫度的同時將保護膜53a、53b粘貼在防銹層52c上。另外，通過溫度調(diào)節(jié)輥27和具備溫度調(diào)節(jié)裝置29的溫度調(diào)節(jié)區(qū)28對層壓后的層壓體54的溫度進行調(diào)節(jié)，以使層壓體54的溫度在40秒～80秒的適宜時間T內(nèi)保持在200度～230度的適宜溫度H的范圍內(nèi)。然后，通過剝離輥31a、32a從溫度調(diào)節(jié)后的層壓體54的防銹層52c上剝離保護膜53a、53b。

在如此構(gòu)成的情況下，通過將層壓體54的溫度在40秒～80秒的適宜時間T內(nèi)保持在200度～230度的適宜溫度H的范圍內(nèi)，即使使用剝離輥31a、32a將保護膜53a、53b剝離，也能夠減少柔性印刷層壓板50的外觀看似呈波浪狀的起伏的產(chǎn)生。尤其在非常柔軟的高彎曲體中，上述起伏的減少效果明顯。

另外，由于并未如圖6所示增加柔性印刷層壓板50的卷繞張力，因而能夠抑制柔性印刷層壓板50中的殘留應(yīng)力增加。

另外，在本實施方式中，一對層壓輥26a、26b還兼作為薄膜粘貼機構(gòu)，因此，只要使各種原材料從一對層壓輥26a、26b之間通過，便可形成粘貼有保護膜53a、53b的層壓體54。

另外，作為調(diào)節(jié)層壓體54的溫度的溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)而具備溫度調(diào)節(jié)輥27、輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271以及控制部40，其中，溫度調(diào)節(jié)輥27在與層壓體54接觸的同時對該層壓體54的溫度進行調(diào)節(jié)，輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271通過對該溫度調(diào)節(jié)輥27進行加熱或冷卻，從而調(diào)節(jié)溫度調(diào)節(jié)輥27的溫度，控制部40按照使溫度調(diào)節(jié)輥27的溫度達到適宜溫度的范圍內(nèi)、或者比該適宜溫度的范圍僅高出冗余溫度范圍的范圍內(nèi)的方式控制輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271的動作，以使溫度調(diào)節(jié)輥27與層壓體54接觸時使該層壓體54變?yōu)檫m宜溫度H的范圍內(nèi)的溫度。因此，能夠?qū)訅后w54的溫度進行控制，以使層壓體54的溫度接近適宜溫度H的范圍。

進而，在本實施方式中，作為溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)，在用于將從溫度調(diào)節(jié)輥27輸出的層壓體54的溫度維持在適宜溫度H的范圍內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)區(qū)28中，設(shè)有用于對層壓體54進行加熱或冷卻的溫度調(diào)節(jié)裝置29，并且，控制部40對溫度調(diào)節(jié)裝置29的動作進行控制，以使層壓體54的溫度處于適宜溫度H的范圍內(nèi)。因此，當(dāng)層壓體54被輸送至剝離輥31a、32a時，由于層壓體54的溫度在上述適宜時間T內(nèi)被可靠地維持為上述適宜溫度H，因此，能夠提高保護膜53a、53b的剝離性。由此，能夠減少柔性印刷層壓板50的外觀看似呈波浪狀的起伏的產(chǎn)生。

另外，在本實施方式中，剝離機構(gòu)具備用于從防銹層52c上剝離保護膜53a、53b的剝離輥31a、32a。因此，通過使保護膜53a、53b沿著剝離輥31a、32a移動，從而能夠可靠且連續(xù)地剝離保護膜53a、53b。

<8.變形例>

以上，對本發(fā)明的一實施方式進行了說明，但是，本發(fā)明除此以外還可以進行各種變形。以下，對各種變形進行說明。

在上述實施方式中，對于柔性印刷層壓板50在基材51的兩面?zhèn)扰渲糜秀~箔52a、52b的構(gòu)成進行了說明。但是，柔性印刷層壓板也可以采用僅在基材的單面?zhèn)扰渲糜秀~箔層的構(gòu)成。

另外，在上述實施方式中，對于作為溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)而具有溫度調(diào)節(jié)輥27和溫度調(diào)節(jié)區(qū)28的構(gòu)成進行了說明。但是，只要在層壓體54到達剝離輥31a、32a之前的期間內(nèi)，使層壓體54的溫度在適宜時間T的范圍內(nèi)維持為適宜溫度H，則也可以采用省略具備溫度調(diào)節(jié)裝置29的溫度調(diào)節(jié)區(qū)28，而作為溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)僅存在溫度調(diào)節(jié)輥27的構(gòu)成，另外也可以采用省略溫度調(diào)節(jié)輥27而僅存在具備溫度調(diào)節(jié)裝置29的溫度調(diào)節(jié)區(qū)28的構(gòu)成。另外，還可以將具備溫度調(diào)節(jié)裝置29的溫度調(diào)節(jié)區(qū)28配置在與圖1不同的位置處。

另外，在上述實施方式中，在從一對層壓輥26a、26b通過時，除了使基材51與銅箔52a、52b粘合之外，同時也使保護膜53a、53b粘合在銅箔52a、52b上。但是，也可以在使基材51與銅箔52a、52b粘合之前的階段中，將保護膜53a、53b粘合在銅箔52a、52b上。

另外，作為輥溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)271、溫度調(diào)節(jié)裝置29，也可以使用上述以外的加熱器。例如，也可以使用遠紅外加熱器、電熱絲等的加熱器。另外，銅箔52a、52b也可以采用僅在粘貼保護膜53a、53b的面?zhèn)却嬖诜冷P層52c的構(gòu)成。