1.一種多層線路板激光成盲孔的打孔方法,其特征在于,所述多層線路板激光成盲孔的打孔方法包括如下步驟:
對(duì)多層線路板中待加工的表層銅進(jìn)行微蝕處理,以微蝕掉部分銅層,保留設(shè)定厚度的表層銅;
對(duì)保留設(shè)定厚度的銅表層進(jìn)行棕化處理并使表層銅氧化變黑,以形成過渡層;
利用CO2激光在多層線路板的過渡層的指定位置進(jìn)行激光鉆孔處理,以形成盲孔。
2.如權(quán)利要求1所述的多層線路板激光成盲孔的打孔方法,其特征在于,所述利用CO2激光在多層線路板的過渡層的指定位置進(jìn)行激光鉆孔處理,以形成盲孔的步驟,具體包括:
利用CO2激光對(duì)多層線路板的過渡層進(jìn)行第一次打孔處理,以燒蝕穿表層銅形成開孔,并露出基材;
利用CO2激光對(duì)開孔孔底的基材進(jìn)行第二次打孔處理,以燒蝕并除去基材;
利用CO2激光對(duì)開孔的孔壁進(jìn)行第三次打孔處理,以修整開孔的孔壁;
利用CO2激光對(duì)開孔的孔壁進(jìn)行第四次打孔處理,以調(diào)整開孔的孔型;
利用CO2激光對(duì)開孔的孔壁進(jìn)行第五次打孔處理,以清洗開孔孔底的基材殘?jiān)⒙冻龅足~。
3.如權(quán)利要求2所述的多層線路板激光成盲孔的打孔方法,其特征在于,所述利用CO2激光對(duì)多層線路板的過渡層進(jìn)行第一次打孔處理,以燒蝕穿表層銅形成開孔的步驟之后,還包括:
繼續(xù)燒蝕部分厚度的基材的步驟。
4.如權(quán)利要求3所述的多層線路板激光成盲孔的打孔方法,其特征在于,所述繼續(xù)燒蝕部分厚度的基材的步驟中,所述基材燒蝕厚度為基材厚度的三分之一。
5.如權(quán)利要求2至4任一項(xiàng)所述的多層線路板激光成盲孔的打孔方法,其特征在于,所述第一次打孔處理至第五次打孔處理的CO2激光的脈寬及能量逐漸減少。
6.如權(quán)利要求5所述的多層線路板激光成盲孔的打孔方法,其特征在于,所述第一次打孔處理的CO2激光的脈寬為15,能量為27mj;所述第二次打孔處理的CO2激光的脈寬為15,能量為20mj;所述第三次打孔處理的CO2激光的脈寬為15,能量為20mj;所述第四次打孔處理的CO2激光的脈寬為6,能量為9mj;所述第五次打孔處理的CO2激光的脈寬為6,能量為9mj。
7.如權(quán)利要求1所述的多層線路板激光成盲孔的打孔方法,其特征在于,所述對(duì)多層線路板中待加工的表層銅進(jìn)行微蝕處理,以微蝕掉部分銅層,保留設(shè)定厚度的表層銅的步驟中,所述表層銅微蝕厚度為12μm~15μm,所述表層銅保留的厚度為10μm~12μm。
8.如權(quán)利要求1所述的多層線路板激光成盲孔的打孔方法,其特征在于,所述盲孔的厚徑比小于或等于1.4:1。