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層疊體及半導(dǎo)體元件搭載用基板以及它們的制造方法與流程

文檔序號(hào):12144110閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
一種層疊體,其是通過至少具有如下工序的制造方法制造出的,即:準(zhǔn)備第一中間層疊體的工序,該第一中間層疊體具有載體基板和金屬層,該載體基板在內(nèi)部含有支承體,該金屬層形成在該載體基板的至少一個(gè)面且能夠剝離;通過在所述第一中間層疊體的不成為產(chǎn)品的部分形成從所述第一中間層疊體的表面至少到達(dá)所述載體基板中的所述支承體的第一孔,制作帶有所述第一孔的第二中間層疊體的工序;在所述第二中間層疊體的形成有所述第一孔的所述表面上,自所述表面?zhèn)劝凑战^緣材料和金屬箔的順序?qū)盈B配置絕緣材料以及金屬箔,一邊對(duì)所述第二中間層疊體、所述絕緣材料以及所述金屬箔進(jìn)行加熱一邊沿著它們的層疊方向進(jìn)行加壓,從而制作在所述第一孔中填充有所述絕緣材料的第三中間層疊體的工序;以及使用藥液對(duì)所述第三中間層疊體進(jìn)行處理的工序。

技術(shù)研發(fā)人員:加藤禎啟;小柏尊明;中島洋一;市川崇章;川下和晃
受保護(hù)的技術(shù)使用者:三菱瓦斯化學(xué)株式會(huì)社
文檔號(hào)碼:201580039363
技術(shù)研發(fā)日:2015.07.15
技術(shù)公布日:2017.03.22

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