1.一種壓電諧振器的制造方法，具有：
在壓電基板的背面形成犧牲層的工序；
在所述壓電基板的背面形成支承層的工序；
將所述支承層及所述犧牲層切削，形成所述犧牲層相對(duì)于所述支承層凹陷的凹部的工序；
在形成所述凹部的一側(cè)的所述支承層的面粘接支承基板的工序；和
將所述犧牲層除去的工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振器的制造方法，其中，
形成所述凹部的工序中，通過所述支承層及所述犧牲層的研磨來形成所述凹部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振器的制造方法，其中，
形成所述凹部的工序中，通過所述支承層及所述犧牲層的蝕刻來形成所述凹部。
4.一種壓電諧振器，具備：
壓電薄膜；
被配置在該壓電薄膜的背面?zhèn)鹊闹С谢澹缓?/p>
將所述壓電薄膜固定于所述支承基板，以使得在所述壓電薄膜與所述支承基板之間設(shè)置空間的支承層，
所述支承層中的露出于所述空間的所述支承基板一側(cè)的角部，具備將該角部切去的形狀的凹部。
5.一種壓電諧振器，具備：
壓電薄膜；
被配置在該壓電薄膜的背面?zhèn)鹊闹С谢澹缓?/p>
將所述壓電薄膜固定于所述支承基板，以使得在所述壓電薄膜與所述支承基板之間設(shè)置空間的支承層，
所述支承基板在露出于所述空間的區(qū)域具備凹部。