一種用于硅片直徑測(cè)量的固定工裝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到半導(dǎo)體行業(yè)中硅片加工領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種用于硅片直徑測(cè)量的固定工裝。
【背景技術(shù)】
[0002]切片后對(duì)硅片邊緣進(jìn)行滾圓加工，使邊緣形成一定形狀，以提高硅片的機(jī)械強(qiáng)度和可加工性，同時(shí)將硅片直徑磨到一定的尺寸，滿足客戶的要求。硅片經(jīng)倒角后需檢測(cè)直徑是否滿足客戶規(guī)范的要求，測(cè)量直徑通常使用螺旋測(cè)微儀，螺旋測(cè)微儀測(cè)量大直徑硅片的直徑時(shí)，操作不方便，測(cè)量時(shí)通過(guò)測(cè)砧和測(cè)微螺桿兩點(diǎn)卡住硅片進(jìn)行測(cè)量，需要多次測(cè)量找測(cè)量位置，效率低，可能會(huì)出現(xiàn)卡的不是圓周最大的位置，即測(cè)量的不是硅片的直徑，比直徑要小，另外可能存在測(cè)量時(shí)硅片放不平或斜，這些都會(huì)引入測(cè)量誤差，這個(gè)誤差遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于測(cè)量工具的精度，是影響測(cè)量結(jié)果的主要因素。如果測(cè)量結(jié)果誤差較大，會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生誤判或錯(cuò)判，造成不合格品流入客戶。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決現(xiàn)有技術(shù)中硅片直徑測(cè)量時(shí)操作不方便、定位不準(zhǔn)確產(chǎn)生的誤差，本實(shí)用新型提供了一種用于硅片直徑測(cè)量的固定工裝，通過(guò)將螺旋測(cè)微儀和待測(cè)硅片同時(shí)固定在該工裝上，從事實(shí)現(xiàn)了定位的準(zhǔn)確性，也方便了測(cè)量。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案為:一種用于硅片直徑測(cè)量的固定工裝，包括基座、夾持板和硅片固定板，其中，基座的一側(cè)傾斜設(shè)置有夾持側(cè)壁，夾持側(cè)壁與夾持板配合將測(cè)量硅片直徑的螺旋測(cè)微儀夾緊固定；所述硅片固定板具有一與夾持板連接的座板和設(shè)置有硅片安裝槽的承載板，座板上設(shè)置有條形的高度調(diào)節(jié)槽，座板通過(guò)設(shè)置在高度調(diào)節(jié)槽內(nèi)的調(diào)節(jié)螺栓與夾持板滑動(dòng)固定，以通過(guò)調(diào)整調(diào)節(jié)螺栓位于高度調(diào)節(jié)槽內(nèi)的位置，調(diào)整承載板的高度，以使承載板上硅片安裝槽中待測(cè)硅片的圓心處于螺旋測(cè)微儀測(cè)砧和測(cè)微螺桿連線上。
[0005]所述夾持側(cè)壁向基座的中部位置傾斜，夾持板和座板均與夾持側(cè)壁平行設(shè)置，且座板和承載板之間設(shè)有連接板，以使承載板上硅片安裝槽的位置處于基座的上方。
[0006]所述硅片安裝槽的側(cè)壁為階梯狀結(jié)構(gòu)，從而使硅片安裝槽形成自上而下疊加分布的三個(gè)直徑分別與6英寸、5英寸和4英寸硅片直徑相同的圓形槽。
[0007]有益效果:本實(shí)用新型通過(guò)將螺旋測(cè)微儀固定，立起來(lái)放置，測(cè)量時(shí)操作便捷，效率高，同時(shí)固定硅片的硅片支架可以準(zhǔn)確的將硅片定位，保證測(cè)量的位置剛好就是硅片的直徑，很好的解決了在測(cè)量過(guò)程中由于測(cè)量人員直徑測(cè)量位置的誤差而產(chǎn)生的測(cè)量結(jié)果的誤差。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2為本實(shí)用新型的左視圖；
[0010]附圖標(biāo)記:1、基座，101、夾持側(cè)壁，2、夾持板，3、硅片固定板，301、座板，302、承載板，303、硅片安裝槽，304、高度調(diào)節(jié)槽，305、調(diào)節(jié)螺栓，306、連接板。
【具體實(shí)施方式】
[0011]如圖所示，一種用于硅片直徑測(cè)量的固定工裝，包括基座1、夾持板2和硅片固定板3，其中，基座I的一側(cè)傾斜設(shè)置有夾持側(cè)壁101，夾持側(cè)壁101與夾持板2配合將測(cè)量硅片直徑的螺旋測(cè)微儀夾緊固定；所述硅片固定板3具有一與夾持板2連接的座板301和設(shè)置有硅片安裝槽303的承載板302，座板301上設(shè)置有條形的高度調(diào)節(jié)槽304，座板301通過(guò)設(shè)置在高度調(diào)節(jié)槽304內(nèi)的調(diào)節(jié)螺栓305與夾持板2滑動(dòng)固定，以通過(guò)調(diào)整調(diào)節(jié)螺栓305位于高度調(diào)節(jié)槽304內(nèi)的位置，調(diào)整承載板302的高度，以使承載板302上硅片安裝槽303中待測(cè)硅片的圓心處于螺旋測(cè)微儀測(cè)砧和測(cè)微螺桿連線上。
[0012]以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)和限定:
[0013]如，所述夾持側(cè)壁101向基座I的中部位置傾斜，夾持板2和座板301均與夾持側(cè)壁101平行設(shè)置，且座板301和承載板302之間設(shè)有連接板306，以使承載板302上硅片安裝槽303的位置處于基座I的上方；
[0014]又如，所述硅片安裝槽303的側(cè)壁為階梯狀結(jié)構(gòu)，從而使硅片安裝槽303形成自上而下疊加分布的三個(gè)直徑分別與6英寸、5英寸和4英寸娃片直徑相同的圓形槽。
[0015]本實(shí)用新型中，將螺旋測(cè)微儀放置在夾持側(cè)壁101與夾持板2之間，然后通過(guò)螺栓或螺絲兩者連接固定，螺旋測(cè)微儀立起來(lái)放置，松動(dòng)調(diào)節(jié)螺栓305，硅片固定板3的座板301沿著夾持板2上下移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)硅片固定板3的高度，使硅片固定板3上硅片安裝槽303中待測(cè)硅片的圓心處于螺旋測(cè)微儀測(cè)砧和測(cè)微螺桿連線上，然后擰緊調(diào)節(jié)螺栓305，將硅片固定板3固定，再將硅片放置在硅片固定板3上承載板302的硅片安裝槽303中進(jìn)行測(cè)量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于硅片直徑測(cè)量的固定工裝，其特征在于:包括基座(I)、夾持板(2)和硅片固定板(3 )，其中，基座(I)的一側(cè)傾斜設(shè)置有夾持側(cè)壁(101)，夾持側(cè)壁(101)與夾持板(2 )配合將測(cè)量硅片直徑的螺旋測(cè)微儀夾緊固定；所述硅片固定板(3)具有一與夾持板(2)連接的座板(301)和設(shè)置有硅片安裝槽(303)的承載板(302)，座板(301)上設(shè)置有條形的高度調(diào)節(jié)槽(304)，座板(301)通過(guò)設(shè)置在高度調(diào)節(jié)槽(304)內(nèi)的調(diào)節(jié)螺栓(305)與夾持板(2)滑動(dòng)固定，以通過(guò)調(diào)整調(diào)節(jié)螺栓(305)位于高度調(diào)節(jié)槽(304)內(nèi)的位置，調(diào)整承載板(302)的高度，以使承載板(302)上硅片安裝槽(303)中待測(cè)硅片的圓心處于螺旋測(cè)微儀測(cè)砧和測(cè)微螺桿連線上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片直徑測(cè)量的固定工裝，其特征在于:所述夾持側(cè)壁(101)向基座(I)的中部位置傾斜，夾持板(2 )和座板(301)均與夾持側(cè)壁(101)平行設(shè)置，且座板(301)和承載板(302)之間設(shè)有連接板(306)，以使承載板(302)上硅片安裝槽(303)的位置處于基座(I)的上方。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硅片直徑測(cè)量的固定工裝，其特征在于:所述硅片安裝槽(303)的側(cè)壁為階梯狀結(jié)構(gòu)，從而使硅片安裝槽(303)形成自上而下疊加分布的三個(gè)直徑分別與6英寸、5英寸和4英寸硅片直徑相同的圓形槽。
【專利摘要】一種用于硅片直徑測(cè)量的固定工裝，夾持側(cè)壁與夾持板配合將測(cè)量硅片直徑的螺旋測(cè)微儀夾緊固定，硅片固定板具有一與夾持板連接的座板和設(shè)置有硅片安裝槽的承載板，座板通過(guò)設(shè)置在其上的高度調(diào)節(jié)槽內(nèi)的調(diào)節(jié)螺栓與夾持板滑動(dòng)固定，以通過(guò)調(diào)整調(diào)節(jié)螺栓位于高度調(diào)節(jié)槽內(nèi)的位置，調(diào)整承載板的高度，從而使承載板上硅片安裝槽中待測(cè)硅片的圓心處于螺旋測(cè)微儀測(cè)砧和測(cè)微螺桿連線上。本實(shí)用新型通過(guò)將螺旋測(cè)微儀固定，立起來(lái)放置，測(cè)量時(shí)操作便捷，效率高，同時(shí)固定硅片的硅片支架可以準(zhǔn)確的將硅片定位，保證測(cè)量的位置剛好就是硅片的直徑，很好的解決了在測(cè)量過(guò)程中由于測(cè)量人員直徑測(cè)量位置的誤差而產(chǎn)生的測(cè)量結(jié)果的誤差。
【IPC分類(lèi)】H01L21/66
【公開(kāi)號(hào)】CN204857671
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520609218
【發(fā)明人】田素霞, 苗利剛, 寇文杰, 陳衛(wèi)群, 楊波, 王海君
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年8月14日