成所述多達(dá)三個(gè)裝載鎖定腔室的一部分或全部。此外，在某些實(shí)施方式中，可在接口單元302的上方(或內(nèi)部)，諸如在裝載鎖定腔室304a和/或裝載鎖定腔室304b的上方(或內(nèi)部)，設(shè)置除氣腔室或其他處理腔室(圖中未示出)。后開(kāi)口 305a?305c允許在工廠接口 106與接口單元302之間傳送基板。可利用諸如緊固件(例如，螺栓、螺釘或諸如此類(lèi)者)之類(lèi)的任何適當(dāng)手段使接口單元302耦接至第一組側(cè)面104a?104c和耦接至工廠接口 106。
[0038]圖3C至圖3D是根據(jù)文中所提供的實(shí)施方式分別圖示接口單元302的示例性實(shí)施方式的頂部等角視圖和底部等角視圖。接口單元302的前區(qū)域包括前接口側(cè)面306a?306c，所述前接口側(cè)面306a?306c可分別與傳送腔室102的第一組側(cè)面104a?104c(見(jiàn)圖1A)耦接。在某些實(shí)施方式中，第一前接口側(cè)面306a可包括第一狹縫開(kāi)口 308a、308b，第二前接口側(cè)面306b可包括第二狹縫開(kāi)口 310a、310b，且第三前接口側(cè)面306c可包括第三狹縫開(kāi)口 312a、312b，以適于在傳送腔室102與裝載鎖定腔室(和/或除氣/處理腔室)之間進(jìn)行基板傳送，所述裝載鎖定腔室(和/或除氣/處理腔室)為所述接口單元302的一部分(或耦接至所述接口單元302)。如圖3D所示，裝載鎖定腔室314a?314c提供耦接至至傳送腔室102的多達(dá)三個(gè)裝載鎖定腔室(例如，單個(gè)式裝載鎖定腔室、批次式裝載鎖定腔室、堆疊式裝載鎖定腔室，等等)O
[0039]圖4A至圖4B根據(jù)文中提供的實(shí)施方式，分別圖示傳送腔室102的示例性實(shí)施方式的等角視圖和俯視平面圖，所述傳送腔室102具有三個(gè)裝載鎖定腔室402a、402b和402c，且所述三個(gè)裝載鎖定腔室402a、402b和402c分別直接耦接至傳送腔室102的該組側(cè)面104a、104b和104c。裝載鎖定腔室402a?402c可為單個(gè)式或批次式裝載鎖定腔室和/或堆疊式裝載鎖定腔室，和/或可包括除氣處理腔室或其他處理腔室?？墒褂蒙儆谌齻€(gè)的裝載鎖定腔室。
[0040]圖5A至圖5B根據(jù)文中提供的實(shí)施方式，分別圖示傳送腔室102的替代實(shí)施方式的等角視圖和俯視平面圖。參照?qǐng)D5A至圖5B，使用單個(gè)側(cè)面504取代較窄的第一組側(cè)面104a、104b和104c(見(jiàn)圖ΙΑ)，所述側(cè)面504的寬度相對(duì)較長(zhǎng)。單個(gè)側(cè)面504可具有長(zhǎng)度Ls，所述長(zhǎng)度Ls可大于第二組側(cè)面104d?104i中的任一側(cè)面的長(zhǎng)度。此種設(shè)計(jì)可簡(jiǎn)化傳送腔室102與一個(gè)或更多個(gè)裝載鎖定腔室和/或除氣/處理腔室之間的接口，以下參照?qǐng)D5C至圖5F說(shuō)明此種設(shè)計(jì)。
[0041]圖5C至圖5D根據(jù)文中提供的實(shí)施方式，分別圖示圖5A至圖5B的傳送腔室102的示例性實(shí)施方式的等角視圖和俯視平面圖，所述傳送腔室102具有接口單元506，且所述接口單元506耦接至所述傳送腔室102。接口單元506使所述傳送腔室102與多達(dá)三個(gè)裝載鎖定腔室(例如，單個(gè)式或批次式裝載鎖定腔室、堆疊式裝載鎖定腔室或諸如此類(lèi)者)接口。在某些實(shí)施方式中，接口單元506可形成所述多達(dá)三個(gè)裝載鎖定腔室的一部分或全部。此外，在某些實(shí)施方式中，可在接口單元506的上方(或內(nèi)部)，諸如在接口單元開(kāi)口508a和/或接口單元開(kāi)口 508b的上方或內(nèi)部，設(shè)置除氣腔室或其他處理腔室(圖中未示出)。后接口開(kāi)口 509a?509c允許在工廠接口 106與接口單元506之間傳送基板。
[0042]圖5E至圖5F是根據(jù)文中提供的實(shí)施方式分別圖示接口單元506的示例性實(shí)施方式的頂部等角視圖和底部等角視圖。接口單元506的前區(qū)域510可與傳送腔室102的單個(gè)側(cè)面504 (見(jiàn)圖5A)耦接。在某些實(shí)施方式中，在所述接口單元506內(nèi)提供多個(gè)接口側(cè)面(例如，接口側(cè)面512a、接口側(cè)面512b和接口側(cè)面512c);且接口側(cè)面512a可包括狹縫開(kāi)口 514a和狹縫開(kāi)口 514b，接口側(cè)面512b可包括狹縫開(kāi)口 516a(見(jiàn)圖5F)和狹縫開(kāi)口 516b，且接口側(cè)面512c可包括狹縫開(kāi)口 518a和狹縫開(kāi)口 518b，以適用于在傳送腔室102與裝載鎖定腔室(和/或除氣/處理腔室)之間進(jìn)行基板傳送，所述裝載鎖定腔室(和/或除氣/處理腔室)為接口單元506的一部分(或耦接至所述接口單元506)。如圖5F所示，接口開(kāi)口 520a?接口開(kāi)口 520c提供多達(dá)三個(gè)裝載鎖定腔室(例如，單個(gè)式裝載鎖定腔室、批次式裝載鎖定腔室、堆疊式裝載鎖定腔室，等等)，且這些裝載鎖定腔室耦接至傳送腔室102。然而，可提供其他數(shù)量的裝載鎖定腔室及其他數(shù)量的接口側(cè)面。
[0043]圖6A根據(jù)文中提供的實(shí)施方式，圖示示例性處理工具600a的俯視圖，在所述處理工具600a中，第一傳送腔室102a與第二傳送腔室102b可耦接在一起以提供用來(lái)耦接處理腔室的額外側(cè)面。參照?qǐng)D6A，處理工具600a包括接口單元602，接口單元602將第一傳送腔室102a耦接至工廠接口 604?；鍌魉脱b置(諸如，通路單元606)將第二傳送腔室102b耦接至第一傳送腔室102a。
[0044]在圖6A的實(shí)施方式中，接口單元602允許有多達(dá)三個(gè)或更多個(gè)基板傳送裝置，諸如多達(dá)三個(gè)或更多個(gè)裝載鎖定腔室608a?608c(和/或除氣/處理腔室)，以將基板提供至第一傳送腔室102a。通路單元606包括三個(gè)通路位置610a?610c，這些通路位置610a?610c可作為用來(lái)在第一傳送腔室102a與第二傳送腔室102b之間傳送基板用的轉(zhuǎn)運(yùn)(hand-off)位置。在某些實(shí)施方式中，可使用較少個(gè)通路位置。此外，在某些實(shí)施方式中，通路位置610a?通路位置610c可能能夠進(jìn)行基板處理，諸如除氣、退火、冷卻或諸如此類(lèi)者?？稍谶@些通路位置61 Oa?通路位置61 Oc處進(jìn)行其他處理。
[0045]處理工具600a提供多達(dá)10個(gè)的側(cè)面(小平面)612a?612j，且處理腔室可耦接至這些側(cè)面612a?612 j。在其他實(shí)施方式中，額外的傳送腔室可與額外的其他通路單元耦接以供連接任意數(shù)目的處理腔室。
[0046]在圖6A的實(shí)施方式中，第一傳送腔室102a包括:第一長(zhǎng)側(cè)面614a，所述第一長(zhǎng)側(cè)面614a被配置成耦接至接口單元602;和第二長(zhǎng)側(cè)面614b，所述第二長(zhǎng)側(cè)面614b與第一長(zhǎng)側(cè)面614a相對(duì)，且所述第二長(zhǎng)側(cè)面614b被配置成耦接至通路單元606。第二傳送腔室102b包括單個(gè)長(zhǎng)側(cè)面614c以用于耦接至通路單元606。在某些實(shí)施方式中，(例如，當(dāng)要使用一個(gè)或更多個(gè)額外的傳送腔室時(shí))，第二傳送腔室102b可包括一個(gè)或更多個(gè)額外的長(zhǎng)側(cè)面，所述一個(gè)或更多個(gè)額外的長(zhǎng)側(cè)面被配置成耦接至額外的通路單元。在所示的實(shí)施方式中，側(cè)面612a、側(cè)面612b、側(cè)面6121、側(cè)面612j的長(zhǎng)度短于第一長(zhǎng)側(cè)面614a和第二長(zhǎng)側(cè)面614b每一個(gè)的長(zhǎng)度。同樣的，在所示的實(shí)施方式中，側(cè)面612c?612g的長(zhǎng)度可短于所述單個(gè)長(zhǎng)側(cè)面614c的長(zhǎng)度。
[0047]圖6B根據(jù)文中提供的實(shí)施方式，圖示處理工具600b的另一個(gè)實(shí)例的俯視圖，處理工具600b類(lèi)似于圖6A的處理工具600a，但所述處理工具600b在沿著第一傳送腔室102a或第二傳送腔室102b任一者處并未使用長(zhǎng)側(cè)面。參照?qǐng)D6B，圖中將第一傳送腔室102a和第二傳送腔室102b分別繪示成八邊形(八個(gè)側(cè)面)，總共有16個(gè)側(cè)面612a?612p，側(cè)面612a?612p的長(zhǎng)度相同。第一傳送腔室102a經(jīng)由裝載鎖定腔室608a、裝載鎖定腔室608b耦接至工廠接口 604，且第一傳送腔室102a經(jīng)由一個(gè)或更多個(gè)通路單元610a、通路單元610b耦接至第二傳送腔室102b。圖中示出處理腔室616a?處理腔室616 j耦接至處理工具600b的側(cè)面612c、側(cè)面612d、側(cè)面612h、側(cè)面612g、側(cè)面612k、側(cè)面6121、側(cè)面612m、側(cè)面612η、側(cè)面612o、側(cè)面612ρ。在其他實(shí)施方式中，額外的傳