[0055]如圖4的(a)所示，利用噴墨印刷將自噴墨頭21噴吐的疏液處理油墨22涂布在通孔形成預(yù)定部的漏電極14上。疏液處理油墨22含有硫醇化合物或二硫化物。溶劑可以優(yōu)選使用高沸點(diǎn)的醇溶劑。硫醇化合物或二硫化物的硫原子迅速地與漏電極14的金屬原子化合，因此可以容易地使通孔形成預(yù)定部的漏電極14為疏液性。硫醇化合物或二硫化物含有氟代烷基鏈時(shí)，疏液性增加。
[0050]圖4的(b)表示由噴墨頭21噴吐的疏液處理油墨22著墨于通孔形成預(yù)定部的漏電極14內(nèi)側(cè)的狀態(tài)。由感光性樹脂形成的柵極絕緣膜12的表面具有疏液性，著墨的疏液處理油墨22先暫時(shí)地滯留在漏電極14的開口內(nèi)，但很快如圖4的(c)所示潤展至潤濕性比柵極絕緣膜12相對(duì)更為良好的漏電極14。通過調(diào)整漏電極14的開口直徑和疏液處理油墨22的涂布量，可以將疏液處理油墨22僅印刷在通孔形成預(yù)定部的漏電極14上。
[0057]接著，形成層間絕緣膜17。作為層間絕緣膜形成材料使用環(huán)氧樹脂。使用絲網(wǎng)印刷進(jìn)行形成，在90°C下干燥I小時(shí)，制成層間絕緣膜17。層間絕緣膜17按照將薄膜晶體管陣列51整體覆蓋的方式來印刷，但如圖4的(d)所示，相比較于通孔形成預(yù)定部的漏電極14進(jìn)一步擴(kuò)大開口地進(jìn)行印刷。
[0058]當(dāng)在基板上印刷層間絕緣膜形成材料的油墨時(shí)，油墨會(huì)流動(dòng)，但由于通孔形成預(yù)定部的漏電極14表面變?yōu)槭枰盒?，因此如圖4的(e)所示，在漏電極14的邊緣部分處，層間絕緣膜材的流動(dòng)停止，可以將通孔40設(shè)置在通孔形成預(yù)定部的漏電極14的外周形狀上。
[0059]之后，形成像素電極18。作為像素電極材料使用銀糊劑。像素電極18的形成使用絲網(wǎng)印刷，將銀糊劑完全地填充在通孔40內(nèi)。在圖案形成后，在90 °C下干燥I小時(shí)，從而制成像素電極18。
[0060]之后，在對(duì)向電極之間夾持電泳介質(zhì)20，將本實(shí)施例的顯示器驅(qū)動(dòng)。盡管是利用印刷法形成層間絕緣膜17，但也可使像素電極18與漏電極14之間的導(dǎo)通變得良好，可以進(jìn)行良好的圖像顯示。
[0061]<比較例1>
[0062]作為比較例I，示出圖5所示形態(tài)的底柵底觸型撓性薄膜晶體管陣列52的制造方法。本晶體管陣列的I個(gè)元件尺寸為300μπιΧ 300μπι、該元件有240 X 320個(gè)。
[0063]作為塑料基板10使用聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)膜，與實(shí)施例1同樣地形成柵電極
11、電容器電極19、柵極絕緣膜12、源電極13、漏電極14、半導(dǎo)體層15及保護(hù)層16。
[0064]使層間絕緣膜17為第一層間絕緣膜31和第二層間絕緣膜32的2層結(jié)構(gòu)，任一個(gè)層間絕緣膜31、32均使用與實(shí)施例1相同的材料和印刷方法。但是，第一層間絕緣膜31是在基板整面上以膜厚0.5μπι厚形成。在通孔部中使用噴墨印刷滴加3次的25pL左右的γ-丁內(nèi)酯的液滴。接著，為了使通孔部的漏電極14為疏液性，與實(shí)施例1同樣地使用噴墨印刷涂布疏液處理油墨22 ο接著，以膜厚2.5μπι厚形成第二層間絕緣膜32。
[0065]與實(shí)施例1同樣地形成像素電極18，在對(duì)向電極之間夾持電泳介質(zhì)20，對(duì)比較例I的顯示器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，結(jié)果在層間絕緣膜17的通孔部中開孔不充分的位置上，像素電極18與漏電極14的導(dǎo)通受到阻礙，滅點(diǎn)多，未能進(jìn)行良好的顯示。
[0066]如以上所說明的，根據(jù)本發(fā)明，可以提供在層間絕緣膜的形成中不使用光刻法、層間絕緣膜的缺陷少的薄膜晶體管陣列及圖像顯示裝置。
[0067]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0068]本發(fā)明的撓性薄膜晶體管可以作為撓性電子紙或撓性有機(jī)EL顯示器等的開關(guān)元件等進(jìn)行利用。進(jìn)而，對(duì)于其制造方法，通過使用本發(fā)明，可以對(duì)生產(chǎn)率的提高作出貢獻(xiàn)。具體地說，由于可以使用印刷法形成層間絕緣膜，因此可以形成大面積但生產(chǎn)間隔時(shí)間短的薄膜晶體管陣列。另外，由于在通孔部的漏電極上未涂布形成層間絕緣膜的樹脂，因此可充分地確保漏電極與像素電極的導(dǎo)通。由此，可以低成本且高品質(zhì)地制作能夠應(yīng)用于撓性顯示器或IC卡、IC標(biāo)簽等廣范圍的撓性薄膜晶體管。
[0069]符號(hào)說明
[0070]10塑料基板
[0071]11柵電極
[0072]12柵極絕緣膜
[0073]13Α源電極
[0074]13Β源電極
[0075]14漏電極
[0076]15半導(dǎo)體層
[0077]16保護(hù)層
[0078]17層間絕緣膜
[0079]18像素電極
[0080]19電容器電極[0081 ]20電泳介質(zhì)
[0082]21噴墨頭
[0083]22疏液處理油墨
[0084]31第一層間絕緣膜
[0085]32第二層間絕緣膜
[0086]40 通孔
[0087]50薄膜晶體管陣列
[0088]51薄膜晶體管陣列
[0089]52薄膜晶體管陣列
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種薄膜晶體管陣列，其是至少具備絕緣基板、柵電極、柵極絕緣膜、源電極、漏電極、半導(dǎo)體層、覆蓋所述半導(dǎo)體層的保護(hù)層、像素電極、以及形成在所述漏電極與所述像素電極之間的層間絕緣膜的薄膜晶體管陣列，其中， 所述層間絕緣膜是有機(jī)膜或有機(jī)與無機(jī)的混合膜， 所述層間絕緣膜在形成有所述漏電極的位置的一部分具有通孔以使所述像素電極連接于所述漏電極， 所述漏電極具有位于所述通孔內(nèi)且在電極材料上形成有開口的開口部， 在所述通孔內(nèi)的所述漏電極上存在硫醇基或二硫化物基。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管陣列，其中，所述通孔的開口端存在于所述漏電極的端部或所述漏電極上。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的薄膜晶體管陣列，其中，所述層間絕緣膜的厚度為0.5μπι以上且5μηι以下。4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的薄膜晶體管陣列，其中，所述層間絕緣膜利用噴墨印刷法、絲網(wǎng)印刷法或凹版膠印法形成。5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的薄膜晶體管陣列，其中，所述半導(dǎo)體層是有機(jī)半導(dǎo)體層。6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的薄膜晶體管陣列，其中，所述絕緣基板是塑料基板。7.—種圖像顯示裝置，其具備權(quán)利要求1?6中任一項(xiàng)所述的薄膜晶體管陣列和圖像顯示介質(zhì)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖像顯示裝置，其中，所述圖像顯示介質(zhì)是利用電泳方式的介質(zhì)。
【專利摘要】本發(fā)明提供在層間絕緣膜的形成中不使用光刻法、層間絕緣膜中缺陷少的薄膜晶體管陣列。薄膜晶體管陣列至少具備絕緣基板(10)、柵電極(11)、柵極絕緣膜(12)、源電極(13B)、漏電極(14)、半導(dǎo)體層(15)、覆蓋半導(dǎo)體層(15)的保護(hù)層(16)、像素電極(18)、以及形成在漏電極(14)與像素電極(18)之間的層間絕緣膜(17)。層間絕緣膜(17)是有機(jī)膜或有機(jī)與無機(jī)的混合膜，層間絕緣膜(17)在形成有漏電極(14)的位置的一部分具有通孔(40)以使像素電極(18)連接于漏電極(14)，漏電極(14)具有位于通孔(40)內(nèi)且在電極材料上形成有開口的開口部，在通孔(40)內(nèi)的漏電極(14)上存在硫醇基或二硫化物基。
【IPC分類】H01L21/288, H01L21/28, H01L51/05, H01L21/336, H01L29/786
【公開號(hào)】CN105580120
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480053246
【發(fā)明人】熊谷稔, 池田典昭
【申請(qǐng)人】凸版印刷株式會(huì)社
【公開日】2016年5月11日
【申請(qǐng)日】2014年9月11日
【公告號(hào)】WO2015045317A1