技術(shù)編號：9816501
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。近年來，從撓性化、輕量化、低成本化等觀點(diǎn)出發(fā)，使用了能夠利用印刷法制造的有機(jī)半導(dǎo)體的薄膜晶體管的研究盛行，期待其在有機(jī)EL或電子紙等的驅(qū)動電路或者電子標(biāo)簽等中的應(yīng)用。薄膜晶體管是層疊導(dǎo)電體、絕緣體及半導(dǎo)體等而成的。薄膜晶體管陣列根據(jù)結(jié)構(gòu)或用途而設(shè)有層間絕緣膜，介由設(shè)置于層間絕緣膜的通孔將上部的導(dǎo)電體與下部的導(dǎo)電體之間電連接。為了制成層間絕緣膜，廣泛使用下述方法使用等離子體CVD對無機(jī)膜的氮化硅或氧化硅進(jìn)行成膜，利用光致抗蝕劑形成所希望的開口部之后，利用干式...
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