的官能團的方法，可舉出W下方法。有在基材上設置表露出上述官能團的內涂層的 方法。有對基材實施電暈處理、等離子體處理、火焰處理等物理處理、或者、酸處理或堿處理 等化學處理的方法。其中，優(yōu)選設置內涂層的方法、進行電暈處理的方法。
[0058] [內涂層的形成方法]
[0059] 對于內涂層的親水性而言，與水的接觸角優(yōu)選在5~10°的范圍內。內涂層優(yōu)選使 用無機氧化物。其中，更優(yōu)選為W二氧化鐵、氧化侶、二氧化娃為主要成分的無機氧化物，進 一步優(yōu)選為W二氧化娃為主要成分的無機氧化物。本發(fā)明中，"主要成分"是指在全部成分 中的含量為50質量％ ^上的成分，更優(yōu)選含量為60質量％ ^上，進一步優(yōu)選含量為80質 量％ W上。（W下，關于其他材料的"主要成分"的說明也同樣）。上述物質在表面具有作為親 水基團的徑基，可獲得局萊水性，故而優(yōu)選。
[0060] 對于本發(fā)明的進行圖案化之前的導電層合體的制造中、將內涂層設置于基材上的 方法，沒有特別限定。可利用已知的濕式涂布方法，例如噴射涂布、浸潰涂布、旋轉涂布、刮 刀涂布、凹版涂布、縫模涂布（slot-die coating)、漉式涂布、棒式涂布(bar coating)、絲 網印刷、噴墨印刷、移印（pad printing)、其他印刷等。此外，也可利用干式涂布方法。作為 干式涂布方法，可利用瓣射、蒸鍛等物理氣相沉積、化學氣相沉積等。此外，內涂層的形成可 W分多次進行，也可W組合巧巾不同的形成方法。優(yōu)選的形成方法是作為濕式涂布法的凹版 涂布、棒式涂布、縫模涂布。
[0061] [內涂層的厚度的調整]
[0062] 內涂層厚度只要為可充分獲得親水性的厚度即可，并沒有限定，優(yōu)選為1~120nm 的厚度。若為可有效獲得基于光學干設的防反射效果的厚度，則光線透過率提高，故而優(yōu) 選。因此，與后述的外涂層的厚度的總和優(yōu)選在80~120nm的范圍內。
[0063] [導電體/碳納米管]
[0064] 本發(fā)明中可使用的碳納米管只要是實質上在側面具有石墨結構的筒狀即可，沒有 特別限定。將1片石墨卷繞成1層的單層碳納米管、卷繞成多層的多層碳納米管均可適用。其 中，若含有W根數計為50% W上的2層碳納米管(其為將1片石墨卷繞成2層的碳納米管），則 導電性及碳納米管在涂布用分散介質中的分散性變高，故而優(yōu)選。進一步優(yōu)選75% W上為2 層碳納米管，最優(yōu)選80% W上為2層碳納米管。此外，2層碳納米管從下述觀點考慮也是優(yōu)選 的：即使通過酸處理等而將表面官能團化，也不容易損害導電性等原本的功能。
[0065] 碳納米管例如可如下進行制造。使在氧化儀上擔載有鐵的粉末狀催化劑存在于水 平地設置在立式反應器中的網狀金屬板上。此時，催化劑均衡地存在于網狀金屬板上。然 后，沿垂直方向向該反應器內供給甲燒，于500~1，200°C使甲燒與上述催化劑接觸，制造碳 納米管。進一步對得到的碳納米管實施氧化處理，由此可得到含有單層~5層的碳納米管的 碳納米管。氧化處理例如可通過用硝酸進行處理的方法實施。硝酸作為針對碳納米管的滲 雜劑起作用，故而優(yōu)選。所謂滲雜劑，是起到對碳納米管賦予多余的電子、或奪取電子而形 成空穴的作用的物質，通過產生可自由活動的載體，從而使碳納米管的導電性提高。對于硝 酸處理的方法而言，只要可得到本發(fā)明的碳納米管，則沒有特別限定，通常在140°C左右的 油浴中進行。用硝酸進行處理的時間沒有特別限定，但優(yōu)選為5~50hr的范圍。在基材上形 成含有碳納米管的導電層的方法將在下文中說明。
[0066] [分散劑]
[0067] 可W使用用于涂布碳納米管等導電體的分散劑。作為分散劑，可舉出表面活性劑、 各種高分子材料(水溶性高分子材料等)等。其中，優(yōu)選為分散性高的離子性高分子材料。作 為離子性高分子材料，有陰離子性高分子材料、陽離子性高分子材料、兩性高分子材料。若 為對碳納米管的分散能力高、可保持分散性的分散劑，則任何種類均可W使用。從分散性及 分散保持性優(yōu)異的觀點考慮，優(yōu)選為陰離子性高分子材料。其中，簇甲基纖維素及其鹽(例 如，鋼鹽、錠鹽等）、及聚苯乙締橫酸的鹽可有效地使碳納米管分散，故而優(yōu)選。在使用簇甲 基纖維素鹽、聚苯乙締橫酸鹽的情況下，作為構成鹽的陽離子性物質，例如可使用裡、鋼、鐘 等堿金屬的陽離子;巧、儀、領等堿上金屬的陽離子;錠離子;或單乙醇胺、二乙醇胺、Ξ乙醇 胺、嗎嘟、乙胺、下胺、挪子油胺(coconut 0i 1 amine)、牛脂胺、乙二胺、六亞甲基二胺、二亞 乙基Ξ胺、聚乙締亞胺等有機胺的鐵離子;或它們的聚環(huán)氧乙燒加成物。當然并不限定于運 些。
[0068] [分散介質]
[0069] 對于用于分散碳納米管等導電體的分散介質而言，從可W容易地將上述分散劑溶 解的方面、廢液容易處理等觀點考慮，優(yōu)選為水。
[0070] [導電體分散液]
[0071] 本發(fā)明中使用的分散液的制備方法沒有特別限定，例如可通過W下步驟進行。由 于可W縮短分散時的處理時間，所W優(yōu)選W下方法:暫時制備在分散介質中W0.003~0.15 質量％的范圍含有碳納米管等導電體的分散液，然后對其進行稀釋，由此制成規(guī)定的濃度。 本發(fā)明中，分散劑相對于碳納米管等導電體的質量比優(yōu)選為0.1~10。若為上述優(yōu)選范圍， 則易于均勻地分散，導電性降低的影響少。質量比更優(yōu)選為0.5~9,進一步優(yōu)選為1~6,若 質量比為2~3,則可獲得高的透明導電性，因此特別優(yōu)選。作為進行制備時的分散方法，可 舉出下述方法:使用在涂布制造中慣用的混合分散機(例如球磨機、珠磨機、砂磨機、漉磨 機、均化器、超聲波均化器、高壓均化器、超聲波裝置、超微磨碎機(attritor)、DezoriAa攬 拌機、涂料混合器(paint shaker)等），將碳納米管和分散劑在分散介質中混合。此外，也可 W組合它們中的多種混合分散機而分階段地進行分散。其中，下述方法由于所得的涂布用 分散液中的導電體的分散性良好而優(yōu)選，所述方法為:使用振動球磨機進行預分散后，使用 超聲波裝置進行分散。
[0072] [碳納米管分散液的特性]
[0073] 對于本發(fā)明的制造方法中優(yōu)選使用的碳納米管的分散液而言，其pH優(yōu)選在5.5~ 11的范圍內。
[0074] 若碳納米管分散液的抑為5.5~11，則修飾碳納米管表面的簇酸等酸性官能團、位 于碳納米管周圍的分散劑中所含有的簇酸等酸性官能團的電離度提高。其結果是，碳納米 管或碳納米管周圍的分散劑帶負電荷。由此，碳納米管或碳納米管周圍的分散劑相互靜電 排斥，從而使得碳納米管的分散性進一步增加，能夠使管束直徑較小。優(yōu)選在使用上述混合 分散機將碳納米管與分散劑混合并進行分散的工序中進行抑調節(jié)。此外，在分散工序之后 進行抑調節(jié)也可獲得同樣的效果。
[0075] 碳納米管分散液的pH可通過向碳納米管分散液中添加基于阿侖尼烏斯定義的酸 性物質、堿性物質來進行調節(jié)。對于酸性物質而言，例如，作為質子酸，可舉出鹽酸、硫酸、硝 酸、憐酸、氣棚酸、氨氣酸、高氯酸等無機酸、有機簇酸、酪類、有機橫酸等。作為有機簇酸，例 如，可舉出甲酸、乙酸、草酸、苯甲酸、鄰苯二甲酸、馬來酸、富馬酸、丙二酸、酒石酸、巧樣酸、 乳酸、班巧酸、一氯乙酸、二氯乙酸、Ξ氯乙酸、Ξ氣乙酸、硝基乙酸、Ξ苯基乙酸等。作為有 機橫酸，例如，可舉出烷基苯橫酸、烷基糞橫酸、烷基糞二橫酸、糞橫酸甲醒縮聚物、Ξ聚氯 胺橫酸甲醒縮聚物、糞二橫酸、糞Ξ橫酸、二糞基甲燒二橫酸、蔥釀橫酸、蔥釀二橫酸、蔥橫 酸、巧橫酸等。上述酸中，優(yōu)選的是在涂布后的干燥時容易揮發(fā)的酸，例如鹽酸、硝酸等。
[0076] 作為堿性物質，例如，可舉出氨氧化鋼、氨氧化鐘、氨氧化巧、氨等。其中優(yōu)選的是 在涂布干燥時揮發(fā)的揮發(fā)堿，例如氨。
[0077] [碳納米管分散液的P的周節(jié)]
[0078] 碳納米管分散液的pH調節(jié)如下進行:一邊測定pH，一邊添加上述酸性物質或堿性 物質，直至變?yōu)樗谕囊?。作為pH測定方法，可舉出使用石蕊試紙等P訊式紙的方法、氨電 極法、釀氨釀電極法、錬電極法、玻璃電極法等。其中，玻璃電極法因簡便、可獲得需要的精 度而優(yōu)選。此外，在過量地添加酸性物質或堿性物質而超過所期望的pH值的情況下，只要添 加具有相反特性的物質來調節(jié)抑即可。作為適用于上述調整的酸性物質，優(yōu)選硝酸;作為堿 性物質，優(yōu)選氨。
[0079] [含有包含碳原子的導電體的導電層的形成]
[0080] 將含有導電體的分散液涂布于基材上(或內涂層上），進一步進行干燥，從而得到 導電層。含有導電體的導電層經由下述工序形成:涂布工序，將含有導電體的分散液涂布于 基材上;和干燥工序，在涂布工序之后除去分散介質。將分散液涂布于基材上的方法沒有特 別限定。可利用已知的涂布方法，例如噴射涂布、浸潰涂布、旋轉涂布、刮刀涂布、凹版涂布、 縫模涂布、棒式涂布、漉式涂布、絲網印刷、噴墨印刷、移印、其他種類的印刷等。此外，涂布 可W分多次進行，也可W組合巧巾不同的涂布方法。最優(yōu)選的涂布方法是凹版涂布、棒式涂 布、縫模涂布。作為在涂布工序之后、從所涂布的含有分散劑的碳納米管分散液中除去分散 介質的干燥工序，可舉出對基材吹熱風的對流熱風干燥;通過來自于紅外線干燥裝置的福 射而使基材吸收紅外線，從而轉變?yōu)闊岫M行加熱使其干燥的福射電熱干燥;通過來自于 被熱介質加熱的壁面的熱傳導而進行加熱使其干燥的傳導電熱干燥等。其中，對流熱風干 燥因干燥速度大而優(yōu)選。
[0081] [含有導電體的導電層的厚度的調整]
[0082] 將含有碳管(carbon tube)等包含碳原子的導電體的分散液涂布于基材上時的涂 布厚度也依賴于分散液的濃度，因此，只要進行適宜調整W得到期望的表面電阻值即可。為 了達成需要導電性的各種用途，本發(fā)明中的導電體的涂布量可W容易地進行調整。若要求 透明性，則優(yōu)選的厚度為0.1~lOmg/m 2。
[008；3][外涂層]
[0084] 導電層合體中可W具有外涂層。通過具有外涂層，可W進一步提高透明導電性、耐 熱性穩(wěn)定性、耐濕熱穩(wěn)定性，故而優(yōu)選。
[0085] 作為外涂層的材料，有機材料、無機材料均可W使用。其中，從電阻值的穩(wěn)定性的 觀點考慮，優(yōu)選無機材料。作為無機材料，可舉出二氧化娃、氧化錫、氧化侶、氧化錯、二氧化 鐵等金屬氧化物。其中，從電阻值的穩(wěn)定性的觀點考慮，優(yōu)選二氧化娃。
[0086] [外涂層的形成方法]
[0087] 對于進行圖案化之前的導電層合體的制造中設置外涂層的方法沒有特別限定。可 利用已知的濕式涂布方法，例如噴射涂布、浸潰涂布、旋轉涂布、刮刀涂布、吻合涂布、漉式 涂布、凹版涂布、縫模涂布、棒式涂布