鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置的制造方法
【專利說明】鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及硅片鏈?zhǔn)綌U(kuò)散設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鏈?zhǔn)街平q槽非制絨面涂磷設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0003]擴(kuò)散是晶硅太陽(yáng)能電池制造的關(guān)鍵步驟之一，常用的擴(kuò)散方式有管式擴(kuò)散和鏈?zhǔn)綌U(kuò)散，管式擴(kuò)散通過通入三氯氧磷和氧氣，在硅片表面生成磷單質(zhì)后再向內(nèi)擴(kuò)散形成PN結(jié)。鏈?zhǔn)綌U(kuò)散通過在制絨面噴涂磷酸，磷酸分解后和硅反應(yīng)生成磷單質(zhì)。
[0004]多晶硅中有大量的缺陷和金屬雜質(zhì)，這些缺陷和金屬雜質(zhì)會(huì)形成一些深能級(jí)，并成為載流子的復(fù)合中心，影響電池的效率，因此減少雜質(zhì)的影響能一定程度上提高載流子壽命，從而提高電池的效率。生產(chǎn)中常用的吸雜方式有鋁吸雜和磷吸雜，鋁吸雜是通過在硅片印刷鋁背場(chǎng)達(dá)到吸雜效果，磷吸雜是通過在硅片背表面擴(kuò)磷原子達(dá)到吸雜作用，吸雜效果和磷原子的濃度有關(guān)。
[0005]

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，使用該設(shè)備可以在硅片非制絨面涂上磷酸，擴(kuò)散后使硅片背面形成一定濃度磷原子，達(dá)到磷吸雜的目的。
[0007]本發(fā)明為了解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸，吸液外圈和儲(chǔ)酸槽，所述吸液外圈固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸的中間，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的兩端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于儲(chǔ)酸槽的上方，所述儲(chǔ)酸槽一側(cè)設(shè)有進(jìn)酸口，儲(chǔ)酸槽的下方設(shè)有出酸口，儲(chǔ)酸槽內(nèi)還設(shè)有一液位傳感器，所述液位傳感器連接控制進(jìn)酸口開關(guān)的進(jìn)酸控制器。
[0008]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述吸液外圈的材料為耐酸腐蝕性吸水材料。
[0009]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述吸液外圈的材料為耐酸腐蝕性海綿、紗布和帶有螺紋的滾輪中的一種或幾種的組合。
[0010]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述吸液外圈的內(nèi)徑為1-10厘米，吸液外圈的外徑為2-20厘米。
[0011]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的吸液外圈長(zhǎng)度為10-200厘米。
[0012]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的儲(chǔ)酸槽為長(zhǎng)方體槽體，長(zhǎng)度為10-200厘米，寬度為3-100厘米，高度為3-50厘米。
[0013]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸兩端有傳動(dòng)齒輪，傳動(dòng)齒輪受傳動(dòng)鏈帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0014]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的出酸口設(shè)在儲(chǔ)酸槽的底部作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的進(jìn)酸口設(shè)在儲(chǔ)酸槽側(cè)面，進(jìn)酸口上有控制閥門。
[0015]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述液位傳感器由壓力傳感器，電容式液位傳感器和電動(dòng)浮筒液位傳感器組成。
[0016]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明使硅片在擴(kuò)散的時(shí)候能夠在非制絨面也摻入磷原子，使非制絨面形成磷吸雜效應(yīng)，提高了載流子的壽命，增加了電池的效率，本設(shè)備簡(jiǎn)單易改造，具有良好的可操作性。
[0017]
【附圖說明】
[0018]圖1為本發(fā)明的實(shí)施例一的主視圖；
圖2為本發(fā)明的實(shí)施例一的側(cè)視圖；
圖3為本發(fā)明的實(shí)施例二的主視圖；
圖4為本發(fā)明的實(shí)施例二的側(cè)視圖；
【具體實(shí)施方式】
[0019]為了加深對(duì)本發(fā)明的理解，下面將結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述，該實(shí)施例僅用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。
[0020]實(shí)施例一
圖1為本發(fā)明的設(shè)備結(jié)構(gòu)，吸液外圈2的材料為耐酸腐蝕性海綿，吸液外圈2的內(nèi)徑為3厘米，吸液外圈2的外徑為5厘米，吸液外圈2的長(zhǎng)度為100厘米，儲(chǔ)酸槽3為長(zhǎng)方體槽體，長(zhǎng)度為110厘米，寬度為20厘米，高度為30厘米，轉(zhuǎn)動(dòng)軸I兩端有傳動(dòng)齒輪，傳動(dòng)齒輪受傳動(dòng)鏈帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，儲(chǔ)酸槽3上有進(jìn)酸口，進(jìn)酸口 4在儲(chǔ)酸槽3的側(cè)面，位置接近底部，儲(chǔ)酸槽3上有出酸口 5，出酸口 5在儲(chǔ)酸槽3的底部，儲(chǔ)酸槽3槽內(nèi)底部有液位傳感器7，液位傳感器7由壓力傳感器，電容式液位傳感器和電動(dòng)浮筒液位傳感器組成。
[0021]液位傳感器用于測(cè)量磷酸6的液位并通過電腦控制進(jìn)酸口的開關(guān)，當(dāng)液位過低時(shí)進(jìn)酸口打開，磷酸6從外圍進(jìn)入儲(chǔ)酸槽3，當(dāng)液位達(dá)到一定高度時(shí)，進(jìn)酸口 4的閥門閉合?？刂埔何荒苁刮和馊? —部分浸泡在磷酸6溶液中，當(dāng)滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)起來(lái)的時(shí)候，整個(gè)吸液外圈3都能吸滿磷酸6溶液。硅片從滾輪上方移動(dòng)時(shí)，吸液外圈2與硅片接觸，受到硅片重量的擠壓，吸液外圈3內(nèi)吸收的液體會(huì)向外溢出，沾到硅片的底部，達(dá)到在硅片非制絨面涂上磷酸6的目的。
[0022]實(shí)施例二
圖3為本發(fā)明的設(shè)備結(jié)構(gòu)，吸液外圈12為帶有單頭螺紋滾輪，吸液外圈12的內(nèi)徑為2厘米，吸液外圈12的外徑為6厘米，吸液外圈2的長(zhǎng)度為160厘米，單頭螺紋之間的間距為5厘米，單頭螺紋的高度為0.5厘米，單頭螺紋的傾角為60度，儲(chǔ)酸槽13為長(zhǎng)方體槽體，長(zhǎng)度為150厘米，寬度為30厘米，高度為40厘米，轉(zhuǎn)動(dòng)軸11兩端有傳動(dòng)齒輪，傳動(dòng)齒輪受傳動(dòng)鏈帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，儲(chǔ)酸槽13上有進(jìn)酸口，進(jìn)酸口 14在儲(chǔ)酸槽13的側(cè)面，位置接近底部，儲(chǔ)酸槽13上有出酸口 15，出酸口 15在儲(chǔ)酸槽13的底部，儲(chǔ)酸槽13槽內(nèi)底部有液位傳感器17，液位傳感器17由壓力傳感器，電容式液位傳感器和電動(dòng)浮筒液位傳感器組成。
[0023]液位傳感器用于測(cè)量磷酸16的液位并通過電腦控制進(jìn)酸口的開關(guān)，當(dāng)液位過低時(shí)進(jìn)酸口打開，磷酸16從外圍進(jìn)入儲(chǔ)酸槽13，當(dāng)液位達(dá)到一定高度時(shí)，進(jìn)酸口 14的閥門閉合。控制液位能使吸液外圈12 —部分浸泡在磷酸16溶液中，當(dāng)滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)起來(lái)的時(shí)候，單頭螺紋隨著轉(zhuǎn)動(dòng)軸11滾動(dòng)，螺紋的紋理結(jié)構(gòu)將磷酸16帶動(dòng)起來(lái)，使單頭螺紋的表面會(huì)沾滿磷酸16，單頭螺紋表面起伏的紋理起著帶動(dòng)和臨時(shí)儲(chǔ)蓄液體的作用。硅片從滾輪上方移動(dòng)時(shí)，螺紋紋理與硅片接觸，從儲(chǔ)酸槽13帶上來(lái)的磷酸16就會(huì)沾到硅片的下表面，達(dá)到在硅片非制絨面涂上磷酸16的目的。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸、吸液外圈和儲(chǔ)酸槽，所述吸液外圈固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸的中間，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的兩端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于儲(chǔ)酸槽的上方，所述儲(chǔ)酸槽一側(cè)設(shè)有進(jìn)酸口，儲(chǔ)酸槽的下方設(shè)有出酸口，儲(chǔ)酸槽內(nèi)還設(shè)有一液位傳感器，所述液位傳感器連接控制進(jìn)酸口開關(guān)的進(jìn)酸控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:所述吸液外圈的材料為耐酸腐蝕性吸水材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:所述吸液外圈的材料為耐酸腐蝕性海綿、紗布和帶有螺紋的滾輪中的一種或幾種的組合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:所述吸液外圈的內(nèi)徑為1-10厘米，吸液外圈的外徑為2-20厘米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:所述的吸液外圈長(zhǎng)度為10-200厘米。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:所述的儲(chǔ)酸槽為長(zhǎng)方體槽體，長(zhǎng)度為10-200厘米，寬度為3-100厘米，高度為3-50厘米。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:所述的轉(zhuǎn)動(dòng)軸兩端有傳動(dòng)齒輪，傳動(dòng)齒輪受傳動(dòng)鏈帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:所述的出酸口設(shè)在儲(chǔ)酸槽的底部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:所述的進(jìn)酸口設(shè)在儲(chǔ)酸槽側(cè)面，進(jìn)酸口上有控制閥門。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，其特征在于:所述液位傳感器由壓力傳感器，電容式液位傳感器和電動(dòng)浮筒液位傳感器組成。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷裝置，包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸、吸液外圈和儲(chǔ)酸槽，所述吸液外圈固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸的中間，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的兩端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于儲(chǔ)酸槽的上方，所述儲(chǔ)酸槽一側(cè)設(shè)有進(jìn)酸口，儲(chǔ)酸槽的下方設(shè)有出酸口，儲(chǔ)酸槽內(nèi)還設(shè)有一液位傳感器，所述液位傳感器連接控制進(jìn)酸口開關(guān)的進(jìn)酸控制器。本發(fā)明充分利用了滾輪攜帶磷酸，并將磷酸均勻涂抹到硅片背面從而實(shí)現(xiàn)鏈?zhǔn)綌U(kuò)散非制絨面涂磷的目的，使得在擴(kuò)散中實(shí)現(xiàn)和提高磷吸雜的作用，最終提高電池的轉(zhuǎn)化效率。
【IPC分類】H01L31-18, H01L21-225
【公開號(hào)】CN104766908
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510171406
【發(fā)明人】陶龍忠, 王學(xué)正, 李海波, 楊灼堅(jiān), 張堯
【申請(qǐng)人】蘇州潤(rùn)陽(yáng)光伏科技有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請(qǐng)日】2015年4月13日