柔性有機發(fā)光二極管顯示器及其制造方法
【技術領域】
[0001]所描述的技術總體上涉及一種柔性有機發(fā)光二極管顯示器及其制造方法，更具體地講，涉及一種具有包括多個無機層和有機層的薄膜包封層結構的柔性有機發(fā)光二極管顯示器。
【背景技術】
[0002]有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器包括有機發(fā)光二極管(OLED)，每個有機發(fā)光二極管包括空穴注入電極、有機發(fā)射層和電子注入電極。
[0003]每個OLED利用(使用)當電子和空穴在有機發(fā)射層中結合產(chǎn)生激子并且激子從激發(fā)態(tài)降至基態(tài)時產(chǎn)生的能量來發(fā)射光。
[0004]當包括OLED的OLED顯示器的基底由柔性膜(諸如聚酰亞胺等)形成時，OLED顯示器可以是易彎曲的，并有利于形成纖薄結構。
[0005]當柔性OLED顯示器被彎曲時，產(chǎn)生應力，具體而言，在其凸面外側處產(chǎn)生拉伸應力而在其凹面內(nèi)側處產(chǎn)生壓縮應力，沒有產(chǎn)生應力的中立面NP處于它們之間的中間區(qū)域中。
[0006]當(例如，僅當)多個OLED位于中立面處(例如，位于中立面中)時，在OLED顯示器中不發(fā)生圖片異常。
[0007]然而，當有機發(fā)光二極管顯示器的厚度由于內(nèi)部膜和外部膜(諸如附著到有機發(fā)光二極管顯示器的偏振膜和鈍化膜)而增加時，拉伸應力和壓縮應力增加，使得中立面變窄，從而難以在中立面處設置有機發(fā)光元件。
[0008]此外，由于OLED顯示器具有復合材料層疊的結構，因此由于施加于彎曲部分的外側和內(nèi)側的拉伸應力和壓縮應力之間的差異而發(fā)生張力的不對稱。因此，難以在中立面處設置OLED，從而導致顯示缺陷。
[0009]另外，當OLED顯示器被彎曲時，由于因過度應力形成的裂紋，會在顯示區(qū)域中產(chǎn)生濕氣滲入路徑。另外，形成薄膜包封層的有機層和無機層的變形會引起顯示區(qū)域的變形或其他缺陷。
[0010]在該【背景技術】部分中公開的上述信息，只是為了增強對所描述技術的背景的理解，因此，上述信息可能包含本領域普通技術人員在本國已經(jīng)知曉的不形成現(xiàn)有技術的信
肩、O

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]所描述的技術的實施例的一方面致力于提供一種柔性有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器，具有以下優(yōu)點:當柔性OLED顯示器被彎曲或折疊時，防止或減小在薄膜包封層的無機層處產(chǎn)生裂紋和/或防止或減小濕氣從薄膜包封層向顯示區(qū)域中的滲入。
[0012]根據(jù)示例性實施例的柔性有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器包括:基底；有機發(fā)光二極管(OLED)層，設置在基底上；薄膜包封層，設置在OLED層上。所述薄膜包封層包括:多個層疊的無機層，所述多個無機層中的至少一個無機層包括被設置為在平面上彼此隔開的多個無機層圖案；以及有機層，形成在所述多個無機層圖案之間。
[0013]在根據(jù)示例性實施例的柔性OLED顯示器中，所述至少一個無機層、所述多個無機層圖案和有機層可以分別為第一無機層、第一無機層圖案和第一有機層，第二無機層可以設置在第一有機層上并且可以包括設置在第一無機層圖案之間以彼此隔開的多個第二無機層圖案。
[0014]所述柔性OLED顯示器還可以包括:第二有機層，設置在所述多個第二無機層圖案之間；以及第三無機層，設置在第二有機層上并且包括設置在第二無機層圖案之間以彼此隔開的多個第三無機層圖案。
[0015]第一無機層圖案和第二無機層圖案可以彼此部分地接觸。
[0016]所述多個無機層可以設置在有機發(fā)光二極管層的有機發(fā)射層上方。
[0017]所述多個無機層圖案可以通過相應的不同層的無機層的無機層圖案而彼此結合。
[0018]所述多個無機層圖案可以形成為正方形形狀重復地設置在平面上的矩陣形式。
[0019]所述多個無機層圖案可以形成為圓形形狀重復地設置在平面上的矩陣形式。
[0020]所述多個無機層圖案可以形成為矩形形狀重復地設置在平面上的矩陣形式。
[0021 ] 所述多個無機層圖案可以沿基底可彎曲的方向布置。
[0022]所述多個無機層圖案可以形成為三角錐形重復地設置的矩陣形式。
[0023]所述多個無機層圖案可以在基底被彎曲的彎曲區(qū)域中和在基底未被彎曲的非彎曲區(qū)域中分別具有不同的尺寸。
[0024]根據(jù)示例性實施例的柔性OLED顯示器的制造方法包括:在基底上形成OLED層，所述OLED層包括結合到晶體管的陽極、在陽極上的有機發(fā)射層和在有機發(fā)射層上的陰極；以及在OLED層上形成薄膜包封層。形成薄膜包封層的步驟包括:第一沉積操作，在OLED層上沉積第一無機層；第一蝕刻操作，將第一無機層圖案化以包括被設置為彼此隔開的多個第一無機層圖案；第二沉積操作，使用(利用)第一掩模在被圖案化的第一無機層圖案之間沉積第一有機層；第三沉積操作，在第一有機層上沉積第二無機層；第二蝕刻操作，將第二無機層圖案化以包括被設置為彼此隔開的多個第二無機層圖案。
[0025]在第二蝕刻操作之后，根據(jù)示例性實施例的柔性OLED顯示器的制造方法還可以包括:第四沉積操作，在被圖案化的第二無機層圖案之間沉積第二有機層；第五沉積操作，在第二有機層上沉積第三無機層；以及第三蝕刻操作，將第三無機層圖案化以包括被設置為彼此隔開的多個第三無機層圖案。
[0026]根據(jù)示例性實施例，當柔性OLED顯示器被彎曲或折疊時，無機層的應力被薄膜包封層的無機層的無機層圖案減輕，從而防止在無機層處產(chǎn)生裂紋和/或防止?jié)駳鈴谋∧ぐ鈱訚B入到顯示區(qū)域中。
【附圖說明】
[0027]圖1是根據(jù)示例性實施例的柔性有機發(fā)光二極管(OLED)顯示器的像素結構的布局視圖。
[0028]圖2是示出沿著圖1的線I1-1I截取的OLED顯示器的剖面的圖。
[0029]圖3是根據(jù)示例性實施例的OLED顯示器的示意性剖視圖。
[0030]圖4是根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的基底的一個示例的示意性剖視圖。
[0031]圖5是根據(jù)其它示例性實施例的薄膜包封層的示意性剖視圖。
[0032]圖6是圖3的薄膜包封層的示意性俯視圖。
[0033]圖7是圖5的薄膜包封層的示意性俯視圖。
[0034]圖8是根據(jù)其它示例性實施例的薄膜包封層的示意性剖視圖。
[0035]圖9是根據(jù)其它示例性實施例的薄膜包封層的示意性剖視圖。
[0036]圖10是圖8的薄膜包封層的示意性俯視圖。
[0037]圖11是圖9的薄膜包封層的示意性俯視圖。
[0038]圖12是根據(jù)其它示例性實施例的薄膜包封層的示意性剖視圖。
[0039]圖13是圖12的薄膜包封層的示意性俯視圖。
[0040]圖14是根據(jù)其它示例性實施例的薄膜包封層的示意性剖視圖。
[0041]圖15是圖14的薄膜包封層的示意性俯視圖。
[0042]圖16是根據(jù)其它示例性實施例的薄膜包封層的示意性剖視圖。
[0043]圖17是圖16的薄膜包封層的示意性俯視圖。
[0044]圖18是根據(jù)其它示例性實施例的薄膜包封層的示意性剖視圖。
【具體實施方式】
[0045]將在下文中參照附圖更充分地描述本發(fā)明，在附圖中示出了本發(fā)明的示例性實施例。
[0046]如本領域技術人員將認識到的，在均不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可以以各種不同的方式修改所描述的實施例。
[0047]此外，在示例性實施例中，由于同樣的附圖標記指示具有相同構造的同樣的元件，因此有代表性地描述第一示例性實施例，而在其他示例性實施例中，將僅描述與第一示例性實施例不同的構造。
[0048]附圖是示意性的，并且未必按照比例來示出。
[0049]為了清楚和方便起見，夸大或縮小附圖中的部件的相對尺寸和比例，任意尺寸僅為示例性的并且不作為限制。
[0050]通過同樣的附圖標記來指示在不少于兩幅附圖中示出的同樣的結構、元件或部件，以代表類似的特性。
[0051]當部件被稱作“在”另一部件“上”時，該部件可以直接在另一部件上，或者還可以存在一個或更多個中間部件。相反，當元件或層被稱作“直接在…上”時，沒有中間元件或層存在。
[0052]示例性實施例具體示出一個示例性實施例。結果，附圖的各種修改是可預知的。
[0053