03和缺口 104可以按實(shí)際需要設(shè)置成其他形狀和大小，例如三角形或方形。
[0025]上述工夾具，在一線人員對帶有平邊的晶圓進(jìn)行臨時(shí)鍵合時(shí)提供輔助，由于上述工夾具的承載臺(tái)100形狀和晶圓形狀基本適配，在限位件110的限位下能有效輔助一線人員在進(jìn)行臨時(shí)鍵合時(shí)進(jìn)行精確對位以及后續(xù)壓合，減少或避免后續(xù)的移動(dòng)對位。承載臺(tái)100的弧邊101設(shè)有半徑為15mm的弧形缺口 103和缺口 104，方便一線人員在完成鍵合后可以從缺口處夾持晶圓，然后提起并取出晶圓。
[0026]在本實(shí)施例中，承載臺(tái)100的直徑為150?150.15mm，平邊102的長為57.5?59.5mm，適用于6寸的帶平邊的晶圓。在其他實(shí)施例中，承載臺(tái)100的直徑和平邊102的長可以按需改變設(shè)計(jì)以適合不同寸數(shù)的晶圓。平邊102的作用在于限位晶圓的平邊，在其他實(shí)施例中，可以是類平邊的形狀，只要起到限位平邊即可。在本實(shí)施例中，承載臺(tái)100的邊緣101設(shè)有缺口 103和缺口 104，在其他實(shí)施例中，還可以只設(shè)置一個(gè)缺口或多個(gè)缺口。
[0027]圖3為沿圖2的A-A’剖面線的剖視圖。
[0028]請結(jié)合圖1、圖2和圖3。在本實(shí)施例中，承載臺(tái)100的平邊102兩端設(shè)有呈半圓形的凸起105和凸起106，限位件110在與承載臺(tái)100的平邊102兩端對應(yīng)處分別形成一條與承載臺(tái)100垂直并延伸到限位件110邊緣的凹槽，限位件110在對應(yīng)凸起105處形成凹槽112，限位件110在對應(yīng)凸起106處形成凹槽114，平邊102的長為57.5mm,凸起105和凸起106的直徑都為1mm，在其他實(shí)施例中凸起105和凸起106的形狀可以三角形或方形，大小的設(shè)置以晶圓移動(dòng)小于1_的大小為標(biāo)準(zhǔn)。
[0029]上述工夾具的承載臺(tái)100的平邊102兩端設(shè)有直徑為Imm的半圓形凸起，限位件110在對應(yīng)凸起105處形成凹槽112，限位件110在對應(yīng)凸起106處形成凹槽114，這樣的設(shè)計(jì)既可以方便在形狀與晶圓相仿的收容空間里取放晶圓(晶圓兩邊角位于凹槽以減少取放晶圓時(shí)與工夾具的觸碰)，也可以保證后續(xù)的可能移動(dòng)對位在較小的范圍(左右移動(dòng)小于凸起的直徑1mm，共2mm)里，從而降低后續(xù)腐蝕作業(yè)掉片的可能性。
[0030]在本實(shí)施例中，上述工夾具還包括支撐部120，支撐部120位于承載臺(tái)100相對于限位件110的一側(cè)，用于支撐承載臺(tái)100。支撐部120為沿著承載臺(tái)100的不包含缺口 103和缺口 104的邊緣環(huán)繞而成的壁板，壁板與承載臺(tái)100形成第二收容空間130。具有一定高度的支撐部120和第二收容空間130可以使一線工作人員在夾取晶圓時(shí)能有更大的操作空間。在本實(shí)施例中，支撐部120高度為18?22mm，優(yōu)選為20mm，限位件110和支撐部120的高度之和優(yōu)選為40mm。
[0031]在本實(shí)施例中，限位件110與承載臺(tái)100成90度。當(dāng)然，也可以設(shè)置成90度?92度，稍微有點(diǎn)傾斜的限位件110方便晶圓的取放。傾斜角度可以按員工操作經(jīng)驗(yàn)來確定，可以是92度?95度之間，或者更大的角度95度?100度。
[0032]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種工夾具，其特征在于，包括用于承載晶圓的承載臺(tái)和將晶圓限制在所述承載臺(tái)的表面范圍內(nèi)的限位件，所述限位件沿所述承載臺(tái)的邊緣環(huán)繞設(shè)置，所述限位件與所述承載臺(tái)形成收容空間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工夾具，其特征在于，所述承載臺(tái)與晶圓的形狀適配，為具有一段平邊的圓形板狀，所述承載臺(tái)的平邊與晶圓的平邊長度一致。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工夾具，其特征在于，所述承載臺(tái)的邊緣開設(shè)有缺口。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工夾具，其特征在于，所述承載臺(tái)的直徑為所承載的晶圓的直徑至所述晶圓的直徑加上第一容差的范圍內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工夾具，其特征在于，所述晶圓為6寸，所述承載臺(tái)的直徑為150?150.15mm，所述平邊的長為57.5?59.5mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工夾具，其特征在于，所述限位件為環(huán)繞所述承載臺(tái)邊緣的彎板，并且所述彎板的彎曲弧面與所述承載臺(tái)垂直。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的工夾具，其特征在于，所述承載臺(tái)的邊緣上的平邊的兩端設(shè)有凸起，所述彎板在與承載臺(tái)的平邊兩端對應(yīng)處分別形成一條與承載臺(tái)垂直并延伸到所述彎板邊緣的凹槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工夾具，其特征在于，所述承載臺(tái)的邊緣開設(shè)有兩個(gè)相互對稱的缺口，所述缺口呈弧形，所述缺口的弧形的半徑為15mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工夾具，其特征在于，包括支撐部，所述支撐部位于所述承載臺(tái)相對于所述限位件的一側(cè)，用于支撐所述承載臺(tái)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的工夾具，其特征在于，所述支撐部為沿著所述承載臺(tái)的不包含所述缺口的邊緣環(huán)繞而成的壁板，所述壁板與所述承載臺(tái)形成第二收容空間。
【專利摘要】一種工夾具，包括用于承載晶圓的承載臺(tái)和將晶圓限制在所述承載臺(tái)的表面范圍內(nèi)的限位件，所述限位件沿所述承載臺(tái)的邊緣環(huán)繞設(shè)置，所述限位件與所述承載臺(tái)形成收容空間。在一線人員對圓晶圓進(jìn)行臨時(shí)鍵合時(shí)提供輔助，在限位件的限位下能有效輔助一線人員在進(jìn)行臨時(shí)鍵合時(shí)進(jìn)行精確對位以及后續(xù)壓合，減少或避免后續(xù)的移動(dòng)對位。
【IPC分類】H01L21-687
【公開號(hào)】CN104576492
【申請?zhí)枴緾N201310508381
【發(fā)明人】徐春云, 徐振宇
【申請人】無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2013年10月24日