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工夾具的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8262262

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在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,為了解決薄晶圓的支撐和傳輸問(wèn)題,業(yè)界通常采用臨時(shí)鍵合的工藝方法,其主要原理就是將晶圓和直徑相仿的載片使用光刻膠等中間介質(zhì)進(jìn)行黏附性臨時(shí)鍵合,利用該載片來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)薄晶圓的支撐和傳輸,同時(shí)可以防止薄晶圓變形,在完成相關(guān)工藝后再將載片從薄晶圓上解離。傳統(tǒng)的臨時(shí)鍵合工藝完全靠一線人員憑感覺(jué)和經(jīng)驗(yàn)來(lái)對(duì)位,由于晶圓上有黏膠,一旦晶圓和載片接觸后,如果出現(xiàn)沒(méi)有完全對(duì)位好的情況時(shí)很難再進(jìn)行后續(xù)移動(dòng)對(duì)位,而且移動(dòng)對(duì)位超過(guò)2mm以后會(huì)導(dǎo)致腐蝕作業(yè)時(shí)候經(jīng)常掉片。...
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