工夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是涉及一種工夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，為了解決薄晶圓的支撐和傳輸問(wèn)題，業(yè)界通常采用臨時(shí)鍵合的工藝方法，其主要原理就是將晶圓和直徑相仿的載片使用光刻膠等中間介質(zhì)進(jìn)行黏附性臨時(shí)鍵合，利用該載片來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)薄晶圓的支撐和傳輸，同時(shí)可以防止薄晶圓變形，在完成相關(guān)工藝后再將載片從薄晶圓上解離。傳統(tǒng)的臨時(shí)鍵合工藝完全靠一線人員憑感覺(jué)和經(jīng)驗(yàn)來(lái)對(duì)位，由于晶圓上有黏膠，一旦晶圓和載片接觸后，如果出現(xiàn)沒(méi)有完全對(duì)位好的情況時(shí)很難再進(jìn)行后續(xù)移動(dòng)對(duì)位，而且移動(dòng)對(duì)位超過(guò)2mm以后會(huì)導(dǎo)致腐蝕作業(yè)時(shí)候經(jīng)常掉片。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]基于此，有必要提供一種能精確對(duì)位以減少和避免后續(xù)移動(dòng)對(duì)位的工夾具。
[0004]一種工夾具，包括用于承載晶圓的承載臺(tái)和將晶圓限制在所述承載臺(tái)的表面范圍內(nèi)的限位件，所述限位件沿所述承載臺(tái)的邊緣環(huán)繞設(shè)置，所述限位件與所述承載臺(tái)形成收容空間。
[0005]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述承載臺(tái)與晶圓的形狀適配，為具有一段平邊的圓形板狀，所述承載臺(tái)的平邊與晶圓的平邊長(zhǎng)度一致。
[0006]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述承載臺(tái)的邊緣開(kāi)設(shè)有缺口。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述承載臺(tái)的直徑為所承載的晶圓的直徑至所述晶圓的直徑加上第一容差的范圍內(nèi)。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述晶圓為6寸,所述承載臺(tái)的直徑為150?150.15mm,所述平邊的長(zhǎng)為57.5?59.5mm。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述限位件為環(huán)繞所述承載臺(tái)邊緣的彎板，并且所述彎板的彎曲弧面與所述承載臺(tái)垂直。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述承載臺(tái)的邊緣上的平邊的兩端設(shè)有凸起，所述彎板在與承載臺(tái)的平邊兩端對(duì)應(yīng)處分別形成一條與承載臺(tái)垂直并延伸到所述彎板邊緣的凹槽。
[0011]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述承載臺(tái)的邊緣開(kāi)設(shè)有兩個(gè)相互對(duì)稱的缺口，所述缺口呈弧形，所述缺口的弧形的半徑為15mm。
[0012]在其中一個(gè)實(shí)施例中，包括支撐部，所述支撐部位于所述承載臺(tái)相對(duì)于所述限位件的一側(cè)，用于支撐所述承載臺(tái)。
[0013]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述支撐部為沿著所述承載臺(tái)的不包含所述缺口的邊緣環(huán)繞而成的壁板，所述壁板與所述承載臺(tái)形成第二收容空間。
[0014]上述工夾具，在一線人員對(duì)晶圓進(jìn)行臨時(shí)鍵合時(shí)提供輔助，由于上述工夾具的承載臺(tái)形狀設(shè)計(jì)得和晶圓的形狀基本相仿，在限位件的限位下能有效輔助一線人員在進(jìn)行臨時(shí)鍵合時(shí)進(jìn)行精確對(duì)位以及后續(xù)壓合，減少或避免后續(xù)的移動(dòng)對(duì)位。上述工夾具的承載臺(tái)設(shè)計(jì)為具有一段平邊的圓形板狀，在一線人員對(duì)帶有平邊的晶圓進(jìn)行臨時(shí)鍵合時(shí)提供輔助，承載臺(tái)的弧邊設(shè)有半徑為15_的弧形缺口，方便一線人員在完成鍵合后可以從缺口處夾持晶圓，然后提起并取出晶圓。
[0015]上述工夾具承載臺(tái)的直徑為所承載的晶圓的直徑至所述晶圓的直徑加上第一容差的范圍內(nèi)，為150?150.15mm，平邊的長(zhǎng)為57.5?59.5mm，可以應(yīng)用于6寸的帶平邊的圓晶圓。上述工夾具承載臺(tái)的邊緣上的平邊的兩端設(shè)有直徑為Imm的半圓形凸起，限位件為環(huán)繞承載臺(tái)邊緣的彎板，并且彎板的彎曲弧面與承載臺(tái)垂直，彎板在與承載臺(tái)的平邊兩端對(duì)應(yīng)處分別形成一條與承載臺(tái)垂直并延伸到所述彎板邊緣的凹槽，這樣的設(shè)計(jì)既可以方便在形狀與晶圓相仿的空間里取放晶圓(晶圓兩邊角位于凹槽以減少取放晶圓時(shí)與工夾具的觸碰)，也可以保證后續(xù)的可能移動(dòng)對(duì)位在較小的范圍(左右移動(dòng)小于1mm，共2mm)里。上述工夾具還包括位于所述承載臺(tái)相對(duì)于限位件的一側(cè)即下方用于支撐承載臺(tái)的支撐部，支撐部為沿著承載臺(tái)的不包含缺口的邊緣環(huán)繞而成的壁板，具有一定高度的支撐部以及第二收容空間可以使一線工作人員在夾取晶圓時(shí)能有更大的操作空間。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為一個(gè)實(shí)施例工夾具的立體圖；
[0017]圖2為一個(gè)實(shí)施例工夾具的俯視圖；
[0018]圖3為沿圖2的AA’剖面線作的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0020]圖1為一個(gè)實(shí)施例工夾具的立體圖，圖2為一個(gè)實(shí)施例工夾具的俯視圖。
[0021]一種工夾具,包括用于承載晶圓的承載臺(tái)100和將晶圓限制在承載臺(tái)100的表面范圍內(nèi)的限位件110，限位件110沿承載臺(tái)100的邊緣環(huán)繞設(shè)置，限位件110與承載臺(tái)100形成收容空間。承載臺(tái)100在本實(shí)施例中為具有一段平邊的圓形板狀，在其他實(shí)施例中還可以為不帶平邊的圓形。在本實(shí)施例中，限位件110為沿著承載臺(tái)100的不包含缺口 103和缺口 104的邊緣環(huán)繞而成的彎板，在其他實(shí)施例中，也可以是多根柱子，可以對(duì)硅片形成限位即可。
[0022]上述工夾具，在一線人員對(duì)晶圓進(jìn)行臨時(shí)鍵合時(shí)提供輔助，在限位件110的限位下能有效輔助一線人員在進(jìn)行臨時(shí)鍵合時(shí)進(jìn)行精確對(duì)位以及后續(xù)壓合，減少或避免后續(xù)的移動(dòng)對(duì)位。
[0023]以下提供一種適用于6寸的帶平邊的晶圓的實(shí)施例。
[0024]一種工夾具,包括用于承載晶圓的承載臺(tái)100和將晶圓限制在承載臺(tái)100的表面范圍內(nèi)的限位件110，承載臺(tái)100為具有一段平邊102的圓形板狀，承載臺(tái)100與晶圓的形狀適配，其直徑范圍在150?150.15mm。承載臺(tái)100的平邊102與晶圓的平邊長(zhǎng)度一致，承載臺(tái)100包括弧邊101和長(zhǎng)為57.5?59.5mm的平邊102，承載臺(tái)100的弧邊101設(shè)有呈弧形、半徑為15mm的缺口 103和缺口 104，限位件110沿承載臺(tái)100的邊緣環(huán)繞設(shè)置，具體為，限位件110為環(huán)繞承載臺(tái)100邊緣的彎板，并且彎板的彎曲弧面與承載臺(tái)100垂直，限位件110與承載臺(tái)100形成收容空間，收容空間深度為8?12mm，優(yōu)選為10mm。缺口 1