本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓盒測(cè)試裝置、晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

隨著晶圓制造中的臨界尺寸越來(lái)越小，制程的復(fù)雜度越來(lái)越高，晶圓盒(POD)潔凈度對(duì)于產(chǎn)品合格率的影響也越來(lái)越大，晶圓盒污染問(wèn)題每年都會(huì)造成巨大的損失。即使增加監(jiān)控和抽樣環(huán)節(jié)，現(xiàn)在還沒(méi)有完全有效的方法來(lái)監(jiān)測(cè)和消除這種損失，通常的原因是無(wú)法準(zhǔn)確及時(shí)分辨產(chǎn)品缺陷是來(lái)自晶圓盒污染還是機(jī)臺(tái)污染，因此需要同時(shí)對(duì)晶圓盒和機(jī)臺(tái)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，造成機(jī)臺(tái)長(zhǎng)時(shí)間停止使用來(lái)等待監(jiān)測(cè)和人工測(cè)試結(jié)果，從而降低了機(jī)臺(tái)的使用率，影響生產(chǎn)效率。

現(xiàn)有技術(shù)通常是設(shè)置晶圓盒使用時(shí)間、年限和輕拿輕放的宣導(dǎo)來(lái)控制晶圓盒內(nèi)環(huán)境的潔凈度，來(lái)降低晶圓盒對(duì)產(chǎn)品合格率的影響。但現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)晶圓盒內(nèi)環(huán)境還沒(méi)有量化的測(cè)試方法，通常只能進(jìn)行人工模擬測(cè)試，無(wú)法避免人為因素而進(jìn)行精確的模擬，得到準(zhǔn)確的測(cè)試結(jié)果，從而無(wú)法對(duì)線(xiàn)上所有晶圓盒進(jìn)行準(zhǔn)確及時(shí)的監(jiān)測(cè)和控制。

因此，需要設(shè)計(jì)一種對(duì)晶圓盒準(zhǔn)確及時(shí)監(jiān)測(cè)的裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓盒測(cè)試裝置、晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有的技術(shù)中對(duì)晶圓盒內(nèi)環(huán)境沒(méi)有量化的測(cè)試方法，對(duì)線(xiàn)上所有晶圓盒無(wú)法準(zhǔn)確及時(shí)的監(jiān)測(cè)和控制的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種晶圓盒測(cè)試裝置，所述晶圓盒測(cè)試裝置包括驅(qū)動(dòng)裝置、及位于所述驅(qū)動(dòng)裝置上的晶圓盒承載裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置進(jìn)行上下振動(dòng)。

可選的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置中，所述晶圓盒承載裝置還包括固定裝置，所述固定裝置將晶圓盒固定在晶圓盒承載裝置上。

可選的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置中，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述晶圓盒承載裝置通過(guò)柔性連接裝置連接。

可選的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置中，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置安裝于所述晶圓盒承載裝置第一端的下方。

可選的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置中，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括第一升降裝置和與所述第一升降裝置連接的第一氣缸，其中：

所述第一氣缸通過(guò)氣體的進(jìn)入和排出驅(qū)動(dòng)所述第一升降裝置進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，所述第一升降裝置驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置的第一端的升降。

可選的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置中，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置安裝于所述晶圓盒承載裝置第二端的下方。

可選的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置中，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置包括第二升降裝置和與所述第二升降裝置連接的第二氣缸，其中：

所述第二氣缸通過(guò)氣體的進(jìn)入和排出驅(qū)動(dòng)所述第二升降裝置進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，所述第二升降裝置驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置的第二端的升降。

可選的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置中，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括進(jìn)排氣控制閥門(mén)，其中：

所述進(jìn)排氣控制閥門(mén)控制所述第一氣缸和所述第二氣缸中的氣體的進(jìn)入和排出。

可選的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置中，所述第一升降裝置在晶圓盒測(cè)試過(guò)程中的升降的幅度為0～14厘米。

可選的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置中，所述第二升降裝置在晶圓盒測(cè)試過(guò)程中的升降的幅度為0～14厘米。

本實(shí)用新型還提供一種晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，所述晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括：晶圓盒承載裝置、驅(qū)動(dòng)裝置、振幅傳感裝置及控制器；其中，

所述晶圓盒承載裝置位于所述驅(qū)動(dòng)裝置上，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置振動(dòng)；

所述控制器連接所述驅(qū)動(dòng)裝置，所述控制器控制所述驅(qū)動(dòng)裝置；

所述振幅傳感器位于所述晶圓盒承載裝置上，所述振幅傳感裝置檢測(cè)所述晶圓盒承載裝置的振幅并將檢測(cè)到的所述晶圓盒承載裝置的振幅提供給所述控制器。

可選的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置安裝于所述晶圓盒承載裝置第一端的下方。

可選的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括第一升降裝置和與所述第一升降裝置連接的第一氣缸，其中：

所述第一氣缸通過(guò)氣體的進(jìn)入和排出驅(qū)動(dòng)所述第一升降裝置進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，所述第一升降裝置驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置的第一端的升降。

可選的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置安裝于所述晶圓盒承載裝置第二端的下方。

可選的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置包括第二升降裝置和與所述第二升降裝置連接的第二氣缸，其中：

所述第二氣缸通過(guò)氣體的進(jìn)入和排出驅(qū)動(dòng)所述第二升降裝置進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，所述第二升降裝置驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置的第二端的升降。

可選的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述驅(qū)動(dòng)裝置還包括進(jìn)排氣控制閥門(mén)，其中：

所述進(jìn)排氣控制閥門(mén)控制所述第一氣缸和所述第二氣缸中的氣體的進(jìn)入和排出。

可選的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述控制器連接所述進(jìn)排氣控制閥門(mén)，控制所述進(jìn)排氣控制閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉。

可選的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)還包括鍵盤(pán)，所述鍵盤(pán)將所述晶圓盒承載裝置振動(dòng)的振幅和振動(dòng)的次數(shù)輸入到控制器中。

可選的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)還包括顯示器，所述顯示器顯示所述振幅傳感裝置發(fā)送給所述控制器的晶圓盒承載裝置的振幅。

可選的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)還包括報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置對(duì)晶圓盒承載裝置振動(dòng)次數(shù)和振動(dòng)的振幅超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的情況進(jìn)行報(bào)警。

在本實(shí)用新型提供的晶圓盒測(cè)試裝置、晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，通過(guò)建立標(biāo)準(zhǔn)的晶圓盒測(cè)試裝置和包括晶圓盒測(cè)試裝置的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，及時(shí)準(zhǔn)確發(fā)現(xiàn)晶圓盒使用情況和及時(shí)處理；通過(guò)完全模擬線(xiàn)上晶圓盒運(yùn)送過(guò)程中的振幅情況，來(lái)完全量化晶圓盒的使用控制；通過(guò)測(cè)試結(jié)果反饋控制線(xiàn)上晶圓盒，線(xiàn)上晶圓盒使用情況反饋控制系統(tǒng)，從而達(dá)到監(jiān)測(cè)線(xiàn)上所有晶圓盒使用情況的效果，并且通過(guò)控制器的鍵盤(pán)和顯示器等人機(jī)交互設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了智能控制晶圓盒測(cè)試時(shí)的振動(dòng)次數(shù)、振幅和沖量，通過(guò)報(bào)警裝置實(shí)現(xiàn)了晶圓盒使用情況的實(shí)時(shí)檢測(cè)和報(bào)警。

在本實(shí)用新型提供的晶圓盒測(cè)試裝置中，通過(guò)固定裝置和柔性連接裝置使晶圓盒在測(cè)試過(guò)程中更加安全、穩(wěn)固和可靠。通過(guò)將驅(qū)動(dòng)裝置分為兩部分，使晶圓盒測(cè)試時(shí)，兩端的振幅均可以自行靈活設(shè)置，可模擬多種測(cè)試環(huán)境。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例晶圓盒測(cè)試裝置示意圖；

圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)示意圖；

圖中所示：1-晶圓盒測(cè)試裝置；11-驅(qū)動(dòng)裝置；111-第一驅(qū)動(dòng)裝置；1111-第一升降裝置；1112-第一氣缸；112-第二驅(qū)動(dòng)裝置；1121-第二升降裝置；1122-第二氣缸；113-進(jìn)排氣控制閥門(mén)；12-晶圓盒承載裝置；13-晶圓盒；2-振幅傳感裝置；3-控制器；31-鍵盤(pán)；32-顯示器；33-報(bào)警裝置。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的晶圓盒測(cè)試裝置、晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

本實(shí)用新型的核心思想在于提供一種晶圓盒測(cè)試裝置、晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有的技術(shù)中對(duì)晶圓盒內(nèi)環(huán)境沒(méi)有量化的測(cè)試方法，對(duì)線(xiàn)上所有晶圓盒無(wú)法準(zhǔn)確及時(shí)的監(jiān)測(cè)和控制的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述思想，本實(shí)用新型提供了一種晶圓盒測(cè)試裝置、晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括晶圓盒測(cè)試裝置、振幅傳感裝置及控制器，其中：所述晶圓盒測(cè)試裝置包括驅(qū)動(dòng)裝置，及位于所述驅(qū)動(dòng)裝置上的晶圓盒承載裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置進(jìn)行上下振動(dòng)；控制器連接所述晶圓盒測(cè)試裝置中的驅(qū)動(dòng)裝置，所述控制器控制所述晶圓盒測(cè)試裝置中的驅(qū)動(dòng)裝置的進(jìn)排氣控制閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉；所述振幅傳感裝置安裝于所述晶圓盒承載裝置上，所述振幅傳感裝置檢測(cè)晶圓盒承載裝置的振幅并將檢測(cè)的所述晶圓盒承載裝置的振幅的數(shù)據(jù)發(fā)送給控制器。

圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例晶圓盒測(cè)試裝置示意圖，如圖1所示，本實(shí)施例提供一種晶圓盒測(cè)試裝置1，所述晶圓盒測(cè)試裝置包括驅(qū)動(dòng)裝置11，及位于所述驅(qū)動(dòng)裝置上11的晶圓盒承載裝置12，所述驅(qū)動(dòng)裝置11驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置12振動(dòng)，晶圓盒13放置在晶圓盒承載裝置12上，驅(qū)動(dòng)裝置11驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置12振動(dòng)時(shí)，晶圓盒13隨著晶圓盒承載裝置12一起振動(dòng)，在振動(dòng)時(shí)，最好確保晶圓盒13不會(huì)從晶圓盒承載裝置12上跌落，因此所述晶圓盒承載裝置12還包括固定裝置，所述固定裝置將晶圓盒13固定在晶圓盒承載裝置12上，使其不會(huì)跌落。所述驅(qū)動(dòng)裝置11與所述晶圓盒承載12裝置通過(guò)柔性連接裝置連接，連接方式為軟接頭或柔性接頭連接在兩個(gè)剛性部件之間，最好為高彈性、高韌性、高強(qiáng)度和減震性好的材料，例如橡膠墊、軟金屬編織線(xiàn)、彈簧結(jié)構(gòu)等，可降低兩個(gè)剛性部件之間的振動(dòng)及振動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的噪聲，并可緩沖振動(dòng)時(shí)不同傾斜角度產(chǎn)生的拉伸應(yīng)力和擠壓應(yīng)力，可對(duì)因溫度變化引起的熱脹冷縮起補(bǔ)償作用。

進(jìn)一步的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置1中，所述驅(qū)動(dòng)裝置11包括第一驅(qū)動(dòng)裝置111。所述第一驅(qū)動(dòng)裝置111安裝于所述晶圓盒承載裝置12第一端，即如圖1所示的晶圓盒承載裝置12左端的下方。所述第一驅(qū)動(dòng)裝置111包括第一升降裝置1111和與所述第一升降裝置1111連接的第一氣缸1112，其中：第一升降裝置1111位于晶圓盒承載裝置12的左端下方，對(duì)晶圓盒承載裝置12第一端的振動(dòng)運(yùn)動(dòng)起到升降動(dòng)力和支撐的作用，第一升降裝置1111連接晶圓盒承載裝置12第一端的下方，所述第一氣缸1112驅(qū)動(dòng)所述第一升降裝置1111進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)晶圓盒承載裝置12的第一端升降及振動(dòng)，第一氣缸1112的氣密性較高，使氣缸內(nèi)的氣體壓強(qiáng)和外界的大氣壓強(qiáng)的氣壓差形成的壓力足以驅(qū)動(dòng)第一升降裝置1111克服重力因素進(jìn)行升降，當(dāng)有氣體進(jìn)入第一氣缸1112內(nèi)部時(shí)，氣體推升第一升降裝置1111進(jìn)行上升，當(dāng)氣體排出第一氣缸1112內(nèi)部時(shí)，外界大氣壓推動(dòng)第一升降裝置1111進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，重力因素忽略不計(jì)。

另外，所述驅(qū)動(dòng)裝置11還可以增加一個(gè)第二驅(qū)動(dòng)裝置112。所述第二驅(qū)動(dòng)裝置112安裝于所述晶圓盒承載裝置12第二端，即圖1中右端的下方。所述第二驅(qū)動(dòng)裝置112包括第二升降裝置1121和與所述第二升降裝置1121連接的第二氣缸1122，其中：所述第二氣缸1122通過(guò)氣體的進(jìn)入和排出驅(qū)動(dòng)所述第二升降裝置1121進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，所述第二升降裝置1121驅(qū)動(dòng)所述晶圓盒承載裝置12的第二端的升降。第二驅(qū)動(dòng)裝置112的工作原理與第一驅(qū)動(dòng)裝置111的工作原理相同，第二升降裝置1121相對(duì)于第一升降裝置1111，第二氣缸1122相對(duì)于第一氣缸1112。

具體的，在所述的晶圓盒測(cè)試裝置1中，所述驅(qū)動(dòng)裝置11包括進(jìn)排氣控制閥門(mén)113，其中：所述進(jìn)排氣控制閥門(mén)113控制所述第一氣缸1112和所述第二氣缸1122中的氣體的進(jìn)入和排出，包括氣體進(jìn)排量、進(jìn)排時(shí)間、進(jìn)排速度、進(jìn)排氣體種類(lèi)、進(jìn)排氣體的氣體壓強(qiáng)等。

本實(shí)施例中的驅(qū)動(dòng)裝置11可以為雙氣缸結(jié)構(gòu)，即如本實(shí)施例中具體說(shuō)明的結(jié)構(gòu)，也可以為單氣缸結(jié)構(gòu)，即驅(qū)動(dòng)裝置11可以只在晶圓盒承載裝置12一端的下方安裝第一驅(qū)動(dòng)裝置111，而晶圓盒承載裝置12的下方的另一端進(jìn)行固定，實(shí)現(xiàn)晶圓盒承載裝置12僅一端振動(dòng)，在進(jìn)行晶圓盒測(cè)試時(shí)，安裝有氣缸的一端設(shè)置好振幅和振動(dòng)的次數(shù)，進(jìn)行振動(dòng)測(cè)試，而另一端固定不動(dòng)即可；也可以在晶圓盒承載裝置12第一端的下方安裝第一驅(qū)動(dòng)裝置111，在晶圓盒承載裝置12第二端的下方安裝第二驅(qū)動(dòng)裝置112，實(shí)現(xiàn)晶圓盒承載裝置12兩端同時(shí)振動(dòng)。單氣缸結(jié)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，但對(duì)晶圓盒承載裝置12的運(yùn)動(dòng)參數(shù)的設(shè)置比較單一，不夠靈活，測(cè)試受到一定的限制。進(jìn)一步地，驅(qū)動(dòng)裝置11也可以被替換為偏振輪結(jié)構(gòu)，與單氣缸結(jié)構(gòu)的效果相似，甚至也可以按需求在晶圓盒承載裝置12的其他部位增加更多的驅(qū)動(dòng)裝置，本實(shí)施例不作進(jìn)一步限定。

在晶圓盒測(cè)試裝置1帶動(dòng)晶圓盒13振動(dòng)進(jìn)行測(cè)試的過(guò)程中，需要注意晶圓盒的重量及振動(dòng)沖量、振動(dòng)的振幅和振動(dòng)的次數(shù)、頻率、時(shí)間等等參數(shù)。

在本實(shí)施例中的晶圓盒測(cè)試裝置1中，所述第一升降裝置1111在晶圓盒測(cè)試過(guò)程中升降的幅度，即晶圓盒承載裝置12振動(dòng)的振幅范圍可以自行設(shè)置，可選的范圍為0～14厘米，既可以是該范圍的任一數(shù)值，也可以根據(jù)實(shí)際使用情況設(shè)置其他范圍，所述第二升降裝置1121在晶圓盒測(cè)試過(guò)程中升降的幅度，即晶圓盒承載裝置12振動(dòng)的振幅可以自行設(shè)置，可選的范圍為0～14厘米，既可以是該范圍的任一數(shù)值，也可以根據(jù)實(shí)際使用情況設(shè)置其他范圍，并可以通過(guò)分別設(shè)置第一驅(qū)動(dòng)裝置111和第二驅(qū)動(dòng)裝置112的升降的幅度即可實(shí)現(xiàn)設(shè)置晶圓盒承載裝置12的兩端的下落高度。

一般來(lái)說(shuō)，測(cè)試過(guò)程中，第一升降裝置1111和第二升降裝置1121升降的幅度最好不同，即晶圓盒承載裝置12的一端與另一端在晶圓盒測(cè)試過(guò)程中的振幅(下落高度)不同，使晶圓盒在測(cè)試過(guò)程中帶有一定角度的傾斜下落，來(lái)模擬線(xiàn)上或特定條件下的使用情況，也可以通過(guò)智能模擬來(lái)實(shí)現(xiàn)。例如第一升降裝置1111的升降的幅度為0cm，第二升降裝置1121的升降的幅度為14cm，以模擬最差的實(shí)際污染情況。振動(dòng)的振幅，為晶圓盒承載裝置12的下落高度。第一驅(qū)動(dòng)裝置111和第二驅(qū)動(dòng)裝置112在晶圓盒測(cè)試過(guò)程中的振幅也可因?qū)嶋H情況自行設(shè)置。

所述晶圓盒測(cè)試裝置1根據(jù)晶圓盒13中的晶圓數(shù)量確定晶圓盒6的振動(dòng)的沖量，在晶圓測(cè)試過(guò)程中，需檢查晶圓盒中的晶圓數(shù)量，來(lái)確定晶圓盒測(cè)試時(shí)下落的沖量大小。并且，測(cè)試前還需要設(shè)置振動(dòng)的次數(shù)，振動(dòng)達(dá)到晶圓盒線(xiàn)上實(shí)際使用次數(shù)或設(shè)置的次數(shù)后，會(huì)自動(dòng)停機(jī)并關(guān)閉驅(qū)動(dòng)裝置11，使晶圓盒13靜止下來(lái)。

測(cè)試結(jié)束后，將晶圓盒13中的晶圓上增加的微塵的顆數(shù)和分布進(jìn)行掃描，來(lái)判斷晶圓盒13內(nèi)的環(huán)境情況。如果晶圓盒13內(nèi)的環(huán)境污染超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)，則增加測(cè)試的次數(shù)，進(jìn)行試驗(yàn)記錄，分類(lèi)計(jì)算使用時(shí)間。首先，若晶圓盒污染超標(biāo)，先判斷晶圓盒使用天數(shù)和振幅是否超標(biāo)，若沒(méi)有，則進(jìn)行更詳細(xì)的計(jì)算，在計(jì)算中，晶圓使用天數(shù)、振幅和晶圓盒暴露在空氣中的時(shí)間作為變量，變量前的參數(shù)可根據(jù)不同情況，如制造年限和制造廠(chǎng)商而決定。幾個(gè)變量累加后，若得到的總的值超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值，則進(jìn)行淘汰。

本實(shí)施例中的晶圓盒測(cè)試裝置建立標(biāo)準(zhǔn)的晶圓盒測(cè)試裝置1，通過(guò)完全模擬線(xiàn)上晶圓盒13運(yùn)送過(guò)程中的振幅情況，來(lái)完全量化晶圓盒13的使用控制。

圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)示意圖，如圖2所示，本實(shí)施例提供一種晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，所述晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括控制器3、振幅傳感裝置2及前文所述的晶圓盒測(cè)試裝置1，其中：所述控制器3連接所述晶圓盒測(cè)試裝置1中的驅(qū)動(dòng)裝置11，控制驅(qū)動(dòng)裝置11。

進(jìn)一步的，所述控制器3連接所述晶圓盒測(cè)試裝置1中的驅(qū)動(dòng)裝置11的進(jìn)排氣控制閥門(mén)113并控制進(jìn)排氣控制閥門(mén)113的開(kāi)啟和關(guān)閉；所述振幅傳感裝置2安裝于所述晶圓盒承載裝置12上，所述振幅傳感裝置2檢測(cè)晶圓盒承載裝置12的振幅并將檢測(cè)到的所述晶圓盒承載裝置12的振幅的數(shù)據(jù)發(fā)送給控制器3。

如果晶圓盒測(cè)試裝置1為單氣缸結(jié)構(gòu)，那么振幅傳感裝置2的數(shù)量為一個(gè)，例如驅(qū)動(dòng)裝置11的單氣缸，例如第一驅(qū)動(dòng)裝置111位于晶圓盒承載裝置12的一端的下方，則振幅傳感裝置2安裝于晶圓盒承載裝置12這一端上，以測(cè)量驅(qū)動(dòng)裝置11帶動(dòng)下的晶圓盒承載裝置12的振動(dòng)振幅。如果晶圓盒測(cè)試裝置1為雙氣缸結(jié)構(gòu)，那么振幅傳感裝置2的數(shù)量至少為兩個(gè)，分別安裝于驅(qū)動(dòng)裝置11包括的第一驅(qū)動(dòng)裝置111和第二驅(qū)動(dòng)裝置112位于的晶圓盒承載裝置12的兩端上，以分別測(cè)量第一驅(qū)動(dòng)裝置111和第二驅(qū)動(dòng)裝置112帶動(dòng)的晶圓盒承載裝置12的兩端的振動(dòng)的振幅。

具體的，在所述的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，所述晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)還包括鍵盤(pán)31、顯示器32和報(bào)警裝置33，鍵盤(pán)31、顯示器32和報(bào)警裝置33與控制器3連接，與控制器3進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸。所述鍵盤(pán)31將所述晶圓盒承載裝置12振動(dòng)的振幅和振動(dòng)的次數(shù)輸入到控制器3中。所述顯示器32顯示所述振幅傳感裝置2發(fā)送給所述控制器3的晶圓盒承載裝置12的振幅，所述顯示器32也可以用于顯示鍵盤(pán)31輸入的控制參數(shù)。所述報(bào)警裝置33根據(jù)控制器3的數(shù)據(jù)處理，對(duì)晶圓盒承載裝置12振動(dòng)次數(shù)和振動(dòng)的振幅超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的情況進(jìn)行報(bào)警。

在測(cè)試前，首先要通過(guò)鍵盤(pán)31設(shè)置和輸入晶圓盒承載裝置12位于的振幅傳感裝置2的兩端的下落高度，即振動(dòng)的振幅，另外，測(cè)試前還需要通過(guò)鍵盤(pán)31設(shè)置振動(dòng)的次數(shù)，振動(dòng)達(dá)到晶圓盒線(xiàn)上實(shí)際使用次數(shù)或設(shè)置的次數(shù)后，會(huì)自動(dòng)停機(jī)并關(guān)閉驅(qū)動(dòng)裝置11，使晶圓盒13靜止下來(lái)。在晶圓測(cè)試過(guò)程中，需檢查晶圓盒中的晶圓數(shù)量，來(lái)確定晶圓盒測(cè)試時(shí)下落的沖量大小，所述控制器3根據(jù)晶圓盒13中的晶圓數(shù)量監(jiān)測(cè)晶圓盒13的振動(dòng)的沖量，也可以用鍵盤(pán)31輸入進(jìn)控制器3中。

測(cè)試結(jié)束后，將晶圓盒中的晶圓上增加的微塵的顆數(shù)和分布進(jìn)行掃描，來(lái)判斷晶圓盒內(nèi)的環(huán)境情況。如果晶圓盒內(nèi)的環(huán)境污染超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)，則增加測(cè)試的次數(shù)，進(jìn)行試驗(yàn)記錄，分類(lèi)計(jì)算使用時(shí)間?？刂破?與上位機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行通信，將結(jié)果和報(bào)警信息上報(bào)，通過(guò)上位機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行晶圓盒的淘汰和替換。

在本實(shí)施例提供的晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中，通過(guò)建立標(biāo)準(zhǔn)的晶圓盒測(cè)試裝置和晶圓盒監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，及時(shí)準(zhǔn)確發(fā)現(xiàn)晶圓盒使用情況和及時(shí)處理；通過(guò)完全模擬線(xiàn)上晶圓盒運(yùn)送過(guò)程中的振幅情況，來(lái)完全量化晶圓盒的使用控制；通過(guò)測(cè)試結(jié)果反饋控制線(xiàn)上晶圓盒，線(xiàn)上晶圓盒使用情況反饋控制系統(tǒng)，從而達(dá)到監(jiān)測(cè)線(xiàn)上所有晶圓盒使用情況的效果，并且智能控制晶圓盒測(cè)試時(shí)的振動(dòng)次數(shù)、振幅和沖量。

本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。

上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍。