技術(shù)編號：12924632
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓盒測試裝置、晶圓盒監(jiān)測系統(tǒng)。背景技術(shù)隨著晶圓制造中的臨界尺寸越來越小，制程的復(fù)雜度越來越高，晶圓盒(POD)潔凈度對于產(chǎn)品合格率的影響也越來越大，晶圓盒污染問題每年都會造成巨大的損失。即使增加監(jiān)控和抽樣環(huán)節(jié)，現(xiàn)在還沒有完全有效的方法來監(jiān)測和消除這種損失，通常的原因是無法準(zhǔn)確及時分辨產(chǎn)品缺陷是來自晶圓盒污染還是機(jī)臺污染，因此需要同時對晶圓盒和機(jī)臺進(jìn)行監(jiān)測，造成機(jī)臺長時間停止使用來等待監(jiān)測和人工測試結(jié)果，從而降低了機(jī)臺的使用率，影響生產(chǎn)效率?，F(xiàn)有技術(shù)通常...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。