技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及一種帶有背面對準(zhǔn)劃片道的晶圓，正面為器件層，背面為光滑無圖形區(qū)；所述正面有效芯片之間劃有寬度相同的正劃片道；所述背面對應(yīng)正劃片道的位置處劃有背劃片道。本實用新型在需要從背面劃片的時候，可以直接根據(jù)背面的劃片道來劃片，而不需要在劃片的時候進行特殊的處理或者特殊的機臺。

技術(shù)研發(fā)人員：李江華;湯為;孫效中
受保護的技術(shù)使用者：常州旺童半導(dǎo)體科技有限公司
文檔號碼：201720054097
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.18
技術(shù)公布日：2017.09.26